基于CMOS工艺的高性能射频滤波器：体声波滤波器BAW

基于CMOS工艺的高性能射频滤波器：体声波滤波

器BAW

过去几年中，随着射频集成电路技术和系统结构的发展，移动电话中射频部分的很多分立器件已被替换。最为明显的就是接收机中分立的低噪声放大器（LNA）和中频（IF）滤波器已经被集成到射频集成电路中。可以预期各射频模块将逐步被集成到标准BiCMOS或CMOS集成电路中，但还是有几类射频元件的集成不太容易做到，其中就包括射频滤波器。所有的移动电话都需要射频滤波器以保护敏感的接收（Rx）信道，使之免受其他用户的发送（Tx）信号及各种射频源产生的噪声干扰。移动电话可能要求当Rx信号比干扰信号强度低120dB时仍能工作。而前置放大器无法提供足够小的互调以满足这种要求。

体声波（BAW）和薄膜腔声谐振器（FBAR）滤波器被分别用来替代移动电话中的传统射频滤波器，因为目前其性能已超过表面波（SAW）滤波器，而且可以通过标准集成电路技术生产，极具价格竞争力。

天线和前置放大器之间高选择性的射频滤波器保证了只有正确的Rx 波段内的信号被放大。分配给移动电话系统的频段是从400MHz到2.2GHz;带宽一般在20到75MHz之间。Tx波段低于Rx波段，但之间仅有20MHz

的间隙。在20MHz这幺窄的过渡带中，Rx滤波器必须从在相应的Tx波段上