激光光束整形技术
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激光光束整形技术
南开大学
对于光纤、YAG、CO2激光器等,出射的(单模)激光截 面为圆形,光强分布为:
其中阴影部分的能量最多只能达到总能量的0.37。 对于半导体、准分子激光器,出射的激光为方形,多模 的方向认为光强分布均匀,垂直的单模方向的光强分布 为:
其中阴影部分的能量最多只能达到总能量的0.48。
对于激光清洗,以及其它的激光与物质相互作用过程,激光能 量的均匀化对于提高光源的使用效率是必不可少的。 低于清洗阈值的光照射部分是不能产生清洗效果的,而高于清 洗阈值的部分,只会产生多余的热,甚至超过损伤阈值,造成 基底的破坏。 另外,将入射激光光束整形为线状的均匀光束可以进一步提高 激光清洗的工作效率。
第二种field mappers,基于傅里叶变换光学,使用惠更斯菲涅耳衍射积分公式计算,入射光束的光场分布已知,出射 光束的光场分布按要求给定,可得所要求的光束整形器件的 透过率函数。 这一透过率函数,可以使用计算机数值模拟得到,进一步可 以得到光束整形器件的构成。
对于基模高斯光束可选择一整形 器件使得边缘处的光束弯曲,从 而得到较均匀的输出光。
这种方式可以做到没有能量的 损失。
第三种multi-aperture beam integrator, 整形装置由微透镜阵列和一个普通透镜 组成,微透镜阵列将入射光场分割为若 干子束,这些子束在经过普通透镜汇聚 后,在所需位置处再叠加起来,从而得 到均匀光束。
这种整形方式比较适用于空间相干性比较差 的多模激光,同样可以做到能量没有损失。
还有其它的一些方式可以做到 均匀出射,比如双折射透镜组, 双透镜+柱镜等。
Field mappers
考虑入射高斯光束为TEM00模,光强空间分布为
出射光束为平定光,有三种选择方式: 费米狄拉克函数: 超高斯函数: 平坦高斯函数:
上面三个函数取合适的 参数时都是阶跃函数的 很好的近似。
选定适当的参数,确定了出射光束的光强分布之后,通 过计算机数值模拟可以得到中间的光强透过率函数,进 而确定所需要的光学元件。 这里选择双透镜实现这一功能。
对于满足下面条件的情况,光束传播过程中的衍射效应 可以忽略,这时可以使用几何光学进行器件的设计。
需要说明的是这里的β与费米狄拉克函数中的参数是不同 的物理量,这里仍然这么写的缘故是与Fred M.Dickey最 初的定义保持一致。 D是平定光束的宽度,f是所选择透镜的焦距,λ是激光束 的波长。
透镜的两个面一个是平面,另一个是非球面。对于双透镜 有两种组合方式:伽利略式和开普勒式。 第一个非球面将光线进行重新分布, 第二个非球面将光线进行准直。
能量守恒有:
有一组满足上式的解,形式为: 其中d是两镜之间的距离, n是镜子的折射率, 是光迹函数。 正号代表伽利略式,负 号代表开普勒式。
上面的光束整形,主要是光强分布的变化,对于光斑形 状的变换相对简单。 对于我们扫描所需要的线状光束,可以通过使用两个柱 面镜实现:
如果要得到光强均匀分布的线状光束,需要使用非球面柱 面镜来实现,这需要将前面光强分布变换和光斑形状变换 两部分结合起来,具体解法需要时间看懂光束整形里的数 学。 光束整形器目前市场上已经有产品出售,是进口的,在 中国有代理,价格大约是3000欧元。
激光பைடு நூலகம்束整形技术一般可以分为三种:apertured beams, field mappers,multi-aperture beam integrator。
第一种apertured beams,结构简 单,首先将激光进行扩束,然后 选择合适的光阑就能得到较均匀 的出射激光,但同时损失了部分 的激光能量。
这是stocker yale出产的平顶 光整形器。
南开大学
对于光纤、YAG、CO2激光器等,出射的(单模)激光截 面为圆形,光强分布为:
其中阴影部分的能量最多只能达到总能量的0.37。 对于半导体、准分子激光器,出射的激光为方形,多模 的方向认为光强分布均匀,垂直的单模方向的光强分布 为:
其中阴影部分的能量最多只能达到总能量的0.48。
对于激光清洗,以及其它的激光与物质相互作用过程,激光能 量的均匀化对于提高光源的使用效率是必不可少的。 低于清洗阈值的光照射部分是不能产生清洗效果的,而高于清 洗阈值的部分,只会产生多余的热,甚至超过损伤阈值,造成 基底的破坏。 另外,将入射激光光束整形为线状的均匀光束可以进一步提高 激光清洗的工作效率。
第二种field mappers,基于傅里叶变换光学,使用惠更斯菲涅耳衍射积分公式计算,入射光束的光场分布已知,出射 光束的光场分布按要求给定,可得所要求的光束整形器件的 透过率函数。 这一透过率函数,可以使用计算机数值模拟得到,进一步可 以得到光束整形器件的构成。
对于基模高斯光束可选择一整形 器件使得边缘处的光束弯曲,从 而得到较均匀的输出光。
这种方式可以做到没有能量的 损失。
第三种multi-aperture beam integrator, 整形装置由微透镜阵列和一个普通透镜 组成,微透镜阵列将入射光场分割为若 干子束,这些子束在经过普通透镜汇聚 后,在所需位置处再叠加起来,从而得 到均匀光束。
这种整形方式比较适用于空间相干性比较差 的多模激光,同样可以做到能量没有损失。
还有其它的一些方式可以做到 均匀出射,比如双折射透镜组, 双透镜+柱镜等。
Field mappers
考虑入射高斯光束为TEM00模,光强空间分布为
出射光束为平定光,有三种选择方式: 费米狄拉克函数: 超高斯函数: 平坦高斯函数:
上面三个函数取合适的 参数时都是阶跃函数的 很好的近似。
选定适当的参数,确定了出射光束的光强分布之后,通 过计算机数值模拟可以得到中间的光强透过率函数,进 而确定所需要的光学元件。 这里选择双透镜实现这一功能。
对于满足下面条件的情况,光束传播过程中的衍射效应 可以忽略,这时可以使用几何光学进行器件的设计。
需要说明的是这里的β与费米狄拉克函数中的参数是不同 的物理量,这里仍然这么写的缘故是与Fred M.Dickey最 初的定义保持一致。 D是平定光束的宽度,f是所选择透镜的焦距,λ是激光束 的波长。
透镜的两个面一个是平面,另一个是非球面。对于双透镜 有两种组合方式:伽利略式和开普勒式。 第一个非球面将光线进行重新分布, 第二个非球面将光线进行准直。
能量守恒有:
有一组满足上式的解,形式为: 其中d是两镜之间的距离, n是镜子的折射率, 是光迹函数。 正号代表伽利略式,负 号代表开普勒式。
上面的光束整形,主要是光强分布的变化,对于光斑形 状的变换相对简单。 对于我们扫描所需要的线状光束,可以通过使用两个柱 面镜实现:
如果要得到光强均匀分布的线状光束,需要使用非球面柱 面镜来实现,这需要将前面光强分布变换和光斑形状变换 两部分结合起来,具体解法需要时间看懂光束整形里的数 学。 光束整形器目前市场上已经有产品出售,是进口的,在 中国有代理,价格大约是3000欧元。
激光பைடு நூலகம்束整形技术一般可以分为三种:apertured beams, field mappers,multi-aperture beam integrator。
第一种apertured beams,结构简 单,首先将激光进行扩束,然后 选择合适的光阑就能得到较均匀 的出射激光,但同时损失了部分 的激光能量。
这是stocker yale出产的平顶 光整形器。