超纯水系统工艺流程图
超纯水系统操作说明书
水处理设备（超纯水系统）操作说明书目录一、超纯水设备工艺流程图： (2)二、工艺流程说明： (2)1.原水箱 (2)2.原水泵 (2)3.多介质过滤器 (3)4.活性碳过滤器 (3)5.阻垢剂加药系统 (3)6.软化器 (4)7.精密保安过滤器 (4)8.高压泵 (4)9.两级反渗透RO机 (5)10、二级纯水箱 (12)11、EDI输送泵 (12)12、前置紫外杀菌器 (13)13、0.22μ微滤系统 (13)14、EDI装置 (13)15、EDI超纯水箱 (17)16、输送泵 (17)17、核级树脂 (17)18、后置紫外线杀菌器 (18)19、终端0.22μ微滤系统 (19)三、设备操作指南： (19)四、设备维护与保养：（以原水水质与纯水水质而定） (19)附表1：水处理设备运行记录表 (21)附表2：水处理设备维修保养记录表 (22)附录3：售后服务承诺 (23)一、超纯水设备工艺流程图：二、工艺流程说明：1.原水箱原水箱作为储水装置，调节系统进水量与原水泵抽送量之间的不平衡，避免原水泵启停过于频繁，箱内设置液位，原水进水阀根据液位高低进行自动补水，原水泵根据水池液位情况自动启停。
操作：原水箱顶部设置手动及自动电动进水阀，可进行手动及自动补水；手动补水时不受液位控制，只能手动控制。
自动补水阀补水时受液位控制，当水箱液位降到设定中液位时，自动阀开启自动补水；当水箱液位达到设定高液位时，自动阀关闭停止补水，从而达到自动的性能。
2.原水泵作用：原水泵将原水增压后输送到下道工序，保证多介质过滤器、活性炭过滤的操作压力及运行流量。
操作：原水泵可分手动和自动操作，自动运行时，原水泵将与原水箱液位联动，原水箱液位低时原水泵停止运行，中水位时重新启动；手动操作时除原水箱液位液位不与原水泵连锁外，其他和自动一样；其他有关说明及注意事项详见水泵说明书。
3.多介质过滤器作用：在水质预处理系统中，多介质过滤器压力容器内不同粒径的石英砂按一定级配装填，经絮凝的原水在一定压力下自上而下通过滤料层，从而使水中的悬浮物得以截留去除，多介质过滤器能够有效去除原水中悬浮物、细小颗粒、全价铁及胶体、菌藻类和有机物。
超纯水系统工艺流程图
图 3 常用的一级RO+二级EDI+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度高,有机物含量高,电导率高〔小于1000μs/cm〕,要求产水电阻率18～18.2MΩ·cm的超纯水系统图 4常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度高,有机物含量高,电导率〔小于1000μs/cm〕,要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统
符号说明:
P Pc F R C
电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关
FK
图 5 常用的一级RO+二级EDI电子+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度低,有机物含量低,电导率高〔小于1000μs/cm〕,要求产水电阻率18～18.2MΩ·cm的超纯水系统
图 6 常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度低,有机物含量低,电导率高〔小于1000μs/cm〕,要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统图 7是常用的一级EDI全系统组成图.
图 7 常用的产水水质稳定的二级RO+一级EDI+MB电子Ⅰ级超纯水系统组成图
适合于源水硬度低,有机物含量高,电导率 <1000μs/cm,即TDS < 500ppm时,要求产水电阻率18～18.2MΩ·cm的纯水系统
图 8 常用的产水水质稳定的二级RO+一级EDI电子Ⅱ级超纯水系统组成图
适合于源水硬度低,有机物含量高,电导率<1000μs/cm,即TDS < 500ppm时,要求产水电阻率15～18.0MΩ·cm的的纯水系统
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超纯水工艺流程图
超纯水工艺流程图超纯水是一种纯度非常高的水，可以用于很多领域，如实验室研究、医疗设备、电子芯片制造等。
下面将为大家介绍一种超纯水的工艺流程图。
超纯水的工艺流程主要包括原水处理、预处理、离子交换、RO脱盐、混合床脱盐、电极去离子、精处理等几个步骤。
首先，我们需要获取源水，通常是自来水或地下水。
这些源水中含有各种杂质，如颗粒物、有机物、重金属、微生物等。
为了去除这些杂质，我们需要进行原水处理。
原水处理主要包括混凝、沉淀、过滤、消毒等步骤，以去除悬浮物、颗粒物和微生物。
接下来，我们需要对原水进行预处理。
预处理是为了进一步去除水中的有机物和溶解物，并保护后续的设备。
预处理的步骤包括活性炭吸附、软化剂处理、混凝沉淀等。
然后，我们需要进行离子交换。
离子交换是将水中的阳离子和阴离子通过离子交换树脂进行吸附，以达到去除溶解物和降低电导率的目的。
离子交换后的水称为脱盐水。
接着，脱盐水需要进行RO脱盐处理。
RO（反渗透）是通过使用半透膜来分离溶液中的溶质和溶剂的过程。
在RO脱盐处理中，脱盐水被推向高压侧，溶质被截留在低压侧的半透膜上，以获得更高纯度的水。
随后，我们需要进行混合床脱盐处理。
混合床脱盐是通过将阳离子和阴离子交换树脂混合在一起，以进一步去除水中的离子杂质。
混合床可以有效地去除溶解性杂质，如硅酸、二氧化碳等。
然后，我们需要进行电极去离子处理。
电极去离子是使用电解的方法将脱盐水中的离子分解出来，并通过正、负电极进行去除。
这样可以获得更高纯度的水。
最后，我们需要进行精处理。
精处理包括超滤、UV消毒、臭氧氧化等步骤，以去除残留的微生物、有机物和氧化剂等。
通过以上工艺流程，我们最终可以获得纯度非常高的超纯水。
这种水在实验室研究、医疗设备、电子芯片制造等领域有着广泛的应用。
希望本文介绍的超纯水工艺流程图能对大家有所帮助。
（水处理）超纯水系统介绍
（水处理）超纯水系统介绍超纯水系统简介超纯水最初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，如今超纯水已在生物、医药、汽车、半导体等制造领域广泛应用。
这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质。
超纯水是一般工艺很难达到的程度，如水的电阻率大于18MΩ*cm，接近于18.2MΩ*cm则称为超纯水。
系统简介超纯水系统包括4个处理系统：预处理系统；反渗透系统；EDI（混床）系统；精处理系统超纯水系统传统工艺流程：原水箱→原水泵→絮凝剂（PAC）→多介质过滤器（MMF）→活性炭过滤器（ACF）→阳床→预处理水箱→RO送水泵→阻垢剂杀菌剂→RO保安过滤器→一级RO高压泵→一级反渗透→中间水箱→二级RO送水泵→二级RO高压泵→二级反渗透→中间水箱→EDI送水泵→EDI装置（或混床）→混床保安过滤器→杀菌UV紫外线→氮封纯水箱→终端循环泵→除TOC UV装置→抛光混床→终端保安过滤器→终端微滤→循环提升泵→终端用水点→氮封水箱预处理的作用原水箱：主要是缓冲外网自来水供水系统检修的压力，水箱大小可取纯水系统产水量的2-3倍。
多介质过滤器（MMF）：石英砂过滤器可以去除水中的颗粒杂质、悬浮物、通过加入混凝剂（PAC）可以使胶体颗粒絮凝从而降低原水的浊度（NTU）、颗粒（SS）提高原水水质。
活性碳过滤器（ACF）：活性碳吸附器除具有MMF特点外，因装填有大量的表面积和很强吸附力的活性碳，对水中的游离氯吸附率达99%以上，对有机物及色度也有较高的去除率。
阳床：可以将水中的溶解的钙镁离子交换出来，从而降低水的硬度。
超滤（UF）：超滤是以超滤膜为过滤介质，在一定的压力下，当原液流过膜表面时，超滤膜表面密布的许多细小的微孔只允许水及小分子物质可以通过。
作用和多介质过滤器一样。
预处理水箱：主要是缓冲预处理系统反洗再生维修压力，水箱大小可取纯水系统产水量的2-3倍。
纯水系统工艺流程图
产水至中间水箱 浓水至废水站 浓水至浓水箱
高压开关
进水电 动阀 阻垢剂 浓水电动阀
高压泵 低压开关
纯水系统工艺流程图
工业水 原水泵 原 水 箱 反洗泵
正洗污水 反洗I污水 正洗污水 反洗I污水
反 洗 水 箱 还 原 剂 箱 阻 垢 剂 箱 PAC 水 箱 PH 剂 箱
加PAC
介质过滤器
活保 安 过 滤 器
加还原剂
反洗泵 加阻垢剂
RO1膜管
精 密 过 滤 器 紫处线 杀菌
加药剂箱 一级纯水用水点
高压泵 一级 纯水箱
RO1膜管 RO1膜管 RO1膜管 RO1膜管 一级高压泵
二级浓水
RO2膜管 二级纯水箱
精 密 过 滤 器
加PH
RO1膜管 RO1膜管 RO1膜管 RO1膜管
反洗I污水
RO2膜管 RO2膜 二级高压泵
二级纯水 用水点
紫处线 杀菌
高压泵
一级浓水
二级RO浓水 回流
纯水系统工艺流程精简图
箱
加 药
RO
二级高压泵
去105用水点 SMB系统
超纯水增压泵
流程简图
一级高压泵 清浚入口
加 药
超滤水箱
超滤反洗入口
超滤反洗泵 EDI回流
RO1水箱
RO1系统
二级高压泵
清加
洗 回 水
药 补 水
排 清回 放 洗原
回水
水箱
105用水点
膜 滤 器
去103用水点 去106用水点
纯水系统工艺流程简图
RO2浓水 RO1/RO2开机回水
原水
原水箱
阻还 垢原 剂剂
板式换热器
反 清压 洗 洗缩 进 进空 水 水气
盘式过滤 器
超滤器
原水泵 EDI增压泵
清反清 洗洗洗 排排回 水水水
微
RO2水箱
滤
氮 气
SMB 回
EDI膜堆
Байду номын сангаас
氮封水箱
回 清 洗
去 RO1
水水
箱箱
RO2系统
回
回
RO1
原
水
水
箱
超纯水系统工艺流程图
符号说明:P Pc F R C电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关FK图 3 常用的一级RO+二级EDI+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～Ω·cm的超纯水系统符号说明:P Pc F R C电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关FK图 4常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统符号说明:P Pc F R C电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关FK图 5 常用的一级RO+二级EDI电子+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～Ω·cm的超纯水系统符号说明:P Pc F R C电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表不合格排放流变控制开关FK 图 6 常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统图 7是常用的一级EDI 全系统组成图。
电导率表电阻率表流量计压力控制器压力表止回阀球阀电磁阀CR F PcP图 7 常用的产水水质稳定的二级RO+一级EDI+MB 电子Ⅰ级超纯水系统组成图适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率 <1000μs/cm,即TDS < 500ppm 时，要求产水电阻率18～Ω·cm 的纯水系统P Pc F R C电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表图 8 常用的产水水质稳定的二级RO+一级EDI电子Ⅱ级超纯水系统组成图7适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率 <1000μs/cm,即TDS < 500ppm时，要求产水电阻率15～Ω·cm的的纯水系统8。
3T纯化水机工艺流程图(阻垢PH无级间水箱2电导1PH+EDI)
冲洗电磁阀二级高压泵二级纯水电导率仪
一级纯水电导率CDLS4-22040升PE加药箱
PH调节系统注：膜壳为8040-2芯或8040-3芯FRP膜壳。
3T/HEDI水处理系统工艺流程
EDI不合格产水回流纯水箱EDI产水电阻仪
EDI进水电导仪EDI进水合格阀EDI进水压力开关EDI产水合格电磁阀
CF-400出水阀侧出水阀
EDI浓极进水流量调节EDI产水压力
EDI产水取样
CHL16-30¢900*H1850mmFRP¢900*H1850mmFRP过滤精度：5um CDLS8-160
一级RO进口压力
二级RO进口压力二级泵出口超压二级RO出口压力止回阀二级RO回收率调节阀
一级RO出口压力止回阀
RD-02-07
计量泵
一级RO回收率调节阀一级泵出口减压调节阀
二级泵进口低压二级纯水流量计
RO-3T/H两级反渗透纯水机工艺流程图
4寸黑二通4寸黑二通
一级泵出口超压
RD-02-07
计量泵
侧装TMF56D侧装TMF56D
止回阀
40升PE加药箱
阻垢剂添加系统
精滤器进口压力一级泵进口一级泵出口
原水进进水阀低压开关精滤出口压力压力调节阀
冲洗排水冲洗排水
原水增压泵多介质过滤器活性炭吸附过滤器10芯×40英寸保安过滤器一级高压泵
EDI进口压力
EDI不合格进水排放阀
低液位回流原水箱EDI淡水调节
EDI增压泵出口压力
EDI进水止回阀进水排水
RO纯水箱(用户自备) EDI增压水泵EDI产水流量计超纯水箱(用户自备)
CHL4-40
CP-3600 EDI模块
二级反渗透EDI超纯水设备工艺流程图
二级反渗透+EDI超纯水设备工艺流程图1.前言要求如下：1.1纯水水量18MΩ.cm 25 m3/h1.2、系统制备的主要技术参数：前处理产水量: ≥45m3/h;反渗透系统二级反渗透产水量: ≥28m3/h;EDI去离子系统产水量: ≥25m3/h;1.3产水水质指标10m3/h ≥18 MΩ·cm (参照国标EW-Ⅱ)供水压力 0.35Mpa 温度：常温;1.4 系统配置：预处理、二级反渗透、EDI超纯水设备电再生连续除盐装置床。
1.5供水方式：连续产出(24小时运行)。
2. 设计依据莱特莱德郑州水处理设备厂家为新老用户提供。
本电子工业纯水站工程项目设计依据如下：1.原水水质分析资料;2.高纯水的品质要求(产品水水质指标)，以及相关国家标准;3.高纯水的生产规模;4.用户对系统整体水准要求。
2.1 原水水质资料和技术指标表1. 原水水样水质分析报告(供参考)：检测报告表原水：市政自来水检测结果：无2.2 电子级水国家标准4.1 预处理部分目的：为反渗透装置提供合格的进水。
4.1.1原水预处理的目的和组成A.反渗透系统进水要求：（1）污染指数：SDI≤4；（2）余氯： <0.1 ppm（3）浊度 <1NTU（4）供水Fe3+ ≤0.01ppm。
（5）供水水温适宜范围 10～30℃。
（6）碳酸钙饱和指数 LSI：<0B.预处理系统就是通过过滤、吸附等方法使反渗透进水达到以上要求，以实现以下目的：（1）防止反渗透装置膜面结垢（包括CaCO3、CaSO4、SrSO4、CaF2、SiO2、铁铝氧化物等）；（2）防止胶体物质及悬浮固体微粒对反渗透的污堵；（3）防止有机物质的对反渗透的污堵和降解；（4）防止微生物对反渗透的污堵；（5）防止氧化性物质对反渗透膜的氧化破坏；C.预处理系统的组成：包括机械滤器、活性炭滤器。
4.1.2机械滤器机械滤器中的滤料包括多种规格的石英砂，用于除去原水中的悬浮物及及脱稳后的胶体,以使出水的污染指数SDI<4达到RO进水要求。
超纯水系统工艺流程图
P Pc F R C电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关FK图 3 常用的一级RO+二级EDI+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～18.2MΩ·cm的超纯水系统P Pc F R C电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关FK图 4常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统符号说明:P Pc F R C电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关FK图 5 常用的一级RO+二级EDI电子+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～18.2MΩ·cm的超纯水系统符号说明:P Pc F R C电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关FK图 6 常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统图 7是常用的一级EDI 全系统组成图。
电导率表电阻率表流量计压力控制器压力表止回阀球阀电磁阀CR F PcP图 7 常用的产水水质稳定的二级RO+一级EDI+MB 电子Ⅰ级超纯水系统组成图适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率 <1000μs/cm,即TDS < 500ppm 时，要求产水电阻率18～18.2M Ω·cm 的纯水系统P Pc F R C电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表图 8 常用的产水水质稳定的二级RO+一级EDI电子Ⅱ级超纯水系统组成图适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率<1000μs/cm,即TDS < 500ppm时，要求产水电阻率15～18.0MΩ·cm的的纯水系统Word文档。
超纯水制造典型工艺流程展示
反渗透(膜分离)技术的应用使超纯水制备从传统的阳离子交换器、脱碳、阴离子交换器、复合离子交换器、混合近年来开始在国外推广应用的EDI(电去离子)技术，则是超纯水制造技术的一次革命，从此进入了一个无需再生化学品，而能生产出高达18MΩ·CM的超纯水，用于半导体、集成电路等行业。
国家经委也已将RO + EDI 成套技术的应用列入国家重点推广范围，对使用的企业给以政策上的优惠。
沈阳EDI超纯水制造典型工艺流程为：1、预处理-反渗透-纯化水箱-离子交换器-紫外灯-纯水泵-用水点2、预处理-一级反渗透-二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点3、预处理-反渗透-中间水箱-中间水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点4、预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除TOC UV装置→抛光混床→超滤装置→用水点水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)设计原则：品质---依照客户生产所需超纯水的水质要求及生产特点，并考虑水源的水质(需客户提供水质分析报告或源水样品)。
可扩充性—系统分段设计规划，考虑就近用水和生产安全需要，可依照生产线需求随时扩充产能，客户可分阶段投资。
反渗透(膜分离)法超纯水制造技术反渗透是用足够的压力使溶液中的溶剂(一般常指水)通过反渗透膜(一种半透膜)而分离出来，方向与渗透方向相反，可使用大于渗透压的反渗透法进行分离、提纯和浓缩溶液。
反渗透膜的主要分离对象是溶液中的离子范围。
反渗透法分离过程有如下优点：①不需加热、没有相变②能耗少;过程连续稳定③设备体积小、操作简单，适应性强④对环境不产生污染反渗透纯水系统根据不同的源水水质采用不同的工艺。
一般自来水经一级反渗透系统处理后，产水电导率<10-20μS/cm，经二级反渗透系统后产水电导率<5μS/cm甚至更低，在反渗透系统后辅以离子交换设备或EDI设备可以制备超纯水，使电阻率高达18兆欧姆.厘米)。
纯水系统运维方案
超纯水系统运维方案一、概述二、***项目, 超纯水设计规模为日产水量242T/D（超纯水设计规模进水量17.9m³/H）, 主体工艺采用超滤(UF)+两级反渗透(RO)+EDI+高纯抛光混床。
其中超滤系统由1套超滤主机（设计流量15.3m³/H）, 配备2台供水泵（1用1备）, 1套袋式过滤器, 进水以及反洗的杀菌加药装置, 反洗系统, 以及配套仪器仪表和相应出水水箱组成。
反渗透系统则由2台一级RO送水泵（1用1备）、1台进水换热器、1套保安过滤器、1台一级RO高压泵、1套一级反渗透主机（设计流量13.5m³/H）, 1台二级高压泵、一套二级反渗透主机（设计流量11.5m³/H）、膜清洗系统及加药装置、仪器仪表等组成。
EDI系统由2台EDI送水泵（1用1备）, 杀菌、前置过滤, EDI系统（设计流量6m³/H）, 配套仪表以及清洗系统组成。
EDI纯水由纯水泵（2台, 1用1备）经过换热器进入高纯抛光混床, 高纯水经过高纯水精密过滤器送至用水点。
其中原水箱20m³, UF产水箱20m³、反渗透产水箱20m³、RO 浓水箱10m³和纯水箱12m³。
三、工艺说明系统由二部分组成: 超滤系统和反渗透系统a超滤系统工艺流程说明:超滤系统工艺流程图系统由超滤供水泵负责整个超滤系统总供水, 供水来源于调节池, 调节池与供水泵连锁；在自清洗过滤器之前, 设置进水浊度仪和温度传感器, 检查进水浊度和温度, 当进水浊度较高时, 需降低系统回收率, 原水经过自清洗过滤器, 去除水中大颗粒杂质, 过滤器进出水口设计压差计, 当压力差超过设定值后, 过滤器通过其它滤柱产水进行自动反洗, 同时保证不间断供水。
在超滤装置之前, 设计电磁流量计, 用于计量进水量, 对照浓水量从而计算出超滤装置回收率。
超滤装置为系统关键部分, 主要用于分离悬浮物, 胶体微粒和细菌；被截留物在膜表面富集后, 将导致膜通量的下降, 甚至导致膜通量的不可逆恢复, 系统采用错流过滤或浓水回流过滤, 为了保证超滤装置更长的使用寿命和更好的过滤效果, 超滤膜需进行定时反洗、气洗、正洗、化学加强反洗, 就地化学清洗等操作。
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超纯水系统工艺流程图 Final approval draft on November 22, 2020
图 3 常用的一级RO+二级EDI+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～Ω·cm的超纯水系统图 4常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统
符号说明:
P Pc F R C
电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关
FK
图 5 常用的一级RO+二级EDI电子+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～Ω·cm的超纯水系统
图 6 常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统
图 7是常用的一级EDI全系统组成图。
图 7 常用的产水水质稳定的二级RO+一级EDI+MB电子Ⅰ级超纯水系统组成图
适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率 <1000μs/cm,即TDS < 500ppm时，要求产水电阻率18～Ω·cm的纯水系统
图 8 常用的产水水质稳定的二级RO+一级EDI电子Ⅱ级超纯水系统组成图
适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率 <1000μs/cm,即TDS < 500ppm时，要求产水电阻率15～Ω·cm的的纯水系统。