等离子体诊断技术----探针测量共26页文档

等离子体中反应物及其中间产物的种类、密度及
时空分布 N R r,t
等离子体中杂质原子、离子种类密度及其时空分
布
1.3常用的等离子体诊断手段和种类
适用于低温等离子体的诊断手段
诊断手段
可测等离子体参数
利用等离子 体发射的光 波（光谱） 进行诊断
X射线
电子温度、电子密度、离子密度、 等离子不稳定性
将⑦代入⑥式并对θ和V e积分，得到单位时间内打到探针单位 面积上的总电子数Φ：


1 4
Ne
8kTe me
⑧
当探针电压足够高时，探针电流唯一取决于电子密度。这时
饱和电子流 ieo 可以表示为：
ieo Ae
⑨
式中， A ---探针暴露于等离子体中的表面积 e ---电子荷电量
将⑧式代入⑨式有：
100cm3~1014/cm3 0.1eV~几百ev 0.1keV~几个keV
2.1探针的结构
依据不同的用途，可以采用不同的探针进行诊断，但探针
的结构基本相同。
单探针结构示意图
1-铜导线；2-探针；3-第一屏蔽（耐 火玻璃）；4-第二屏蔽（耐火玻璃）； 5-聚四氟外套；6-氧化瓷套
双探针结构示意图
ieo

1 4
Ne
8kTe Ae me
⑩
由⑩式可以得到
Ne

ieo eA
2me kTe
(3)求离子密度N i
⒈在理想情况下（通常情况下），等离子体工作气体 只有一阶电离，或工作气体为纯氢时，有
N i=N e ⒉当等离子体为非纯氢等离子体，且等离子体中不是只有 一阶电离，而且还有高阶电离时，或者等离子体中有负离 子时，N i=N e。
全相同，它们所在局域等离子体参数一致，将⑶式和⑷式相除得：
Ie1 Ie2

exp[eVD ] kTe
⑸
对⑸式两边取对数，再对VD求微商：
1 dIe1 Ie1 dVD

1
Ie2
dI e 2 dVD

e kTe
⑹
并且：
Ie1 I D Iio1
Ie2 Iio2 I D
dI io 1 dVD

dI io 2 dVD
0
所以有：
dI D dVD

e (I D kTe
Iio1)(Iio2 I D ) Iio1 Iio 2
⑺
当ID=0时，有：
dI D dVD
|ID 0
e kTe
Iio1 Iio 2 Iio1 Iio 2
⑻
其中 Iio1 Iio2 Iio
所以有：
从探针的外形，又可把探针分为平板形 探针，圆筒形和球形探针。
探针形状
2.2单探针工作原理
在一般的气体放电研究中，往往利用朗缪尔探针来 测量电子温度、电子密度和离子密度等基本参量， 基本测量原理如下图所示：
1-探针电源；2-电压表； 3-电流表；4-放电真空室； 5-阴极；6-阳极；7-探针； 8-等离子体；9-稳定电阻； 10-放电电源
I D Iio2 Ie2 Ie1 Iio1
⑴
VD Vp1 Vp2
⑵
其中，Ie1和 Ie2分别为探针 1 和探针 2 收集的电子 电流，Ii01和 Ii02分别探针 1和探针 2 收集的离子饱 和流，Vp1和 Vp2分别为探针 1 和探针 2 相对于等 离子体的电位。
设鞘层内的电子能量服从玻尔兹曼分布，鞘层外仍服 从麦克斯韦分布，则探针收集的电子流为：
若把一个金属探针插 入有自由电子和正离 子组成的等离子体。 探针电流为正离子电 流和部分电离子电流 的代数和，即
I I i I e
单探针电压特性
I p-探针电流；V p-探针电压；V f-悬浮电位； V s-等离子体空间电位
区域Ⅱ：离子电流饱和区。此时探针电位远低于等离子体电位， 探针排斥所有电子，唯有正离子才能到达 探针，此时探针电流 即为正离子的饱和电流。


Ve
cos
dN e(v 4
e
)

2
sin
d
⑥
其中，dN e(ve ) v 为打在探针上的，速度为 e dve
范围内的电子密度。
假设电子速度分布符合麦克斯韦分布，则有
dN e(ve )

4v
e
2(
me 2kTe
)3
/
2
exp(
meve 2 2kTe
)dv
e
⑦
其中， Ne ---探针鞘外层外电子密度 Te ---电子温度 me ---电子质量 k --- 玻尔兹曼常数
1.1目的及其在科学中发展中的地位
等离子体诊断诊断：对等离子体性质和状态以及各 种28参量（即表征等离子体性质和状态的物理量的 测量
是等离子体实验研究和等离子体各项应用需要首先 解决的一个问题。
等离子体诊断技术是等离子体科学和技术的重要部 分，是与等离子体科学相伴随，相互促进而同时发 展起来的一个特殊学科和科学领域。
等离子体诊断技术-------静 电探针测量
1、等离子体诊断概述
1.1目的及其在科学中发展的意义 1.2需要诊断的内容（等离子体参数） 1.3常用的等离子体诊断手段和种类 1.4实验的可靠性和误差 1.5干扰与噪声及其消除办法 1.6分辨率
2、静电探针诊断技术
2.1探针的结构 2.2单探针的工作原理 2.3双探针的工作原理
V f：当探针电位增到某一定值V f时，探针电流为零，即I=0，这 时探针好像悬浮在等离子体中一样，这个电位V f称为浮动电位。
区域Ⅲ：当探针电位Vp满足Vf Vp Vs 时，电子和离子都
被捕获，并逐步过渡到电子电流流入区。
区 场域力Ⅳ的作：用当而探依针靠电它位们V p自满己足的V热p 运 动Vs时能，量所到有达电探子针将，不这受时电探
np neo nio 1.653 /eAp

kTe mi
⑾
综上所述，通过双探针能测量的等离子体参数有：电子温度 和等离子体密度（准确的说是离子密度）。
谢谢！
26
双探针测试回路图
1-探针电源；2-电压表；3-电流表；4绝缘体；5-探针；6-等离子体；7-阴极； 8-真空室；9-阳极；10-放电电源；11稳定电阻
其中纵坐标是流过探针的电流 ID，横坐 标是探针间的电压 VD。
（1)求电子温度
显然，两个探针是串联的且没有其他的电流支路， 根据基尔霍夫电流定律，有：
探针的饱和电子流为：
ioi 0.4N i
2kTe Ae mi
所以有
N i
ioi 0.4Ae
mi 2kTe
式中， N i ---离子密度 --探针伏安特性曲线上的饱和离子流
m i ---离子质量
2.3双探针工作原理
探针由扫描电源提供所需电压，通过电 压表和电流表分别测量探针间的电压 V D 和流过探针的电流 I D，将测量数据绘制 成 V-I曲线。如果两个探针完全相同，它 们所在的局部空间的等离子体是均匀的， 井且具有相同的等离子体空间电位，那 么，探针间不存在等离子体空间电位差， 故 V-I 曲线应是关于纵轴对称的。双探针 V-I曲线如下图所示：
2、静电探针诊断技术
发展历史：静电探针称为朗缪尔探针，由朗缪
尔等人于1924年提出，已成为测量等离子体参量 重要工具。另一个里程碑就是双探针技术的发现。
当等离子体密度范围从几个粒子/cm3到大于1014/cm3时，朗 缪尔探针适合在如此宽的等离子体密度范围内服务。
测量参数范围
等离子体密度 等离子体温度 等离子体电位Vp
Ie1

1 4
ene1

v1
Ap1
exp(eVp1 ) kTe1
⑶
Ie2

1 4
ene 2

v2
Ap 2
exp(eVp 2 ) kTe 2
⑷
其中，ne1和 ne2分别表示探针 1 和探针 2 鞘层外的电子密度，v1 和 v 2分别表示探针 l和探针 2 鞘层外电子的平均速度；Ap1和 Ap2 分别表示探针 1 和探针 2 收集电子的有效面积。考虑到两探针完
系统误差Байду номын сангаас
系统误差是由于测量过程中某些确定的因素 使得测量结果和被测量量之间产生偏差。例 如：光电管测量入射光强时存在的暗电流本 底；计数粒子束时，由于探头失效时间而使 计数损失等。
通常偶然误差 已知条件保持恒定变不变时，由于人为 原因造成的读书误差。
随机偶然误差 是等离子体特有的一种误差。
1.5干扰与噪声及其消除方法
真空紫外光谱 电子温度、电子密度、离子温度、 离子密度、中性粒子密度
紫外可见光谱 电子温度、电子密度、离子温度、 离子密度、中性粒子密度
利用激光或 电磁波与等 离子体相互 作用进行等 离子体诊断
激光散射 远红外激光干 涉 微波干涉 激光荧光光谱
电子温度 电子密度
电子温度、电子密度 原子密度、离子密度
干扰：由于外部因素引起的测量对象或测量结果的扰动和 偏差。 噪声：内在因素引起的统计性涨落。
干扰与噪声的来源 干扰来源：空间电磁波、电源的噪声和试验系统本身的
电磁干扰。由于很多等离子体系统是由各种放电产生的，所 以放电对诊断的干扰时不可避免的。 例如：磁探针对磁场的干扰；高温等离子体本身会辐射电磁 波，从无线电波到x射线都有，还有逃逸粒子
探针测量
静电探针测量 电子温度、电子密度、离子温度、 （郎缪探针测 离子密度、等离子体空间电位 量）
粒子测量 质谱
粒子种类和密度
1.4实验的可靠性和误差
误差 偶然误差
偶然误差
偶然误差是各种已知条件保持恒定的情况 下，由于各种不可控因素使测量结果表现 出来的差异。误差来源：测量本身的起伏 和过程中的起伏。统计特性是精密测量误 差的极限。多次测量来减小偶然误差。
1.2需要诊断的内容（等离子参数）
随着等离子体科学和技术及其应用的发展，在低 温等离子体中需要诊断的等离子体参量主要包括：
等离子体中电子温度及其时空分布T e r,t 等离子体中电子密度及其时空分布N e r,t 等离子体中离子温度及其时空分布T i r,t 等离子体中离子密度及其时空分布N i r,t 等离子体中中性原子及其时空分布N o r,t
消除干扰的方法：静电屏蔽、电磁屏蔽、静磁屏蔽
1.6分辨率
在等离子体诊断中，分辨率是一个表示测量 精确程度的物理量，包括被测物理量大小的 分辨率和时间空间分辨率。
被测物理量大小的分辨率：指的是被测数据相差多大程度，
才能通过测量手段区别或鉴别出来。
时间空间分辨率：指的是所测物理量大小随时间和空间
变化的最小尺度。
dI D dVD
|ID 0
eI io 2kTe
⑼
由上式可以得到等离子体中电子温度表达式为：
kTe

eI io
2
dVD dI D
|I D 0
⑽
由⑽式可知，只要求得探针曲线过零点处的斜率便可以得到
电子温度。
(2)求等离子密度Np
由于双探针只能收集到离子饱和流，故只能计算离子密度作 为等离子体密度，计算方法与单探针相同，等离子体密度表 达式为：
当探针电压为V时，探针上的电子电流为
eV
ie

i e kTe eo
③
其中，ieo为最大电子电流
(1)求T e表达式 对③式两边取对数，有
eV kTe
ln ieo ln ie
④
所以有
Te

e dV k d ln ie
⑤
（2）求电子密度Ne
假设单位时间内，以速度v e与探针表面法线方向成θ角运动的电子， 与探针表面单位面积单位时间内碰撞的次数Ψ为：
针电流趋向于另一种饱和，即电子的饱和电流。
在曲线Ⅲ阶段，电子和离子都被捕集，但离子电流比电子
电流小得多。假定电子速度服从麦克斯韦分布，则电子密
度为：
eV
N e N 0e kTe
①
其中
V Vs Vp
②
式中 V —探针相对于等离子体电位
V s—等离子体空间电位 V p—探针电位 N e—电子密度 N 0—中性原子密度 kT —电子温度