真空蒸镀操作流程

真空蒸镀实验

操作步骤：

1.先打开循环水的总开关，再打开循环水开关，转180度，待10秒

钟后循环水流稳定后再转15～10度，在实验过程中，要时常检查循环水是否工作正常，观察出水口是否有水流出。

2.打开总电源开关，在真空操作单元界面把旋钮由停旋至充气，待

充气完毕后，升真空罩，同时一手扶着真空罩一手抓紧旋钮。

3.将蒸发源安装在电极上，取出衬底托，将衬底安放在衬底托上，

当好挡板，在此过程中，切忌碰撞到石英振荡器。

4.检验石英振荡器是否正常，观察膜厚仪表上对应的绿色指示灯是

否亮着，亮即表示振荡器正常。把调压器界面的旋钮由关旋至蒸发1，调节蒸发电流，看电流表的示数是否显示正常。

5.将旋钮调至机械泵—分子泵档，打开热偶规至V2测量档，开启机

械泵，拉出低阀，间隔2分钟左右，推进低阀，如此反复两三次，待热偶规表示数达到10Pa时，推进低阀，打开高阀，打开分子泵电源，开启分子泵，待分子泵的指示灯由加速显示为正常时，同时热偶规示数为0.1Pa时，打开灯丝（打开灯丝之前旋钮在10-1档），当电离规仪表示数小于1时，调节量程旋钮至10-2档，当电离规仪表示数小于1时，调节量程旋钮至10-3档，待示数在6以下时，将量程旋钮重新调至10-1档，然后关灯丝。

6.把调压器界面的旋钮由关调至蒸发1档，25A时停25～30秒，缓

慢地调节增加电流。

7.待蒸发完毕后，将调压器电流控制按钮缓慢旋至0，关闭蒸发电源，

关闭膜厚仪，关高阀，停止分子泵（15分钟后），关闭分子泵电源，拉开低阀，关热偶规，对真空罩充气，打开真空罩，取出样品，盖上真空罩，开启机械泵对真空罩抽气，约5分钟后，将低阀推入，十分钟后，拉出低阀，停止机械泵，切断总电源，关闭循环水。