去离子水质量标准
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指标/级别EW-I EW-II EW-III EW-IV
18以上(95%时
电阻率M ω·cm(25℃)
15(95%时间)不低于13120.5
间)不低于17
全硅，最大值，μg/L210501000
1 μm微粒数，最大值，个
0.1510500
/mL
细菌个数，最大值，个/mL0.010.110100铜，最大值，μg/L0.212500锌，最大值，μg/L0.215500镍，最大值，μg/L0.112500钠，最大值，μg/L0.5251000钾，最大值，μg/L0.525500氯，最大值，μg/L11101000硝酸根，最大值，μg/L115500磷酸根，最大值，μg/L115500硫酸根，最大值，μg/L115500总有机碳，最大值，μg/L201002001000去离子水选用标准：
一般可根据去离子水的电导率确定去离子水质量：电导率高，水中其它杂质离子的含量必然高，若电导率低于0.056us/cm，其它杂质离子基本没有了，即达到理论上可以达到的纯度。比如：地下水或自来水的电导率在150-3000us/cm之间，不同地区有所不同，一般南方水源电导率低，北方电导率高。纯净水电导率：5-10us/cm，蒸馏水电导率：3-5us/cm，
去离子水电导率0.1-1us/cm，超纯水电导率：0.056us/cm（是指在线检测值，且是按标准流动状态下测试，受空气污染后就达不到这个值了）
根据用途来选用去离子水：
电池用去离子水标准：电导率<1us/cm，一般可用于电池加水，电池配料，叉车电瓶加水，配制电解液，配制各种冷却液。
实验室用去离子水标准：电导率<0.5us/cm。