纳米润滑膜厚度测量仪
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
可大范围调速，以研 究润滑状态的转变。 测量精度高，与实际 工况接近。
研究背景
1967， Gohar 和 Cameron首次应用光干涉法于润滑膜厚 测量， 分辨率100nm（不能小于1/4波长）
1987， Spikes 和Gao，Al2O3垫层法，分辨率10nm（斜垫 层制作困难） 1991年， Johnston ，Wayte和Spike等，改进垫层设计， 光谱分析技术，分辨率5nm（水平方向分辨率低100um） 1992年，雒建斌、黄平和温诗铸，相对光强法，法向分辨 率0.5nm, 水平分辨率 1.0um。
膜厚分辨率与光干涉强度的关系
研究过程
0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200
-40
-30 -2
0-1 0 Y
0 1 0 μ m 20 30 40
30 20 0 0 1 m 口 μ 10 > 出 20- x —— -30 口 入
接触区 a-b-c-d的膜厚分布
膜厚 nm
1. 人 员
固定人员62人，其中教授14名，副教授36名, 在站 博士后15 人。 拥有中国科学院院士：温诗铸 俄罗斯工程院外籍院士：陈大融 俄罗斯自然科学院外籍院士：金元生 长江学者特聘教授：雒建斌 国家杰出青年基金获得者：雒建斌、孟永钢 跨/新世纪人才基金获得者：雒建斌、路新春、何永勇
实验室管理机构
什么是薄膜润滑的定义?
Granick’s 问题 (Science, 1991)
这种超薄膜的有效粘度如何确定?
当膜很薄时怎样从液态转变为固态?
为什么这种固体膜能承受持续的滑动？
研究背景
1992年国际摩擦学大会重点讨论 1993年国内摩擦学大会命名
理论意义－整个润滑体系建立的关键
实际意义－低速、重载、高温及采用低粘度润 滑介质的机械及精密机械中。
薄膜润滑计算 – Tichy, Thompson, Robbins, Hu, Popov, et al.
研究背景
润滑膜厚度是衡量润滑性能和润滑状态 的重要参数。
常用测量方法：电容法（分辨率<0.1m m） 电阻法（量化困难）
光干涉法（分辨率高）
研究背景
纳米膜厚测量仪
研究纳米薄膜成膜机 理及摩擦学特性。
性能指标:
垂直分辨率: 0.5 nm 水平分辨率: 1.5 m
NGY-2原理图
研究过程
1.0 1.0
Resolution of film thoickness /nm
Resolution of film thoickness /nm
0.8
=700 nm =600 nm =450 nm
0.8
实验室专家委员会
首席咨询专家： 熊有伦 院士，华中科技大学 徐滨士 院士，装甲兵工程学院 范守善 院士，清华大学 特邀咨询专家：
桂长林 教授，合肥工业大学 Jiang, Xiangqian, Professor, University of Huddersfield, UK 金元生 教授，俄罗斯自然科学院外籍院士，清华大学 Daisuke Konno, Dr., ETT, Japan 李诗卓 研究员， 中科院沈阳金属所 Li, Yuzhuo, Professor of Chemistry, Clarkson University, USA 刘家俊 教授，清华大学 Patrick Wong, Associate Professor, City University of Hong Kong 王成焘 教授，上海交通大学 赵 源 教授级高工，武汉材料保护研究所
研究的关键是实现稳定的薄膜润滑状态并测量
研究背景
薄膜润滑实验 – Spikes’s group (UK) – Luo’s group (hoslovakia) – Israelachvili’s group (USA) – Granick’s group (USA)
研究过程
技术关键：
1
如何得到稳定的纳米润滑薄膜？
球盘系统，降低卷吸速度，低速稳定电机，加工精 度，钢球定位，柔性皮带传动、柔性轴连接、钢 球浮动 2 3 如何获得稳定、清晰的干涉图像？
光源选择、光路设计 如何得到准确的润滑膜厚度及形状？ 相对光强法
改进
1. 改进了驱动系统和控制部分； （提高驱动精度、平稳性、 电机自动控制）
实验室学术委员会
学术委员会名誉主任：谢友柏 院士，上海交通大学 学术委员会主任：钟 掘 院士，中南大学 副主任：薛群基 院士，中国科学院兰州化学物理研究所 张嗣伟 教授，石油大学 委员： 陈大融 教 授 清华大学， 葛世荣 教 授 中国矿业大学 郭东明 教 授 大连理工大学， 郭万林 教 授 南京航空航天大学 胡元中 研究员 清华大学， 黄 平 教 授 华南理工大学 雷源忠 教 授 基金委员会， 李 健 高高工 武汉材料保护所 李 曙 研究员 中科院金属所， 林忠钦 教 授 上海交通大学 罗继伟 高高工 洛阳轴承所， 史铁林 教 授 华中科技大学 孙立宁 教 授 哈尔滨工业大学， 严新平 教 授 武汉理工大学 赵亚溥 研究员 中科院力学所， 周仲荣 教 授 西南交通大学 秘书：路新春 研究员，清华大学
纳米润滑膜厚测试仪
郭丹
清华大学摩擦学国家重点实验室
课程内容
1．摩擦学实验室简介； 2．摩擦学的研究背景；纳米膜厚测量仪 的项目研究背景； 3．介绍纳米膜厚测量仪的研究过程； 4．纳米膜厚测量仪的改进； 5．纳米膜厚测量仪在科研中的作用； 6. 成果； 7．参观仪器设备；
实验室的基本情况
清华大学摩擦学国家重点实验室建于1988 年，1991年通过了第一次评估。 实验室目前的使用面积为1500 M2，目前有 设备仪器314台套，设备仪器总资产约2000万 元。 博士后10名左右，博士35名，硕士35名， 共计80名。
解决办法： 修正、相对位置
研究过程
测量系统设计方案
光源、光路设计、CCD接收、图像采集
机械装置设计方案
润滑液粘度、加工精度）
如何实现稳定的薄膜润滑状态?（球盘系统、卷吸速度、
运动功能实现，驱动方式设计
软硬件（支持所有功能）
研究过程
NGY－2 型纳米级膜厚测量仪
镀有铬膜的玻璃盘 A 和钢球 B
3. 本项目研究背景
摩擦学----研究相对运动的作用表面间的摩擦、磨损 和润滑，以及三者间相互关系的理论与应用的一门边 缘学科。
▲ 摩擦--相对运动的物体表面间的相互阻碍作用现象；
▲ 磨损--由于摩擦而造成的物体表面材料的损失或转移； ▲ 润滑--减轻摩擦和磨损所应采取的措施；
研究背景
世界上使用的能源大约有 1/3~1/2 消耗于摩擦。
之间为待测润滑膜。
电机 H1 通过皮带带动传动轴J 转动，从而实现球驱动。 电机 H2 通过皮带轮驱动盘。 千分尺 G 可带动支座 D、C和钢 球 B 沿径向移动和定位。 砝码 F 对钢球和玻璃盘之间的 油膜加载。 显微镜 K 与三维工作台 L 可做 三维运动。
研究过程
实物照片
研究过程
解决办法：采用相对光强法，用无油膜时的 光强标定。
研究过程
2 . 多光束干涉问题 （由于金属的反射率比较高，因
此存在多光束干涉的可能，将影响计算精度）
解决办法：降低二次反射
光强，增强一次反射光强， 计算光透反射光强，设计 最优方案，镀增透膜 （MgF）、反射膜（铬）。
研究过程
3.干扰与误差(光场不均匀，外界干扰）
研究背景
什么是薄膜润滑？
流体动力润滑(1886) 弹 流 润 滑 (1950s) 边界润滑 (1921) 干摩擦(Coulomb,1785) ？
问题:
该区域是什么状态？ 润滑机理是什么? 这个区域与弹流润滑和边界润滑是什么关系?
研究背景
Jost’s 问题 (Tribology 2000):
主要研究：微器件加工和测量技术。其中包括：激光测量 技术、亚纳米光滑表面测量技术、微光电器件制造技术、 高性能光学器件制备技术。
摩擦学的来历
1）学科简介 －－摩擦学
摩擦学 Tribology 来源于希腊字 Tribos, 含义为摩擦 的科学 (The science of rubbing) 1964~1966年之间，受英国政府资助，由H.P.Jost所 主持的一个润滑工程工作组调查表明：全世界的能 源有1/3~1/2 消耗于摩擦和磨损方面。在1966年呈交 的报告(著名的Jost报告)中，建议设立一个研究学科 称为Tribology。中文译为摩擦学。
n=1.5 n=1.47 n=1.4
0.6
0.6
0.4
0.4
0.2
0.2
0.0 20 40 60 80 100 120 140 160 180
0.0 20 40 60 80 100 120 140 160 180
Optical intensity
Optical intensity
(a) 不同波长
(b) 不同折射率
机械产品的60%由于磨损超过限度而报废。
减少摩擦 减少磨损 节省能源； 降低设备维修次数和费用，节省制造零 件及其所需材料的费用。
研究背景
现代摩擦学发展的重要方向－薄膜润滑 （膜厚：1 nm~100 nm)
低速、重载、高温及采用低粘度润滑介质(如水基润 滑液）的机械及精密机械中，摩擦副之间的润滑膜常 处于十几个到几十个纳米厚度的薄膜润滑状态，薄膜 润滑就是研究这种状态下的润滑性能及机理，其中的 关键问题是纳米级润滑膜厚度测量技术。（应用背景）
测试原理
相对光强原理
h [arccos( I ) ] 4n 2 I I max I min I I max I min
研究过程
立项 1992年，国家自然科学基 金，纳米级薄膜测量技术 研究，申请者:黄平, 项目 参加者：雒建斌、郭炎， 申请经费：5.2万元
研究过程
2. 重点发展方向
3) 微纳制造理论与技术
主要研究：原子级光滑表面制备技术；微机械力学性能与 失效机制；微型驱动器和执行器设计理论与制造技术。
4) 智能与生物机械设计理论和控制技术
主要研究：生物机械设计、生物信息检测；超精密机械系 统误差分析及补偿技术；智能机械结构设计及其在精密机 械中的应用；微机械性能分析与设计。 5) 微纳光电测试理论与技术
名誉主任：温诗铸 院士 主 任：雒建斌 教授 副 主 任：孟永钢(常务)、陈恳、巩马理 、季林红 中心实验室（摩擦学研究所）所长：雒建斌 副所长：邵天敏 （常务）、孟永钢、褚福磊 书记：汪家道 秘书：路新春 固定人员：中科院院士 1人，俄罗斯工程院外籍院士1人，教授 8人，副高9人，其它8人，共25人。 微纳制造研究室主任：陈恳 副主任：王立平、杨向东 固定人员：教授3人，副教授14人，共17人。 智能与生物机械研究室主任：季林红 副主任：阎绍泽、贾晓红 固定人员：教授1人，副教授9人，共10人。 微纳光电子技术研究室主任：巩马理 副主任：柳强 固定人员：教授2人，副教授3人，讲师4人，共9人。
研究目标
建成纳米级膜厚的光干涉测量装置。
拟解决的关键问题
加工装置的精度；光谱分析、图象处理；微机 处理；标定。 创新
把薄膜测试提高到纳米级。
研究过程
技术路线、研究步骤、可行性分析、研究工作安排
研究过程
问题：
1.光透反射过程的相位变化 (除油膜厚度 h 引起光程
差变化外，铬膜和钢球表面反射也引起二者相位差变化， 需要考虑。）
光干涉法测量润滑膜厚的基本原理
利用反射光 I 和反射光 II 形成的干涉条纹，确定 油膜厚度（传统光干涉 法）。
在同级的最亮条纹与最暗条纹之 间，干涉光强是随光强差也就是 润滑膜厚而变化的。因此，任一 点的润滑膜厚取决于该点光强在 最大光强和最小光强之间的相对 位置以及无润滑油膜时的光强值。 （相对光强法）
2. 重点发展方向
1) 摩擦学理论与技术 主要研究：摩擦学的基本理论、关键技术和应用。其中 包括：薄膜润滑与分子膜润滑理论和技术；纳米摩擦学； 摩擦控制；磨损机理与抗磨技术；自修复技术和电流变 技术；转子--轴承系统动力学与故障诊断。
2) 表面与界面理论与技术 主要研究：表面形态效应、高性能的耐磨、减摩涂层制 备技术；超薄膜制备技术、超硬膜制备技术、复合薄膜 技术。
2. 润滑油微量循环，可温控； 3. 增加了摩擦力测试系统； 4. 开发了Windows界面下的油 膜测量程序； 垂直分辨率: 0.5 nm 速度: 0.2~1900 mm/s
研究背景
1967， Gohar 和 Cameron首次应用光干涉法于润滑膜厚 测量， 分辨率100nm（不能小于1/4波长）
1987， Spikes 和Gao，Al2O3垫层法，分辨率10nm（斜垫 层制作困难） 1991年， Johnston ，Wayte和Spike等，改进垫层设计， 光谱分析技术，分辨率5nm（水平方向分辨率低100um） 1992年，雒建斌、黄平和温诗铸，相对光强法，法向分辨 率0.5nm, 水平分辨率 1.0um。
膜厚分辨率与光干涉强度的关系
研究过程
0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200
-40
-30 -2
0-1 0 Y
0 1 0 μ m 20 30 40
30 20 0 0 1 m 口 μ 10 > 出 20- x —— -30 口 入
接触区 a-b-c-d的膜厚分布
膜厚 nm
1. 人 员
固定人员62人，其中教授14名，副教授36名, 在站 博士后15 人。 拥有中国科学院院士：温诗铸 俄罗斯工程院外籍院士：陈大融 俄罗斯自然科学院外籍院士：金元生 长江学者特聘教授：雒建斌 国家杰出青年基金获得者：雒建斌、孟永钢 跨/新世纪人才基金获得者：雒建斌、路新春、何永勇
实验室管理机构
什么是薄膜润滑的定义?
Granick’s 问题 (Science, 1991)
这种超薄膜的有效粘度如何确定?
当膜很薄时怎样从液态转变为固态?
为什么这种固体膜能承受持续的滑动？
研究背景
1992年国际摩擦学大会重点讨论 1993年国内摩擦学大会命名
理论意义－整个润滑体系建立的关键
实际意义－低速、重载、高温及采用低粘度润 滑介质的机械及精密机械中。
薄膜润滑计算 – Tichy, Thompson, Robbins, Hu, Popov, et al.
研究背景
润滑膜厚度是衡量润滑性能和润滑状态 的重要参数。
常用测量方法：电容法（分辨率<0.1m m） 电阻法（量化困难）
光干涉法（分辨率高）
研究背景
纳米膜厚测量仪
研究纳米薄膜成膜机 理及摩擦学特性。
性能指标:
垂直分辨率: 0.5 nm 水平分辨率: 1.5 m
NGY-2原理图
研究过程
1.0 1.0
Resolution of film thoickness /nm
Resolution of film thoickness /nm
0.8
=700 nm =600 nm =450 nm
0.8
实验室专家委员会
首席咨询专家： 熊有伦 院士，华中科技大学 徐滨士 院士，装甲兵工程学院 范守善 院士，清华大学 特邀咨询专家：
桂长林 教授，合肥工业大学 Jiang, Xiangqian, Professor, University of Huddersfield, UK 金元生 教授，俄罗斯自然科学院外籍院士，清华大学 Daisuke Konno, Dr., ETT, Japan 李诗卓 研究员， 中科院沈阳金属所 Li, Yuzhuo, Professor of Chemistry, Clarkson University, USA 刘家俊 教授，清华大学 Patrick Wong, Associate Professor, City University of Hong Kong 王成焘 教授，上海交通大学 赵 源 教授级高工，武汉材料保护研究所
研究的关键是实现稳定的薄膜润滑状态并测量
研究背景
薄膜润滑实验 – Spikes’s group (UK) – Luo’s group (hoslovakia) – Israelachvili’s group (USA) – Granick’s group (USA)
研究过程
技术关键：
1
如何得到稳定的纳米润滑薄膜？
球盘系统，降低卷吸速度，低速稳定电机，加工精 度，钢球定位，柔性皮带传动、柔性轴连接、钢 球浮动 2 3 如何获得稳定、清晰的干涉图像？
光源选择、光路设计 如何得到准确的润滑膜厚度及形状？ 相对光强法
改进
1. 改进了驱动系统和控制部分； （提高驱动精度、平稳性、 电机自动控制）
实验室学术委员会
学术委员会名誉主任：谢友柏 院士，上海交通大学 学术委员会主任：钟 掘 院士，中南大学 副主任：薛群基 院士，中国科学院兰州化学物理研究所 张嗣伟 教授，石油大学 委员： 陈大融 教 授 清华大学， 葛世荣 教 授 中国矿业大学 郭东明 教 授 大连理工大学， 郭万林 教 授 南京航空航天大学 胡元中 研究员 清华大学， 黄 平 教 授 华南理工大学 雷源忠 教 授 基金委员会， 李 健 高高工 武汉材料保护所 李 曙 研究员 中科院金属所， 林忠钦 教 授 上海交通大学 罗继伟 高高工 洛阳轴承所， 史铁林 教 授 华中科技大学 孙立宁 教 授 哈尔滨工业大学， 严新平 教 授 武汉理工大学 赵亚溥 研究员 中科院力学所， 周仲荣 教 授 西南交通大学 秘书：路新春 研究员，清华大学
纳米润滑膜厚测试仪
郭丹
清华大学摩擦学国家重点实验室
课程内容
1．摩擦学实验室简介； 2．摩擦学的研究背景；纳米膜厚测量仪 的项目研究背景； 3．介绍纳米膜厚测量仪的研究过程； 4．纳米膜厚测量仪的改进； 5．纳米膜厚测量仪在科研中的作用； 6. 成果； 7．参观仪器设备；
实验室的基本情况
清华大学摩擦学国家重点实验室建于1988 年，1991年通过了第一次评估。 实验室目前的使用面积为1500 M2，目前有 设备仪器314台套，设备仪器总资产约2000万 元。 博士后10名左右，博士35名，硕士35名， 共计80名。
解决办法： 修正、相对位置
研究过程
测量系统设计方案
光源、光路设计、CCD接收、图像采集
机械装置设计方案
润滑液粘度、加工精度）
如何实现稳定的薄膜润滑状态?（球盘系统、卷吸速度、
运动功能实现，驱动方式设计
软硬件（支持所有功能）
研究过程
NGY－2 型纳米级膜厚测量仪
镀有铬膜的玻璃盘 A 和钢球 B
3. 本项目研究背景
摩擦学----研究相对运动的作用表面间的摩擦、磨损 和润滑，以及三者间相互关系的理论与应用的一门边 缘学科。
▲ 摩擦--相对运动的物体表面间的相互阻碍作用现象；
▲ 磨损--由于摩擦而造成的物体表面材料的损失或转移； ▲ 润滑--减轻摩擦和磨损所应采取的措施；
研究背景
世界上使用的能源大约有 1/3~1/2 消耗于摩擦。
之间为待测润滑膜。
电机 H1 通过皮带带动传动轴J 转动，从而实现球驱动。 电机 H2 通过皮带轮驱动盘。 千分尺 G 可带动支座 D、C和钢 球 B 沿径向移动和定位。 砝码 F 对钢球和玻璃盘之间的 油膜加载。 显微镜 K 与三维工作台 L 可做 三维运动。
研究过程
实物照片
研究过程
解决办法：采用相对光强法，用无油膜时的 光强标定。
研究过程
2 . 多光束干涉问题 （由于金属的反射率比较高，因
此存在多光束干涉的可能，将影响计算精度）
解决办法：降低二次反射
光强，增强一次反射光强， 计算光透反射光强，设计 最优方案，镀增透膜 （MgF）、反射膜（铬）。
研究过程
3.干扰与误差(光场不均匀，外界干扰）
研究背景
什么是薄膜润滑？
流体动力润滑(1886) 弹 流 润 滑 (1950s) 边界润滑 (1921) 干摩擦(Coulomb,1785) ？
问题:
该区域是什么状态？ 润滑机理是什么? 这个区域与弹流润滑和边界润滑是什么关系?
研究背景
Jost’s 问题 (Tribology 2000):
主要研究：微器件加工和测量技术。其中包括：激光测量 技术、亚纳米光滑表面测量技术、微光电器件制造技术、 高性能光学器件制备技术。
摩擦学的来历
1）学科简介 －－摩擦学
摩擦学 Tribology 来源于希腊字 Tribos, 含义为摩擦 的科学 (The science of rubbing) 1964~1966年之间，受英国政府资助，由H.P.Jost所 主持的一个润滑工程工作组调查表明：全世界的能 源有1/3~1/2 消耗于摩擦和磨损方面。在1966年呈交 的报告(著名的Jost报告)中，建议设立一个研究学科 称为Tribology。中文译为摩擦学。
n=1.5 n=1.47 n=1.4
0.6
0.6
0.4
0.4
0.2
0.2
0.0 20 40 60 80 100 120 140 160 180
0.0 20 40 60 80 100 120 140 160 180
Optical intensity
Optical intensity
(a) 不同波长
(b) 不同折射率
机械产品的60%由于磨损超过限度而报废。
减少摩擦 减少磨损 节省能源； 降低设备维修次数和费用，节省制造零 件及其所需材料的费用。
研究背景
现代摩擦学发展的重要方向－薄膜润滑 （膜厚：1 nm~100 nm)
低速、重载、高温及采用低粘度润滑介质(如水基润 滑液）的机械及精密机械中，摩擦副之间的润滑膜常 处于十几个到几十个纳米厚度的薄膜润滑状态，薄膜 润滑就是研究这种状态下的润滑性能及机理，其中的 关键问题是纳米级润滑膜厚度测量技术。（应用背景）
测试原理
相对光强原理
h [arccos( I ) ] 4n 2 I I max I min I I max I min
研究过程
立项 1992年，国家自然科学基 金，纳米级薄膜测量技术 研究，申请者:黄平, 项目 参加者：雒建斌、郭炎， 申请经费：5.2万元
研究过程
2. 重点发展方向
3) 微纳制造理论与技术
主要研究：原子级光滑表面制备技术；微机械力学性能与 失效机制；微型驱动器和执行器设计理论与制造技术。
4) 智能与生物机械设计理论和控制技术
主要研究：生物机械设计、生物信息检测；超精密机械系 统误差分析及补偿技术；智能机械结构设计及其在精密机 械中的应用；微机械性能分析与设计。 5) 微纳光电测试理论与技术
名誉主任：温诗铸 院士 主 任：雒建斌 教授 副 主 任：孟永钢(常务)、陈恳、巩马理 、季林红 中心实验室（摩擦学研究所）所长：雒建斌 副所长：邵天敏 （常务）、孟永钢、褚福磊 书记：汪家道 秘书：路新春 固定人员：中科院院士 1人，俄罗斯工程院外籍院士1人，教授 8人，副高9人，其它8人，共25人。 微纳制造研究室主任：陈恳 副主任：王立平、杨向东 固定人员：教授3人，副教授14人，共17人。 智能与生物机械研究室主任：季林红 副主任：阎绍泽、贾晓红 固定人员：教授1人，副教授9人，共10人。 微纳光电子技术研究室主任：巩马理 副主任：柳强 固定人员：教授2人，副教授3人，讲师4人，共9人。
研究目标
建成纳米级膜厚的光干涉测量装置。
拟解决的关键问题
加工装置的精度；光谱分析、图象处理；微机 处理；标定。 创新
把薄膜测试提高到纳米级。
研究过程
技术路线、研究步骤、可行性分析、研究工作安排
研究过程
问题：
1.光透反射过程的相位变化 (除油膜厚度 h 引起光程
差变化外，铬膜和钢球表面反射也引起二者相位差变化， 需要考虑。）
光干涉法测量润滑膜厚的基本原理
利用反射光 I 和反射光 II 形成的干涉条纹，确定 油膜厚度（传统光干涉 法）。
在同级的最亮条纹与最暗条纹之 间，干涉光强是随光强差也就是 润滑膜厚而变化的。因此，任一 点的润滑膜厚取决于该点光强在 最大光强和最小光强之间的相对 位置以及无润滑油膜时的光强值。 （相对光强法）
2. 重点发展方向
1) 摩擦学理论与技术 主要研究：摩擦学的基本理论、关键技术和应用。其中 包括：薄膜润滑与分子膜润滑理论和技术；纳米摩擦学； 摩擦控制；磨损机理与抗磨技术；自修复技术和电流变 技术；转子--轴承系统动力学与故障诊断。
2) 表面与界面理论与技术 主要研究：表面形态效应、高性能的耐磨、减摩涂层制 备技术；超薄膜制备技术、超硬膜制备技术、复合薄膜 技术。
2. 润滑油微量循环，可温控； 3. 增加了摩擦力测试系统； 4. 开发了Windows界面下的油 膜测量程序； 垂直分辨率: 0.5 nm 速度: 0.2~1900 mm/s