日本精工SPA-400原子力显微镜说明书(中文版)-B(M-5)
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使用EC样品槽或密封样品槽进行液下AFM/电化学AFM测定/液下DFM测定时，因样品槽及各专用Cantilever支架的构造所限，可移动的范围变小了。
上面
从正面看1）
安全开关
是给scanner加高压电（±200V）的ON/OFF开关。取下激光光头部分时，自动断开，以确保更换scanner等作业时的安全。
正面
从正面看1）2）
显示信号转换开关
切换[2 盘面仪表]中显示的信号种类的开关。可选择的信号有以下3种。
ADD
进入photo detector的全光量的电压
DIF
Cantilever挠曲方向上的差分输出电压
FFM
cantilever扭曲方向上的差分输出电压
盘面仪表
表示[1显示信号转换开关]所选择的信号值（单位:V）。
注意触电！
请不要直接用手指触摸。带有最大±200V的高压电。虽然设有安全机构，但要充分注意。
电化学液体样品槽连接
在进行下列各种测定时，与所使用的Cantilever支架的电缆（插头）相连。
测定方式
Cantilever支架等
电化学AFM
EC样品槽、密封样品槽
（样品槽连接电缆）
电化学STM
EC样品槽（样品槽连接电缆）
LASER X旋钮
对于cantilever来讲，它是调整激光照射位置的旋钮。转动旋钮，激光光点的位置沿X（左右）方向移动。
LASER Y旋钮
对于cantilever来讲，它是调整激光照射位置的旋钮。转动旋钮，激光光点的位置沿Y（前后）方向移动。
AFM/FFMcantilever支架（AFM支架）
标准附带数量：1
使用光学显微镜进行从正上方观察2）。光学显微镜图象被显示在显示器上，因此很容易进行激光光轴的调整及使Cantilever与试样位置相吻合。再有，SPA400工作单元中还新设置了小型光学显微镜。即使在防音罩闭合的状态下也可直接从其正上方观察。此外，还备有适合微分干涉图象测定等的主要用途的金相显微镜。
支持impact stage机能3）。用软件的操作，可以做到移动试样时不碰到工作单元。
试样台安装部分
它是安装试样台的地方。试样台由磁铁来固定。
Scannerconnector
它是连接工作单元的connector（插头）。它与工作单元主体部分的[scanner connector]连接。
在插入scanner connector或从其上拔下时，一定要先确认scanner上的电压为零。若不为零，除有可能发生触电之外，还会导致系统故障。虽然设置了安全机构，但还是请充分注意。
·进行STM测定1）时，
Cantilever与试样加不上偏压，就不会有电流通过。这不仅会使测定不正确，还会损伤试样及Cantilever。
·进行SMM测定1）和KFM测定1）时，
Cantilever与试样加不上偏压，有可能使approach及测定不能正确进行，也会损伤试样和Cantilever。
·进行AFM/同步电流测定时，
从下面（安装到工作单元上后成为下侧部分）看
安装好cantilever将其放到桌子等上面时，一定把上图所示的一面（安装cantilever的一侧）朝上放置，如果将此面向下则会损伤cantilever。
DFMcantilever支架（DFM支架）
标准附带数量：1
从下面（安装到工作单元上后成为下面部分）看到的状况
千分表（X）
为使Cantilever对准试样的位置，使stage沿X方向（工作单元正面看上去的左右方向）移动的千分表。stage的移动量大约为±2.5mm。
操作前一定要离开测定范围（force area/tunnel area）。如果在进入测定范围的状态下操作，有时会损伤试样及Cantilever。
操作激光光头旋钮时，一定要使Cantilever· 试样离开（retract）测定范围（force area/tunnel area）。不离开测定范围就操作，不仅会损伤Cantilever及试样，还会导致故障。
从正上方看到的安装状态1）
激光光头固定螺丝
是用于把激光光头部分固定在工作单元主体部分的螺丝。共有两个。装上激光光头时，一定要同时将其拧紧、固定。
安装好cantilever将其放到桌子等上面时，一定把上图所示的一面（安装cantilever的一侧）朝上放置，如果将此面冲下则会损伤cantilever。
标准配备件：20um型（数量：1）
（上）从上面看到的位置 （下）从正上方看到的位置
上图是标准配备的scanner，其他的scanner除长度与之不同外，其余几乎一样。
是本公司调整用微调电容器。
因不正确调百度文库会使测定不能正确进行，所以请用户不要调整。
PZT connector
是用于连接SPI3800N电气部分与工作单元内的Scanner粗调机构/微调机构r。用专用电缆与SPI3800N电气部分的PZT connector相连接。
插入PZT connector或从其上拔下时一定要切断系统电源，若在接通状态下则会有触电危险，还会导致系统故障。
使用EC样品槽/密封样品槽进行液下AFM/电化学AFM测定/液下DFM测定时，因样品槽及各专用Cantilever支架构造所限，可移动范围变小。
注：1）因拍照，取下了HEAD connector。 2）有时现货有些差异。
SIG微调电容器（trimmer）
是本公司调整用微调电容器。若调整失常会使测定不能正确进行，所以请用户不要调整。
它是Cantilever支架与电气连接的接点。只有Cantilever支架固定在工作单元上才可连接。各接点用在下面测定的场合。
接 点
目 的
测定方式
A及B
导入共振信号
DFM/液下DFM
KFM
C
导出测定电流
STM
AFM/同步电流
电化学STM
接点被弄污就不能导通，有可能不能正确进行测量（STM及电化学STM测定中有可能损伤Cantilever）。这种情况下，可用占有少许酒精的棉棒把污物轻轻擦去。
DIF旋钮
对于cantilever上下振动方向来讲，它是调整来自photo detector的差分输出电压值（DIF值）的旋钮。转动旋钮，photo detector上下移动，DIF值发生变化。
注：1）有时现货略有差异。
FFM旋钮
对于cantilever扭曲方向来讲，它是调整来自photo detector的差分输出电压值的旋钮。转动旋钮，photo detector前后移动，FFM值发生变化。
偏压线路转换开关
它是给试样加偏压（电压）时输入线路的转换开关。请根据测定方式正确设定。设定错误会导致测定不能正确进行
开关
输入线路
测定方式
WE
13 EC connector
电化学AFM1）
电化学STM1）
BIAS
11 SIG connector
其他方式2）
应该在BIAS侧，却打到了WF侧时······
其他（包含通常时）
SPI3800N电气部分的SIG connector
在插入或取下时，请一定要切断系统电源。在接通的状态下插入或取下时，会引起故障。
HEAD connector
此connector用于与激光光头部交换信号。连接来自激光光头部的电缆（插头）
1.插入HEAD connector或从其上拔下时，一定要切断系统的电源，若在接通的状态，会引起故障。
SIG connector
此connector是用于与电气部分之间数据等信号交换connector。根据各配件的连接状况，分别与下表所列connector连接。连接使用专用电缆。
配件
相应的connector
使用MM盘时
MM盘的USIG connector
使用SMM控制器时
SMM控制器的SIG 工作单元 connector
背面
从背面看1）2）
千分表（micrometer）（Y）
为使Cantilever对准试样位置，可使stage沿Y方向（工作单元正面看去的前后方向）移动的千分表。stage的移动量大约为±2.5mm。
操作前一定要离开测定范围（force area/tunnel area）。如果在进入测定范围状态下操作，有时会损伤试样及Cantilever。
注：1）有时现货略有不同。2）关于激光光头部分在另一项中说明。
Scanner升降开关
用手动控制调动Scanner的开关。只有把开关扳动时才动作。改变UP/DOWN可使Scanner上升或下降。速度为12秒/mm。
UP
试样向接近Cantilever方向移动。
DOWN
试样向远离Cantilever方向移动。
VIB connector
此connector是为cantilever输入共振电压信号的端子。进行DFM测定/KFM测定2）/液下DFM测定2）时，与专用电缆（BNC）SPI3800N电气部分的VIB1端子）连接。
注：1）MM盘与SMM控制器不可同时使用。2）使用自选件。
PZT微调电容器(trimmer)
1.向UP一侧搬倒时，请充分注意不要让试样与Cantilever接触，有时会使试样及Cantilever发生损伤。
2.除紧急情况外，进入测定范围（force area/tunnel area）状态后请不要操作。
Scanner接线处
connector用来供给scanner驱动电压（最大±200V）的。与来自scanner的电缆（插头）相连。
Code：0903–MHX–003/9911
概要
SPA400是在承袭了深受好评的SPA300优点的同时，以更高的分辨率、更好的可操作性、更快的扫描速度为目标而开发出的SPM 工作单元。成为SPI系列核心的多功能型标准工作单元，它具有下列特长。
对应多种测定方式。除AFM、FFM及DFM等标准功能外，采用装入不同配件的方法，可实现STM等多种SPM的测定。承袭了SPA300 [可简单进行各测定方式间的转换]的优点。
2.从connector上拔下后，请立即插入短路插头。如果不插入短路插头就会损伤激光光头部里的半导体激光。
EC connector
此connector是在进行电化学AFM/电化学STM测定，使EC样品槽（或密封样品槽）中的试样、对比电极及参照电极与EC控制器连接。还一并连接工作单元内的RE放大器（参照电极电位检出用缓冲放大器）。RE放大器的电源也从此处提供。用EC控制器专用电缆连接。
对细节部分进行了重新设计，实现了更加小型化的工作单元。因而提高了耐用性，可稳定地进行高分辨测定。
为了实现更高速度的扫描，新开发了高刚性scanner。它与SPI3800Nprobe station的结合可有效抑制振荡，使高速化测量得以实现。
SPA400除标准装备了适用于从原子级分辨到20um的scanner之外，还可根据需要选用适合不同测量范围的scanner组。其更换的简易性优于SPA300。
大幅度重新设计Cantilever支架，同时实现了高刚性与使用的便利性。由于采用了触点式接点，进行DFM及STM测定1）时无需进行电缆连接。除此之外，因前面部分具有较大的开放空间，所以在更换试样时不用取下Cantilever支架也可进行。
具有优良隔音性能的防音罩（cover）。在试验室等苛刻的环境中，也能进行高分辨率的测定。
使用标准型以外的光学显微镜时，在激光光头取下（如上图所示）的状态下，某些场合有必要使用impact stage机能。
此时用重物放到安全开关上，以便使scanner可以加上电压。控制载物台功能在scanner未被加上电压状态是不能进行的。
另外，光学显微镜也附带有重物。
注：1）有时现货略有不同。
触点式接点
Cantilever与试样加不上偏压，就不会有电流通过。就不能测定电流。
应该在WE侧，却打到BIAS侧时······
·进行电化学AFM1）/电化学STM测定时，
试样与EC控制器未连接上，所以不能设定试样的电位。就不能进行正确的电化学控制。
注：1）使用自选件。2）AFM，DFM等原理上讲是没有必要给试样加偏压的测定方式，虽然即使是设定在WE侧，也无妨，但还是请尽可能设定在BIAS侧。
标签是记有用于区别scanner的移动量（扫描范围）的封缄。例如，标准配备
注:1）STM测定中STM 测定组件（自选件）是必要的。2）不同的测定方式，因Cantilever支架构造所限，也有不能从正上方观察的情况。3）不同的测定方式，因需要将试样固定在试样台上，所以不能使用的情况也有。
外观及各部分尺寸、重量
（左）前面板2）（右）后面板3）
注：1）尺寸不包括突起部分。2）有时现货略有不同。3）因拍照去掉了光头的连接。
上面
从正面看1）
安全开关
是给scanner加高压电（±200V）的ON/OFF开关。取下激光光头部分时，自动断开，以确保更换scanner等作业时的安全。
正面
从正面看1）2）
显示信号转换开关
切换[2 盘面仪表]中显示的信号种类的开关。可选择的信号有以下3种。
ADD
进入photo detector的全光量的电压
DIF
Cantilever挠曲方向上的差分输出电压
FFM
cantilever扭曲方向上的差分输出电压
盘面仪表
表示[1显示信号转换开关]所选择的信号值（单位:V）。
注意触电！
请不要直接用手指触摸。带有最大±200V的高压电。虽然设有安全机构，但要充分注意。
电化学液体样品槽连接
在进行下列各种测定时，与所使用的Cantilever支架的电缆（插头）相连。
测定方式
Cantilever支架等
电化学AFM
EC样品槽、密封样品槽
（样品槽连接电缆）
电化学STM
EC样品槽（样品槽连接电缆）
LASER X旋钮
对于cantilever来讲，它是调整激光照射位置的旋钮。转动旋钮，激光光点的位置沿X（左右）方向移动。
LASER Y旋钮
对于cantilever来讲，它是调整激光照射位置的旋钮。转动旋钮，激光光点的位置沿Y（前后）方向移动。
AFM/FFMcantilever支架（AFM支架）
标准附带数量：1
使用光学显微镜进行从正上方观察2）。光学显微镜图象被显示在显示器上，因此很容易进行激光光轴的调整及使Cantilever与试样位置相吻合。再有，SPA400工作单元中还新设置了小型光学显微镜。即使在防音罩闭合的状态下也可直接从其正上方观察。此外，还备有适合微分干涉图象测定等的主要用途的金相显微镜。
支持impact stage机能3）。用软件的操作，可以做到移动试样时不碰到工作单元。
试样台安装部分
它是安装试样台的地方。试样台由磁铁来固定。
Scannerconnector
它是连接工作单元的connector（插头）。它与工作单元主体部分的[scanner connector]连接。
在插入scanner connector或从其上拔下时，一定要先确认scanner上的电压为零。若不为零，除有可能发生触电之外，还会导致系统故障。虽然设置了安全机构，但还是请充分注意。
·进行STM测定1）时，
Cantilever与试样加不上偏压，就不会有电流通过。这不仅会使测定不正确，还会损伤试样及Cantilever。
·进行SMM测定1）和KFM测定1）时，
Cantilever与试样加不上偏压，有可能使approach及测定不能正确进行，也会损伤试样和Cantilever。
·进行AFM/同步电流测定时，
从下面（安装到工作单元上后成为下侧部分）看
安装好cantilever将其放到桌子等上面时，一定把上图所示的一面（安装cantilever的一侧）朝上放置，如果将此面向下则会损伤cantilever。
DFMcantilever支架（DFM支架）
标准附带数量：1
从下面（安装到工作单元上后成为下面部分）看到的状况
千分表（X）
为使Cantilever对准试样的位置，使stage沿X方向（工作单元正面看上去的左右方向）移动的千分表。stage的移动量大约为±2.5mm。
操作前一定要离开测定范围（force area/tunnel area）。如果在进入测定范围的状态下操作，有时会损伤试样及Cantilever。
操作激光光头旋钮时，一定要使Cantilever· 试样离开（retract）测定范围（force area/tunnel area）。不离开测定范围就操作，不仅会损伤Cantilever及试样，还会导致故障。
从正上方看到的安装状态1）
激光光头固定螺丝
是用于把激光光头部分固定在工作单元主体部分的螺丝。共有两个。装上激光光头时，一定要同时将其拧紧、固定。
安装好cantilever将其放到桌子等上面时，一定把上图所示的一面（安装cantilever的一侧）朝上放置，如果将此面冲下则会损伤cantilever。
标准配备件：20um型（数量：1）
（上）从上面看到的位置 （下）从正上方看到的位置
上图是标准配备的scanner，其他的scanner除长度与之不同外，其余几乎一样。
是本公司调整用微调电容器。
因不正确调百度文库会使测定不能正确进行，所以请用户不要调整。
PZT connector
是用于连接SPI3800N电气部分与工作单元内的Scanner粗调机构/微调机构r。用专用电缆与SPI3800N电气部分的PZT connector相连接。
插入PZT connector或从其上拔下时一定要切断系统电源，若在接通状态下则会有触电危险，还会导致系统故障。
使用EC样品槽/密封样品槽进行液下AFM/电化学AFM测定/液下DFM测定时，因样品槽及各专用Cantilever支架构造所限，可移动范围变小。
注：1）因拍照，取下了HEAD connector。 2）有时现货有些差异。
SIG微调电容器（trimmer）
是本公司调整用微调电容器。若调整失常会使测定不能正确进行，所以请用户不要调整。
它是Cantilever支架与电气连接的接点。只有Cantilever支架固定在工作单元上才可连接。各接点用在下面测定的场合。
接 点
目 的
测定方式
A及B
导入共振信号
DFM/液下DFM
KFM
C
导出测定电流
STM
AFM/同步电流
电化学STM
接点被弄污就不能导通，有可能不能正确进行测量（STM及电化学STM测定中有可能损伤Cantilever）。这种情况下，可用占有少许酒精的棉棒把污物轻轻擦去。
DIF旋钮
对于cantilever上下振动方向来讲，它是调整来自photo detector的差分输出电压值（DIF值）的旋钮。转动旋钮，photo detector上下移动，DIF值发生变化。
注：1）有时现货略有差异。
FFM旋钮
对于cantilever扭曲方向来讲，它是调整来自photo detector的差分输出电压值的旋钮。转动旋钮，photo detector前后移动，FFM值发生变化。
偏压线路转换开关
它是给试样加偏压（电压）时输入线路的转换开关。请根据测定方式正确设定。设定错误会导致测定不能正确进行
开关
输入线路
测定方式
WE
13 EC connector
电化学AFM1）
电化学STM1）
BIAS
11 SIG connector
其他方式2）
应该在BIAS侧，却打到了WF侧时······
其他（包含通常时）
SPI3800N电气部分的SIG connector
在插入或取下时，请一定要切断系统电源。在接通的状态下插入或取下时，会引起故障。
HEAD connector
此connector用于与激光光头部交换信号。连接来自激光光头部的电缆（插头）
1.插入HEAD connector或从其上拔下时，一定要切断系统的电源，若在接通的状态，会引起故障。
SIG connector
此connector是用于与电气部分之间数据等信号交换connector。根据各配件的连接状况，分别与下表所列connector连接。连接使用专用电缆。
配件
相应的connector
使用MM盘时
MM盘的USIG connector
使用SMM控制器时
SMM控制器的SIG 工作单元 connector
背面
从背面看1）2）
千分表（micrometer）（Y）
为使Cantilever对准试样位置，可使stage沿Y方向（工作单元正面看去的前后方向）移动的千分表。stage的移动量大约为±2.5mm。
操作前一定要离开测定范围（force area/tunnel area）。如果在进入测定范围状态下操作，有时会损伤试样及Cantilever。
注：1）有时现货略有不同。2）关于激光光头部分在另一项中说明。
Scanner升降开关
用手动控制调动Scanner的开关。只有把开关扳动时才动作。改变UP/DOWN可使Scanner上升或下降。速度为12秒/mm。
UP
试样向接近Cantilever方向移动。
DOWN
试样向远离Cantilever方向移动。
VIB connector
此connector是为cantilever输入共振电压信号的端子。进行DFM测定/KFM测定2）/液下DFM测定2）时，与专用电缆（BNC）SPI3800N电气部分的VIB1端子）连接。
注：1）MM盘与SMM控制器不可同时使用。2）使用自选件。
PZT微调电容器(trimmer)
1.向UP一侧搬倒时，请充分注意不要让试样与Cantilever接触，有时会使试样及Cantilever发生损伤。
2.除紧急情况外，进入测定范围（force area/tunnel area）状态后请不要操作。
Scanner接线处
connector用来供给scanner驱动电压（最大±200V）的。与来自scanner的电缆（插头）相连。
Code：0903–MHX–003/9911
概要
SPA400是在承袭了深受好评的SPA300优点的同时，以更高的分辨率、更好的可操作性、更快的扫描速度为目标而开发出的SPM 工作单元。成为SPI系列核心的多功能型标准工作单元，它具有下列特长。
对应多种测定方式。除AFM、FFM及DFM等标准功能外，采用装入不同配件的方法，可实现STM等多种SPM的测定。承袭了SPA300 [可简单进行各测定方式间的转换]的优点。
2.从connector上拔下后，请立即插入短路插头。如果不插入短路插头就会损伤激光光头部里的半导体激光。
EC connector
此connector是在进行电化学AFM/电化学STM测定，使EC样品槽（或密封样品槽）中的试样、对比电极及参照电极与EC控制器连接。还一并连接工作单元内的RE放大器（参照电极电位检出用缓冲放大器）。RE放大器的电源也从此处提供。用EC控制器专用电缆连接。
对细节部分进行了重新设计，实现了更加小型化的工作单元。因而提高了耐用性，可稳定地进行高分辨测定。
为了实现更高速度的扫描，新开发了高刚性scanner。它与SPI3800Nprobe station的结合可有效抑制振荡，使高速化测量得以实现。
SPA400除标准装备了适用于从原子级分辨到20um的scanner之外，还可根据需要选用适合不同测量范围的scanner组。其更换的简易性优于SPA300。
大幅度重新设计Cantilever支架，同时实现了高刚性与使用的便利性。由于采用了触点式接点，进行DFM及STM测定1）时无需进行电缆连接。除此之外，因前面部分具有较大的开放空间，所以在更换试样时不用取下Cantilever支架也可进行。
具有优良隔音性能的防音罩（cover）。在试验室等苛刻的环境中，也能进行高分辨率的测定。
使用标准型以外的光学显微镜时，在激光光头取下（如上图所示）的状态下，某些场合有必要使用impact stage机能。
此时用重物放到安全开关上，以便使scanner可以加上电压。控制载物台功能在scanner未被加上电压状态是不能进行的。
另外，光学显微镜也附带有重物。
注：1）有时现货略有不同。
触点式接点
Cantilever与试样加不上偏压，就不会有电流通过。就不能测定电流。
应该在WE侧，却打到BIAS侧时······
·进行电化学AFM1）/电化学STM测定时，
试样与EC控制器未连接上，所以不能设定试样的电位。就不能进行正确的电化学控制。
注：1）使用自选件。2）AFM，DFM等原理上讲是没有必要给试样加偏压的测定方式，虽然即使是设定在WE侧，也无妨，但还是请尽可能设定在BIAS侧。
标签是记有用于区别scanner的移动量（扫描范围）的封缄。例如，标准配备
注:1）STM测定中STM 测定组件（自选件）是必要的。2）不同的测定方式，因Cantilever支架构造所限，也有不能从正上方观察的情况。3）不同的测定方式，因需要将试样固定在试样台上，所以不能使用的情况也有。
外观及各部分尺寸、重量
（左）前面板2）（右）后面板3）
注：1）尺寸不包括突起部分。2）有时现货略有不同。3）因拍照去掉了光头的连接。