真空溅镀
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製造程序圖
Visual inspection Dimension measurement
Cleaning
Firing machine
Sputtering
Shipping
OQC Product
入庫 : MIL-STD-105EII 出貨 : MIL-STD-105EII
Packing
Visual inspection
品質保證
Test Item
Reliability
Test Condition
Tape adhesion test 附着力试验
Follow ASTM D3359 ( 3M 610 )
Thermal shock test 冷热冲击试验
40℃+60℃,left for 1 hour each temperature ,transition 3 minutes ,7 cycles
Shield Incident wave
Substrate
B
R
A
Transmitted
各項EMI COATING比較一覽表
工法
原理
基 材 可鍍物 膜
質
膜厚
競爭優 劣
真 空 濺 利用真空離子濺射 ， 無任何限制
射
使物品沉積金屬原子
◎ 無任何化學藥劑
無 電 解 噴塗化學藥劑使物品
電鍍
產生化學反應，析出
Temperature & humidity circle test 温湿度循环试验
-40℃+60℃,humidity 95% , left for 48 hour each temperature , transition 2 hours ,3 cycles
Quality Assurance System
EMI 之 屏 蔽
The shielding have three structures can provide energy weak：
Effectiveness (S) = R + A + B 使用真空濺射製作之薄膜具備對電磁波高的反射率(R) ， 並且使其在內部形成干涉作用，藉以消除電磁波之干擾
導電金屬膜
有限制
無任何限制 有限制
最佳 (緻密度高)
差 (金屬膜不連續)
0.1~2 μm
10μm 以上
1.◎價格低 2.◎易加工，製程短，產能快速 3.◎易組裝 4.◎已通過ECO99認證(柏騰) 5.◎無環保問題
1.價格高 2.加工製程時間長 3.易組裝 4.有環保問題慢慢被淘汰
導電漆
添加化學藥劑噴塗於 物品
温度（℃）
60
-40
一小时
三分钟
一小时 三分钟
时间（小时）
真空溅镀信赖性测试标准
NO
测试项 测试设
目
备
测试方法
判定
产品 产品 测试方
不良标准 研发期 量产期
式
依ASTM D3359规范，将试件以百格刀具刻划
百格刀工 成长宽各1mm的100个方格：将3M610胶带平 溅镀层剥
1
附着力试 具 贴于细方格上，除去内部空气使镀膜密着均
没有一格被撕起
低于 5%被胶带 撕起
5%~15% 被胶带 撕起
15%~35% 被胶 带撕起
35%~65% 被胶 带撕起
超过 65% 被胶带 撕起
Test Item
Sample Process Monitor 100% Production test Reliability Sampling Plan
Visual
0
0
0
0
Electrical resistan
0
0
0
Environmental
stability
0
0
真空濺射薄膜原理
TARGET 1
TARGET 2
SUBSTRATE
Argon
真空濺射薄膜原理說明
在一個乾淨且高度真空之密閉連續式真空濺射 機內(Multi-Chamber Cluster Tool)通入適當之惰 性氣體。 再施以高壓電流，惰性氣體於是被離子化而形 成電漿。 離子化的惰性氣體被欲濺射材料吸引，並撞擊 欲濺射材料，如此濺射材料就會以原子或原子 團的結構被敲擊出來並附著與基材上，形成各 項具光學特性之薄膜。
真空濺射薄膜特色
欲濺射材料無限制, 任何常溫固態導電金屬及有 機材料、 絕緣材料皆可使用( 例: 銅、鉻、銀、 金、不銹鋼、鋁、氧化矽SiO2等) 。 被濺射基材幾無限制( ABS、PC、PP、PS、玻 璃、陶瓷、epoxy resin等) 。 膜質緻密均勻、膜厚容易控制。 附著力強。(ASTM D3359方法測試4B ) 可同時搭配多種不同濺射材料之多層膜。
测试方 式
1
在温度60℃的环境下放置1小时，3分钟内降温到-40
冷热冲击 试验
温度循环 试验机
℃放置经1小时后再3分钟内提高温度到60℃.（附表 一） ● 循环数： 7 Cycle。
●测附着力重复步骤 1.
溅镀层剥 落
未达到百 格4B
◎
客户委外
附表一：冷热冲击实验（ Thermal shock ） 循环次数 7 次
真空溅镀信赖性测试标准
NO
测试项 测试设
目
备
测试方法
判定 不良标
准
产品 研发期
产品 量产期
测试方 式
自温度25℃经1小时内提升到 温度60℃的环境
下放置48小时（湿度95%）→2小时内降温到-40 溅镀层剥
1
温湿度循 温湿度试 ℃放置经48小时（湿度0%）后再1小时内提高
落
环试验 验箱 温度到60℃。（附表二）
落
验 3M610测 匀再以180度方向剥离。（附表三）
未达到百
◎
试胶带 ● 4B百格内镀膜被胶带剥起低于 5%。
格4B
● 批量抽检式。
厂内
附表三：百格刀
拉扯方向 3M 胶布
3M610 胶带测试附着力的分级标准
等级
经由百格刀交错而成的 25个 1mm的正方形
5B
4B
塑壳
3B ＞ 90
2B
1B
0B
测试结果
未达到百
◎
பைடு நூலகம்
● 循环数： 3Cycle。
格4B
●测附着力重复步骤 1.
客户委外
附表二：温湿度循环实验 循环次数三次
温度(%RH) 95 50
温度(℃) 60 25 -40
1 48 2 48 1
—循环
时间（小时）
NO
测试项 测试设
目
备
真空溅镀信赖性测试标准
测试方法
判定 不良标
准
产品 研发期
产品 量产期
10μm 以上
1.價格低 2.加工製程時間長 3.易組裝 4.依塑材而定如無噴塗化學藥劑可 通過環保規章
1.價格低 2.加工製程時間長 3.設計耗時，製造困難 4.組裝時間長 5.受形狀及重量限制 6.無環保問題
EMI之防護處理有多種方式，但應選擇一種能夠有效防護電磁波的工法，且可以降低總體成本，產能迅速，又可符合歐洲環保規章
有限制
有限制
(金屬不連續) 膜厚難控制
10μm 以上
1.價格低 2.易加工 3.易組裝 4.有環保問題慢慢被淘汰
真 空 蒸 低溫金屬蒸源加熱自
著
然附著於金屬表面
有限制
金 屬 鐵 成型鐵片貼附於塑膠 無限制
片
面，佔空間加工組裝
費時
有限制
限鋁片 或馬口鐵
佳 (膜厚難控制)
差 (相對導電度較 差)
10μm 以上
Visual inspection Dimension measurement
Cleaning
Firing machine
Sputtering
Shipping
OQC Product
入庫 : MIL-STD-105EII 出貨 : MIL-STD-105EII
Packing
Visual inspection
品質保證
Test Item
Reliability
Test Condition
Tape adhesion test 附着力试验
Follow ASTM D3359 ( 3M 610 )
Thermal shock test 冷热冲击试验
40℃+60℃,left for 1 hour each temperature ,transition 3 minutes ,7 cycles
Shield Incident wave
Substrate
B
R
A
Transmitted
各項EMI COATING比較一覽表
工法
原理
基 材 可鍍物 膜
質
膜厚
競爭優 劣
真 空 濺 利用真空離子濺射 ， 無任何限制
射
使物品沉積金屬原子
◎ 無任何化學藥劑
無 電 解 噴塗化學藥劑使物品
電鍍
產生化學反應，析出
Temperature & humidity circle test 温湿度循环试验
-40℃+60℃,humidity 95% , left for 48 hour each temperature , transition 2 hours ,3 cycles
Quality Assurance System
EMI 之 屏 蔽
The shielding have three structures can provide energy weak：
Effectiveness (S) = R + A + B 使用真空濺射製作之薄膜具備對電磁波高的反射率(R) ， 並且使其在內部形成干涉作用，藉以消除電磁波之干擾
導電金屬膜
有限制
無任何限制 有限制
最佳 (緻密度高)
差 (金屬膜不連續)
0.1~2 μm
10μm 以上
1.◎價格低 2.◎易加工，製程短，產能快速 3.◎易組裝 4.◎已通過ECO99認證(柏騰) 5.◎無環保問題
1.價格高 2.加工製程時間長 3.易組裝 4.有環保問題慢慢被淘汰
導電漆
添加化學藥劑噴塗於 物品
温度（℃）
60
-40
一小时
三分钟
一小时 三分钟
时间（小时）
真空溅镀信赖性测试标准
NO
测试项 测试设
目
备
测试方法
判定
产品 产品 测试方
不良标准 研发期 量产期
式
依ASTM D3359规范，将试件以百格刀具刻划
百格刀工 成长宽各1mm的100个方格：将3M610胶带平 溅镀层剥
1
附着力试 具 贴于细方格上，除去内部空气使镀膜密着均
没有一格被撕起
低于 5%被胶带 撕起
5%~15% 被胶带 撕起
15%~35% 被胶 带撕起
35%~65% 被胶 带撕起
超过 65% 被胶带 撕起
Test Item
Sample Process Monitor 100% Production test Reliability Sampling Plan
Visual
0
0
0
0
Electrical resistan
0
0
0
Environmental
stability
0
0
真空濺射薄膜原理
TARGET 1
TARGET 2
SUBSTRATE
Argon
真空濺射薄膜原理說明
在一個乾淨且高度真空之密閉連續式真空濺射 機內(Multi-Chamber Cluster Tool)通入適當之惰 性氣體。 再施以高壓電流，惰性氣體於是被離子化而形 成電漿。 離子化的惰性氣體被欲濺射材料吸引，並撞擊 欲濺射材料，如此濺射材料就會以原子或原子 團的結構被敲擊出來並附著與基材上，形成各 項具光學特性之薄膜。
真空濺射薄膜特色
欲濺射材料無限制, 任何常溫固態導電金屬及有 機材料、 絕緣材料皆可使用( 例: 銅、鉻、銀、 金、不銹鋼、鋁、氧化矽SiO2等) 。 被濺射基材幾無限制( ABS、PC、PP、PS、玻 璃、陶瓷、epoxy resin等) 。 膜質緻密均勻、膜厚容易控制。 附著力強。(ASTM D3359方法測試4B ) 可同時搭配多種不同濺射材料之多層膜。
测试方 式
1
在温度60℃的环境下放置1小时，3分钟内降温到-40
冷热冲击 试验
温度循环 试验机
℃放置经1小时后再3分钟内提高温度到60℃.（附表 一） ● 循环数： 7 Cycle。
●测附着力重复步骤 1.
溅镀层剥 落
未达到百 格4B
◎
客户委外
附表一：冷热冲击实验（ Thermal shock ） 循环次数 7 次
真空溅镀信赖性测试标准
NO
测试项 测试设
目
备
测试方法
判定 不良标
准
产品 研发期
产品 量产期
测试方 式
自温度25℃经1小时内提升到 温度60℃的环境
下放置48小时（湿度95%）→2小时内降温到-40 溅镀层剥
1
温湿度循 温湿度试 ℃放置经48小时（湿度0%）后再1小时内提高
落
环试验 验箱 温度到60℃。（附表二）
落
验 3M610测 匀再以180度方向剥离。（附表三）
未达到百
◎
试胶带 ● 4B百格内镀膜被胶带剥起低于 5%。
格4B
● 批量抽检式。
厂内
附表三：百格刀
拉扯方向 3M 胶布
3M610 胶带测试附着力的分级标准
等级
经由百格刀交错而成的 25个 1mm的正方形
5B
4B
塑壳
3B ＞ 90
2B
1B
0B
测试结果
未达到百
◎
பைடு நூலகம்
● 循环数： 3Cycle。
格4B
●测附着力重复步骤 1.
客户委外
附表二：温湿度循环实验 循环次数三次
温度(%RH) 95 50
温度(℃) 60 25 -40
1 48 2 48 1
—循环
时间（小时）
NO
测试项 测试设
目
备
真空溅镀信赖性测试标准
测试方法
判定 不良标
准
产品 研发期
产品 量产期
10μm 以上
1.價格低 2.加工製程時間長 3.易組裝 4.依塑材而定如無噴塗化學藥劑可 通過環保規章
1.價格低 2.加工製程時間長 3.設計耗時，製造困難 4.組裝時間長 5.受形狀及重量限制 6.無環保問題
EMI之防護處理有多種方式，但應選擇一種能夠有效防護電磁波的工法，且可以降低總體成本，產能迅速，又可符合歐洲環保規章
有限制
有限制
(金屬不連續) 膜厚難控制
10μm 以上
1.價格低 2.易加工 3.易組裝 4.有環保問題慢慢被淘汰
真 空 蒸 低溫金屬蒸源加熱自
著
然附著於金屬表面
有限制
金 屬 鐵 成型鐵片貼附於塑膠 無限制
片
面，佔空間加工組裝
費時
有限制
限鋁片 或馬口鐵
佳 (膜厚難控制)
差 (相對導電度較 差)
10μm 以上