三维光学轮廓测量仪综述

三维光学轮廓测量仪综述

三维光学轮廓测量仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量，还原出工件3D表面形貌宏微观信息，并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理，实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器。

三维光学轮廓测量仪典型特点：

1) 使用白光干涉测量技术，非接触式、非破坏性、快速表面形貌测量与分析；

2) 台阶高度测量分辨率达0.1 nm；

3) 可搭配黑白或彩色相机进行2D、3D显示和测量功能；

4) 配置电动鼻轮，可同时挂载多种物镜并程序化控制切换使用；

5) 采用双光源模式，适应特殊样品测量；

6) 测量范围100×100mm(可按客户定制尺寸)；

7) 配置低倍率物镜(2.5×和5×倍率)，可进行大面积3D测量；

8) 提供多种表面参数测量功能，如断差高度、夹角、面积、体积、粗糙度、波纹度、

薄膜厚度及平面度；

9) 提供超过250多种各类参数（含2D、3D）计算；

10) 友好的人机界面，简便的图形化控制系统及3D图型显示；

11) 多种交换文件格式，可储存与读取多种3D轮廓文件格式；

三维光学轮廓测量仪典型应用：

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、共面性、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、蚀刻情况、弯曲变形情况、加工情况、材料支撑率等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例：

三维光学轮廓测量仪主要技术指标：