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2
1 课题来源及背景
1.1 课题来源
第一代 第二代 第三代 最高级别
简单的二元氮化物、碳化物 常见的主要有 TiN、CrN 、ZrN 、 TiC、VC、TaC
多元复合过渡金属化合物主要是： TiCN、TiAlN 、CrTiAlN等
纳米多层（复合）超硬膜 硬度高于100GPa
DLC，优异的力学性能、表面状况和 抗磨损性能，摩擦系数很低，低于0.2
磁过滤阴极弧源技术(简称FCVA)用等离子体电磁场过滤， 可有效减少或消除大颗粒，得到更为光滑、坚硬和致密均 匀的涂层。
拟采用方法
采用磁控溅射的方法先在硬质合金表面沉积一层纯Cr中间 层，然后通过改变向腔体中通入的Ar2和N2的气体流量比来 改变沉积的薄膜中Cr和N的原子比，直到沉积成膜厚为几微 米的厚膜。然后研究其膜层的化学成分、微观结构及摩擦
3 研究目标、内容及拟解决的关键技术问题
3.2 研究内容
1、CrN梯度模的制备
运用磁控溅射的方法制备出要研究的CrN梯度模
3 研究目标、内容及拟解决的关键技术问题
3.2 研究内容
2、CrN梯度模的摩擦磨损性能
研究CrN梯度模在不同水环境下(海水、模拟体液)的摩擦学性能，并将 其与CrN双层膜的摩擦学特性进行比较。
3 研究目标、内容及拟解决的关键技术问题
3.2 研究内容
3、 CrN梯度模的电化学腐蚀性能
通过电化学腐蚀试验研究CrN梯度模的耐腐蚀特性,并且对其进行评价 与分析。
3 研究目标、内容及拟解决的关键技术问题
3.3 拟解决的关键问题
关键 技术
制 备 薄 膜 时 的 各 项 参 数
增 大 膜
基 结 合 力
和电化学腐蚀性能。
3 研究目标、内容及拟解决的关键技术问题
3.1 研究目标
Cr
N2 逐 渐 增 加
基体
随着N2和Ar流量比的增加，沉积的膜层中N和Cr的原子 比逐渐增加，形成CrN梯度模。
3 研究目标、内容及拟解决的关键技术问题
3.2 研究内容
CrN梯度模的制备
CrN梯度模的摩擦磨损性能
CrN梯度模的电化学腐蚀性能
预
期
研
所制备的梯度模具有较好的稳定性，能够进行摩
究
擦试验和电化学腐蚀试验。
成
果
实验结果能够较好的与论论研究成果此昂吻合。
6 计划进度及预期研究成果
6.2 计划进度
2011年
9-8月 查阅各种资 料，进行专 业文献阅读
2012年 8-10月11-12月1-6月
2013年 7-10月 11-12月
2014年 1-3月
2000年以来，国内外工作者的研究表明，CrN涂层的钻头用于合金 钢板时比普通钻头提高7倍的寿命；所做的磨损实验表明CrN具有结 合力强，化学稳定性高，热扰动性能好和700℃以下良好的热稳定 性等优点。
美国Phygen Inc公司04年已经宣称拥有高附着力的更硬、更韧的纳 米晶CrN镀膜，纳米压痕硬度高达40~50GPa，镀膜抗高温氧化温度 高达840℃以上，摩擦系数小于0.1s。到目前为止，我国对CrN的研 究还不是很深入，在这方面应引起我国科学工作者的重视。
在工业应用中，CrN涂层广泛应用于加工铜基和钛基合金的铣刀和车 刀上,并广泛应用于铝制合金的铸件上。
2 国内外研究现状
2.2 主要方法
单层结构
常用的多弧离子镀(简称MAIP)技术具有高离化率、高沉积速 率和低成本等优势, 但在沉积过程中, 涂层表面存在阴极材料 所射出的大颗粒(液滴相), 导致涂层缺陷增多、均匀性和强度 降低、表面粗糙度增加的缺点。
4.2 技术路线
准备实验材料
CrN梯度 模制备
摩擦磨 损试验
电化学腐蚀试验
ห้องสมุดไป่ตู้
整理实验数据 实验结果处理分析
4 研究方法、技术路线及可行性分析
4.3 可行性分析
研究的重点是用磁控溅射的方法制备出性能较好的CrN梯
1
度模，并在此基础上对其性能进行研究。国内外已有不少 学者对CrN双层膜和金属复合CrN涂层进行了研究，这就
磨损、电化学腐蚀性能。
3 研究目标、内容及拟解决的关键技术问题
3.1 研究目标
1
通过查阅文献和大量的探索实验确定制备CrN梯 度模的各项参数以及Ar2和N2的流量比。
能够根据设定好的参数和不同的气体流量比制
2
备出膜基结合力和性能相对较好的CrN梯
度模。
能够应用所具有的实验条件研究CrN梯度模在
3
不同水溶液(海水、模拟体液)中的摩擦学性能
1 课题来源及背景
1.2 背景
1.现代制造业对金属切削刀具和许多在摩擦环境中使用的部件的技术要求越来越高。
2.硬质薄膜材料从简单的二元氮化物、碳化物逐渐发展到纳米多层(复合)超硬膜。
3.过渡族金属氮化物膜层因其硬度高、高温抗氧化、耐腐蚀和摩擦系数低等优点已 经在工业生产中有 泛应用,比如大幅度提高了高速钢和硬质合金刀具的使用寿命和 切削速率。
为我们进一步研究提供了参考。
2
N2逐渐增加使得膜层中元素含量逐渐变化，膜基结合力
更好，初步设想所制备薄膜的性能也较好。
5 现有研究条件和工作基础
5.1 前期工作安排
国内外有关课题的文献的学习，掌握有关 CrN涂层的国内外前沿技术及存在问题。
熟三悉维制建备模薄软膜件的C设AT备IA，、摩前擦处试理验软机件和G电AM化B学IT腐 蚀的工学作习站，，C掌FD握仿其真原软理件并F且LU能E够NT熟的练学使习用。。
根据国内外已有的研究成果确定薄膜制备的各项 参数和检测薄膜性能的试验参数。
预计实验过程中可能遇到的困难和问题，制定 几个典型问题的解决方案
5 现有研究条件和工作基础
5.2 实验设备
5 现有研究条件和工作基础
5.2 实验设备
6 计划进度及预期研究成果
6.1 预期研究成果
能够成功制备膜基结合力较好的CrN梯度模，以便 于后来的性能研究。
编写 文献 阅读 报告
编写 开题 报告
制备
CrN 梯度模
摩擦试验 和腐蚀试 验，试验 数据分析
撰写论 文初稿 修改论文，
论文答辩
7 结束语
4.近年来，国内外工作者将CrN优良的摩擦学性能同广泛使用的TiN进行了比较，发 现CrN涂层不但有很强的抗磨、减磨性能，而且还有优良的耐腐蚀能力，高温稳定 性，并且可以形成厚膜。
2 国内外研究现状
2.1 研究成果
早期研究 目前的研究 国内外对比
广泛应用
90年代初，国外在CrN涂层耐磨性能的研究上逐渐取得了一些研究 成果，研究表明，CrN涂层显微硬度值约为2200HV；有极好的附着 力，划痕实验临界载荷可达85N;薄膜有紧凑的柱状晶结构和更致密 的显微组织。
降 低 薄 膜 的 摩 擦 系 数
增 强 薄 膜 的 抗 腐 蚀 性
4 研究方法、技术路线及可行性分析
4.1 研究方法
制定实验方案
查阅前人相关研究方案，进行实验设计。
研究方法
试验研究
按照实验方案进行试验研究
对实验结果进 行分析
通过对实验数据的分析证明此研究方 向的可行性和重大意义。
4 研究方法、技术路线及可行性分析
南京航空航天大学硕士论文开题报告
Cr-B-C薄膜的制备及摩擦学特性的研究
姓名：陈建云 学号：SX1105207 专业：机械设计及理论 指导教师：周飞教授
目录
1 课题来源及背景 2 国内外研究现状 3 研究目标、内容及拟解决的关键理论 4 研究方法、技术路线及可行性分析 5 现有研究条件和工作基础 6 计划进度及预期研究结果
1 课题来源及背景
1.1 课题来源
第一代 第二代 第三代 最高级别
简单的二元氮化物、碳化物 常见的主要有 TiN、CrN 、ZrN 、 TiC、VC、TaC
多元复合过渡金属化合物主要是： TiCN、TiAlN 、CrTiAlN等
纳米多层（复合）超硬膜 硬度高于100GPa
DLC，优异的力学性能、表面状况和 抗磨损性能，摩擦系数很低，低于0.2
磁过滤阴极弧源技术(简称FCVA)用等离子体电磁场过滤， 可有效减少或消除大颗粒，得到更为光滑、坚硬和致密均 匀的涂层。
拟采用方法
采用磁控溅射的方法先在硬质合金表面沉积一层纯Cr中间 层，然后通过改变向腔体中通入的Ar2和N2的气体流量比来 改变沉积的薄膜中Cr和N的原子比，直到沉积成膜厚为几微 米的厚膜。然后研究其膜层的化学成分、微观结构及摩擦
3 研究目标、内容及拟解决的关键技术问题
3.2 研究内容
1、CrN梯度模的制备
运用磁控溅射的方法制备出要研究的CrN梯度模
3 研究目标、内容及拟解决的关键技术问题
3.2 研究内容
2、CrN梯度模的摩擦磨损性能
研究CrN梯度模在不同水环境下(海水、模拟体液)的摩擦学性能，并将 其与CrN双层膜的摩擦学特性进行比较。
3 研究目标、内容及拟解决的关键技术问题
3.2 研究内容
3、 CrN梯度模的电化学腐蚀性能
通过电化学腐蚀试验研究CrN梯度模的耐腐蚀特性,并且对其进行评价 与分析。
3 研究目标、内容及拟解决的关键技术问题
3.3 拟解决的关键问题
关键 技术
制 备 薄 膜 时 的 各 项 参 数
增 大 膜
基 结 合 力
和电化学腐蚀性能。
3 研究目标、内容及拟解决的关键技术问题
3.1 研究目标
Cr
N2 逐 渐 增 加
基体
随着N2和Ar流量比的增加，沉积的膜层中N和Cr的原子 比逐渐增加，形成CrN梯度模。
3 研究目标、内容及拟解决的关键技术问题
3.2 研究内容
CrN梯度模的制备
CrN梯度模的摩擦磨损性能
CrN梯度模的电化学腐蚀性能
预
期
研
所制备的梯度模具有较好的稳定性，能够进行摩
究
擦试验和电化学腐蚀试验。
成
果
实验结果能够较好的与论论研究成果此昂吻合。
6 计划进度及预期研究成果
6.2 计划进度
2011年
9-8月 查阅各种资 料，进行专 业文献阅读
2012年 8-10月11-12月1-6月
2013年 7-10月 11-12月
2014年 1-3月
2000年以来，国内外工作者的研究表明，CrN涂层的钻头用于合金 钢板时比普通钻头提高7倍的寿命；所做的磨损实验表明CrN具有结 合力强，化学稳定性高，热扰动性能好和700℃以下良好的热稳定 性等优点。
美国Phygen Inc公司04年已经宣称拥有高附着力的更硬、更韧的纳 米晶CrN镀膜，纳米压痕硬度高达40~50GPa，镀膜抗高温氧化温度 高达840℃以上，摩擦系数小于0.1s。到目前为止，我国对CrN的研 究还不是很深入，在这方面应引起我国科学工作者的重视。
在工业应用中，CrN涂层广泛应用于加工铜基和钛基合金的铣刀和车 刀上,并广泛应用于铝制合金的铸件上。
2 国内外研究现状
2.2 主要方法
单层结构
常用的多弧离子镀(简称MAIP)技术具有高离化率、高沉积速 率和低成本等优势, 但在沉积过程中, 涂层表面存在阴极材料 所射出的大颗粒(液滴相), 导致涂层缺陷增多、均匀性和强度 降低、表面粗糙度增加的缺点。
4.2 技术路线
准备实验材料
CrN梯度 模制备
摩擦磨 损试验
电化学腐蚀试验
ห้องสมุดไป่ตู้
整理实验数据 实验结果处理分析
4 研究方法、技术路线及可行性分析
4.3 可行性分析
研究的重点是用磁控溅射的方法制备出性能较好的CrN梯
1
度模，并在此基础上对其性能进行研究。国内外已有不少 学者对CrN双层膜和金属复合CrN涂层进行了研究，这就
磨损、电化学腐蚀性能。
3 研究目标、内容及拟解决的关键技术问题
3.1 研究目标
1
通过查阅文献和大量的探索实验确定制备CrN梯 度模的各项参数以及Ar2和N2的流量比。
能够根据设定好的参数和不同的气体流量比制
2
备出膜基结合力和性能相对较好的CrN梯
度模。
能够应用所具有的实验条件研究CrN梯度模在
3
不同水溶液(海水、模拟体液)中的摩擦学性能
1 课题来源及背景
1.2 背景
1.现代制造业对金属切削刀具和许多在摩擦环境中使用的部件的技术要求越来越高。
2.硬质薄膜材料从简单的二元氮化物、碳化物逐渐发展到纳米多层(复合)超硬膜。
3.过渡族金属氮化物膜层因其硬度高、高温抗氧化、耐腐蚀和摩擦系数低等优点已 经在工业生产中有 泛应用,比如大幅度提高了高速钢和硬质合金刀具的使用寿命和 切削速率。
为我们进一步研究提供了参考。
2
N2逐渐增加使得膜层中元素含量逐渐变化，膜基结合力
更好，初步设想所制备薄膜的性能也较好。
5 现有研究条件和工作基础
5.1 前期工作安排
国内外有关课题的文献的学习，掌握有关 CrN涂层的国内外前沿技术及存在问题。
熟三悉维制建备模薄软膜件的C设AT备IA，、摩前擦处试理验软机件和G电AM化B学IT腐 蚀的工学作习站，，C掌FD握仿其真原软理件并F且LU能E够NT熟的练学使习用。。
根据国内外已有的研究成果确定薄膜制备的各项 参数和检测薄膜性能的试验参数。
预计实验过程中可能遇到的困难和问题，制定 几个典型问题的解决方案
5 现有研究条件和工作基础
5.2 实验设备
5 现有研究条件和工作基础
5.2 实验设备
6 计划进度及预期研究成果
6.1 预期研究成果
能够成功制备膜基结合力较好的CrN梯度模，以便 于后来的性能研究。
编写 文献 阅读 报告
编写 开题 报告
制备
CrN 梯度模
摩擦试验 和腐蚀试 验，试验 数据分析
撰写论 文初稿 修改论文，
论文答辩
7 结束语
4.近年来，国内外工作者将CrN优良的摩擦学性能同广泛使用的TiN进行了比较，发 现CrN涂层不但有很强的抗磨、减磨性能，而且还有优良的耐腐蚀能力，高温稳定 性，并且可以形成厚膜。
2 国内外研究现状
2.1 研究成果
早期研究 目前的研究 国内外对比
广泛应用
90年代初，国外在CrN涂层耐磨性能的研究上逐渐取得了一些研究 成果，研究表明，CrN涂层显微硬度值约为2200HV；有极好的附着 力，划痕实验临界载荷可达85N;薄膜有紧凑的柱状晶结构和更致密 的显微组织。
降 低 薄 膜 的 摩 擦 系 数
增 强 薄 膜 的 抗 腐 蚀 性
4 研究方法、技术路线及可行性分析
4.1 研究方法
制定实验方案
查阅前人相关研究方案，进行实验设计。
研究方法
试验研究
按照实验方案进行试验研究
对实验结果进 行分析
通过对实验数据的分析证明此研究方 向的可行性和重大意义。
4 研究方法、技术路线及可行性分析
南京航空航天大学硕士论文开题报告
Cr-B-C薄膜的制备及摩擦学特性的研究
姓名：陈建云 学号：SX1105207 专业：机械设计及理论 指导教师：周飞教授
目录
1 课题来源及背景 2 国内外研究现状 3 研究目标、内容及拟解决的关键理论 4 研究方法、技术路线及可行性分析 5 现有研究条件和工作基础 6 计划进度及预期研究结果