特种气体系统工程设计规范完整版
特种气体系统工程设计规范之欧阳语创编
特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类 | 标签：气体特种管道气瓶阀门 |字号订阅1 总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2 术语2.0.1 特种气体 specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统 speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站 silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点 open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点 sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶 empty cylinder留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶 full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
特种气体系统工程设计要求规范
特种气体系统工程设计要求规范特种气体系统工程设计要求规范随着科技的发展和工业的进步，特种气体在生产和应用中扮演越来越重要的角色，其在航空、电子、医疗、石油化工等行业中的应用已经变得日益广泛。
而对于特种气体系统工程的设计，其质量和规范性的要求也逐渐成为人们关注的焦点。
因此，本文将从特种气体系统工程设计的基本标准、设备设计规范以及安全保障三个方面，阐述特种气体系统工程设计要求规范。
一、特种气体系统工程设计基本标准特种气体系统工程设计的基本标准是指，针对不同类型的特种气体系统，需要遵守的技术标准、制定的规范和建立的标准化管理体系。
在特种气体系统工程设计中，基本标准至关重要，对于保障工程建设和运营的安全性、可靠性和稳定性具有至关重要的作用。
1.技术标准在特种气体系统工程设计中，需要遵守的技术标准包括国家标准、行业标准、地方标准等。
如《工业气体管道设计规范》、《工业气体分离技术规范》等标准化规范文件，其中对于特种气体的工程设计、设备选型、管线设计、安全保障等方面进行了详细制定。
2.制定规范为规范特种气体系统工程设计流程，引导设计人员按照规范进行设计，需要制定一系列的规范，以确保设计和实施的标准化、规范化和科学化。
例如，在特种气体系统管道设计中应避免不必要的弧度和角度，防止出现过分的弯曲和拐弯，这样可以避免管道压力过大、阻力过大等问题，以提高系统的稳定性和安全性。
3.标准化管理体系特种气体系统工程设计中，需要建立规范的标准化管理体系，这样可以确保设计流程、实施流程以及运维流程的标准化，并最终提高系统的运作效率和安全性。
建立标准化管理体系，可以在设计和实施过程中，确保每一个环节都有可操作的标准和要求，避免犯错，提高工作效率和质量。
二、特种气体系统工程设备设计规范特种气体系统工程设备设计规范是指，针对特种气体系统中使用的设备和工具，需要遵守的设计标准和技术要求。
设备的设计规范对于特种气体的生产和使用具有决定性作用，不合格的设备设计会对生产和使用产生巨大的不良影响。
特种气体系统工程设计要求规范方案
特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54|分类：默认分类|标签：气体特种管道气瓶阀门|字号订阅1 总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2 术语2.0.1 特种气体specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶empty cylinder留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
特种气体系统工程设计要求规范
特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类 | 标签：气体特种管道气瓶阀门 |字号订阅1总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2术语2.0.1 特种气体specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站 silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点 open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点 sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶 empty cylinder留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶 full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
特种气体系统工程设计要求规范
特种气体系统工程设计要求规范特种气体系统工程是一个高风险的领域，因此其设计和安装需要高度的技术水平和严格的规范。
为确保工程的安全性、可靠性和稳定性，设计人员必须遵循一系列规定和标准，并采取相应的预防措施来防止潜在的事故和灾害发生。
特种气体系统工程设计要求规范主要包括以下几个方面：1. 安全标准：特种气体系统工程设计必须符合国家和地方的相关安全标准，如GB50016-2014《建筑设计防火规范》、GB50215-2015《工业建筑设计规范》、GB50160-2015《建筑给排水设计规范》等，确保工程的安全性和可靠性。
2. 环境保护：特种气体系统工程设计必须符合环保要求，包括在工程建设过程中减少对环境污染的影响，合理利用资源，减少能源消耗等。
3. 技术标准：特种气体系统工程设计必须采用合适的技术标准，包括工艺流程、设备选型、安装和调试等方面。
在系统中应该使用符合国家标准或行业标准的设备和部件，确保系统的可靠性和稳定性。
4. 经济性：特种气体系统工程设计必须在经济上合理，不能致使投资成本过高或运作成本过大。
在设计中需要进行详细的成本收支分析，综合考虑投资、运营及维护成本等因素，确保工程的经济性。
5. 火灾安全：特种气体系统工程设计必须采取相应的火灾安全措施，确保系统在发生火灾时能够安全排放气体。
同时，应该采用防火措施，避免气体设备在高温等情况下可能引起的火灾。
6. 常规检验和维护：特种气体系统工程在运营期间需要进行周期性的检验和维护。
在设计中应该考虑到系统的可维护性和易操作性，为运营人员提供有效的操作指导和工具。
通过定期检查和维护，确保系统的稳定运行，降低潜在的故障风险。
总之，特种气体系统工程的设计必须遵循各种行业标准，并采用权威的参考资料，加以结合当前的技术水平和市场需求，确保系统的安全性、可靠性、可操作性和经济性。
同时，在设计、安装、调试和运营过程中，要严格按照配套手册和规范要求进行操作，提高工程的质量和效率，为系统提供最好的服务。
特种气体系统工程设计要求规范方案
特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54|分类：默认分类|标签：气体特种管道气瓶阀门|字号订阅1 总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2 术语2.0.1 特种气体specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶empty cylinder留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
特种气体系统工程设计规范标准
特种气体系统工程技术规2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类| 标签：气体特种管道气瓶阀门|字号订阅1 总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规。
1.0.2 本规适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2 术语2.0.1 特种气体 specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统 speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点open flame site室外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶empty cylinder留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
(完整版)特种气体系统工程技术规范(最新版免费下载)
特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类 | 标签：气体特种管道气瓶阀门 |字号订阅1总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2术语2.0.1 特种气体specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站 silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点 open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点 sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶 empty cylinder留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶 full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
特种气体系统工程设计要求规范
特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54|分类：默认分类|标签：气体特种管道气瓶阀门|字号订阅1总则1.0.1为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2 术语2.0.1特种气体specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2特种气体系统speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3特种气体间speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4硅烷站silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、 Y 钢瓶、长管拖车或 ISO 标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5明火地点open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6散发火花地点sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7空瓶empty cylinder留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8实瓶full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、 47、 48L 等各种容积。
特种气体系统工程设计要求规范
实用标准文档特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类| 标签：气体特种管道气瓶阀门|字号订阅1 总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2 术语2.0.1 特种气体specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、 Y 钢瓶、长管拖车或 ISO 标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6散发火花地点sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、 47、 48L 等各种容积。
特气系统工程技术规范
特气系统工程技术规范1总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2术语2.0.1 特种气体specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站 silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点 open flame site 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点 sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶 empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶 full cylinder 存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
特种气体系统工程设计要求规范
特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54|分类：默认分类|标签：气体特种管道气瓶阀门|字号订阅1总则1.0.1为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2 术语2.0.1特种气体specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2特种气体系统speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3特种气体间speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4硅烷站silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、 Y 钢瓶、长管拖车或 ISO 标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5明火地点open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6散发火花地点sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7空瓶empty cylinder留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8实瓶full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、 47、 48L 等各种容积。
特气系统工程技术规范
特气系统工程技术规范1总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2术语2.0.1 特种气体specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站 silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点 open flame site 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点 sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶 empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶 full cylinder 存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
特种气体系统工程设计规范标准
特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类 | 标签：气体特种管道气瓶阀门 | 字号订阅1 总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2 术语2.0.1 特种气体 specialily gas 用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间 speciality gas room 是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站 silane station是指放置硅烷储存设备(气瓶、气瓶集装格、 Y 钢瓶、长管拖车或 ISO 标准储罐)、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点 open flame site 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点 sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶 empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。
特气系统工程的技术规范
特气系统工程技术规范1总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2术语2.0.1 特种气体specialily gas 用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统speciality gas system 特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间speciality gas room 是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站silane station是指放置硅烷储存设备(气瓶、气瓶集装格、Y 钢瓶、长管拖车或ISO 标准储罐)、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点open flame site 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶full cylinder 存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L 等各种容积。
特种气体系统工程设计规范【范本模板】
特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08：31：54｜分类：默认分类 | 标签：气体特种管道气瓶阀门｜字号订阅1总则1。
0。
1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规,确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求,保护人身和财产安全,做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0。
2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1。
0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1。
0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2术语2。
0。
1 特种气体specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等.2.0。
2 特种气体系统speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0。
3 特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2。
0。
4 硅烷站 silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐)、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0。
5 明火地点 open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2。
0.6 散发火花地点 sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2。
0.7 空瓶 empty cylinder留有残余压力的气体钢瓶.2。
0.8 实瓶 full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积. 2。
特种气体系统工程设计规范之欧阳学创编
特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类 | 标签：气体特种管道气瓶阀门 |字号订阅1总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2术语2.0.1 特种气体 specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统 speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站 silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点 open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点 sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶 empty cylinder留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶 full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
特种气体系统工程设计要求规范
实用标准文档特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类| 标签：气体特种管道气瓶阀门|字号订阅1 总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2 术语2.0.1 特种气体specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、 Y 钢瓶、长管拖车或 ISO 标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6散发火花地点sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、 47、 48L 等各种容积。
特种气体系统工程设计规范之欧阳道创编
特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类 | 标签：气体特种管道气瓶阀门 |字号订阅1总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2术语2.0.1 特种气体 specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统 speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站 silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点 open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点 sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶 empty cylinder留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶 full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
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特种气体系统工程设计规范HEN system office room 【HEN16H-HENS2AHENS8Q8-HENH1688】特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54|分类：|标签：|字号订阅1 总则1.0.1为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2 术语2.0.1 特种气体 specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统 speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站 silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点 open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点 sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶 empty cylinder留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶 full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L 等各种容积。
2.0.9 气瓶集装格 the bundle of gas cylinders用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。
气瓶的个数分别为9个、12个、16个不等，单个气瓶的水容积通常为40~50L。
气瓶柜 gas cabinet (GC)特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。
排风管配置泄漏探头。
气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。
气瓶架 gas rack (GR)特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧急切断阀、压力监测及报警等安全设施。
气瓶架有手动、半自动、全自动三类。
阀门箱 valve manifold box (VMB)特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配部件，VMB在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管可配置手动阀、压力表、过滤器等组件，除SiH2Cl2、WF6等低蒸汽压力气体外，VMB各支管可根据需要设置调压阀。
VMB需设置泄漏气体排气管接口和风压事故报警。
阀门盘 valve manifold panel (VMP)特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配部件，VMP在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管应配置手动阀、压力表、过滤器等组件，VMP各支管可根据需要设置调压阀。
低蒸汽压力气体 low vapor pressure gas在室温下的饱和蒸气压小于的气体。
尾气处理装置 local scrubber用于处理易燃、易爆、有毒、有腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的装置，处理后的尾气达到规定排放浓度，并排入用气车间的排气管道。
气体探测系统 gas detector system(GDS)设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘、及其它特种气体输送设备与管道所覆盖区域，通过检测本质气体或关联气体在空气中的含量来判断本质气体的泄漏，从而发出声光报警信号、提供应急处理数据的系统。
气体管理系统 gas management system(GMS)包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视系统、数据输送与处理系统的气体管理与控制系统的统称。
最高允许浓度值 threshold limit value(TLV)工作环境空气中有害物质的最高允许浓度值。
爆炸浓度下限值 low explosion limit(LEL)可燃气体在空气或氧化气体中发生爆炸的浓度下限值。
卧式气瓶 y-cylinder/t-cylinder用于储存较多特种气体的气瓶。
一般水容积为500L，1000L。
自燃气体 pyrophoric gas在空气中会发生自动燃烧的气体。
可燃气体 flammable gas指与空气（或氧气）能够形成一定浓度的混合气态，并遇到火源会发生燃烧或爆炸的气体。
毒性气体 toxic gasLC50超过200ppm但不超过2000ppm的气体。
腐蚀性气体 corrosive gas是指在一定条件下，对材料或人体组织接触产生化学反应引起可见破坏或不可逆反应的气体。
氧化性气体 oxygenize gas是指在一定条件下，与材料接触会产生较为剧烈的失去电子的化学反应的气体。
惰性气体 inert gas在一般情况下与其它物质不会产生化学反应的气体。
限流孔板 restrict flow orifice(RFO)限定系统最大流量的一种装置。
过流开关 excess flow switch(EFS)流量超出设定值时，给出开关信号。
AP管 annealed and pickled pipe经过酸洗或钝化、去除表面残存颗粒的钝化无缝不锈钢管。
BA管 bright annealing pipe经加氢或真空状态高温热处理，消除内部应力并在管道表面形成一层钝化膜的光亮无缝不锈钢管。
EP管 electro-polished pipe经电化学抛光，使表层实际面积得到最大程度的减少,表面产生一层较厚的封闭的氧化铬膜的电化学抛光无缝不锈钢管。
吹扫 purge用氮气和氩气对特种气体系统内的其它气体进行置换的过程。
排气 vent特种气体设备与系统中排出的本质气体。
数据采集与监视控制系统 supervisory control and data acquisition（SCADA）是以计算机为基础的生产过程控制与调度自动化系统。
它可以对现场的运行设备进行监视和控制，以实现数据采集、设备控制、测量、参数调节以及各类信号报警等各项功能。
工厂设备管理控制系统 facility management control system（FMCS）用于管理工厂动力设备的管理控制系统，一般只具有监视功能，不具有控制功能。
大宗硅烷系统 bulk silane system是指容器水容积超过250L的硅烷系统，包括钢瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车(T/T)、ISO标准储罐，以及数量超过7个的独立小钢瓶系统。
气体面板 gas panel集成切断阀门、调压阀、过滤器、压力计等零部件并安装在气瓶柜内的专用设施。
开敞式建筑 open area立柱和墙面遮挡部分小于周长的25%的建筑。
内向检漏 inboard he leak test又称喷氦法测试. 采用内部抽真空，外部喷氦气的方法，测试管路系统的泄漏率。
阀座检漏 cross seat he leak test采用阀门上游充氦气，下游抽真空，检测泄漏率的方法。
外向检漏 outboard he leak test又称吸枪法测试，采用管路内部充氦气或氦氮混合气，外部用吸枪检查漏点泄漏率的方法。
不相容性 incompatible不同气体混合后即发生化学反应，释放出能量并对环境产生危害作用的特性。
ISO标准储罐 ISO module按国际标准组织（ISO）要求，允许安装在架子上的多个水容积不超过1218L的储罐或长管气瓶的总称。
大宗特气输送系统应用：1）集束钢瓶（容积小于50L钢瓶数量超过12个以上）；2）Y型钢瓶；3）T 型钢瓶；4）长管拖车；5）ISO槽罐等进行特种气体储存和送气作业的系统。
3 特种气体站房一般规定3.1.1特种气体站房包括布置在单独建构筑物或区域内的特种气体站和布置在生产厂房内的特种气体间。
3.1.2布置在生产厂房内的特种气体间，可采用气瓶柜、气瓶架、卧式气瓶、气瓶集装格向生产线供应特种气体。
3.1.3在生产厂房内的特种气体间内的最大允许储存量见表，当生产厂房内的气体储量超过规定数量时，应设计独立的特种气体站。
3.1.4集合工艺设备的布置情况，生产厂房内的特种气体间应集中布置在生产厂房一楼靠外墙的区域。
3.1.5 低蒸汽压力特种气体供应设施应尽可能靠近工艺设备。
3.1.6布置在单独建构筑物或区域内的特种气体站，可采用气瓶集装格、卧式气瓶、槽车、长管拖车向生产线供应特种气体。
气体站房分类3.2.1特种气体依其物性及安全特性，将其分为可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性气体。
3.2.2布置在生产厂房内的特种气体间根据气体性质宜分为可燃性气体间、毒性气体间/腐蚀性气体间、惰性气体间。
3.2.3独立布置的特种气体站有硅烷站、氨气站等。
特种气体设备的布置3.3.1不相容的特种气体的气瓶架应布置在不同房间里，如果布置在同一房间，气瓶柜架之间的距离应大于6米。
3.3.2同时具有可燃性和毒性气体应放在可燃性气体间3.3.3特种气体房间内的气瓶柜、气瓶架、就地尾气处理装置、气瓶集装格宜靠墙布置，具有相同或相近气体性质的设备应布置在一起。
3.3.4特种气体间的中间通道宽度不得小于2米，特气柜与墙体之间的距离宜大于0.1m，特气柜之间的距离宜大于0.1m,气瓶集装格宜靠墙布置。
布置应考虑维修与运转空间。
3.4.5硅烷站内长钢瓶拖车宜放置在硅烷站的室外空旷地坪。
3.4.6特种气体系统的电气控制盘、仪表控制盘的布置，应符合下列规定：1 应布置在与特种气体供应设备室相邻的控制室内，隔墙上可以设置防爆密闭观查窗。
2 控制室应以耐火极限不小于2h的隔墙和不低于的楼板与特种设备间隔开，穿越隔墙的管道应以防火材料填堵。
4 特种气体工艺系统一般规定4.1.1电子工厂的特种气体工艺系统应设置下列装置：1. 储存与送气的气瓶柜、气瓶架、集装格；2. 气体输送与分配用阀门箱或阀门盘；3. 辅助氮气吹扫系统；4. 尾气排放处置系统。
4.1.2特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特种气体使用的安全操作、工艺参数、污染控制的要求。
4.1.3不相容的特种气体的排气管道不应接入同一排气系统。