砷化镓单晶位错密度的测量方法
氮化镓单晶位错密度的测量
氮化镓单晶位错密度的测量范围本标准规定了用阴极荧光显微镜法测试氮化镓单晶位错密度的方法。
本标准适用于位错密度在1×103个/cm2～5×108个/cm2之间的氮化镓单晶中位错密度的测试。
规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。
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GB/T 1554硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法GB/T 14264 半导体材料术语GB/T 27788 微束分析扫描电镜图像放大倍率校准导则术语和定义GB/T 14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
阴极荧光 cathodoluminescence材料在阴极射线（电子束）激发下产生发光的一种物理现象。
辐射复合 radiative recombination电子从高能态到低能态的跃迁过程中，电子和空穴复合时会释放一定的能量，能量以光子的形式释放。
非辐射复合 nonradiative recombination电子从高能态到低能态的跃迁过程中，电子和空穴复合时会释放一定的能量，能量以除光子辐射之外的其他形式释放。
方法提要通常，待测发光材料样品在电子束的作用下，会被激发出各种信号，如二次电子信号、背散射电子信号、X射线信号、阴极荧光信号等。
采用特定的探测器对上述信号进行分别接收，便可得到反映样品相应特征的图像。
对阴极荧光信号主要采用光电倍增管来探测，将光信号转换成电流，最后以图像输出。
阴极荧光图像上的衬度反映了样品不同区域发光的强弱。
位错通常是氮化镓单晶中的非辐射复合中心，因此会在阴极荧光图像上表现为暗点，阴极荧光显微镜的空间分辨率可达到几十纳米，所以可以在不破坏样品的前提下检测氮化镓单晶的位错密度。
干扰因素氮化镓单晶表面在抛光过程中引入的划痕可能会影响位错的判断。
人工统计位错个数会产生误差。
试剂乙醇（ρ 0.789 g/mL），分析纯。
检验标准
金相检验标准金相检验标准一、钢材(１) 低倍检验1、GB/T226-1991 钢的低倍组织及缺陷酸蚀检验法2、GB/T1979-2001 结构钢低倍组织缺陷评级图3、GB/T 4236-1984 钢的硫印检验方法4、GB/T 1814-1979 钢材断口检验法5、GB/T 2971-1982 碳素钢和低合金钢断口检验方法6、YB/T 731-19870 塔型车削发纹检验法7、YB/T 4002-1992 连铸钢方坯低倍组织缺陷评级图8、YB/T 4003-1991 连铸钢板坯缺陷硫印评级图9、YB/T 4061-1991 铁路机车、车轴用车轴(含硫印缺陷评级图)10、YB/T153-1999 优质碳素结构钢和合金结构钢连铸方坯低倍组织缺陷评级图11、TB/T3031-2002 铁路用辗钢整体车轮径向全截面低倍组织缺陷的评定12、CB/T3380-1991 船用钢材焊接接头宏观组织缺陷酸蚀试验法13、HB/Z210-1991 涡喷型发动机涡轮内、外轴锻件低倍组织标准14、QJ2541-1993 不锈钢棒低倍锭型偏析检验方法(２)基础标准1、GB/T13298-1991 金属显微组织检验方法2、GB/T224-1987 钢的脱碳层深度测定法3、GB/T10561-1988 钢中非金属夹杂物显微评定方法4、GB/T 6394-2002 金属平均晶粒度测定方法5、GB/T/T13299-1991 钢的显微组织(游离渗碳体、带状组织及魏氏组织)评定方法6、GB/T/T13302-1991 钢中石黑碳显微评定方法7、GB/T4335-1984 低碳钢冷轧薄板铁素体晶粒度测定法8、JB/T/T5074-1991 低、中碳钢球化体评级9、ZBJ36016-1990 中碳钢与中碳合金结构钢马氏体等级10、DL/T652-1998 金相复型技术工艺导则(３)不锈钢1、GB/T6401-1986 铁素体奥氏体型双相不锈钢α－相面积含量金相测定法2、GB/T1223-1975 不锈耐酸钢晶间腐蚀倾向试验方法3、GB/T1954-1980 铬镍奥氏体不锈钢焊缝铁素体含量测量方法4、GB/T/T13305-1991 奥氏体不锈钢中α－相面积含量金相测定法(４)铸钢1、GB/T8493-1987 一般工程用铸造碳钢金相2、TB/T/T2451-1993 铸钢中非金属夹杂物金相检验3、TB/T/T2450-1993 ZG230-450铸钢金相检验4、GB/T/T13925-1992 高锰钢铸件金相5、GB/T5680-1985 高锰钢铸件技术条件(含金相组织检验)6、YB/T/T036.4-1992 冶金设备制造通用技术条件高锰钢铸件(高锰钢金相组织检验)7、JB/T/GQ0614-1988 熔模铸钢ZG310-570正火组织金相检验(５)化学热处理及感应淬火1、GB/T11354-2005 钢铁零件渗氮层深度测定和金相组织检验2、GB/T9450-1988 钢件渗碳淬火有效硬化层深度的测定和校核3、QCn29018-1991 汽车碳氮共渗齿轮金相检验4、JB/T4154-1985 25MnTiBXt钢碳氮共渗齿轮金相检验标准5、NJ251-1981 20MnTiBRe钢渗碳齿轮金相组织检验6、ZB/T04001-1988 汽车渗碳齿轮金相检验7、TB/T/T2254-1991 机车牵引用渗碳淬硬齿轮金相检验8、JB/T/T6141.1-1992 重载齿轮渗碳层球化处理后金相检验9、JB/T/T6141.3-1992 重载齿轮渗碳金相检验10、JB/T/T6141.4-1992 重载齿轮渗碳表面碳含量金相判别法11、GB/T5617-1985 钢的感应淬火或火焰淬火有效硬化层深度的测定12、GB/T9451-1988 钢件薄表面总硬化层深度或有效硬化层深度的测定13、ZB/J36009-1988 钢件感应淬火金相检验14、ZB/J36010-1988 珠光体球墨铸铁零件感应淬火金相检验15、NJ304-1983 渗碳齿轮感应加热淬火金相检验16、JB/T2641-1979 汽车感应淬火零件金相检验17、CB/T3385-1991 钢铁零件渗氮层深度测定方法(６)轴承钢1、YJZ84 高碳铬轴承钢(含酸浸低倍组织、非金属夹杂物、显微孔隙、退火组织、碳化物不均匀性、碳化物带状、碳化物液析评级图)2、GB/T9-68 铬轴承钢技术条件(含低倍缺陷、非金属夹杂物、退火组织、碳化物网状、碳化物液析评级图)3、GB/T3086-82 高碳铬不锈轴承钢技术条件(含酸浸低倍组织、火组织、共晶碳化物不均匀度、非金属夹杂物、微孔隙评级图)4、YB/T688-76 高温轴承钢Cr4Mo4V技术条件(含碳化物不均匀度评级图)5 JB/T1255-91 高碳铬轴承钢滚动轴承零件热处理技术条件(含退火组织、淬回火组织、碳化物网状、断口评级图)6、ZB/J36001-86 滚动轴承零件渗碳热处理质量标准(含粗大碳化物、渗碳表面层淬回火组织、心部组织、网状碳化物评级图)7、JB/T1460-92 高碳铬不锈钢滚动轴承零件热处理技术条件(含退火组织、淬回火组织、断口评级图)8、JB/T2850-92 Cr4Mo4V高温轴承钢滚动轴承零件热处理技术条件(含淬火组织、淬回火组织评级图)9、JB/T/T6366-92 55SiMoVA钢滚动轴承零件热处理技术条件(含退火组织、淬回火组织、渗碳淬回火组织评级图)(７)工具钢1、GB/T1298-77 碳素工具钢技术条件(含珠光体组织、网状碳化物评级图)2、GB/T1299-85 合金工具钢技术条件(含珠光体组织、网状碳化物、共晶碳化物不均匀)3、YB/T12-77 高速工具钢技术条件(含低倍碳化物剥落、共晶碳化物不均匀度评级图)4、ZB/J36003-87 工具热处理金相检验标准5、GB/T4462-84 高速工具钢大块碳化物评级图(８)零部件专用标准1、GB/T/T13320-91 钢质模锻件金相组织评级图及评定方法2、ZB/J18004-89 传动用精密滚子链和套筒链零件金相检验3、ZB/J26001-88 60Si2Mn钢螺旋弹簧金相检验4、ZB/J94007-88 柴油机喷嘴偶件、喷油泵柱塞偶件、喷油泵出油阀偶件金相检验5、JB/T3782-84 汽车钢板弹簧金相检验标准6、NJ309-83 内燃机连杆螺柱金相检验标准7、NJ326-84 内燃机活塞销金相检验标准8、JB/T/T6720-93 内燃机排气门金相检验标准9、JB/T/NQ180-88 内燃机气门座金相检验10、JB/T/GQ1050-8445、40Cr钢淬火马氏体金相检验11、JB/T/GQ1148-89机床用40Cr钢调质组织金相检验12、JB/T/GQ·T1150-89机床用38CrMoAl钢验收技术条件及调质后金相检验13、JB/T/GQ·T1151-89机床用45钢调质组织金相检验14、NJ396-86 低淬透性含钛优质碳素结构钢齿轮金相检验15、JB/T/T5664-91 重载齿轮失效判据16、CJ/T31-1999液化石油气钢瓶金相组织评定二、铸铁(１)基础标准1、GB/T7216-87 灰铸铁金相2、GB/T9441-88 球墨铸铁金相检验3、JB/T3892-84 蠕墨铸铁金相标准4、JB/T2212-77 铁素体可锻铸铁金相标准5、JB/T3021-81 稀土镁球墨铸铁等温淬火金相标准6、JB/T/Z303-87 灰铸铁与球墨铸铁断口扫描电镜分析图谱7、CB/T1165-88 船用灰铸铁金相标准8、CB/T1030-83 蠕虫状石墨铸铁金相检验9、TB/T/T2255-91 高磷铸铁金相10、TB/T/T2449-93 蠕墨铸铁金相检验(２)零部件专用标准1、GB/T2805-81 内燃机单体铸造活塞环金相检验(JB/T/T6016-92)2、GB/T3509-83 内燃机筒体铸造活塞环金相检验(JB/T/T6290-92)3、JB/T2330-93 内燃机高磷铸铁缸套金相标准4、NJ325-84 内燃机硼铸铁单体铸造活塞环金相标准5、JB/T/T5082-91 内燃机硼铸铁气缸套金相检验6、JB/T/Z179-82 中锰抗磨球墨铸铁金相标准7、JB/T/NQ100-86 内燃机钒钛铸铁气缸套金相检验8、JB/T/NQ178-88 内燃机钒钛铸铁单体铸造活塞环金相检验9、JB/T/T6724-93 内燃机球墨铸铁活塞环金相检验10、JB/T3934-85 汽车、摩托车发动机单体铸造活塞环金相检验11、ZB/TT12007-89汽车、摩托车发动机球墨铸铁活塞环金相标准12、ZB/TT06002-89汽车发动机镶耐磨圈活塞金相标准13、ZB/U05004-89中、大功率柴油机离心铸造气缸套金相检验14、TB/T/T2253-91 球墨铸铁活塞金相检验15、TB/T/T2448-93 合金灰铸铁单体铸造活塞环金相检验16、YB/T4052-91 高镍铬无限冷硬离心铸铁轧辊金相检验17、JB/T/T6954-93 灰铸铁接触电阻加热淬火质量检验和评级18、CB/T/T3903-1999 中、大功率柴油机离心铸造气缸套金相检验三、表面处理1、GB/T4677.6-84 金属和氧化覆盖厚度测试方法-截面金相法2、GB/T5929-86 轻工产品金属镀层和化学处理层的厚度测试方法-金相显微镜法3、GB/T6462-86 金属和氧化物覆盖层-横断面厚度显微镜测量方法4、GB/T6463-86 金属和其他无机覆盖层-厚度测量方法评述5、GB/T9790-88 金属覆盖层及其他有关覆盖层维氏和努氏显微硬度试验6、GB/T11250.1-89 复合金属覆盖层厚度测定-金相法7、JB/T/T5069-91 钢铁零件渗金属层金相检验方法8、JB/T/T6075-92 氧化钛涂层金相检验方法9、ZBJ92004-87 内燃机精密电镀减摩层轴瓦检验标准四、铝合金及铜合金1、GB/T3246-82 铝及铝合金加工制品显微组织检验方法2、GB/T3247-82 铝及铝合金加工制品低倍组织检验方法3、GB/T10849-89 铸造铝硅合金变质4、GB/T10850-89 铸造铝合金过烧5、GB/T10851-89 铸造铝合金针孔6、GB/T10852-89 铸造铝铜合金晶粒度7、GB/T7998-87 铝合金晶间腐蚀测定法8、GB/T8014-87 铝及铝合金阳极氧化阳极氧化膜厚度的定义和有关测量厚度的规定9、GB/T3508-83 内燃机铸造铝活塞金相检验10、QJ1675-89 变形铝合金过烧金相试验方法11、JB/T3932-85 汽车、摩托车发动机铸造铝活塞金相标准12、JB/T/NQ179-88 内燃机稀土共晶铝硅合金金相检验13、JB/T/T5108-91 铸造黄铜金相14、QJ2337-92 铍青铜的金相检验方法15、YB/T797-71 单相铜合金晶粒度测定法16、YB/T731-70 电真空器件用无氧铜含氧量金相检验法17、ZB/T12003-87汽车发动机轴瓦铜铅合金金相标准18、NJ355-85 内燃机铸造铜铅合金轴瓦金相检验标准19、CB/T1196-88 船舶螺旋浆用铜合金金相含量金相测定方法五、粉未冶金及硬质合金1、GB/T9095-88 烧结铁基材料-渗碳或碳氮共渗硬化层深度的测定2、JB/T2798-81 铁基粉未冶金烧结制品金相标准3、JB/T2869-81 烧结金属材料密度的测定4、JB/T2867-81 烧结金属材料表观硬度的测定5、ZBH72007-89 烧结金属摩擦材料金相检验法6、ZBH72012-90 碳化钨钢结硬质合金金相试样制备方法7、GB/T3488-83 硬质合金-显微组织的金相测定8、GB/T3489-83 硬质合金-孔隙度和非化合碳的金相测定六、有色合金及稀有金属1、GB/T4296-84 镁合金加工制品显微组织检验方法2、GB/T4297-84 镁合金加工制品低倍组织检验方法3、GB/T1554-79 硅单晶(111)晶面, , 位错蚀坑显示测量方法4、GB/T3490-83 含铜贵金属材料氧化亚铜金相检验方法5、GB/T4194-84 钨丝蠕变试验、高温处理及金相检验方法6、GB/T4197-84 钨钼及其合金的烧结坯条、棒材晶粒度测试方法7、GB/T5168-1985 两相钛合金高、低倍组织检验方法8、GB/T5594.8-85 电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法-显微结构的测定9、GB/T6623-86 抛光硅片表面热氧化层错的测试方法10、GB/T8755-88 钛及钛合金术语和金相图谱11、GB/T8756-88 锗单晶缺陷图谱12、GB/T8760-88 砷化镓单晶位错密度的测量方法13、GB/T11809-89 核燃料棒焊缝金相检验14、YB/T935-78 贵金属及其合金的金相试样制备方法15、YB/T732-71 铜、镍及其合金管材和棒材断口检验方法16、JB/T3657-84 汽车发动机轴瓦锡基和铅基合金金相标准17、GB/T1156-87 ChSnSb11-6合金轴瓦金相评级18、CB/T1156-92 锡基轴承合金金相检验七、其他有关标准1、GB/T14999.1-1994 高温合金棒材纵向低倍组织酸浸试验法高温合金棒材纵向低倍组织酸浸试验法2、GB/T14999.2-1994高温合金横向低倍组织酸浸试验法高温合金横向低倍组织酸浸试验法3、GB/T14999.5-1994高温合金低倍、高倍组织标准评级图谱4、YB/T 4093-1993 GH4133B合金盘形锻件纵向低倍组织标准八、其他有关标准1、ZB/N33002.1-1988 金相显微镜系列2、ZB/N33002.2-1988 金相显微镜技术条件3、GB/T6846-1986 确定暗室照明安全时间的方法4、GB/T/T4342-1991 金属显微维氏硬度试验方法5、GB/T/T15749-1995 定量金相手工测定方法6、GB/T/T17359-1998 电子探针和扫描电镜,X射线能谱定量分析通则7、GB/T 18876.1-2002 应用自动图像分析测定钢和其它金属中金相组织、夹杂物含量和级别的标准试验方法。
位错密度的测定
光伏检测——位错密度的测定XQ 编写一、位错密度的测定步骤1、切割、研磨样品。
2、化学抛光：采用HF:HNO3=1：（3~5)的抛光液。
注意反应不要太剧烈，以避免样品氧化。
最好不让晶体表面暴露于空气之中。
3、化学腐蚀：一般HF:CrO3(33%)水溶液=1：1的腐蚀液，此腐蚀液具有择优性，且显示可靠。
4、在腐蚀液中侵泡10～15min可以全部显露出来。
5、在显微镜下观看位错的面密度（ND）D NNSS——单晶截面积；N——穿过截面积S的位错线。
金相显微镜视场面积的大小需依据晶体中位错密度的大小来选定。
一般位错密度大时，放大倍数也应大些。
国家标准（GB1554-79）中规定：位错密度在104个/cm2以下者，采用1mm2的视场面积；位错密度在104个/cm2以上者，采用0.2 mm2的视场面积。
并规定取距边缘2mm的区域内的最大密度作为出厂依据。
二、样品制备1、根据晶体收尾情况及位错线的长度，在晶体上标明位错片的位置，头部在等径处标明位错片位置。
2、从硅单晶部位取厚度为3mm硅片并编号。
3、硅片用金刚砂研磨只无刀痕、无滑道，并清洗干净（金刚砂粒度不大于28μm）。
4、进行化学抛光，待硅片与抛光液反应产生的氮氧化物黄色烟雾快尽时，用大量离子交换水冲洗干净，重复上述操作，直到样品光亮至镜面。
要求抛光面无划道、无浅坑、无氧化、无沟槽等。
抛光液配比：HF:HNO3=1：（3~5)（体积比）HF纯度：化学纯HNO3纯度：化学纯三、（100）缺陷显示将样品待测面向下放入腐蚀槽中，倒入足量的Shimmel腐蚀液进行腐蚀，使液面高出样品1cm，腐蚀时间为10～15min。
Shimmel腐蚀液配比：HF:铬酸溶液=2：1（体积比）使用前配置铬酸溶液配置：称取75g CrO3放入1000mL容量瓶中，用水完全溶解后（需搅拌），在用水稀释至刻度，摇匀。
HF纯度：化学纯CrO3纯度：化学纯四、缺陷显示1、在无光泽黑色背景下的平行光照射下，用肉眼观察样品缺陷的宏观分布。
VGF法Si—GaAs单晶生长过程中产生位错的因素
VGF法Si—GaAs单晶生长过程中产生位错的因素作者：周铁军廖彬来源：《科技风》2018年第35期摘要：阐述了现有VGF法Si-GaAs单晶生长过程中影响位错产生、增殖的各种因素。
与掺入杂质Si浓度；熔体不润湿、与晶体热膨胀系数相近的PBN坩埚材料，低位错密度的籽晶可有效地抑制生长晶体的位错密度；固液界面的形状及晶体内的温度梯度是降低位错密度的关键控制因素，而两因素又受到炉膛温度梯度、长晶速率、气体等晶体生长工艺参数的影响。
关键词：位错密度；砷化镓单晶生长；VGF生长法1 绪论目前，GaAs 单晶已成为一种重要的光电子和微电子基础材料。
GaAs 具有高电子迁移率（为Si 的5 至6倍）、直接带隙（室温带宽1.43eV）、易于制成半绝缘材料（电阻率107 ～109 Ψ· cm）、抗辐射性好等特性.GaAs单晶衬底已用于制造高亮度LED 、大功率LD 、微波功率器件和单片电路等，[1，2]广泛应用在发光显示、光存储、移动通信、国防装备、航天等领域.此外，GaAs 基太阳能电池的转换效率高，具备良好的抗辐照能力，成为新一代高性能、长寿命空间主电源[3]。
随着GaAs 单晶衬底在光电子、微电子和太阳能电池等领域的广泛应用，人们对单晶质量的要求日益提高，以不断提高器件的性能和可靠性。
作为单晶衬底需要具备低的位错密度、良好的晶格完整性、合适的电学参数和较高的均匀性。
缺陷是影响半导体材料电学性质、光学性质和完整性等的关键因素，然而在生长过程中由于热应力、化学配比、掺杂等因素的影响，GaAs 单晶中易产生位错、点缺陷及其复合体等晶格缺陷，这些缺陷将有可能由衬底延伸到外延层，降低其晶格完整性，影响器件的性能和寿命。
因此，研究材料缺陷的性质和形成规律对于提高材料质量，控制缺陷产生是必不可少的工作。
本文研究分析了VGF法Si-GaAs单晶生长过程中产生位错的因素，在此基础上给出了降低缺陷密度，提高晶体质量的一些途径和建议。
金相分析实验标准
金相分析实验标准金相检测常用标准如下：1、钢中非金属夹杂物含量的测定（gb/t 10561-2005）2、金属平均晶粒度测定法（gb/t 6394-2002）3、钢的显微组织评定方法（gb/t 13299-1991）4、钢的脱碳层深度测定法（gb/t 224-2008）5、中碳钢与中碳合金结构钢马氏体等级（jb/t 9211-2008）6、球墨铸铁金相检验（gb 9441-88）一、钢材(１) 低倍检验1 gb/t226-1991 钢的低倍组织及缺陷酸蚀检验法2 gb/t1979-2001 结构钢低倍组织缺陷评级图3 gb/t 4236-1984 钢的硫印检验方法4 gb/t 1814-1979 钢材断口检验法5 gb/t 2971-1982 碳素钢和低合金钢断口检验方法6 yb/t 731-19870 塔型车削发纹检验法7 yb/t 4002-1992 连铸钢方坯低倍组织缺陷评级图8 yb/t 4003-1991 连铸钢板坯缺陷硫印评级图9 yb/t 4061-1991 铁路机车、车轴用车轴(含硫印缺陷评级图)10 yb/t 153-1999 优质碳素结构钢和合金结构钢连铸方坯低倍组织缺陷评级图11 tb/t 3031-2002 铁路用辗钢整体车轮径向全截面低倍组织缺陷的评定12 cb/t 3380-1991 船用钢材焊接接头宏观组织缺陷酸蚀试验法13 hb/z 210-1991 涡喷型发动机涡轮内、外轴锻件低倍组织标准14 qj 2541-1993 不锈钢棒低倍锭型偏析检验方法(２) 基础标准1 gb/t13298-1991 金属显微组织检验方法2 gb/t224-1987 钢的脱碳层深度测定法3 gb/t10561-1988 钢中非金属夹杂物显微评定方法4 gb/t 6394-2002 金属平均晶粒度测定方法5 gb/t/t13299-1991 钢的显微组织(游离渗碳体、带状组织及魏氏组织)评定方法6 gb/t/t13302-1991 钢中石黑碳显微评定方法7 gb/t4335-1984 低碳钢冷轧薄板铁素体晶粒度测定法8 jb/t/t5074-1991 低、中碳钢球化体评级9 zbj36016-1990 中碳钢与中碳合金结构钢马氏体等级10 dl/t 652-1998 金相复型技术工艺导则(３) 不锈钢1 gb/t6401-1986 铁素体奥氏体型双相不锈钢α－相面积含量金相测定法2 gb/t1223-1975 不锈耐酸钢晶间腐蚀倾向试验方法3 gb/t1954-1980 铬镍奥氏体不锈钢焊缝铁素体含量测量方法4 gb/t/t13305-1991 奥氏体不锈钢中α－相面积含量金相测定法(４) 铸钢1 gb/t8493-1987 一般工程用铸造碳钢金相2 tb/t/t2451-1993 铸钢中非金属夹杂物金相检验3 tb/t/t2450-1993 zg230-450铸钢金相检验4 gb/t/t13925-1992 高锰钢铸件金相5 gb/t5680-1985 高锰钢铸件技术条件(含金相组织检验)6 yb/t/t036.4-1992 冶金设备制造通用技术条件高锰钢铸件(高锰钢金相组织检验)7 jb/t/gq0614-1988 熔模铸钢zg310-570正火组织金相检验(５) 化学热处理及感应淬火1 gb/t11354-2005 钢铁零件渗氮层深度测定和金相组织检验2 gb/t9450-1988 钢件渗碳淬火有效硬化层深度的测定和校核3 qcn29018-1991 汽车碳氮共渗齿轮金相检验4 jb/t4154-1985 25mntibxt钢碳氮共渗齿轮金相检验标准5 nj251-1981 20mntibre钢渗碳齿轮金相组织检验6 zb/t04001-1988 汽车渗碳齿轮金相检验7 tb/t/t2254-1991 机车牵引用渗碳淬硬齿轮金相检验8 jb/t/t6141.1-1992 重载齿轮渗碳层球化处理后金相检验9 jb/t/t6141.3-1992 重载齿轮渗碳金相检验10 jb/t/t6141.4-1992 重载齿轮渗碳表面碳含量金相判别法11 gb/t5617-1985 钢的感应淬火或火焰淬火有效硬化层深度的测定12 gb/t9451-1988 钢件薄表面总硬化层深度或有效硬化层深度的测定13 zb/j36009-1988 钢件感应淬火金相检验14 zb/j36010-1988 珠光体球墨铸铁零件感应淬火金相检验15 nj304-1983 渗碳齿轮感应加热淬火金相检验16 jb/t2641-1979 汽车感应淬火零件金相检验17 cb/t3385-1991 钢铁零件渗氮层深度测定方法(６) 轴承钢1. yjz84 高碳铬轴承钢(含酸浸低倍组织、非金属夹杂物、显微孔隙、退火组织、碳化物不均匀性、碳化物带状、碳化物液析评级图)2. gb/t9-68 铬轴承钢技术条件(含低倍缺陷、非金属夹杂物、退火组织、碳化物网状、碳化物液析评级图)3 gb/t3086-82 高碳铬不锈轴承钢技术条件(含酸浸低倍组织、火组织、共晶碳化物不均匀度、非金属夹杂物、微孔隙评级图)4 yb/t688-76 高温轴承钢cr4mo4v技术条件(含碳化物不均匀度评级图)5 jb/t1255-91 高碳铬轴承钢滚动轴承零件热处理技术条件(含退火组织、淬回火组织、碳化物网状、断口评级图)6 zb/j36001-86 滚动轴承零件渗碳热处理质量标准(含粗大碳化物、渗碳表面层淬回火组织、心部组织、网状碳化物评级图)7 jb/t1460-92 高碳铬不锈钢滚动轴承零件热处理技术条件(含退火组织、淬回火组织、断口评级图)8 jb/t2850-92 cr4mo4v高温轴承钢滚动轴承零件热处理技术条件(含淬火组织、淬回火组织评级图)9 jb/t/t6366-92 55simova钢滚动轴承零件热处理技术条件(含退火组织、淬回火组织、渗碳淬回火组织评级图)(７) 工具钢1 gb/t1298-77 碳素工具钢技术条件(含珠光体组织、网状碳化物评级图)2 gb/t1299-85 合金工具钢技术条件(含珠光体组织、网状碳化物、共晶碳化物不均匀)3 yb/t12-77 高速工具钢技术条件(含低倍碳化物剥落、共晶碳化物不均匀度评级图)4 zb/j36003-87 工具热处理金相检验标准5 gb/t4462-84 高速工具钢大块碳化物评级图(８) 零部件专用标准1 gb/t/t13320-91 钢质模锻件金相组织评级图及评定方法2 zb/j18004-89 传动用精密滚子链和套筒链零件金相检验3 zb/j26001-88 60si2mn钢螺旋弹簧金相检验4 zb/j94007-88 柴油机喷嘴偶件、喷油泵柱塞偶件、喷油泵出油阀偶件金相检验5 jb/t3782-84 汽车钢板弹簧金相检验标准6 nj309-83 内燃机连杆螺柱金相检验标准7 nj326-84 内燃机活塞销金相检验标准8 jb/t/t6720-93 内燃机排气门金相检验标准9 jb/t/nq180-88 内燃机气门座金相检验10 jb/t/gq1050-84 45、40cr钢淬火马氏体金相检验11 jb/t/gq1148-89 机床用40cr钢调质组织金相检验12 jb/t/gq?t1150-89 机床用38crmoal钢验收技术条件及调质后金相检验13 jb/t/gq?t1151-89 机床用45钢调质组织金相检验14 nj396-86 低淬透性含钛优质碳素结构钢齿轮金相检验15 jb/t/t5664-91 重载齿轮失效判据16 cj/t 31-1999 液化石油气钢瓶金相组织评定二、铸铁(１) 基础标准1 gb/t7216-87 灰铸铁金相2 gb/t9441-88 球墨铸铁金相检验3 jb/t3892-84 蠕墨铸铁金相标准4 jb/t2212-77 铁素体可锻铸铁金相标准5 jb/t3021-81 稀土镁球墨铸铁等温淬火金相标准6 jb/t/z303-87 灰铸铁与球墨铸铁断口扫描电镜分析图谱7 cb/t1165-88 船用灰铸铁金相标准8 cb/t1030-83 蠕虫状石墨铸铁金相检验9 tb/t/t2255-91 高磷铸铁金相10 tb/t/t2449-93 蠕墨铸铁金相检验(２) 零部件专用标准1 gb/t2805-81 内燃机单体铸造活塞环金相检验(jb/t/t6016-92)2 gb/t3509-83 内燃机筒体铸造活塞环金相检验(jb/t/t6290-92)3 jb/t2330-93 内燃机高磷铸铁缸套金相标准4 nj325-84 内燃机硼铸铁单体铸造活塞环金相标准5 jb/t/t5082-91 内燃机硼铸铁气缸套金相检验6 jb/t/z179-82 中锰抗磨球墨铸铁金相标准7 jb/t/nq100-86 内燃机钒钛铸铁气缸套金相检验8 jb/t/nq178-88 内燃机钒钛铸铁单体铸造活塞环金相检验9 jb/t/t6724-93 内燃机球墨铸铁活塞环金相检验10 jb/t3934-85 汽车、摩托车发动机单体铸造活塞环金相检验11 zb/t t12007-89 汽车、摩托车发动机球墨铸铁活塞环金相标准12 zb/t t06002-89 汽车发动机镶耐磨圈活塞金相标准13 zb/u05004-89 中、大功率柴油机离心铸造气缸套金相检验14 tb/t/t2253-91 球墨铸铁活塞金相检验15 tb/t/t2448-93 合金灰铸铁单体铸造活塞环金相检验16 yb/t4052-91 高镍铬无限冷硬离心铸铁轧辊金相检验17 jb/t/t6954-93 灰铸铁接触电阻加热淬火质量检验和评级18 cb/t/t 3903-1999 中、大功率柴油机离心铸造气缸套金相检验三、表面处理1 gb/t4677.6-84 金属和氧化覆盖厚度测试方法-截面金相法2 gb/t5929-86 轻工产品金属镀层和化学处理层的厚度测试方法-金相显微镜法3 gb/t6462-86 金属和氧化物覆盖层-横断面厚度显微镜测量方法4 gb/t6463-86 金属和其他无机覆盖层-厚度测量方法评述5 gb/t9790-88 金属覆盖层及其他有关覆盖层维氏和努氏显微硬度试验6 gb/t11250.1-89 复合金属覆盖层厚度测定-金相法7 jb/t/t5069-91 钢铁零件渗金属层金相检验方法8 jb/t/t6075-92 氧化钛涂层金相检验方法9 zbj92004-87 内燃机精密电镀减摩层轴瓦检验标准四、铝合金及铜合金1 gb/t3246-82 铝及铝合金加工制品显微组织检验方法2 gb/t3247-82 铝及铝合金加工制品低倍组织检验方法3 gb/t10849-89 铸造铝硅合金变质4 gb/t10850-89 铸造铝合金过烧5 gb/t10851-89 铸造铝合金针孔6 gb/t10852-89 铸造铝铜合金晶粒度7 gb/t7998-87 铝合金晶间腐蚀测定法8 gb/t8014-87 铝及铝合金阳极氧化阳极氧化膜厚度的定义和有关测量厚度的规定9 gb/t3508-83 内燃机铸造铝活塞金相检验10 qj1675-89 变形铝合金过烧金相试验方法11 jb/t3932-85 汽车、摩托车发动机铸造铝活塞金相标准12 jb/t/nq179-88 内燃机稀土共晶铝硅合金金相检验13 jb/t/t5108-91 铸造黄铜金相14 qj2337-92 铍青铜的金相检验方法15 yb/t797-71 单相铜合金晶粒度测定法16 yb/t731-70 电真空器件用无氧铜含氧量金相检验法17 zb/t12003-87 汽车发动机轴瓦铜铅合金金相标准18 nj355-85 内燃机铸造铜铅合金轴瓦金相检验标准19 cb/t1196-88 船舶螺旋浆用铜合金金相含量金相测定方法五、粉未冶金及硬质合金1 gb/t9095-88 烧结铁基材料-渗碳或碳氮共渗硬化层深度的测定2 jb/t2798-81 铁基粉未冶金烧结制品金相标准3 jb/t2869-81 烧结金属材料密度的测定4 jb/t2867-81 烧结金属材料表观硬度的测定5 zbh72007-89 烧结金属摩擦材料金相检验法6 zbh72012-90 碳化钨钢结硬质合金金相试样制备方法7 gb/t3488-83 硬质合金-显微组织的金相测定8 gb/t3489-83 硬质合金-孔隙度和非化合碳的金相测定六、有色合金及稀有金属1 gb/t4296-84 镁合金加工制品显微组织检验方法2 gb/t4297-84 镁合金加工制品低倍组织检验方法3 gb/t1554-79 硅单晶(111)晶面位错蚀坑显示测量方法4 gb/t3490-83 含铜贵金属材料氧化亚铜金相检验方法5 gb/t4194-84 钨丝蠕变试验、高温处理及金相检验方法6 gb/t4197-84 钨钼及其合金的烧结坯条、棒材晶粒度测试方法7 gb/t5168-1985 两相钛合金高、低倍组织检验方法8 gb/t5594.8-85 电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法-显微结构的测定9 gb/t6623-86 抛光硅片表面热氧化层错的测试方法10 gb/t8755-88 钛及钛合金术语和金相图谱11 gb/t8756-88 锗单晶缺陷图谱12 gb/t8760-88 砷化镓单晶位错密度的测量方法13 gb/t11809-89 核燃料棒焊缝金相检验14 yb/t935-78 贵金属及其合金的金相试样制备方法15 yb/t732-71 铜、镍及其合金管材和棒材断口检验方法简介mtt（美信检测）是一家从事材料及零部件品质检验、鉴定、认证及失效分析服务的第三方实验室，网址：，：。
位错监测方案
位错监测方案第1篇位错监测方案一、方案背景随着我国科技水平的不断提高，材料科学领域的研究取得了举世瞩目的成果。
位错作为材料微观结构的重要组成部分，对材料性能具有显著影响。
为了确保材料的质量与性能，位错监测成为关键环节。
本方案旨在制定一套合法合规的位错监测方案，以提高材料研究及生产过程的效率与质量。
二、方案目标1. 实现对材料中位错的实时监测，为材料性能优化提供数据支持。
2. 提高位错监测的准确性和可靠性，降低人为误差。
3. 确保监测过程合法合规，遵循相关法律法规及行业标准。
三、方案内容1. 监测方法（1）光学显微镜法：利用光学显微镜对材料表面进行观察，通过位错形成的特征线条进行识别和计数。
（2）透射电子显微镜法：采用透射电子显微镜对材料内部位错结构进行高分辨率成像，以便准确分析位错的类型、密度和分布。
（3）X射线衍射法：利用X射线衍射技术，通过分析衍射峰的位置和强度变化，推算材料中的位错密度。
2. 监测流程（1）样品制备：根据不同监测方法，制备适合的样品，确保样品表面平整、无污染。
（2）设备校准：对监测设备进行校准，保证设备性能稳定、数据可靠。
（3）位错识别与计数：采用合适的监测方法，对材料中的位错进行识别和计数。
（4）数据分析：对监测数据进行分析，评估位错对材料性能的影响。
（5）报告撰写：整理监测结果，撰写位错监测报告。
3. 合法合规性保障（1）遵循相关法律法规：严格按照国家关于材料检测的法律法规进行操作，确保监测过程合法合规。
（2）执行行业标准：参照行业标准，制定监测方案，确保监测结果的准确性和可靠性。
（3）人员培训：对监测人员进行专业培训，提高其操作技能和业务水平。
（4）设备维护与管理：定期对设备进行维护与管理，确保设备性能稳定，满足监测需求。
四、预期效果1. 提高位错监测的准确性，为材料性能优化提供可靠数据支持。
2. 降低人为误差，提高监测效率。
3. 确保监测过程合法合规，提升材料研究的科学性和权威性。
半导体材料层错、位错的显示
实验半导体材料层错、位错的显示通常制造电子器件要求所采用的半导体材料是单晶体，就是说要求材料的原子排列严格按照一定的规律。
但是由于种种原因，实际的单晶中往往存在某些缺陷，位错就是其中的一种。
在硅单晶中，由于种种原因，特别在高温下材料的内应力使原子面间产生滑移，晶面局部产生范性形变，这种形变即形成位错，使得完整的晶体结构受到破坏。
在外延生长过程中，原子的排列仍然要按一定的顺序，但是由于如样品表面机械损伤、表面沾污气体不纯等种种原因，使得外延层原子的排列次序发生了错误，这种原子层排列发生错乱的地方叫层错，它是一种面缺线。
半导体材料中位错的存在对晶体管集成电路器件的电学和力学性质都有影响。
层错对器件制造工艺的影响和位错相似，可以造成三极管发射区-收集区穿通，也可以不同程度的影响p-n结的反相特性，一般要求外延层中的层错密度小于102/cm2，大规模集成电路则要求更小。
位错的显示方法有X射线法、电子显微镜法和铜缀饰红外透射法等，最简单常用的是腐蚀金相法，本实验就采用腐蚀金相法。
这种方法的优点是设备简单，其缺点是只观测到与被测点相交的位错线。
本实验的目的是掌握金相显微镜的使用方法；熟悉半导体材料硅单晶片的位错、外延层层错的显示方法；掌握计算层错、位错密度以及外延层厚度的方法。
一、实验原理在硅单晶中，有位错的地方其原子的排列失去规则性，结构比较松散，在这里的原子具有较高的能量，并受到较大的张力，因此在位错线和表面相交处很容易被腐蚀形成凹下的坑，即所谓腐蚀坑，我们正是利用这个特性来显示位错和层错的。
1．层错的腐蚀硅的晶体结构是金刚石结构，在(111)方向上它的排列次序是：AA´BB´CC´即三个双层密排面一个重复周期。
假设外延衬底表面层的原子是按A原子层排列，那么按正常次序外延生长的第一层原子应为A´原子层。
但由于表面沾污、伤痕或晶格缺陷、原子在该处沉积等原因，使得表面某一区域出现反常，不是按A‘原子面排列，而是按B原子面排列，以此类推，形成了ABB´CC´AA´...... 的排列。
各类标准——精选推荐
各类标准国内⾦相检验标准⽬录⼀、钢材(1)低倍检验1. CB 3380-1991 船⽤钢材焊接接头宏观组织缺陷酸蚀试验法2. GB/T 226-1991 钢的低倍组织及缺陷酸蚀检验法3. GB 2971-1982 碳素钢和低合⾦钢断⼝检验⽅法4. GB/T 1814-1979 钢材断⼝检验法5. GB/T 1979-2001 结构钢低倍组织缺陷评级图6. GB/T 4236-1984 钢的硫印检验⽅法7. GB/T 15711-1995 钢材塔形发纹酸浸检验⽅法8. TB/T 3031-2002 铁路⽤辗钢整体车轮径向全截⾯低倍组织缺陷的评定9. YB 4002-1991 连铸钢⽅坯低倍组织缺陷评级图10. YB/T 153-1999 优质碳素结构钢和合⾦结构钢连铸⽅坯低倍组织缺陷评级图11. YBT 4003-1997 连铸钢板坯低倍组织缺陷评级图(２) 基础标准(钢的显微组织评定)1. DL/T 652-1998 ⾦相复型技术⼯艺导则2. GB/T 224-2008 钢的脱碳层深度测定法3. DL/T 652-1998 ⾦相复型技术⼯艺导则4. GB/T 224-2008 钢的脱碳层深度测定法5. GB/T 4334-2008 ⾦属和合⾦的腐蚀不锈钢晶间腐蚀试验⽅法6. GB/T 4335-1984 低碳钢冷轧薄板铁素体晶粒度测定法7. GB/T 10561-2005 钢中⾮⾦属夹杂物含量的测定标准评级图显微检验法8. GB/T 13298-1991 ⾦属显微组织检验⽅法9. GB/T 13299-1991 钢的显微组织评定⽅法10. GB/T 13302-1991 钢中⽯墨碳显微评定⽅法11. GB/T 13320-2007 钢质模锻件⾦相组织评级图及评定⽅法12. GB/T 14979-1994 钢的共晶碳化物不均匀度评定法13. GB/T 15749-2008 定量⾦相测定⽅法14. GB/T 18876.1-2002 应⽤⾃动图像分析测定钢和其他⾦属中⾦相组织、夹杂物含量和级别的标准试验⽅法第⼀部分15. GB/T 18876.2-2006 应⽤⾃动图像分析测定钢和其他⾦属中⾦相组织、夹杂物含量和级别的标准试验⽅法第⼆部分16. GB/T 18876.3-2008 应⽤⾃动图像分析测定钢和其它⾦属中⾦相组织、夹杂物含量和级别的标准试验⽅法第三部分17. GB/T 6394-2002 ⾦属平均晶粒度测定法18. JB/T 5074-2007 低、中碳钢球化体评级19. JB/T 9211-2008 中碳钢与中碳合⾦结构钢马⽒体等级(３) 不锈钢1. CB/T 1209-1992 0Cr17Ni4Cu4Nb(17-4PH)+马⽒体沉淀硬化不锈钢⾦相检验2. GB 4234-2003 外科植⼊物⽤不锈钢3. GB/T 1220-2007 不锈钢棒4. GB/T 1954-2008 铬镍奥⽒体不锈钢焊缝铁素体含量测量⽅法5. GB/T 4334.1-2000 不锈钢10%草酸浸蚀试验⽅法6. GB/T 4334.2-2000 不锈钢硫酸-硫酸铁腐蚀试验⽅法7. GB/T 4334.3-2000 不锈钢65%硝酸腐蚀试验⽅法8. GB/T 4334.4-2000 不锈钢硝酸-氢氟酸腐蚀试验⽅法9. GB/T 4334.5-2000 不锈钢硫酸_硫酸铜腐蚀试验⽅法10. GB/T 4334.6-2000 不锈钢5%硫酸腐蚀试验⽅法11. GB/T 6401-1986 铁素体奥⽒体型双相不锈钢中α-相⾯积含量⾦相测定法12. GB/T 13305-2008 不锈钢中α-相⾯积含量⾦相测定法(４) 铸钢1. GB/T 5680-1998 ⾼锰钢铸件2. GB/T 8493-1987⼀般⼯程⽤铸造碳钢⾦相3. GB/T 13925-1992铸造⾼锰钢⾦相4. TB/T 2450-1993 ZG230-450铸钢⾦相检验5. TB/T 2451-93铸钢中⾮⾦属夹杂物⾦相检验6. YB/T 036.4-1992 冶⾦设备制造通⽤技术条件⾼锰钢铸件(５) 化学热处理及感应淬⽕1. CB 3385-1991 钢铁零件渗氮层深度测定⽅法2. GB/T 5617-2005 钢的感应淬⽕或⽕焰淬⽕后有效硬化层深度的测定3. GB/T 9450-2005 钢件渗碳淬⽕有效硬化层深度的测定和校核4. GB/T 9451-2005 钢件薄表⽽总硬化层深度或有效硬化层深度的测定5. GB/T 11354-2005 钢铁零件渗氮层深度测定和⾦相组织检验6. GB/T 18177-2000 钢件的⽓体渗氮7. JB/T 3999-1999 钢的渗碳与碳氮共渗淬⽕回⽕处理8. JB/T 6141.1-1992 重载齿轮渗碳层球化处理后⾦相检验9. JB/T 6141.2-1992 重载齿轮渗碳质量检验10. JB/T 6141.3-1992 重载齿轮渗碳⾦相检验11. JB/T 6141.4-1992 重载齿轮渗碳表⾯碳含量⾦相判别法12. JB/T 7709-2007 渗硼层显微组织、硬度及层深检测⽅法13. JB/T 7710-2007 薄层碳氮共渗或薄层渗碳钢件显微组织检测14. JB/T 9198-1999 盐浴硫氮碳共渗15. JB/T 9200-1999 钢铁件的⽕焰淬⽕回⽕处理16. JB/T 9204-2008 钢件感应淬⽕⾦相检验17. JB/T 9205-2008 珠光体球墨铸铁零件感应淬⽕⾦相检验18. QCn 29018-1991 汽车碳氮共渗齿轮⾦相检验19. QC/T 262-1999 汽车渗碳齿轮⾦相检验20. QC/T 502-1999 汽车感应淬⽕零件⾦相检验21. TB/T 2254-1991 机车牵引⽤渗碳硬齿轮⾦相检验标准(６) 轴承钢1. GB/T 3086-2008 ⾼碳铬不锈轴承钢2. GB/T 18254-2002 ⾼碳铬轴承钢3. JB/T 1255-2001 ⾼碳铬轴承钢滚动轴承零件热处理技术条件4. JB/T 1460-2002 ⾼碳铬不锈钢滚动轴承零件热处理技术条件5. JB/T 2850-2007 Cr4Mo4V⾼温轴承钢零件热处理技术条件6. JB/T 6366-1992 55SiMoVA钢滚动轴承零件热处理技术条件7. JB/T 7362-1994 滚动轴承零件脱碳层检查⽅法8. JB/T 8881-2001 滚动轴承零件渗碳热处理技术条件9. YB 9-68 铬轴承钢技术条件(７) ⼯具钢1. GB 1298-1986 碳素⼯具钢技术条件2. GB 4462-1984 ⾼速⼯具钢⼤块碳化物评级图3. GB/T 1299-2000 合⾦⼯具钢4. GB/T 9943-2008 ⾼速⼯具钢5. JB/T 7713-2007 ⾼碳合⾦钢制冷作模具显微组织检验6. JB/T 8420-2008 热作模具钢显微组织评级7. JB/T 9129-2000 60Si2Mn钢螺旋弹簧⾦相检验8. YB/T 5058-2005 弹簧钢、⼯具钢冷轧钢带9. ZBJ 36003-1987 ⼯具热处理⾦相检验标准(８) 零部件专⽤标准1. CJ/T 31-1999 液化⽯油⽓钢瓶⾦相组织评定2. JB 3782-1984 汽车钢板弹簧3. JB/T 5664-2007 重载齿轮失效判据4. JB/T 6720-1993 内燃机进、排⽓门⾦相检验5. JB/T 8118.2-1999 内燃机活塞销⾦相检验6. JB/T 8837-2000 内燃机连杆螺栓⾦相检验7. JB/T 8893-1999 内燃机⽓门座⾦相检验8. JB/T 9730-1999 柴油机喷油嘴偶件、喷油泵9. QC/T 521-1999 汽车发动机⽓门挺杆技术条件⼆、铸铁(１) 基础标准1. GB/T 7216-2009 灰铸铁⾦相检验2. GB/T 8491-2009 ⾼硅耐蚀铸铁件3. GB/T 9437-2009 耐热铸铁件4. GB/T 9441-2009 球墨铸铁⾦相检验5. JB 3021-1981 稀⼟镁球墨铸铁等温淬⽕⾦相标准6. JB/T 2122-1977 铁素体可锻铸铁⾦相标准7. JB/T 3829—1999 蠕墨铸铁⾦相8. TB/T 2255-1991 ⾼磷铸铁⾦相(２) 零部件专⽤标准1. JB/T 9745-1999 内燃机硼铸铁单体铸造活塞环⾦相检验2. JB/T 2330-1993 内燃机⾼磷铸铁⽓缸套⾦相检验3. JB/T 5082.1-2008 内燃机⽓缸套硼铸铁⾦相检验4. JB/T 6290-2007 内燃机简体铸造活塞环⾦相试验5. JB/T 6016.1-2008 内燃机活塞环⾦相检验第1部分：单体铸造活塞环6. JB/T 6016.3-2008 内燃机活塞环⾦相检验第3部分：球墨铸铁活塞环7. JB/T 6954-1993 灰铸铁接触电阻加热淬⽕质量检验和评级8. QC/T 284-1999 汽车、摩托车发动机球墨铸铁活塞环⾦相标准9. QC/T 555-2000 汽车、摩托车发动机单体铸造活塞环⾦相检验10. TB/T 2448-1993 合⾦灰铸铁单体铸造活塞环⾦相检验11. YB/T 4052-1991 ⾼镍铬⽆限冷硬离⼼铸铁轧辊⾦相检验三、表⾯处理1. GB/T 4677.6-1984 ⾦属和氧化覆盖层厚度测试⽅法截⾯⾦相法2. GB/T 5929-1986 轻⼯产品⾦属渡层和化学处理层的厚度测试⽅法3. GB/T 6462-2005 ⾦属和氧化覆盖层厚度测量显微镜法4. GB/T 9790-1988 ⾦属覆盖层及其他有关覆盖层维⽒和努⽒显微硬度试验5. GB/T 11250.1-1989 复合⾦属覆层厚度的测定⾦相法6. JB/T 5069-1991 钢铁零件渗⾦属层⾦相检验⽅法7. JB/T 6075-1992 氮化钛涂层⾦相检验⽅法四、铝合⾦(１) 基础标准1. GB 10852-1989 铸造铝铜合⾦晶粒度2. GB/T 1173-1995 铸造铝合⾦3. GB/T 3246.1-2-2000 变形铝及铝合⾦制品显微组织检验⽅法4. GB/T 3246.2-2000 变形铝及铝合⾦制品低倍组织检验⽅法5. GB/T 7998-2005 铝合⾦晶间腐蚀测定⽅法6. GB/T 8014.1 -2005 铝及铝合⾦阳极氧化氧化膜厚度的测量⽅法第1部分测量原则7. GB/T 8014.2 -2005 铝及铝合⾦阳极氧化氧化膜厚度的测量⽅法第2部分质量损失法8. GB/T 8014.3 -2005 铝及铝合⾦阳极氧化氧化膜厚度的测量⽅法第3部分：分光束显微镜法9. GB/T 8733-2000 铸造铝合⾦锭10. GB/T 10849-1989 铸造铝硅合⾦变质11. GB/T 10850-1989 铸造铝硅合⾦过烧12. GB/T 10851-1989 铸造铝合⾦针孔13. GB/T 15115-94 压铸铝合⾦14. JB/T 7946.1-1999 铸造铝合⾦⾦相.铸造铝硅合⾦变质15. JB/T 7946.2-1999 铸造铝合⾦⾦相.铸造铝硅合⾦过烧16. JB/T 7946.3-1999 铸造铝合⾦⾦相.铸造铝合⾦针孔17. JB/T 7946.4-1999 铸造铝合⾦⾦相.铸造铝铜合⾦晶粒度18. QJ 1675-1989 变形铝合⾦过烧⾦相试验⽅法(２) 零部件专⽤标准1. GB 3508-1983 内燃机铸造铝活塞⾦相检验标准2. JB/T 6289-2005 内燃机铸造铝活塞⾦相检验3. JB/T 8892-1999 内燃机稀⼟共晶铝硅合⾦活塞⾦相检验4. QC/T 553-2008 汽车、摩托车发动机铸造铝活塞⾦相检验五、铜合⾦1. GB/T 10119-2008 黄铜耐脱锌腐蚀性能的测定2. GB/T 10567.2-2007 铜及铜合⾦加⼯材残余应⼒检验⽅法氨薰试验法3. JB/T 5108-91 铸造黄铜4. JB/T 9749-1999 内燃机铸造铜铅合⾦轴⽡⾦相检验5. QC/T 281-1999 汽车发动机轴⽡铜铅合⾦⾦相标准6. QJ 2337-1992 铍青铜的⾦相试验⽅法7. YS/T 335-1994 电真空器件⽤⽆氧铜含氧量⾦相8. YS/T 336-1994 铜、镍及其合⾦管材和棒材断⼝检验法9. YS/T 347-2004 铜及铜合⾦平均晶粒度测定⽅法10. YS/T 449-2002 铜及铜合⾦铸造和加⼯制品显微组织检验⽅法六、粉未冶⾦及硬质合⾦1. GB 3488-1983 硬质合⾦-显微组织的⾦相测定2. GB/T 3489-1983 硬质合⾦孔隙度和⾮化合碳的⾦相测定3. GB/T 9095-2008 烧结铁基材料渗碳或碳氮共渗层深度的测定及其验证4. GB/T 10425-2002 烧结⾦属摩擦材料表观硬度的测定5. JB/T 2798-1999 铁基粉末冶⾦烧结制品⾦相标准6. JB/T 9137-1999 烧结⾦属摩擦材料⾦相检验法七、有⾊合⾦及稀有⾦属1. CB 1156-1992 锡基轴承合⾦⾦相检验2. GB/T-4197-1984 钨钼及其合⾦的烧结坯条、棒材晶粒度测定⽅法3. GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验⽅法4. GB/T 4194-1984 钨丝蠕变试验,⾼温处理及⾦相检查⽅法5. GB/T 4296-2004 变形镁合⾦显微组织检验⽅法6. GB/T 4297-2004 变形镁合⾦低倍组织检验⽅法7. GB/T 5168-2008 α-β钛合⾦⾦⾼低倍组织检验⽅法8. GB/T 6611-2008 钛及钛合⾦术语和⾦相图谱9. GB/T 8756-1988 锗单晶缺陷图谱10. GB/T 8760-2006 砷化镓单晶位错密度的测量⽅法11. GB/T 13810-2007 外科植⼊物⽤钛及钛及钛合⾦加⼯材12. GB/T 13818-1992 压铸锌合⾦13. GB/T 5594.8-1985 电⼦元器件结构陶瓷材料性能测试⽅法显微结构的测定14. QC/T 516-1999 汽车发动机轴⽡锡基和铅基合⾦⾦相标准15. QJ 2917-1997 钛及钛合⾦⾦相检验⽅法16. YS/T 370-2006 贵⾦属及其合⾦的⾦相试样制备⽅法⼋、⾼温合⾦相关标准1. GB/T 14999.1-1994 ⾼温合⾦棒材纵向低倍组织酸浸试验法2. GB/T 14999.2-1994 ⾼温合⾦横向低倍组织酸浸试验法3. GB/T 14999.3-1994 ⾼温合⾦棒材纵向断⼝试验法4. GB/T 14999.4-1994 ⾼温合⾦显微组织试验法5. GB/T 14999.5-1994 ⾼温合⾦低倍⾼倍组织标准评级图谱6. YB 4093-1993 GH4133B合⾦盘形锻件纵向低倍组织标准九、其他有关标准1. DL/T 884-2004 ⽕电⼚⾦相检验与评定技术导则2. GB/T 1979-2001 结构钢低倍组织缺陷评级图介绍3. GB/T 3203-1982 渗碳轴承钢技术条件4. GB/T 4340.1-2009 ⾦属材料维⽒硬度试验第1部分：试验⽅法5. GB/T 4340.2-1999 ⾦属维⽒硬度试验2：硬度计的检验6. GB/T 4340.3-1999 ⾦属维⽒硬度试验3：标准硬度块的标定7. GB/T 5612-2008 铸铁牌号表⽰⽅法8. GB/T 8063-1994 铸造有⾊⾦属及其合⾦牌号表⽰⽅法9. GB/T 15749-2008 定量⾦相测定⽅法10. GB/T 17359-1998 电⼦探针和扫描电镜X射线能谱定量分析⽅法通则11. GB/T 17360-1998 钢中低含量Si、Mn 的电⼦探针定量分析⽅法12. GB/T 18876.1-2002 应⽤⾃动图像分析测定钢和其它⾦属中⾦相组织、夹杂物含量和级别的标准试验⽅法第1部分：钢和其它⾦属中夹杂物或第⼆相组织含量的图像分析与体视学测定2010年12⽉15⽇。
金相检测标准汇总(2018年更新版)
铜及铜合金平均晶粒度测定方法
现行
118
YS/T 449—2002
铜及铜合金铸造和加工制品显微组织检验方法
现行
119
GB/T 3488.1—2014
硬质合金 显微组织的金相测定 第1部分：金相照片和描述
现行
120
GB/T 3489—2015
硬质合金 孔隙度和非化合碳的金相测定
金属显微组织检验方法
现行
16
GB/T 13299—1991
钢的显微组织评定方法
现行
17
GB/T 13302-1991
钢中石墨碳显微评定方法
现行
18
GB/T 13320-2007
钢质模锻件 金相组织评级图及评定方法
现行
19
GB/T 14979—1994
钢的共晶碳化物不均匀度评定法
现行
20
GB/T 15749—2008
变形镁合金显微组织检验方法
现行
130
GB/T 4297—2004
变形镁合金低倍组织检验方法
现行
131
GB/T 5168—2008
α-β钛合金高低倍组织检验方法
现行
132
GB/T 6611—2008
钛及钛合金术语和金相图谱
现行
133
GB 8756—1988
锗晶体缺陷图谱
现行
134
GB/T 8760-2006
现行
54
JB/T 9205-2008
珠光体球墨铸铁零件感应淬火金相检验
现行
55
QC/T 29018-1991
汽车碳氮共渗齿轮金相检验
现行
56
VGF法Si-GaAs单晶生长过程中产生位错的因素
S 掺 O/2bj;2jWQT晶片表面结构5% 倍3==]3==视场 (&$ 掺入杂质 O/浓度 减小位错的方法之一是掺入杂质# 实验证明"通过适度地
掺杂确实可以生长出低位错密度的晶体# 通过对比非掺 bj;2 jWQT和掺 O/2bj;2jWQT生长的单晶"非掺 bj;2jWQT晶体中基 本不存在 QT沉积聚集在位错周围所形成的胞状结构"但含有 独立和分散的 QT沉积# 掺 O/2bj;晶中则存在高浓度的 U占 QT位% UQT& "O/占 jW位和 jW空位的复合体% O/jWbjW& 等缺陷# 通过抑制 U沾污"有助于提高 O/的掺杂激活效率"降低自补偿 作用"减少杂质沉积所造成的微缺陷和错位密度#
晶体的电阻率存在很大的起伏# 虽然 bj;2jWQT单晶的 QT过 量程度较低"但在晶体中仍存在 QT的沉积"只是由于位错密度 低而不在位错周围大量聚集&但在局部区域还会出现位错聚集 成+十,字型或直线型的位错排列结构"如图% S& 所示# 也可以 看出在掺 O/2bj;法样品中% 图% S& & "还分布有大量的小丘状 微缺陷"微缺陷围绕位错出现# 分析以下几种 bj;法 O/2jWQT 单晶生长找那个产生位错的因素!
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砷化镓单晶位错密度的测量方法
砷化镓单晶位错密度的测量方法砷化镓(GaAs)是一种重要的半导体材料，广泛应用于电子器件中。
位错密度是评估材料质量的重要指标之一、本文将介绍砷化镓单晶位错密度的测量方法。
首先，我们需要了解位错的定义。
位错是晶体内部的原子排列不规则所导致的点、线或面缺陷。
位错可以分为点位错、线位错和面位错。
在砷化镓单晶中，常见的位错包括错配位错、滑移位错和螺旋位错。
1.线条密度法线条密度法是测量线位错密度的一种常用方法。
首先需要在砷化镓表面制备出一系列等距的线条，通常使用刻蚀或光刻技术制备。
然后使用显微镜观察这些线条，通过数每条线上位错的数量，计算出位错密度。
2.X射线透射法X射线透射法通过观察X射线透射图像中的细微条纹来测量位错密度。
位错导致晶体中的原子排列不规则，使得X射线经过晶体时发生衍射现象，从而在透射图像中形成条纹。
通过计算透射图像中条纹的间距和强度，可以得到位错密度的近似值。
3.物理性能测试法位错可以影响砷化镓的物理性能，如光学性能和电学性能。
因此，通过测试砷化镓样品的光学和电学性能，可以间接估计位错密度。
例如，通过测量样品的漫反射光谱和光致发光光谱，可以评估位错密度。
同时，通过测量样品的电导率和电阻率，也可以获得位错密度的一些参考信息。
需要注意的是，以上方法都只能得到位错密度的近似值，因为实际的位错分布是三维的，而这些方法只能从表面或者二维切面的信息中得到位错密度。
因此，为了更准确地测量位错密度，还需要结合其他方法，如电子显微镜和X射线衍射等。
综上所述，砷化镓单晶位错密度的测量可以通过线条密度法、X射线透射法和物理性能测试法等方法进行。
这些方法各有优缺点，需要根据具体情况选择合适的方法。
此外，为了获得更准确的位错密度，还可以结合其他方法进行综合分析。
材料表面位错密度的测量方法
材料表面位错密度的测量方法
硬件设备方法：
1、用尖头镜对照测量：可以用带有特定倍率的尖头镜对照测量物体表面上的位错密度，直接观察子元素的缺陷和位错的数量及大小，以计算出位错密度。
2、金相显微法：采用金相显微镜的方法来观察材料表面上的缺陷，可以看到材料内部及材料表面的位错及数量，从而计算位错密度。
3、布里渊算法：在表面精度测量中，采用布里渊算法法无须任何精密仪器就可以计算出表面位错密度，但它具有较大的误差。
4、X射线衍射：X射线衍射也可以用来测量材料表面的位错密度，因为X射线衍射具有高的灵敏度，能看到材料表面的微小位错缺陷，并且具有精确的计算功能，可以快速准确测量位错的数量及大小，算出位错密度。
5、电子探伤：常用的一种表面精度探头，能高度精确地测量材料表面缺陷的大小、形状及位置，进而计算出位错密度。
软件设备方法：
1、用图像处理程序来测量材料表面位错密度：可以用图形处理软件也可以用表面分析软件来测量缺陷的数量及大小，从而计算出位错密度。
2、用虚拟实验室（VIVALDI)法来计算位错密度：虚拟实验室（VIVALDI）是一种利用数字技术对模拟材料表面及位错缺陷的计算机辅助测试工具，可以有效实现位错密度的测试及验证，从而获得准确的测试结果。
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《砷化镓单晶位错密度的测量方法》
标准编制说明
1. 工作简况
根据中国有色金属协会字XXXX第XXX号文，由有研光电新材料有限责任公司负责对自2003开始实施的国家标准 GB 8760 - 2003 《砷化镓单晶位错密度的测量方法》进行修订。
修订工作从2016年10月起至2018年11月止，完成标准送审稿, 文稿修订人赵敬平、王彤涵、赵素晓、许兴、许所成。
原标准中对测试方法的适用范围、测量仪器、测量过程和计算方法的规定仍然适合于现在的实际应用情况。
标准修改的内容主要是在制样过程中引进了研磨机、化学抛光液配比做了修正、腐蚀过程稍作变动，增加了用带数码成像的显微镜测量平均位错的方法。
2. 应用情况
本标准规定的测量方法是测量砷化镓单晶材料位错密度的典型测量方法，所使用的仪器设备成本不高，测量精度能满足绝大多数应用需求，本行业内各单位测量位错密度均采用相同或相似测量方法。
近年来相关的改进主要是在仪器方面，主要就是在观测显微镜中加入计算机数码成像系统，使位错腐蚀坑的统计计算和图象记录更方便快捷。
3. 主要修改内容
依据 GB/T1.1-2009 标准化工作导则所确定的规则,在“前言”中，加入了本标准的主要修订内容，使文本更简明，条理更清晰。
修改的条款有：
原4.2条中只讲述了用手工研磨试样，在实际工作中可以用研磨机研磨试样，本标准增加了研磨机研磨试样的过程。
原4.3条款中规定H
2SO
4
：H
2
O
2
：H
2
O=3：1：1（体积比），但在实际工作中发
现H
2SO
4
：H
2
O
2
：H
2
O=2：1：1（体积比）能缩短抛光时间，且减少硫酸的排放。
原4.4条款中“待熔化并澄清后（约400℃）”，在实际工作中，要准确测量
并且稳定控制坩埚内的温度比较困难，也将导致设备复杂程度和测量成本的大幅度提高,且只要熔化的氢氧化钾呈现澄清状态，选择适当的腐蚀时间，都能得到清晰的腐蚀坑，故不再对温度做限制。
原条款5和条款6中，未提及带数码成像的显微镜，在本次修订中做了补充。
修改后标准的主要技术水平与原标准相当。
4. 国外情况
制定原标准时参考了国外标准《ASTM F47》，这项标准主要是有关硅晶体材料的测量标准。
现在已制定了针对砷化镓晶体材料的标准《ASTM F1404-92（2007）》，此项标准中与本标准相应的内容基本一致。
5. 建议
建议将此项标准作为推荐性国家标准。