第6章 压电传感器分解

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传感器技术-第6讲-压电磁敏传感器PPT

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2.霍尔元件基本结构
霍尔元件的外形结构图,它由霍尔片、 4根引线和壳体组成,激励电极通常用红色 线,而霍尔电极通常用绿色或黄色线表示。
图3 霍尔元件
3.霍尔元件基本特性
(1)输入电阻和输出电阻
霍尔元件激励电极之间电阻为输入电 阻,霍尔电极输出电势对于电路外部来说 相当于一个电压源,其电源内阻即为输出 电阻。
(c)
P
i
H-
N 电流
图8 磁敏二极管的工作原理示意图
结论:随着磁场大小和方向的变化,可产生 正负输出电压的变化、特别是在较弱的磁场 作用下,可获得较大输出电压。若r区和r区 之外的复合能力之差越大,那么磁敏二极管 的灵敏度就越高。
磁敏二极管反向偏置时,则在 r区仅流 过很微小的电流,显得几乎与磁场无关。因 而二极管两端电压不会因受到磁场作用而有 任何改变。
6.1.3 压电式传感器的应用
1 压电式测力传感器
组成:
主要由石英晶片、绝缘套、电极、上 盖和基座等组成。
2、原理
传感器的上盖为传力元件,当受到外 力作用时,它将产生弹性形变,将力传递 到石英晶片上,利用石英晶片的压电效应 实现力—电转换。绝缘套用于绝缘和定位。
它的测力范围是0~50N,最小分辨率 为0.01N,绝缘阻抗为 2 1014 ,固有频 率为50~60kHz。非线性误差小于±1%。 整个该传感器重为10g,可用于机床动态 切削力的测量。
ΔU/V
2.0
1.6 1.2
3.霍尔式接近开关
利用霍尔效应可以制成开关型传感器。 广泛应用于测转速、制作接近开关等。霍 尔式接近开关主要由霍尔元件、放大电路、 整形电路、输出驱动及稳压电路5部分组成。
由工作特性曲线可见,工作时具有一定的 磁滞特性,可以使开关更可靠工作。图中

[整理版]传感器原理与应用习题_第6章压电式传感器

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[整理版]传感器原理与应用习题_第6章压电式传感器《传感器原理与应用》习题集与部分参考答案教材:传感器技术(第3版)贾伯年主编,及其他参考书第6章压电式传感器6-1 何谓压电效应,何谓纵向压电效应和横向压电效应,答:一些离子型晶体的电介质不仅在电场力作用下,而且在机械力作用下,都会产生极化现象。

且其电位移D(在MKS单位制中即电荷密度σ)与外应力张量T成正比: D = dT 式中 d—压电常数矩阵。

当外力消失,电介质又恢复不带电原状;当外力变向,电荷极性随之而变。

这种现象称为正压电效应,或简称压电效应。

若对上述电介质施加电场作用时,同样会引起电介质内部正负电荷中心的相对位移而导致电介质产生变形,且其应变S与外电场强度E成正比: S=dE 式中 d——逆压电常数矩阵。

这种现象称为逆压电tt效应,或称电致伸缩。

6-2 压电材料的主要特性参数有哪些,试比较三类压电材料的应用特点。

答:主要特性:压电常数、弹性常数、介电常数、机电耦合系数、电阻、居里点。

压电单晶:时间稳定性好,居里点高,在高温、强辐射条件下,仍具有良好的压电性,且机械性能,如机电耦合系数、介电常数、频率常数等均保持不变。

此外,还在光电、微声和激光等器件方面都有重要应用。

不足之处是质地脆、抗机械和热冲击性差。

压电陶瓷:压电常数大,灵敏度高,制造工艺成熟,成形工艺性好,成本低廉,利于广泛应用,还具有热释电性。

新型压电材料:既具有压电特性又具有半导体特性。

因此既可用其压电性研制传感器,又可用其半导体特性制作电子器件;也可以两者合一,集元件与线路于一体,研制成新型集成压电传感器测试系统。

6-3 试述石英晶片切型()的含意。

yxlt,50:/45:6-4 为了提高压电式传感器的灵敏度,设计中常采用双晶片或多晶片组合,试说明其组合的方式和适用场合。

答:(1)并联:C′,2C,q′=2q,U′=U,因为输出电容大,输出电荷大,所以时间常数,适合于测量缓变信号,且以电荷作为输出的场合。

传感器原理与应用习题第6章压电式传感器

传感器原理与应用习题第6章压电式传感器

《传感器原理与应用》习题集与部分参考答案教材:传感器技术(第3版)贾伯年主编,及其他参考书第6章 压电式传感器6-1 何谓压电效应?何谓纵向压电效应和横向压电效应?答:一些离子型晶体的电介质不仅在电场力作用下,而且在机械力作用下,都会产生极化现象。

且其电位移D(在MKS 单位制中即电荷密度σ)与外应力张量T 成正比: D = dT 式中 d —压电常数矩阵。

当外力消失,电介质又恢复不带电原状;当外力变向,电荷极性随之而变。

这种现象称为正压电效应,或简称压电效应。

若对上述电介质施加电场作用时,同样会引起电介质内部正负电荷中心的相对位移而导致电介质产生变形,且其应变S 与外电场强度E 成正比: S=d t E 式中 d t ——逆压电常数矩阵。

这种现象称为逆压电效应,或称电致伸缩。

6-2 压电材料的主要特性参数有哪些?试比较三类压电材料的应用特点。

答:主要特性:压电常数、弹性常数、介电常数、机电耦合系数、电阻、居里点。

压电单晶:时间稳定性好,居里点高,在高温、强辐射条件下,仍具有良好的压电性,且机械性能,如机电耦合系数、介电常数、频率常数等均保持不变。

此外,还在光电、微声和激光等器件方面都有重要应用。

不足之处是质地脆、抗机械和热冲击性差。

压电陶瓷:压电常数大,灵敏度高,制造工艺成熟,成形工艺性好,成本低廉,利于广泛应用,还具有热释电性。

新型压电材料:既具有压电特性又具有半导体特性。

因此既可用其压电性研制传感器,又可用其半导体特性制作电子器件;也可以两者合一,集元件与线路于一体,研制成新型集成压电传感器测试系统。

6-3 试述石英晶片切型(︒︒+45/50yxlt )的含意。

6-4 为了提高压电式传感器的灵敏度,设计中常采用双晶片或多晶片组合,试说明其组合的方式和适用场合。

答:(1)并联:C ′=2C ,q ′=2q,U ′=U,因为输出电容大,输出电荷大,所以时间常数,适合于测量缓变信号,且以电荷作为输出的场合。

压电传感器(第六章)

压电传感器(第六章)

电路并联
电路串联
C 2C,Q ' 2Q,U ' U C ' C ,U ' 2U ,Q ' Q
2
U’
+++++++++++ +
____________ _
___________
+++++++++++
+ _
U’
+++++++++++ + ___________ _ ++ + + + + + + + + + + _ ____________ +
第六章 压电传感器
主要内容
1.压电效应 2.压电材料 3.压电元件结构 4.等效电路与测量电路 5.压电传感器的应用
1
概述
压电式传感器是一种典型的自发电型传感 器,以电介质的压电效应为基础,外力作用 下在电介质表面产生电荷,从而实现非电量 测量。 压电式传感器可以对各种动态力、机械 冲击和振动进行测量,在声学、医学、力学、 导航方面都得到广泛的应用。
25
聚偏氟乙烯压电材料
聚 偏 氟 乙 烯 压 电 效 应
26
高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆
27
可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板
28
压电式脚踏报警器
29
6.3 压电元件结构形式
单片压电元件产生的电荷量甚微,为了提高压电传 感器的输出灵敏度, 在实际应用中常采用两片(或两 片以上)同型号的压电元件粘结在一起。 由于压电材 料的电荷是有极性的,因此接法也有两种。

第六章 压电式传感器

第六章 压电式传感器
U im d 33 FmR
1 CR
2
i
d 33 Fm C

2
arctan RC
当R无限大时 电压幅值比:
U im Um
Um
RC
1 1 RC
CR 2 1
U im 1 2 Um 1 1 i arctan 1 2
第六章:压电式传感器
主讲人:贾鹤萍
压电式传感器是一种自发电式传感器。它以某些 电介质的压电效应为基础,在外力作用下,在电介质 表面产生电荷,从而实现非电量电测的目的。
压电传感元件是力敏感元件,它可以测量最终能 变换为力的那些非电物理量,例如动态力、动态压力 、振动加速度等,但不能用于静态参数的测量。 压电式传感器具有体积小、质量轻、频响高、信 噪比大等特点。由于它没有运动部件,因此结构坚固 、可靠性、稳定性高。
1、工作原理--压电效应
图6-1 压电转换元件受力变形的几种基本形式
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1、工作原理--压电效应 压电传感器中的压电元件材料一般有三类: 压电晶体(如上述的石英晶体); 经过极化处理的压电陶瓷; 高分子压电材料。
1、工作原理----石英晶体 天然结构的石英晶体呈六角形晶柱,
Z轴为光轴,是晶体的对称轴,光线沿Z轴通过晶体 不产生双折射现象。
q1 q11 q12 q13 q14 q15 q16
q1 d111 d12 2 d13 3 d14 4 d15 5 d16 6 q2 d211 d22 2 d23 3 d24 4 d25 5 d26 6 q3 d311 d32 2 d33 3 d34 4 d35 5 d36 6 [D] 1

压电式传感器 ppt课件

压电式传感器  ppt课件
• 压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多, 所 以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高。 极化处理后的压电陶瓷材料的特性不稳定,而且剩 余极化强度和特性与温度有关, 它的参数也随时间 变化, 从而使其压电特性减弱。 • 目前使用较多的压电陶瓷材料是钛酸钡陶瓷及 PZT系列, 它有较高的压电系数和较高的工作温度。
ppt课件
19
6.1 工作原理及压电材料
7) 石英晶体的上述特性与其内部分
y
子 结 构 有 关 。 图 6.1.3 是 一 个 单 元 组
体中构成石英晶体的硅离子和氧离子
在垂直于z轴的xy平面上的投影,等
x
效为一个正六边形排列。右图中紫色
代表硅离子Si4+,绿色代表氧离子O2-。
8) 当石英晶体未受外力作用时,正、负离子正好分 布在正六边形的顶角上,形成三个互成120°夹角的 电偶极矩P1、P2、P3。 如图6.1.3(a)所示。
ppt课件
11
6.1 工作原理及压电材料
相6 对5
介4
电 常
3
数2 ε1
居里点 t/℃
0
100 200 300 400 500 600
石英在高温下相对介电常数的温度特性
居里点温度
573°C
其介电常数和压电常数 的温度稳定性相当好, 在常温范围内这两个参 数几乎不随温度变化。
自振频率高,动态响应好,机械强度高,绝缘性能好, 迟滞小,重复性好,线性范围宽
• 具有体积小,重量轻,工作频带宽等特点, 因此在各种动 态力、 机械冲击与振动的测量, 以及声学、医学、力学、 宇航等方面都得到了非常广泛的应用。
ppt课件
2
6.1 工作原理及压电材料
一、 压电效应

《压电传感器》课件

《压电传感器》课件

接线与调试
按照说明书的接线图进行 正确接线,并进行必要的 调试和校准,以确保传感 器正常工作。
压电传感器的日常维护
定期检查
定期检查传感器的外观、 连接线和固定情况,确保 传感器无损坏、无松动。
清洁与除尘
定期清洁传感器表面,保 持清洁,避免灰尘和污垢 影响测量精度。
防潮防震
在潮湿和震动环境中使用 时,采取相应的防潮和防 震措施,以保护传感器不 受损坏。
《压电传感器》PPT课件
目 录
• 压电传感器简介 • 压电传感器的类型与结构 • 压电传感器的特性分析 • 压电传感器的使用与维护 • 压电传感器的发展趋势与展望
01
压电传感器简介
压电传感器的工作原理
01
压电传感器是一种利用压电效应 原理制成的传感器。当受到外力 作用时,压电材料会产生电荷, 从而实现对压力的测量。
压电元件
是压电传感器的主要部 分,负责将压力信号转
换为电信号。
信号处理电路
对压电元件输出的电信 号进行处理,包括放大
、滤波、补偿等。
输出接口
将处理后的信号输出到 外部设备,如计算机、
显示器等。
保护壳体
保护传感器免受外界环 境的影响,如温度、湿
度、尘埃等。
压电传感器的材料
压电晶体
如石英、钛酸钡等,具有较高的压电常数和灵敏度。
用于血压、心电等生理参数的 测量,为医疗诊断提供准确数 据。
环境监测
用于气象、地震、水文等领域 的气压、风速、流量等参数的 测量,为环境保护和灾害预警
提供支持。
压电传感器的优缺点
优点
高灵敏度、高精度、低迟滞、抗干扰能力强、稳定性好等。
缺点
易受温度、湿度等环境因素影响,需要定期校准和维护,成 本较高。

第六章压电传感器(河南理工大学)

第六章压电传感器(河南理工大学)
25
聚偏氟乙烯压电材料
聚 偏 氟 乙 烯 压 电 效 应
26
高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆
27
可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板
28
表6-1 常用压电材料的主要性能(P104)
29
(1)压电系数:dij
i=1,2,3,表示电学量方向,分 别表示X轴、Y轴、Z轴方向。 j=1,2,3,4,5,6,力学方向,分别 表示沿X轴、Y轴、Z轴方向作 用的正力和YOZ平面、ZOX平 面、XOY平面作用的切应力。
20
➢ 施加外电场时,电畴的极化方向发生转动,趋 向外电场方向排列。外电场强度达到饱和程度时 ,所有的电畴与外电场一致。 ➢外电场去掉后,电畴极化方向基本不变,剩余 极化强度很大。所以,压电陶瓷极化后才具有压 电特性。
21
极化过程示意图
➢ 晶体极化时,在沿极化方向加一直流电压, 形成外加电场,使电畴的方向与外加电场的方 向一致。 ➢ 晶体极化后,沿极化方向产生剩余极化强度。
Pxx----极化强度; Fx-----沿X轴方向的压缩力; d11----压电系数;
l、b----石英晶体的长度和宽度;
σxx ---压缩应力。
而极化强度Pxx又等于晶片表面的电荷密度,即

10
电荷的极性 (1)在X轴方向施加压缩力 时,则X轴正向为正电荷;
(2)在X轴方向施加拉力 时,则X轴正向为负电荷;
猛烈撞击陶瓷压电组件4,产生压电效应,从而在正负两极 面上产生大量电荷,正负电荷通过高压导线5在尖端放电产 生火花,使得燃气被点燃。
煤气灶压电陶瓷打火器不仅使用方便,安全可靠,而且
使用寿命长,据有关资料介绍,采用压电陶瓷制成的打火器
可使用100万次以上。

压电传感器的结构及应用

压电传感器的结构及应用

压电材料 的分类
.
石英晶体的特性
石英晶体在20~200℃的范围内压电常数的变化量 只有-0.0001/℃。还具有自振频率高、动态响应好、 机械强度高、绝缘性能好、迟滞小、重复性好、线性 范围宽等优点。
石英晶体的不足之处是压电常数较小: d=2.3110-12C/N。因此石英晶体大多只在标准传感 器、高准确度传感器或使用高温压电传感器中使用, 而在一般要求的测量中,基本上采用压电陶瓷。
晶片沿x面受拉力时,或是所受压力消失后, 弹性体反弹时,也能导致石英晶体的正负电荷 中心分离, x面的上表面带负电,下表面带正电。
受交变力时,产生交变电信号。
1-正电荷等效中心 2-负电荷等效中心
沿 y面受压力时,石英晶体的正负电荷中心也产生 分离, x面的上表面带负电,下表面带正电
Q

d11
第六章 压电传感器
本章介绍压电效应、逆压电效应及应用、 压电元件、等效电路、电荷放大器、压电 传感器的结构及应用,振动的基本概念、 振动传感器及振动频谱分析等。
第六章 压电传感器 目录
6.1 压电传感器的工6.3 压电传感器的结构和应用 进入 6.4 振动测量及频谱分析 进入
必须严格控制晶片的切 割角度。使在正常的工 作温度范围内,不至超 过所要求的容许误差。
晶片在切割、抛光的连 续加工过程中,都会因 加工的准确度不同,导 致一定的离散型,使温 度漂移变大,灵敏度不 一致等。
(二)压电陶瓷
压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料, 它比石英晶体的压电灵敏度高得多,而制造 成本却较低,因此目前国内外生产的压电元 件绝大多数都采用压电陶瓷 。常用的压电陶 瓷材料有锆钛酸铅系列压电陶瓷(PZT)及 非铅系压电陶瓷 (如BaTiO3等)。
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晶体在z轴方向受力Fz的作用时,因为晶 体沿x方向和沿y方向所产生的正应变完 全相同,所以,正、负电荷中心始终保 持重合。
这就表明:在沿z(即光轴)方向的力Fz 作用 下,晶体不产生压电效应。
x
Fx
+++++
x
Fx
-----
-----
+++++
(a) x
Fy
-----
+++++ (c)
(b) x
其大小为
bc
b
qy d12 ac Fy d12 a Fy
根据石英晶体轴对称条件:d11 = -d12,则:
b
晶片长度
qy d11 a Fy
晶片厚度
重要结论:
① 当晶片受到x方向的压力作用时,qx只与作用力Fx成 正比,而与晶片的几何尺寸无关; ② 沿机械轴y方向向晶片施加压力时,产生的电荷是与 几何尺寸有关的; ③ 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的; ④ 晶体在哪个方向上有正压电效应,则在此方向上一定 存在逆压电效应; ⑤ 无论是正或逆压电效应,其作用力(或应变)与电荷 (或电场强度)之间皆呈线性关系。
用,在陶瓷片的电极面上吸附了一层来自外
界的自由电荷。这 些自由电荷与陶瓷片内 的束缚电荷符号相反而 数量相等,它屏蔽和抵 消了陶瓷片内极化强度 对外界的作用。
电极
自由电荷
-----
+++++
-
极化方向 ----
束缚电荷
+++++
电极
图9 陶瓷片内束缚电荷与 电极上吸附的自由电荷示
意图
如果在陶瓷片上加一个与极化方向平行的压
Fx
-
负离子的重心在X方向水平偏
左,导致沿X方向上的两个面 -
上积累极性相反的电荷,而产 -
-+
+ P1 P3 P2
-+
+ + + +
Fx x
生电压。
(b) Fx<0
当晶体受到沿x方向的拉力(Fx >0)作用时,其变化情
况如图5(c)所示。
y
此时正、负电荷中心同样 不再重合,正离子的重心在X 方向偏左,负离子的重心在X 方向水平偏右,导致沿X方向 上的两个面上积累极性相反的 电荷,而产生电压。
第六章 压电传感器
受力、表面形变 压电器件 电荷
6.1 压电效应
某些物质沿某一方向受到外力作用时, 会产生变形,同时其内部产生极化现象, 此时在这种材料的两个表面产生符号相反 的电荷,当外力去掉后,它又重新恢复到 不带电的状态,这种现象被称为压电效应。 当作用力方向改变时,电荷极性也随之改 变。这种机械能转化为电能的现象称为 “正压电效应”或“顺压电效应”。
图10 正压电效应示意图
当作用力Fz、Fy或Fx反向时,电荷的极性 也反向。
压电陶瓷在受到如图12(c)所示的作用
力Fx、Fy、Fz共同作用时,在垂直于z轴 的上、下平面上分别出现正、负电荷。
z +Fz+ + +
Fx - - + + Fx
-
+பைடு நூலகம்
P1 P3 P2
-
+ +
x
- - ++
Fx +
+ +
+ +
y
-
+
P1 P3
- P2 +
F- x -x -
(b) Fx<0
(c) Fx>0
当Fy <0时,即力沿y轴方向受压,显然等效于在x轴
方向受拉。
可见:晶体在y(即机械轴)方向的力 Fy作用下,在x方向 产生正压电效应,在y、z方向同样不产生压电效应。
Fx +
+ +
+ +
-
+
P1 P3
- P2 +
F- x -x -
(c) Fx>0
可见:当晶体受到沿x(电轴)方向的力Fx 作用时, 它在x方向产生正压电效应,而y、z方向则不产
生压电效应。
晶体在y轴方向受力Fy作用下的情况与Fx 相似。当Fy
>0时,即在y轴方向受拉力的形变等效于晶体在X轴
方向受压的形变; y
正压电效应
图2 压电效应的可逆性
石英晶体的压电效应
石英 居里点573℃,六角晶系结构
光轴
电轴
机械轴
2.
石英晶体产生压电效应的微观机理
y
y
-
+
x +
x -
-
+
(a)
(b)
图4 硅氧离子的排列示意图
在垂直于z轴的xy平面上的投影,
图中“+”代表硅离子Si4+, “-”代表氧离子O2-。
当石英晶体未受外力作用时,正、负离子 正好分布在正六边形的顶角上,形成三个 互成120°夹角,如图5(a)所示。
+++++ Fy
----(d)
图7 石英晶体受力方向与电荷极性关系
3. 作用力与电荷的关系
z
若从晶体上沿y方向切下一
块(a)所示的晶片,当沿电
O y
x
轴 x 方 向 施 加 应 力 σx 时 , 晶 片
(a)
将产生厚度变形,并发生极
a
z
化现象。在晶体线性弹性范
围内,电荷密度P11与应力σx x 成正比。
此时正负电荷中心重合, 所以晶体表面不产生电 荷,呈电中性。
y
-+
+ P1 P3 - x
P2 -+
(a) Fx=0
当晶体受到沿x方向的压力(F x < 0)作用时,晶 体沿x方向将产生收缩,正、负离子的相对位置随
之发生变化,如图5(b)所示。
y
此时正、负电荷中心不再重合, 正离子的重心在X方向偏右,
⑥压电系数d越大,产生的电压越大,电荷越多。
压电陶瓷的压电效应 原始的未经处理的压电陶瓷呈中性,不 具有压电性质。
电场 方向
(a)
(b)
图8 压电陶瓷的极化 (a) 未极化; (b) 电极化
陶瓷片内的极化强度总是以电偶极矩的形式
表现出来,即在陶瓷的一端出现正束缚电荷,
另一端出现负束缚电荷。由于束缚电荷的作
y c b
(b)
即:
P d
d
F x
11
11
x
bc 11
(5-1)
d11——压电系数。下标的意义为产生电荷 的面的轴向及施加作用力的轴向;
b、c——石英晶片的长度和宽度。
P11
qx bc
(5-2)
将以上两式联立,得 qx d11Fx (5-3)
若在同一切片上,沿机械轴y方向施加应力
σy,则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy,
力F,陶瓷片将产生压缩形变。片内的正、
负束缚电荷之间的距离变小,极化强度也变
小。释放部分吸附在电极上的自由电荷,而
出现放电现象。当压力撤消后,陶瓷片恢复
原状,极化强度也变大, 因此电极上又吸附一部 分自由电荷而出现充电 现象。——正压电效应。
F ----- -
+++++
极化方向 ----+++++ +
F
F
++++++ ------
F
------ ++++++
F
图1 正(顺)压电效应示意图
反之,当在某些物质的极化方向上施加电
场,这些材料在某一方向上产生机械变形
或机械压力;当外加电场撤去时,这些变
形或应力也随之消失。这种电能转化为机
械能的现象称为“逆压电效应”或“电致
伸缩效应”。
电能
逆压电效应
机械能
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