影响扫描电镜图像质量的因素分析
扫描电镜成像技术参数测量和图像处理优化
扫描电镜成像技术参数测量和图像处理优化扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种利用电子束来观察物质表面微观形貌的重要仪器。
扫描电镜的成像质量直接影响到我们对样品微观结构的理解和分析。
因此，对扫描电镜的成像技术参数进行准确测量和图像处理的优化是非常重要的。
一、扫描电镜成像技术参数测量1. 分辨率测量分辨率是衡量扫描电镜成像质量的重要参数之一。
常用的测量方法是利用聚苯乙烯球（PSL）标准样品进行测量。
首先将PSL标准样品放置在扫描电镜的样品台上，选择合适的放大倍数进行观察。
然后，通过测量PSL标准样品像素尺寸和球的直径，可以计算出扫描电镜的分辨率。
2. 加速电压测量扫描电镜的加速电压对成像结果有重要影响。
一般来说，较高的加速电压可以得到更好的穿透能力和深度信息，但也会导致成像分辨率的降低。
因此，选择合适的加速电压非常重要。
可以使用金刚石颗粒（DOS）标准样品来测量加速电压。
测量时，将DOS标准样品放置在扫描电镜的样品台上，选择合适的放大倍数观察颗粒的形态，并根据颗粒直径与厚度的关系来确定适宜加速电压。
3. 焦点调谐测量扫描电镜的焦点位置是影响成像质量的重要因素之一。
为了获得更好的成像效果，需要进行焦点调谐。
一种常用的焦点调谐方法是利用铜膜标准样品。
将铜膜标准样品放置在扫描电镜样品台上，选择适当的放大倍数，通过观察铜膜的清晰度调整扫描电镜的焦距，以获得最佳的成像效果。
二、图像处理优化1. 噪声抑制扫描电镜图像中常常存在各种噪声，如高斯噪声和斑点噪声等。
为了提高图像质量，可以采用数字滤波技术来抑制噪声。
常用的滤波方法包括均值滤波、中值滤波和高斯滤波等。
选择合适的滤波器和滤波参数可以有效地去除噪声，并保留有用的图像细节。
2. 对比度增强对比度是衡量图像中不同灰度级之间差异程度的参数。
较低的对比度会导致图像细节不清晰。
为了增强图像的对比度，可以采用直方图均衡化、对比度拉伸和灰度映射等图像增强技术。
扫描电镜样品制备及图像质量影响因素分析
工业技术科技创新导报 Science and Technology Innovation Herald103①作者简介：马虹(1987—)，女，山东泰安人，大专，初级实验师，研究方向：材料分析与表征。
通讯作者：徐娜(1979—)，女，山东诸城人，硕士，高级实验师，研究方向：工程材料失效分析，E-mail:xnlfw@126. com。
DOI：10.16660/ki.1674-098X.2019.26.103扫描电镜样品制备及图像质量影响因素分析①马虹 徐娜*时军波 李囡 李恩霞 张宏(齐鲁工业大学（山东省科学院） 山东省分析测试中心 山东省材料失效分析与安全评估工程技术研究中心 山东济南250014)摘 要：样品的制备作为扫描电子显微镜观测前的必要工序，对观测结果的精确性和准确度有重要影响。
本文介绍了场发射扫描电子显微镜块状和粉末样品的制备方法，归纳总结了影像图像质量的主要因素。
关键词：场发射扫描电镜 样品 制备方法 图像质量中图分类号：TN16 文献标识码：A 文章编号：1674-098X(2019)09(b)-0103-02Abstract: As a necessary procedure before scanning electron microscope observation, sample preparation has an important inf luence on the accuracy of observation results. In this paper, the preparation of bulk and powder samples by field emission scanning electron microscope is introduced, and the main factors of image quality are summarized. Key Words: Field emission scanning electron microscope; Sample; Preparation method; Image quality场发射扫描电子显微镜(Field Emission Scanning Electron Microscope, FESEM)是近年来发展起来的一种简单、高效、便捷、几乎是非破坏性的表面观测设备[1]。
扫描电镜(SEM)优缺点及基本影响要素
扫描电镜（SEM）优缺点及基本影响要素扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
电镜扫描下的果蝇扫描电镜的优点：①有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调；②有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；③试样制备简单。
电镜扫描下的面包霉菌影响扫描电镜（SEM）的几大要素：分辨率影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有：A. 入射电子束束斑直径：为扫描电镜分辨本领的极限。
一般，热阴极电子枪的最小束斑直径可缩小到6nm，场发射电子枪可使束斑直径小于3nm。
B. 入射电子束在样品中的扩展效应：扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低。
入射束能量越高，样品原子序数越小，则电子束作用体积越大，产生信号的区域随电子束的扩散而增大，从而降低了分辨率。
C. 成像方式及所用的调制信号：当以二次电子为调制信号时，由于其能量低(小于50 eV)，平均自由程短（10~100 nm左右），只有在表层50～100 nm的深度范围内的二次电子才能逸出样品表面，发生散射次数很有限，基本未向侧向扩展，因此，二次电子像分辨率约等于束斑直径。
当以背散射电子为调制信号时，由于背散射电子能量比较高，穿透能力强，可从样品中较深的区域逸出(约为有效作用深度的30％左右)。
在此深度范围，入射电子已有了相当宽的侧向扩展，所以背散射电子像分辨率要比二次电子像低，一般在500～2000nm左右。
如果以吸收电子、X射线、阴极荧光、束感生电导或电位等作为调制信号的其他操作方式，由于信号来自整个电子束散射区域，所得扫描像的分辨率都比较低，一般在l000 nm或l0000nm以上不等。
电镜扫描下的脂肪组织放大倍数扫描电镜的放大倍数可表示为M =Ac/As式中，Ac—荧光屏上图像的边长；As—电子束在样品上的扫描振幅。
一般地，Ac 是固定的(通常为100 mm)，则可通过改变As 来改变放大倍数。
扫描电镜图像的分析
100 150 200 250 300 350 400 颗粒个数Ｎ
个
数 均 D n 5.57 5.30 5.40 5.57 5.50 5.57 5.64
μ
m
体 均 D v 8.33 8.20 8.06 8.16 8.08 8.09 8.14
μ
m
D50 μm 8 . 11 8 . 1 0 7 . 8 0 7 . 9 2 7 . 9 1 7 . 9 2 7 . 9 5
图4.12 500X 解理和沿晶断裂
图4.13 钢管旳断口 500X
图4.14 钢材腐蚀表面 1000X
图4.15 750X 沿晶断裂
图4.16 550X 解理断裂
图4.17 1000X 解理+准解理
图4.18 500X 解理+沿晶断口（拉长韧窝）
图4.19 高岭土 3000X
图4.20 高岭土5000X
图4.22 Mg-Zn-Y合金二次电子照片
图4.23 合金旳背散射电子照片 500X
图4.24 Mg-Zn-Y合金旳背散射电子照片 图4.25 Mg-Zn-Y合金旳背散射和二次电子照片
图4.26 铝钴镍合金二次电子照片
图4.27 铝钴镍合金背散射电子照片
4 粒度分布测量
大规模集成电路板上旳沟槽深、线宽、圆直径、正方形、长方形边长等旳测量；粉体（尤其是纳米）颗粒 粒度测量、原则粒子微球旳粒度定值；复合材料（如固体推动剂）中某种颗粒组份粒度分布测量、样品表 面孔隙率测定等…，都能够使用图像处理、分析功能，有自动和手动。目前旳EDS中都有该软件包供选择， 用SEM测量测定粉体颗粒粒度是精确、以便和实用旳。测量旳粒度范围能够从几十纳米到几种毫米，是 任何专用粒度仪所无法胜任旳。尤其当分析样品旳粒度不大于3um（例如：超细银粉、碳粉、钴蓝、 Fe2O3、SiO2等）时，超细颗粒极易汇集、团聚（如下图）、在水中尤其难于分散旳特征，老式旳湿法 粒度分析（例如：Coulter计数法、激光散射法、动态光子有关法）就无法得到真实旳粒度成果。而扫描 电镜粒度分析法（简称SEM法）却不受这些限制，比较灵活，完全能适应这些特殊样品旳粒度分析，同 步它属于绝对粒度测量法。为克服SEM粒度分析法所存在旳测定样品量太少、成果缺乏代表性旳缺陷， 在实际操作时，要多制备些观察试样，多采集些照片，多测量些颗粒（300个以上）。超细粉体样品一般 制备在铜柱表面上，希望颗粒单层均匀分散、彼此不粘连。这么，在不同倍数下得到照片，便于图象处理 和分析功能自动完毕；不然，就要手工测量每个颗粒旳粒度，然后进行统计处理。
扫描电镜sem数据处理方法
扫描电镜sem数据处理方法
扫描电镜（SEM）是一种常用的高分辨率显微镜，它可以用来观
察材料的表面形貌和微观结构。
对于SEM数据的处理方法，可以从
多个角度来进行讨论：
1. 图像预处理，SEM图像通常会受到噪声、伪影等影响，因此
在处理之前需要进行图像预处理。
这包括去噪、增强对比度、平滑
化等操作，以提高图像质量和清晰度。
2. 分析与测量，SEM图像处理的一个重要方面是对图像中的微
观结构进行分析和测量。
这可以通过图像分割、特征提取、形态学
分析等方法来实现，从而获取颗粒大小、形状分布、孔隙度等参数。
3. 三维重建，有时候需要对SEM图像进行三维重建，以更好地
理解样品的微观结构。
这可以通过多视角图像融合、体素重建等方
法来实现，从而获得更全面的信息。
4. 能谱分析，SEM联用能谱仪（EDS）可以获取样品的元素成
分信息。
对于SEM-EDS数据，处理方法包括峰识别、背景校正、元
素定量分析等，以获得准确的元素含量和分布信息。
5. 数据可视化，最后，处理后的SEM数据可以通过各种可视化手段展示，比如二维图像、三维模型、颜色映射等，以便更直观地呈现样品的微观结构和特征。
总的来说，SEM数据处理方法涉及到图像预处理、分析测量、三维重建、能谱分析和数据可视化等多个方面，需要根据具体的应用目的和样品特性来选择合适的方法和工具。
希望这些信息对你有所帮助。
扫描电镜样品制备及图像质量影响因素分析①
扫描电镜样品制备及图像质量影响因素分析①扫描电镜（SEM）是一种常用的表面形貌分析仪器，广泛应用于材料科学、生物学、医学、环境科学等领域。
在使用SEM进行样品观察时，样品的制备和图像质量是影响观察结果的重要因素。
本文将对扫描电镜样品制备及图像质量的影响因素进行分析，以帮助读者更好地理解SEM样品制备的重要性及其影响因素。
一、扫描电镜样品制备1. 样品的选择在进行SEM观察之前，需要选择合适的样品。
对于金属、陶瓷等导电性较好的材料，直接使用即可；对于生物组织、有机材料等非导电性较弱的样品，需要进行金属涂覆或其他处理使其导电后才能进行观察。
样品的形貌、尺寸等也需要根据实际观察要求进行选择。
2. 样品的固定和处理在进行样品制备时，需要对样品进行固定和处理，以保证其在观察过程中不发生形变或损坏。
对于生物组织等脆弱的样品，可以采用冷冻切片、化学固定等方法进行处理，以保持其原始形态和结构；对于金属、陶瓷等硬质样品，可以采用机械切割、抛光等方法进行处理。
3. 样品的真空干燥在进行观察之前，需要将样品进行真空干燥，以保证在真空环境下观察时不会产生气泡或水汽等影响观察效果的情况。
真空干燥可以采用常规真空干燥箱、真空冷冻干燥机等仪器进行处理。
4. 样品的金属涂覆对于非导电性材料，需要进行金属涂覆处理，以提高其导电性。
常用的金属涂覆材料包括金、铂、铬等，可以通过喷镀、溅射等方法进行涂覆。
涂覆后的样品表面会形成一层导电薄膜，有利于SEM图像的质量和清晰度。
二、图像质量影响因素分析1. 样品表面形态样品的表面形态是影响SEM图像质量的重要因素之一。
在进行观察之前，需要对样品进行良好的抛光处理，以保证其表面光滑、无明显划痕或颗粒。
表面形态不良会导致图像中出现扭曲、模糊等情况，影响观察结果的准确性。
2. 样品的导电性样品的导电性对SEM图像质量也有重要影响。
非导电性材料在观察时容易产生电荷积聚和电子束散射，导致图像中出现椭圆失真、光晕等现象，降低图像的分辨率和清晰度。
电磁透镜和像差哪些因素会影响扫描电镜的分辨率
电磁透镜和像差：哪些因素会影响扫描电镜的分辨率?发布者：飞纳电镜分辨率是扫描电镜（SEM）最重要的参数之一。
分辨率越好，可以看到的特征尺寸越小。
分辨率的好坏往往取决于聚焦在样品上的电子束斑的直径（即束斑尺寸）。
在非理想电子光学系统中，束斑尺寸会因像差而变大。
什么是电子光学系统中的像差？它们如何影响束斑尺寸？在这篇博客中，将回答这些问题并进行深入的分析。
一个非常简单的电子光学系统的例子在之前的博客中，谈到了镜筒和透镜组。
通常，镜筒由一组透镜组成，这些透镜具有约束电子束并将电子聚焦于样品表面的功能。
样品上的束斑尺寸决定了电子显微镜的分辨率。
但是，束斑尺寸是如何定义的呢？看看最简单的电子光学系统，如图1所示。
图1：最简单的电子光学系统由一个位于顶部的电子光源及聚焦电子束到样品表面的透镜组成。
在这个系统中，我们知道电子源与透镜之间的距离（物距）和透镜与样品之间的距离（像距）。
像距通常也称为工作距离，它随样品高度的变化而变化。
像距与物距的比值给出了电子光学系统的放大倍数。
对束斑尺寸的第一份贡献来自电子发射源的缩聚，加上电子源的确有一个尺寸，它并不是无限小的。
电子源的贡献尺寸- d source是由电子源的大小乘以电子光学系统的放大倍数：d source = M·S source其中M为放大倍数，S source为电子源大小。
因此，如果一个虚拟大小为50 nm的电子源和一个电子光学系统，其中像距离是物距的一半，电子源贡献的探针尺寸是25 nm。
这意味着，即使对于没有像差的理想透镜系统，最小的束斑尺寸是25nm。
电子光学系统中的像差实际上，透镜并不理想，这就会带来像差。
像差的存在，使得样品上的探针变得模糊，尺寸增大。
在电子光学系统中，束斑尺寸受球差和色差的影响。
当光束中内部和外部的光没有聚焦在同一平面上时，就会产生球差。
在图2的例子中，外部光线1聚焦在离透镜较近的平面（平面1）上，而内部光线（光线3）聚焦在较低的平面（平面3）上。
是什么影响扫描电镜SEM的成像质量呢？
是什么影响扫描电镜的成像质量呢？扫描电子显微镜是（Scanning Electron Microscope,SEM）是20 世纪30 年代中期发展起来的一种多功能的电子显微分析仪器。
由于扫描电镜的放大倍数范围宽，图像分辨率高，景深好，立体感强，制样简单，对样品的损伤和污染小，配备了能谱仪可同时进行元素成分分析。
因此，扫描电镜已广泛地应用于物理、化学、地质、地理、生物、医学、材料等学科以及电子、化工、冶金、陶瓷、建筑等工业中各种材料、样品、器件的形貌、结构和无机元素成分分析。
在失效分析实验室，扫描电镜是不可或缺的分析设备，因为失效分析经常要进行断口分析及异物分析。
扫描电镜检测项目和内容形貌分析：观察各种材料或生物样品的微观形貌，可以达到纳米尺度的无损观察。
结构分析：观察各种陶瓷、岩石、土壤等样品的粒径、晶界、空隙及其相互关系，检查金属内部是否有微小缺陷。
断口分析：确定金属材料的断裂性质。
断裂性质是金属断裂分析的第一步，决定了后续的原因分析方向。
粒度分析：确定颗粒样品的粒径及其元素组成。
定性分析：分析固体样品中存在的各个元素名称。
定量分析：测定样品中存在的各个元素的浓度。
扫描电镜是非常精密的仪器，结构复杂，要想得到能充分反映物质形貌、层次清晰、立体感强和分辨率高的高质量图像仍然是一件非常艰难的事情。
那么，究竟有哪些因素会导致扫描电镜的成像有偏差呢？特别是您的样品涉及到薄膜、半导体和器件、合成纤维、溅射或氧化薄膜、高分子材料等，此文也许能给到您答案。
人员:用镊子夹时不可碰到观察面，否则会损伤样品细节。
图像调节能力——图像调节的不够清晰。
特别是加速电压的选用需要视样品的性质( 含导电性) 和倍率等来选定。
当操作人员经验不够时，容易造成加速电压选用不当，会出现样品损伤（对于孤样来说非常不利）；过多散射电子存在信号里出现叠加的虚影；图像不稳定产生移动错位等现象。
断面做的是否够理想，比如对于薄膜类，液氮脆断制作截面的水平。
常见扫描电镜图像损坏原因和解决方法
品 ， 产 生荷 电效 应［ 。负 极荷 电会 局部 积 累 ， 而 会 １ ］ 从
抑 制二 次 电子发 射 ， 起 图 像 不 正 常 的 反 差及 样 品 引
的变形 和位 移 ， 操 作 者 无法 进 行 聚焦 和调 图 。荷 使 电效应 的形 成有 多种 因素 ， 样 品 的制 备 、 品本身 与 样 的 电学 性 能 、 品 的缺 陷 （ 晶体 缺 陷及 高能 电子 束 样 如 辐照 时引起 的缺 陷 ） 样 品室 中 的环境 压力 和操 作 参 、 数 等有密 切关 系 。为 消除荷 电效应 除 了在绝 缘样 品
因素 的影 响 ， 者样 品本 身高 低 、 状 、 或 形 位置 、 向的 方 不 同及 有 机和无 机 等 性 质 差别 ， 子束 照 射 到 样 品 电 上时 ， 产生 不 同强度 、 同数量 的二 次 电子 。 由二次 不 电子 形成 的 图像 会 存在 不 同程度 的损 伤 。因此 要得
维普资讯
６ ２
分 析 仪 器
２０ 年第１ ０７ 期
业
业
业
业
业
业
业业Βιβλιοθήκη 业； 经验交流 ｌ
齐 芥 芥 带 芥 芥 芥 芥 芥 芥
常见 扫 描 电镜 图像 损 坏原 因和解 决 方 法
周 广荣
（ 旦 大 学 高 分 子 科 学 系 ， 海 ，０ ４ ３ 复 上 ２０３）
膜 的厚 度 。不 同的喷 金设 备有 不 同的喷 金速度 。不
同的样 品要 采用不 同的喷金 时 间 。一般样 品金 属 膜 的厚度 控制 在 ２ ｎ 左 右 ， 察效 果较 好 。 ０ｍ 观 （ ） 金次数 。在规定 的总喷 金时 间 内 ， ２喷 应该 分 多 次 喷金 （ 特别 是对 容 易 烧 伤 的样 品 ） 以避 免 电子 ， 束 打 在样 品上产 生 高温 ， 损伤 样 品表 面 。
扫描电镜图像参数解读
扫描电镜照片参数解读及主要参数选择1、扫描电镜照片参数解读图1 扫描电镜图片展示，EHT=20.00kV即加速电压20kV；WD=8.2mm，即工作距离8.2mm；Mag=7.94KX即放大倍数7940倍；Signal A=SE2即用SE2探测器。
扫描电镜参数众多，皆可显示在图片下方工具栏中，但决定图像质量最直接、最关键因素是加速电压（EHT）、工作距离（WD）、放大倍数（Mag）和检测器种类，因此本台扫描电镜检测结果只选择显示这几个重要指标。
2、电镜参数解读2.1 加速电压一般，加速电压越高，图像分辨率越高，当样品导电性好且不易受电子束损伤时可选用高加速电压，这时电子束能量大，对样品穿透深，材料衬度减小，图像分辨率提高。
但加速电压过高，电子束对样品的穿透能力过大，样品表面信息缺失，样品看起来像玉一样，如图2D。
低加速电压时，入射电子能量较低，其与样品的作用深度较浅，更能反映样品最表层的信息，有利于样品表层形貌的观察（图2A，C）；此外，低加速电压可以有效地减少荷电现象，更易观察不导电样品。
如图2B，样品在10kV加速电压下边缘过亮，说明此处电荷大量积累，而图2A用1kV加速电压拍摄的同一部位就没有明显的荷电现象。
因此，根据自己的要求灵活地选择加速电压，才能得到理想的电镜图像。
当需要观测样品的表面信息、样品的导电性较差、样品的热稳定性较差时，需要选择较低的，甚至是超低的加速电压。
当需要得到分辨率高的图像、样品表面存在有机污染或是样品内部的相组成信息时，需要选择较高的加速电压。
图2 不同加速电压条件下的二次电子像。
A，C为1KV加速电压条件下图像，图像表面细节清晰。
B为10KV加速电压条件下图像，图像边缘效应较强。
D为15KV加速电压条件下的图像，图像表面细节看不出。
2.2 工作距离工作距离（WD）是物镜下极靴到样品表面的距离。
工作距离增大时，样品上的束斑变大，分辨率下降，但孔径角减小，景深增加。
扫描电镜样品制备及图像质量影响因素分析①
扫描电镜样品制备及图像质量影响因素分析①扫描电镜（SEM）是一种非常常见的高分辨率显微镜，用于观察材料表面的形态和结构。
在进行SEM观察时，样品制备和图像质量是非常重要的因素。
本文将探讨SEM样品制备及图像质量的影响因素。
一、SEM样品制备1. 样品表面处理SEM观察样品的表面处理非常重要。
需要保证样品的表面光洁，去除表面上的杂质和污垢。
如果样品表面有氧化物或其他化合物存在，需要通过化学方法或喷砂处理来去除。
2. 样品导电涂层由于SEM是通过电子束扫描来观察样品的表面形貌，所以样品必须有良好的导电性。
对于非导电性样品，通常使用金属导电膜来涂覆样品表面，常用的涂层材料有金、铂、铬等。
3. 样品切割和研磨对于柔软的样品或者需要观察材料内部结构的样品，通常需要进行切割和研磨处理。
切割需要使用合适的切割工具，研磨则需要逐渐使用砂纸或研磨液进行粗磨和细磨处理，以得到光滑的切面。
4. 样品固定在样品制备过程中，需要选择合适的固定方法，保证样品在移动过程中不会发生位移或者改变。
通常使用环氧树脂或者石蜡来固定样品。
5. 样品真空蒸镀在进行SEM观察时，样品表面的光洁度对图像质量有着非常重要的影响。
为了进一步提高样品表面的光洁度，可以通过真空蒸镀金属或者碳膜来进行处理。
二、图像质量影响因素分析1. 样品表面粗糙度样品表面的粗糙度对SEM图像的质量有着直接的影响。
如果样品表面粗糙，电子束在扫描过程中容易发生反射和散射，导致图像模糊。
保证样品表面的光滑度是非常重要的。
2. 样品导电涂层均匀性如果样品的导电涂层均匀性不好，可能会导致SEM图像中出现明暗不均的现象。
在进行导电涂层时，需要确保涂层的均匀性。
3. 样品的结晶结构对于晶体材料，其结晶结构对SEM图像的质量有很大的影响。
晶粒的取向和排列方式会对图像的对比度和清晰度产生影响。
4. 加速电压和探测器设置SEM图像的质量还受到加速电压和探测器设置的影响。
不同的加速电压可以产生不同的透射深度和图像对比度；而探测器的设置则会影响到图像的亮度和对比度。
扫描电镜照片参数解读及主要参数选择
扫描电镜照片参数解读及主要参数选择1、扫描电镜照片参数解读图1 扫描电镜图片展示，EHT=20.00kV即加速电压20kV；WD=8.2mm，即工作距离8.2mm；Mag=7.94KX即放大倍数7940倍；Signal A=SE2即用SE2探测器。
扫描电镜参数众多，皆可显示在图片下方工具栏中，但决定图像质量最直接、最关键因素是加速电压（EHT）、工作距离（WD）、放大倍数（Mag）和检测器种类，因此本台扫描电镜检测结果只选择显示这几个重要指标。
2、电镜参数解读2.1 加速电压一般，加速电压越高，图像分辨率越高，当样品导电性好且不易受电子束损伤时可选用高加速电压，这时电子束能量大，对样品穿透深，材料衬度减小，图像分辨率提高。
但加速电压过高，电子束对样品的穿透能力过大，样品表面信息缺失，样品看起来像玉一样，如图2D。
低加速电压时，入射电子能量较低，其与样品的作用深度较浅，更能反映样品最表层的信息，有利于样品表层形貌的观察（图2A，C）；此外，低加速电压可以有效地减少荷电现象，更易观察不导电样品。
如图2B，样品在10kV加速电压下边缘过亮，说明此处电荷大量积累，而图2A用1kV加速电压拍摄的同一部位就没有明显的荷电现象。
因此，根据自己的要求灵活地选择加速电压，才能得到理想的电镜图像。
当需要观测样品的表面信息、样品的导电性较差、样品的热稳定性较差时，需要选择较低的，甚至是超低的加速电压。
当需要得到分辨率高的图像、样品表面存在有机污染或是样品内部的相组成信息时，需要选择较高的加速电压。
图2 不同加速电压条件下的二次电子像。
A，C为1KV加速电压条件下图像，图像表面细节清晰。
B为10KV加速电压条件下图像，图像边缘效应较强。
D为15KV加速电压条件下的图像，图像表面细节看不出。
2.2 工作距离工作距离（WD）是物镜下极靴到样品表面的距离。
工作距离增大时，样品上的束斑变大，分辨率下降，但孔径角减小，景深增加。
电镜图像的分析
通过图像处理技术，可以对颗粒 的形状进行描述和分析，例如球 形度、圆度等参数，有助于了解 颗粒的结晶度和形成过程。
表面粗糙度分析
表面纹理
电镜图像可以观察材料表面的微观纹 理，包括沟壑、凸起等结构，这些结 构对材料的物理和化学性质有重要影 响。
粗糙度参数
通过测量表面纹理的尺寸和分布，可 以计算出表面粗糙度参数，如均方根 粗糙度、算术平均粗糙度等，用于评 估表面的平整度和光滑度。
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电镜图像的分辨率
分辨率定义
分辨率是指电镜图像中能够清晰分辨最小细节的能力，通常以长 度或线对数表示。
分辨率限制因素
分辨率受到多种因素的影响，包括电子束的波长、探测器类型和 尺寸、样品性质以及成像模式等。
分辨率比较
不同电镜技术之间存在分辨率差异，例如透射电镜（TEM）和 扫描电镜（SEM）在分辨率上有所不同。
电镜图像的分析
contents
目录
• 电镜图像简介 • 电镜图像的获取与处理 • 电镜图像的定性分析 • 电镜图像的定量分析 • 电镜图像的分辨率与质量评估 • 电镜图像分析的挑战与展望
01 电镜图像简介
电镜图像的定义
电子显微镜（简称电镜）是一种使用电子束代替可见光的显微镜，能够观察更微 小的结构。电镜图像是通过电镜观察得到的图像，具有高分辨率和高对比度。
图像的统计分析
像素强度分布
对电镜图像的像素强度进行统计分析，可以得到像素强度分布直方图，用于描 述图像的灰度级分布和对比度。
图像的纹理特征
通过对图像的纹理特征进行分析，可以提取出与材料性质相关的参数，例如颗 粒密度、孔隙率等，有助于对材料的结构和性质进行深入理解。
扫描电镜样品制备及图像质量影响因素分析①
扫描电镜样品制备及图像质量影响因素分析①扫描电镜（SEM）是一种高分辨率的表面成像技术，广泛应用于材料科学、生物学、地质学、医学等领域。
在进行SEM样品制备时，需要注意很多因素，因为这些因素会直接影响到SEM图像的质量。
本文将对SEM样品制备及图像质量影响因素进行分析。
一、SEM样品制备1. 样品固定在进行SEM样品制备时，首先需要固定样品。
对于生物样品，通常采用化学固定或冷冻固定的方法，以保持样品的形态结构。
对于非生物样品，通常采用化学固定或者高温熔融固定的方法，以保持样品表面的形貌。
2. 样品清洁样品在制备过程中会受到空气中的灰尘和杂质的污染，因此在进行SEM样品制备时，需要对样品进行清洁处理。
通常采用超声清洗或者离子清洗的方法，将样品表面的杂质清除干净。
4. 样品导电在进行SEM样品制备时，非导电性的样品表面会导致电荷积累，从而产生伪影。
因此需要对样品进行导电处理，通常采用金属喷镀或者碳喷镀的方法，将样品表面覆盖上一层导电层。
二、影响SEM图像质量的因素1. 样品表面形貌样品表面的形貌直接影响SEM图像的清晰度和分辨率。
如果样品表面粗糙或者有微观结构，会导致SEM图像的模糊和失真。
2. 样品的导电性样品的导电性会直接影响SEM图像的质量。
非导电性的样品容易产生电荷积累，导致图像的伪影和噪音。
3. 样品的真实性样品在进行SEM制备时，需要保持其真实性。
如果样品在制备过程中出现形变或者变化，会导致SEM图像的失真。
6. 扫描电镜参数设置SEM图像质量还受到扫描电镜参数的影响。
例如加速电压、工作距离、探针电流等参数的设定会影响图像的清晰度和分辨率。
SEM样品制备及图像质量影响因素是一个相当复杂的问题，需要在具体的实验操作中进行深入的研究和分析。
只有充分调控好SEM样品制备及影响图像质量的因素，才能够获得高质量的SEM图像，为科研工作者提供更为准确的样品信息。
扫描电镜无图像故障的分析及处理
仪器 ，２ ０ ，（ ）： ８ ４ ０２ ２ ４－ ９ ５Ｃ． 奥脱莱 【 】 扫描 电子显微镜 【 ，北京 ： Ｗ． 英 ． Ｍ】 机械工
业 出 版社 ，１８ ９３ ６刘 永 康 等 ． 子探 针 ｘ 射 线 显 微 分 析 ［ ，北京 ： 学 出 电 Ｍ］ 科
版社 ，１７ ９３
之后的电路没有问题 ，问题存在于前置放大器之前
技文 献 出版 社 ， １９ ９４
供 电电压 是 否 存在 ，本例 中在 分析 Ｐ ＭＯ．ＭＲ 电 Ｐ
路 无 输 出时 ，首 先 确 认 电源 是否 存 在 。 因 为 ，缺
少 线路 图 ，暂无法 找 到 电源 单元 ，就在 Ｐ ＭＯ．ＭＲ Ｐ
电路 板上 找到 电源 输入 端 ，引 出导 线进 行检 测确认
国卫 生 检 验 杂 志 ，２ ０ ，１ （ ）： ０ ８ ０ ６ ６ ８ １ １
离 子体质谱法 ［ ］ Ｓ ，ＧＢ Ｔ ２ ３ ４２ ０ ，北 京 ：中国标 准 ／ ３ ７—０９
出版 社 ，２ ０ ０９
４中华人民共和国国家标准 ． 面制食品中铝 的测定 ［】 Ｂ Ｓ ，Ｇ ／
Ｔ５ ０ ．８—０ ３ ０ ９１２２ ０ ，北 京 ：中 国标 准 出 版社 ，２ ０ ０３
２中华人 民共和国国家标准 ． 饮用天然矿泉水检验方法 【］ Ｓ，
Ｇ ／ ５ ８２ ０ ，北 京 ：中国 标 准 出 版社 ，２ ０ Ｂ Ｔ８ ３ ・０ ８ ０９
５中华人 民共和 国国家标 准 ． 淀粉 制品卫 生标准 ［ 】 Ｓ ，ＧＢ
２ １－０ ３ ７ ３２ ０ ，北 京 ：中国 标 准 出 版社 ，２ ０ ０４
３ ４ 由于缺 少 资料 ，不得 不 测绘 电路 图 ，本 例 中 ． 首 先把一 些重 要 的元 件如 三极 管 、 变压器 、 电器 、 继
影响扫描电镜图像质量的因素分析
影响扫描电镜图像质量的因素分析摘要：本文介绍影响扫描电镜图像质量的因素及其对图像质量的影响，分别从加速电压、扫描速度和信噪比、束斑直径、探针电流、消像散校正、工作距离以及反差对比等分析图像质量的变化原因，提出提高图像质量的方法。
关键词：扫描电子显微镜 SEM 图像质量扫描电子显微镜是（Scanning Electron Microscope，SEM）是20 世纪30 年代中期发展起来的一种多功能的电子显微分析仪器.SEM 以其样品制备简单、图像视野大、景深长、图像立体感强，且能接收和分析电子与样品相互作用后产生的大部分信息，因而在科研和工业等各个领域得到广泛应用。
但是扫描电镜是非常精密的仪器，结构复杂,要想得到能充分反映物质形貌、层次清晰、立体感强和分辨率高的高质量图像仍然是一件非常艰难的事情，本文针对工作中出现的问题，分析影响图像质量的因素，讨论如何根据样品选择最佳观察条件。
1 加速电压扫描电镜的电子束是由灯丝通电发热温度升高,当钨丝达到白热化，电子的动能增加到大于阳离子对它的吸引力( 逸出功) 时,电子就逃逸出去。
在紧靠灯丝处装上有孔的栅极（也叫韦氏盖)，灯丝尖处于栅孔中心.栅极上100~1000V 的负电场，使灯丝的电子发射达到一定程度时，不再能继续随温度增加而增加，即达到空间电荷的饱和（这种提法是错误的）。
离开栅极一定距离有一个中心有孔的阳极，在阳极和阴极间加有一个很高的正电压称为加速电压[1］,它使电子束加速而获得能量。
加速电压的范围在1～30kV，其值越大电子束能量越大，反之亦然。
加速电压的选用视样品的性质( 含导电性) 和倍率等来选定。
当样品导电性好且不易受电子束损伤时可选用高加速电压，这时电子束能量大对样品穿透深(尤其是低原子序数的材料）使材料衬度减小图像分辨率高。
但加速电压过高会产生不利因素，电子束对样品的穿透能力增大，在样品中的扩散区也加大，会发射二次电子和散射电子甚至二次电子也被散射，过多的散射电子存在信号里会出现叠加的虚影从而降低分辨率，目前我所用的扫描电子显微镜(TESCAN TS 5136MM) 的加速电压可在1~30kV 内任意调节,采用加速电压1～30 kV（见图1)。
分散类样品的扫描电镜图像缺陷原因及解决方法
１ 实验
１ １ Ｓ Ｍ 样 品 的 制 备 ． Ｅ
６ ２
分 析 仪 器
２１ 年第３ ０２ 期
分 散 类 样 品 的扫描 电镜 图像 缺 陷原 因及 解 决 方 法
唐晓山
（ 江 师范 学 院 分 析 测 试 中心 ， 江 ５ ４ ４ ） 湛 湛 ２ ０ ８
摘 要 在 介 绍 扫 描 电 子 显 微镜 （ Ｅ 的工 作 原 理 及 特 点 基 础 之 上 ， 点 阐 述 了 荷 电 效 应 、 缘 效 应 、 子 束 损 Ｓ Ｍ） 重 边 电 伤 对 分 散 类 样 品 所 造 成 的 图 像 缺 陷 及 相应 的解 决 方 法 。 关 键 词 扫 描 电子 显 微 镜 荷 电效 应 边 缘 效 应 电子 束 损 伤
区 域 ， 暗 区域 显 示 出 底 层 样 品 细 节 。 黑
品 的高 低参 差 、 凸不 平 ， 子束 照 射 到样 品上 ， 凹 电 不
同点 的作用 深度 及 角度 不 同， 成激 发 的二 次 电子 造 数及 电子 向空 间散 射 的角 度 和 方 向不 同 ， 过探 头 通
的采 样与 电信号 的转 换 ， 样 品的高低 、 使 形状 、 位置 、
扫 描 电子 显 微 镜 （ Ｅ ） 基 本 的成 像 功 能 是 ＳＭ 最 二 次 电子成 像 ， 主要 反 映 样 品 的表 面 形貌 。 由于样
２ １ 图 像 明 暗 异 常 ．
图 ｌ所 示为 样 品放 大 ８ ０倍 时 图像 ， 测 电 压 ０ 观 为 １ ｋ 电流为 ６ “ 样 品单 体 边缘 异 常 高亮 ， ５ Ｖ、 ５ Ａ， 并 有 整体 高亮 区域 ， 区过 黑 ， 法 显示 图像 细节 ； 暗 无 图 ２为 明暗对 比相 对 正 常 的 图像 ， 观测 电压 为 １ ｋ ２ Ｖ、 电流为 ４ “ 样 品单 体 边缘 显 示 正 常 ， 整体 高 亮 ７ Ａ， 无
扫描电镜图像缺陷分类、影响因素及解决方法
扫描电镜图像缺陷分类、影响因素及解决方法李剑平;杨咏东【摘要】讨论了扫描电镜图像缺陷的分类、影响因素,提出相应的解决方法,并展示了结果.【期刊名称】《仪器仪表用户》【年(卷),期】2010(017)003【总页数】3页(P79-81)【关键词】扫描电镜;图像缺陷分类;影响因素;解决方法【作者】李剑平;杨咏东【作者单位】烟台大学,光电学院,烟台,264005;烟台大学,光电学院,烟台,264005【正文语种】中文【中图分类】TN160 引言由于扫描电子显微镜能够直接观察较大体积样品表面的三维立体结构[1],具有很高的分辨率,所得的图象景深大,图像清晰、富有立体感、细节丰富、层次分明等优点,已经被广泛应用在教学和科研工作当中。
但在拍摄显微镜照片时,常遇到图象缺陷问题,影响观测效果和图象质量,根据屏幕显示的图象的异常特征,确定引起缺陷的原因,找出解决问题的方法,对消除图象缺陷和改善观察效果很关健。
本文以JSM-5610LV型扫描电子显微镜应用过程中的一些图象缺陷实例进行讨论。
1 教育图象缺陷的分类图象缺陷大体上可以分为:分辨力下降、象质变坏、图象有噪音(图象不平滑)、图象畸变。
2 图象缺陷的主要因素扫描电子显微镜最基本的成像功能是二次电子成像[2],它是扫描电镜所获得的图像中应用最广泛,分辨本领最高的一种图像,能很好地反映样品表面的立体形貌。
当电子束照射到样品上时,产生出不同强度、不同数量的二次电子,而二次电子的产出受电镜安装环境、电镜性能、操作方法、观测条件设置、样品本身高低、形状、位置、方向的不同、样品有机和无机等性质差别等因素的影响,当这些因素不正常时,由二次电子形成的图像会存在不同程度的缺陷,具体表现为荷电效应、电子损伤、边缘效应、污染等方面,因此要得到理想的扫描图像,必须对影响图像质量的因素进行控制、解决。
3 影响图像质量因素的解决方法3.1 扫描电镜荷电效应的解决方法1)荷电效应定义:当电子束轰击非导电或导电性能差的样品时,由于其表面电阻率很高,缺少足够的对地导电途径,样品的表面发生电荷积累,产生放电现象,使图象出现异常明亮或全黑的区域,严重干扰了图象的衬度,掩盖了样品表面形貌的一些细节,此种情况为荷电效应。
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影响扫描电镜图像质量的因素分析摘要：本文介绍影响扫描电镜图像质量的因素及其对图像质量的影响，分别从加速电压、扫描速度和信噪比、束斑直径、探针电流、消像散校正、工作距离以及反差对比等分析图像质量的变化原因，提出提高图像质量的方法。
关键词: 扫描电子显微镜 SEM 图像质量扫描电子显微镜是（Scanning Electron Microscope,SEM）是20 世纪30 年代中期发展起来的一种多功能的电子显微分析仪器。
SEM 以其样品制备简单、图像视野大、景深长、图像立体感强，且能接收和分析电子与样品相互作用后产生的大部分信息，因而在科研和工业等各个领域得到广泛应用。
但是扫描电镜是非常精密的仪器，结构复杂，要想得到能充分反映物质形貌、层次清晰、立体感强和分辨率高的高质量图像仍然是一件非常艰难的事情，本文针对工作中出现的问题，分析影响图像质量的因素，讨论如何根据样品选择最佳观察条件。
1 加速电压扫描电镜的电子束是由灯丝通电发热温度升高，当钨丝达到白热化，电子的动能增加到大于阳离子对它的吸引力( 逸出功) 时，电子就逃逸出去。
在紧靠灯丝处装上有孔的栅极( 也叫韦氏盖)，灯丝尖处于栅孔中心。
栅极上100~1000V 的负电场，使灯丝的电子发射达到一定程度时，不再能继续随温度增加而增加，即达到空间电荷的饱和（这种提法是错误的）。
离开栅极一定距离有一个中心有孔的阳极，在阳极和阴极间加有一个很高的正电压称为加速电压[1]，它使电子束加速而获得能量。
加速电压的范围在1~30kV，其值越大电子束能量越大，反之亦然。
加速电压的选用视样品的性质( 含导电性) 和倍率等来选定。
当样品导电性好且不易受电子束损伤时可选用高加速电压，这时电子束能量大对样品穿透深（尤其是低原子序数的材料）使材料衬度减小图像分辨率高。
但加速电压过高会产生不利因素，电子束对样品的穿透能力增大，在样品中的扩散区也加大，会发射二次电子和散射电子甚至二次电子也被散射，过多的散射电子存在信号里会出现叠加的虚影从而降低分辨率，目前我所用的扫描电子显微镜(TESCAN TS 5136MM) 的加速电压可在1~30kV 内任意调节，采用加速电压1~30 kV（见图1）。
图1 分别加速电压为1kV，10kV，30kV 的SEM 像,当样品导电性差时，又不便喷碳喷金, 还需保存样品原貌的这类样品容易产生充放电效应，样品充电区的微小电位差会造成电子束散开使束斑扩大从而损害分辨率。
同时表面负电场对入射电子产生排斥作用，改变电子的入射角，从而使图像不稳定产生移动错位，甚至使表面细节根本无法呈现，加速电压越高这种现象越严重，此时选用低加速电压以减少充、放电现象，提高图像的分辨率。
2 扫描速度和信噪比在显像管的屏幕上电子束每行扫描约2000 点，每帧画面约2000 行，每秒钟扫描25 帧(驰奔：这么高的像素数，进行TV扫描成像根本不现实，明显有误, 信号探测器YAG的响应时间是80ns，也就是0.08微妙，只停留0.01微妙什么都看不见）。
这就意味着每个点上只停留0.01μs[2]。
电子束对样品的相互作用以及检测器对这种作用的响应很慢，即在0.01μs 期间每个点上获得的信号很弱，需经过放大才能看清，这会带来很多的噪音降低信噪比。
扫描速度的选择会影响所拍摄图像的质量，如果拍图的速度太快信号强度很弱。
另外由于无规则信号的噪音干扰使分辨率下降。
如果延长扫描时间会使噪音相互平均而抵消，因此提高信噪比增加画面的清晰程度。
但扫描时间过长，电子束滞留在样品上的时间就会延长，电子束会使材料变形，降低分辨率甚至出现假象，特别对生物和高分子样品，观察时扫描速度不能太慢，采用TESCAN TS5136MM 扫描电子显微镜常规采用速度每个点上只停留0.04μs。
3 束斑直径和工作距离在SEM 中束斑直径决定图像的分辨率。
束斑的直径越小图像的分辨率越高。
一般来讲束斑直径的大小是由电子光学系统来控制，并同末级透镜的质量有关。
如果考虑末级透镜所产生的各种相差，则实际照射到试样上的束斑直径d 为[3]d2=d02+ds2+dc2+df2 (1) （驰奔注：公式中2为指数项）式中，d0 高斯斑直径；ds 由于透镜球象差引起的电子探针的散漫圆直径；dc 由于透镜色差所引起电子探针的散漫圆直径；df 由于衍射效应所造成电子探针的散漫圆直径。
在扫描电子显微镜的工作条件下：ds>>dc，df。
因此公式(1) 可以近似为：d2=d02+ds2。
因为d0 与同末级透镜的励磁电流有关，而后者又与工作距离WD 有关。
WD 越小，要求末级透镜的励磁电流愈大，相应的d0 愈小。
此外对于一定质量的透镜来讲，球象差系数也是同工作距离WD 有关，WD 愈小相应的Cs （透镜的球象差系数）也愈小。
因此为获得高的图像分辨率则束斑直径要小，同时需要采用小的工作距离。
如果探针电流过高，电子束斑缩小过度，图像中就容易出现噪声。
如果要观察高低不平的样品表面，要求很高的焦深，则需要采用大的工作距离，同时需要注意，图像的分辨率会明显降低。
4 探针电流探针电流直接影响到束斑直径、图像信号强度、分辨率以及图像清晰及失真程度等参数，而这些参数间又存在矛盾。
电流越大电子束的束斑直径越小，（驰奔注：描述错误，可能是编辑的问题）使分辨率增大，景深也增大。
但是信号弱时，亮度有时会显得不足、信噪比降低。
对于一些高分子材料、生物样品或一些不导电的样品采用较大的探针电流，产生的电荷不能及时扩散迁移而形成积累，因而产生放电现象，难以得到高质量的形貌图片；但是如果探针电流过小，会由于二次电子的信号较弱，本底杂散信号影响比较大，分辨率会下降，在高倍率下影响严重。
因此探针电流选择的原则是在反差和亮度满足正常的情况下，加大探针电流，以便得到最高的分辨率和较大的景深范围。
但是对于低倍率观察图像时要求丰富的层次结构为主，需要采用小一点的探针电流。
扫描电镜TESCAN 5136 的电子探针电流与束斑直径的关系（见图2）。
探针电流越大，束斑直径越小，（驰奔注：这个明显错误，可能是编辑的问题）因此选择适合于放大倍数、观察条件（加速电压、样品倾斜角度等）和样品图像质量的探针电流是明智的。
图2 TESCAN 5136 的探针电流和束斑直径之间的关系( 驰奔注：探针电流单位是纳安nA而不是毫安mA，另外探针直径与探针电流的三分之八次方成正比，上图表明显给错,不是编辑的问题）5 象散校正消象散器实际上是针对各种因素而造成的电子束束斑弥散圆，对于非对称造成的轴上象散都可以用消象散器来校正。
对于TESCAN 5136 扫描电镜，是装有八极电磁式的消象散器，如图3 来消除象散对成像的影响。
图3 八极电磁式消象散器八极电磁式消象散器原理[4] 是根据洛伦兹力力的作用原理，这种场使沿光轴方向运动的电子受到一附加的力，在垂直于光轴的平面中，具有椭圆对称性的校正力，通过改变两组线包中电流的大小和方向，使校正场的作用补偿原透镜场的椭圆性，从而获得截面为圆形的电子束。
图像如果有象散，不仅使图像产生失真，而且图像的清晰度也会明显下降，如图4 物镜光阑对中与未对中的聚焦状态：（a）准确对中原图像正圆，失焦时向四周均匀发散；(b) 光阑有偏，正交时图像成椭圆，且有象散；（c) 光阑偏中较大时，失焦图像流动（驰奔注：光阑是否对中不会造成椭圆斑，而是引起图像在某个方向晃动，这个描述明显不对）。
当物镜光阑的污染不是很严重时，或由于样品的不同性质造成的微小象散时，可以借助仪器的消象散器产生一个相反的小磁场来抵消象散的偏离度。
由于消象散器是一个八面的电磁体，可以多个方向调节，得到最清晰、细节最多、并且不失真的样品原貌。
图5 中图像分别是存在象散的正聚焦，存在象散的过聚焦或欠聚焦，校正象散的正聚焦结果。
图4 物镜光阑对中与未对中的聚焦状态图5 不同聚焦情况下的成像1. 存在象散的正聚焦；2. 存在象散的过聚焦或欠聚焦；3. 校正象散的正聚焦随着电镜使用时间的增加，物镜光阑等部件会受各种来自外界各种因素的污染，再加上各种样品对电子的散射程度不同，角度不同造成的象散大小和方向也不尽相同。
所以在观察图像尤其是高倍率图像时，要经常对象散加以微调，否则会由于象散的原因使图像的质量大大降低。
6 其它干扰反差对比度：图像大的反差会使图像富有立体感，但是过大的反差会损失一些细微结构；图像小的反差会使图像层次丰富和柔和，但是过小的反差也会丧失细节；对于导电的样品在遇到电子后会产生放电现象，使反差降低，因此要根据不同的样品进行自动和手动调节反差对比度。
真空和清洁：真空度不够时会使样品被盖上一层污染物，不能得到高分辨图像，镜筒和物镜光阑被污染，需及时进行清洁处理，否则在图像中会观察到象散，关掉电子束的前后瞬间图像发生位移，严重影响图像质量也会有损仪器的使用。
镀金条件的选择：根据不同的样品采取不同的喷镀条件，如喷镀时间、喷镀电流以及喷镀高度来选取合适的镀层厚度。
一般对于样品的形貌变化不大的可以采用的镀层，形貌变化大的可以采用厚的镀层。
机械振动：电源稳定度和外界杂散磁场会使图像出现锯齿形畸变边缘，特别是在高倍率时更容易观察到。
震动造成在不同时记录的象元排列位置随着震动频率发生挪动，从而使图像变得模糊或变形，观察高倍率图像时，相应的震动效应对图像质量的影响更为严重。
嘈杂噪音：如机械泵工作声音，除湿机工作声音、拍摄高倍率图像时说话的声音以及手机打电话信号干扰(手机信号为高频电磁波，不会对电子束造成影响，但一定要太大声音说话）等对图像产生很大的影响，致使图像的分辨率降低。
7 总结总而言之，影响图像质量的因素很多（见图6）。
图6 影响SEM 图像质量的因素图像的质量高低除仪器本身存在的问题外，更主要是操作条件决定的。
应根据不同的样品选择最佳的扫描参数，以便得到高质量的图像。
参考文献1 马金鑫, 朱国凯. 扫描电子显微镜入门[ Ｍ], 北京: 科学出版社, 19852 懂炎明. 高分子分析手册，北京：中国石化出版社，2004，（3）: 5203 廖乾除，蓝芬兰. 扫描电镜原理及应用技术，北京：冶金工业出版社，19904 张良平，付建华. 扫描电镜中象散的消除，分析测试仪器通讯，1994，（2）:44~48Analysis of the iactors influencing image quality of scanning electron microscopeZhou Guangrong(The Key Laboratory of Molecular Engineering of Polymer and Department of Macromolecule Science,Fudan University, Shanghai 200433)Abstract The factors and their influences on SEM image quality were discussed in this paper. The selections ofelectron acceleration voltage, scanning rate and S/N, spot size, probe current, stigmator, working distance, contrast,etc., have been studied through analyzing image qualities. Methods to increase image quality were proposed.Key words Scanning electron microscope SEM Image quality。