扫频振动实验作业指导书范文

扫频振动实验作业指导书范文

1 目的

本试验的目的是测定在规定频率范围内振动对MEMS 器件的影响。本试验是破坏性试验。

2 设备

本试验所需设备包括具有规定强度和所需扫频的振动装置，以及试验后进行测量所必需的光学和电气设备。

3 程序

器件应牢固地安置在振动台上，引线或电缆也应适当固定。使器件作等幅简谐振动，其振幅两倍幅值为1.52mm(±10%)，或其峰值加速度按试验条件A、B 或 C 的规定(+20%，-0g)。在交越频率以下，试验条件应由振幅大小控制，在交越频率以上，试验条件应由峰值加速度值控制。振动频率在20~2000Hz 范围内近似地按对数变化。应在不少于

4min 的时间内经受从20Hz 到2000Hz 再回到20Hz 的整个频率范围的作用。在X、Y 和Z 三个方向上各进行四次这样的循环(总共是12 次)，从而整个周期运动所需的时间至少约为48min.当有规定时，对其壳体内所含部件或元件在振动时易移动和受到破坏的器件，应用X 射线检查方法或去掉封盖或打开外壳，放大30 倍检查器件，从而揭示是否遭到损坏或有错位。

当本试验作为一个试验组或试验分组的一部分进行时，在本试验结束后不必专门进行试验后测量或检查，而可在该组或分组试验结束时进行一次。

试验条件峰值加速度(m/s2)

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A 196(20g)

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B 490(50g)

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C 686(70g)

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3.1 检查

试验后，不放大或放大不超过 3 倍，对标记进行外观检查;放大20~50 倍对封装、引线

或密封进行目检。此项检查和任何附加的特殊测试和检查应在最终周期完成后，或在包括本试验的一个试验组、一个试验序列或一个试验分组完成后进行。

3.2 失效判据本试验后，不符合任何一项规定的测量或检查，封装、引线或密封有缺陷或损坏的迹象，

或标记模糊等，都应视为失效。由于试验时的操作和夹具引起的标志损坏不应成为器件拒收的原因。