蚀刻工艺之酸性氯化铜蚀刻液

目录

摘要 (1)

1设计任务书 (2)

1.1项目 (2)

1.2设计内容 (2)

1.3设计规模 (2)

1.4设计依据 (2)

1.5产品方案 (2)

1.6原料方案 (2)

1.7生产方式 (3)

2 工艺路线及流程图设计 (3)

2.1工艺路线选择 (3)

2.2内层车间工艺流程简述 (4)

3．车间主要物料危害及防护措施 (6)

3.1职业危害 (6)

3.2预防措施 (6)

4.氯酸钠/盐酸型蚀刻液的反应原理 (7)

4.1蚀刻机理 (7)

4.2蚀刻机理的说明 (8)

4.3蚀刻中相关化学反应的计算 (8)

5．影响蚀刻的因素 (6)

5.1影响蚀刻速率的主要因素 (10)

5.2蚀刻线参数设计 (10)

6 主要设备一览表 (12)

7车间装置定员表 (13)

8投资表 (13)

9安全、环保、生产要求 (14)

致谢 (15)

参考文献 (16)

蚀刻工艺之酸性氯化铜蚀刻液

摘要：本文介绍了印制电路板制造过程中的酸性氯化铜蚀刻液，并对其蚀刻原理和影响蚀刻的因素进行了阐述。

关键词：印制电路板；酸性氯化铜；蚀刻；

分类号：F407.7

Brief principies to acid chlorination copper

etching and factors analysis

Chen yongzhou (Tutor:Pi-yan)

(Department of Chemistry and Environmental Engineering,

Hubei NormalUniversity , Huangshi ,Hubei, 435002)

Abstract: In this paper acid chlorination etching solution was introduced. Meanwhile the etching principle and the factors affecting the etching rate been explain.

Keywords: PCB;acid chlorination copper solution;etching

蚀刻工艺之酸性氯化铜蚀刻液

1设计任务书

1.1项目

氯酸钠/盐酸蚀刻型蚀刻液及其蚀刻工艺（初步

1.2设计内容

车间工艺参数设计

1.3设计规模

1年产：106万FT2

2年生产日：4000FT2

3日生产能力：500000/280=3800 FT2/天

1.4设计依据

依据有关部门下达的实设计任务书或可行性报告的批文,环境影响报告书的批文,资源评价报告的批文, 技术引进合同,设计合同，其他文件等

1.5蚀刻液主要成分

氯酸纳，盐酸，水，其他辅助添加剂。

1.6原料方案

1原料：

FR-4压延型玻璃布、环氧树脂覆铜箔基板、FR-4型玻璃布、环养树脂半固化片（基础原料）；前处理药水，光致抗蚀感光干膜，显影液，蚀刻液（即为主要讨论的），退膜液等（中间辅助原料）。

2质量控制方法：

AQUA自动定量分析系统，AOI自动光学检测系统。

1.7生产方式

整个生产分工段制间歇，各个工段均为水平传送式的连续生产方式。

2 工艺路线及流程图设计

2.1工艺路线选择

经来料检验（IQC）测FR-4型覆铜箔基板的TG、表观、板厚、尺寸、铜厚、热应力等相关指标合格后，开料车间开料成符合生产要求的尺寸后，叠板进入烘箱烤板若干个小时，送至前处理车间进行化学处理，目的是除去板面的油污等杂质以及去氧化，并粗化铜的表观，增大其与干膜的接触面积，从而有更好的附着力，水平传送至贴膜机进行表面贴膜处理，接着用已绘制并检修好的菲林通过曝光机在其表面进行曝光处理，经过曝光的区域，干膜处发生交联反应，形成抗弱碱的抗蚀区域，接着经传送至蚀刻线，经显影（0.8-1.2%的碳酸钠去掉未曝光部分的干膜），蚀刻去多余的铜（氯酸钠/盐酸型蚀刻液），最后用1.5-3.5%的氢氧化钠溶液退膜液退去线路表面的抗蚀刻干膜，得到所需的线路图形。再在CCD或PE-PUNCH上冲孔后送至AOI检测合格后；再送至棕化工序进行过棕化，粗花其微观表面，并在起表面附着上一层有机金属膜，这样有利与层压时与半固化片之间的结合力。将过完棕化的板在送至烘箱烘烤一定时间，进一步干燥板面。接着将干燥后的板送至热铆房进行热铆，使半固化片与芯板固定（只针对与高层次的板）。最后送至层压工序进行真空压合。

2.2内层车间工艺流程简述

1 生产流程方框图

物料流程

2 工艺流程方框图

PCB 内层制造工艺流程图

3 车间主要物料危害及防护护措施

1．合成工段

（1）车间内禁止使用明火，禁止吸烟；发放统一的白帆布鞋；地板统一使用阻燃性地板。

（2）生产人员再生产过程中要及时检查，消除漏点。

（3）设置有完善的抽风系统以及大型空气交换系统，使得车间内有害气体降到最低。

（64）生产现场禁止存放大量易燃易爆物品，有毒有害的化学药品统一存放在指定位置，员工上缸前要进行MSDS培训。

3.1职业危害。

3.1.1火灾爆炸：

生产全过程都是在高温高压、低温负压的条件下进行的。从生产原料到最终产品的大多数物质都具有易燃易爆的特性以及生产所需要的原料都具有一定的易燃易爆危险性。

3.1.2毒害性：

在内层制作过程中主要的一些毒害性物品即为一些化学药品，如菲林清洁剂，菲林定影液，菲林显影液等有机毒害物。

3.1.3噪声：

对岗位操作人员造成伤害的噪声主要来源于压缩机和各种流体泵发出的机械噪声以及内层制作后工序中的锣边,层压中的大型压机,以及钻孔,磨边等工序。

3.2预防措施

3.2.1火灾爆炸预防

1)操作人员上岗前要经过严格的培训，考核合格后始能上岗。在操作中要严格执行工艺指标，遵守操作规程。建立健全事故预案，使操作人员熟知事故处理及故障排除的方法。对易燃易爆物料不得随意就地排空排放，排空排放速率不得超过25m/s。

2)做好设备保全与维修工作，及时消除跑、冒、滴、漏。安全阀、压力表、液面计、防爆膜以及联锁等安全设施必须保持完好并投入使用。

3)保持室内厂房通风良好，防止可燃气体积聚，在易燃易爆气体浓度高、危