透射电镜高中低倍光路图
透射电镜
对于同一物相、同一衍射花样各圆环而言，（C2/a2）为 常数，有 R12：R22：…：Rn2=N1：N2：…：Nn 此即指各衍射圆环半径平方（由小到大）顺序比等于各圆 环对应衍射晶面N值顺序比。 立方晶系不同结构类型晶体系统消光规律不同，故产生衍 射各晶面的N值顺序比也各不相同。 参见表6-1，表中之m即此处之N（有关电子衍射分析的文 献中习惯以N表示H2+K2+L2，此处遵从习惯）
TEM的典型应用
1.形貌观察 晶粒(颗粒)形状，形态，大小，分布等 2.晶体缺陷分析 线缺陷：位错（刃型位错和螺型位错） 面缺陷：层错 体缺陷：包裹体 表面、界面（晶界、粒界）等 3.组织观察 晶粒分布、相互之间的关系，杂质相的分布、与主晶相的 关系等 4.晶体结构分析、物相鉴定（电子衍射） 5.晶体取向分析（电子衍射）
不锈钢中的网形位错
长石中的位错
(a)层错面位置及衬度示意图
(b)层错明场像(BF)及暗场像(DF)
层错的衬度特征
晶粒（1）与周围4个晶粒（2、3、4、5）间晶粒边界的衍衬像
110
] （c）SADP，B//[010]
NiAl（7）合金中的析出相 （a）明场像，g=220 （b）中心暗场像，g=110 （c）SADP（选区衍射谱），B//[110] （c）SADP，B//[010]
衍射衬度成像光路图
多晶电子衍射成像原理与衍射花样特征
多晶电子衍射成像原理
样品中各晶粒同名（HKL）面倒易点集合 而成倒易球（面），倒易球面与反射球相交 为圆环，因而样品各晶粒同名（HKL）面 衍射线形成以入射电子束为轴、2为半锥角 的衍射圆锥。不同（HKL）衍射圆锥2不 同，但各衍射圆锥均共顶、共轴。 各共顶、共轴（HKL）衍射圆锥与垂直于 入射束的感光平面相交，其交线为一系列同 心圆（称衍射圆环）即为多晶电子衍射花样。 多晶电子衍射花样也可视为倒易球面与反射 球交线圆环（即参与衍射晶面倒易点的集合） 的放大像。 电子衍射基本公式及其各种改写形式也适用 于多晶电子衍射分析，式中之R即为衍射圆 环之半径。
显微镜的使用(低倍镜、高倍镜)ppt课件
人
葱
的
根
血 细
尖 分 生
胞
细
胞
人
洋
的
葱
口
表腔ຫໍສະໝຸດ 皮上细皮
胞
细
胞
显微镜的使用
粗准焦螺旋 细准焦螺旋
镜臂
镜 柱
目镜
镜筒 转换器 物镜 载物台 通光孔 遮光 器压片夹 反光镜 镜座
显微镜的构造
调光结构——视野明暗 反光镜、光圈
调焦结构——视野清晰度 粗准焦螺旋、细准焦螺旋
其他结构 镜座、镜臂、镜筒、载物台、通光孔、
四、整理与存放
转动粗准焦螺旋，升高镜筒，取出玻片。 用擦镜纸擦净目镜和物镜，用清洁 纱布擦净
镜体。 再转动转换器，把两个物镜偏到两旁，并
将镜筒下降，然后将显微镜平稳地放入镜 箱内保存。
转换高倍镜（重点）
一、移动装片，在低倍镜下使需要放大观察 的部分移到视野中央
二、转动转换器更換高倍的物镜 三、调节光圈或反光镜，使视野亮度适宜 四、转动细准焦螺旋至标本影像清晰为止
A、①③⑤ B、②④⑥ C、①④⑥ D、②③⑤
基础知识和应用
1、放大倍数＝目镜x物镜
2、显微镜放大的长度或宽度，而不是面积。
3、放大倍数变大
视野中细胞数目变少
倒立的物像：上下左右相反
如下图经显微镜放大后得到：
放大
旋转
将原物体旋转180°即可。
玻片的移动与物像的移动
由于是倒立的像，玻片的移动方向与物像的 移动方向相反。
巩固练习
1、显微镜中可调节视野亮度的是（ ） A镜筒和镜座 B目镜和物镜 C反光镜和遮光器 D镜筒和载物台 2、细准焦螺旋的作用是（ ）
A使镜筒缓缓上升 B调节出更清晰的物象 C调节光线的强弱 D调节放大倍数 3、一台显微镜的目镜为10倍，选择下列哪种物镜时 视野内看到的细胞数目最少（ ）
透射电镜课件
第二章 电子显微分析
•聚光镜用来会聚电子枪
射出的电子束，以最小的 损失照明样品，调节照明 强度、孔径角和束斑大小。 一般都采用双聚光镜系统， 如图2-25所示。第一聚光 镜是强激磁透镜，束斑缩 小率为10～50倍左右，将 电子枪第一交叉点束斑缩 小为1～5μm；而第二聚 光镜是弱激磁透镜，适焦 时放大倍数为2倍左右。结 果在样品平面上可获得2～ 10μm的照明电子束斑。
2r
P
透镜平面
Q
R
2r 2r Df tg
如r 1nm，＝ 10－3～10－2 弧度时，Df 大 约是 200～2000nm，这就是说，厚 度小于2000 nm的试样，其间所有细 节都可调焦成象。由于电子透镜景深大， 电子透镜广泛应用在断口观察上。
P1 2Mr
第二章 电子显微分析
第二章 电子显微分析 （三）投影镜
投影镜的作用是把经中间镜放大（或缩小） 的像（电子衍射花样）进一步放大，并投影到 荧光屏上，它和物镜一样，是一个短焦距的强 磁透镜。投影镜的激磁电流是固定的。因为成 像电子束进入投影镜时孔镜角很小（约103rad）,因此它的景深和焦深都非常大。
三级放大成像示意图
第二章 电子显微分析
第二章 电子显微分析
四、电磁透镜的像差和理论分辨本领
电磁透镜成的像模糊不清，或与原物的几何形状 不完全相似，这种现象称为像差。主要包括球差、色 差、像散、畸变。 球差、像散、畸变是因为透镜磁场几何形状上的缺 陷而造成的； 色差是由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改 变而造成的。
第二章 电子显微分析
f L1 L2 L1 L1 f f
电磁透镜成像时也可以应用上式。所不同的是，光学透镜的 焦距是固定不变的，而电磁透镜的焦距是可变的。电磁透镜 焦距f常用的近似公式为： VD
透射电镜教程PPT课件
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1. 电磁透镜
• 能使电子束聚焦的装置称为电子透镜（electron lens）
• • 电子透镜 • •
静电透镜 恒磁透镜
磁透镜 电磁透镜
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（1）电磁透镜的结构
图9-3 电磁透镜结构示意图
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• 动力学衍射 • 运动学衍射
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一、运动学理论的基本假设
• 运动学理论是建立在运动学近似[即忽略各级衍射束(透射束为零级衍射束)之间的相互作 用]基础之上的用于讨论衍射波强度的一种简化理论。
• 其基本假设是： • ①入射电子在样品内只可能受到不多于一次的散射。 • ②入射电子波在样品内的传播过程中，强度的衰减可以忽略。即衍射波强度始终远小于
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为进一步简化计算，采用两个近似处理方法：
• ①双束条件，即除直射束外只激发产生一个衍射束的成像条件。 由上述讨论可知，对薄晶体样品双束条件实际上是达不到的。实 践上只能获得近似的双束条件。因此，用于成像的衍射束应具有 较大的偏离参量，使其强度远小于直射束强度，以近似满足运动 学要求；另一方面该衍射束的强度应明显高于其它衍射束的强度， 以近似满足双束条件；
• TEM样品可分为间接样品和直接样品。
• 要求： • （1）供TEM分析的样品必须对电子束是透明的，通常样品观察区域的厚度以控制在约
100~200nm为宜。 • （2）所制得的样品还必须具有代表性以真实反映所分析材料的某些特征。因此，样品
制备时不可影响这些特征，如已产生影响则必须知道影响的方式和程度。
且当选用的衍射束所对应的倒易点足够偏离厄瓦尔德球面时， 其附近的某个或某些倒易点又将靠近厄瓦尔德球面； • 另一方面，随着样品厚度的减小，倒易杆拉长，更容易产生较 强的衍射，而且样品越薄则越难完全代表大块材料的性质，所 以衍衬分析时样品通常不应制得太薄。可见，用运动学理论解 释衍衬在大多数情况下都是近似的。
第十一章透射电镜
单壁纳米管
单壁纳米管的截面图
Sr 200
B
Counts 100 Cu Cu 0 0 2 4 6 Cu Sr
8 10 12 14 16 18 2 Energy / KeV
Fig 1.A TEM micrograph along with electron diffraction of typical SrCO3 nanowires prepared by exposing to air for 30 min and re-crystallized in water bath at 60℃ for 12 hours
Fig 2.C TEM for 60 min
颗粒为长圆形：定向生长 颗粒自组装形成的长串 ： 纳米线 电子衍射花样为不清晰的 亮环 ：非晶
纳米线已经形成 在受到电子束照射时 发生变形 电子衍射花样为规律 性的斑点
纳米线已经完全形成 在电子束照射下较为稳定 电子衍射花样：纳米线的 取向取向一致 晶体的C轴同纳米线的走向 一致
电子显微镜可以提供放大了的象，电子波长又非常短， 人们便自然地把电子显微镜视为弥补光学显微镜不足的 有利工具
8.1.4 电子透镜的缺陷 电子透镜也存在缺陷，使得实际分辨距离远 小于理论分辨距离 对电镜分辨本领起作用的是： 球差 象散 色差
1） 球 差 球差是由于电子透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能 力不同而造成的。远轴的电子通过透镜是折射得比近轴电子要厉 害的多，以致两者不交在一点上，结果在象平面成了一个满散圆 斑。
8.1.6 电镜三要素 1）分辨率
r0 A C
3/ 4
1/ 4 s
式中：A——常数；——照明电子束波长；Cs——透镜球 差系数。
透射电镜课件-第二部分
3. 抽出物镜光栏，减弱中间镜电流，使中
间镜物平面移到物镜背焦面，荧光屏上可
观察到放大的电子衍射花样。
4. 用中间镜旋钮调节中间镜电流，使中心 斑最小最圆，其余斑点明锐，此时中间镜
物面与物镜背焦面相重合。
5. 减弱第二聚光镜电流，使投影到样品上 的入射束散焦（近似平行束），摄照（30s左 右）。
Al5FeNi的选区电子衍射花样
5.1 衍射花样
（1）单晶体的斑点花样
一系列按一定几何图形分布、排列规则的衍
射斑点，反映结构的对称性。 斑点指数化：{hkl}晶面族产生的衍射斑点标 为hkl 应用：确定物相之间的取向关系； 绕一个斑点旋转可确定旋转轴； 通过细节分析可弄清缺陷结构。
高岭石的单晶电子衍射谱
c-ZrO2衍射斑点
选择特定像区的各级衍射束成谱(对样品中指
定区域进行电子衍射)
5.2.1
实验方法
获取衍射花样的方法是光阑选区衍射和 微束选区衍射，前者多在 5 平方微米以上， 后者可在0.5平方微米以下。
光阑选区衍射是通过物镜像平面上插入
选区光阑限制参加成像和衍射的区域来实现 的。 另外，电镜的一个特点就是能够做到 选区衍射和选区成像的一致性。
5.2 选区电子衍射
衍射束经物镜会聚，在物镜背焦面成第一级 衍射谱，经中间镜、投影镜放大在荧光屏上 得到最终电子衍射谱。 相机长度L、相机常数K不是固定不变，随选 用的电子衍射方法及操作条件而变。
选区电子衍射
L f0 M
K f0 M
式中： f0－ 物镜焦距 M’－中间镜及投影镜总放大倍数
聚光镜有增强电子束密度和再次将发散
的电子会聚起来的作用。 多为磁透镜，调节其电流控制照明亮度、 照明孔径角和束斑大小。
电镜
讲解人：殷茂炬；姜雪梅
走近透射电镜
工是它是是透 具观具一电射 。察有种子电 和较高显镜 研高精微， 究分密镜又 物辨度的称 质本的一透 微领电种射 观和子。电 结高光电子 构放学子显 的大仪显微 重倍器微镜 要数，镜， ，
讲解概况
• • • • • • • • 透射电镜的原理 透射电镜的成像原理 透射电镜的功能 透射电镜的分类 透射电镜的主要结构 所需试样的制备 仪器的操作 总结
透射电镜的功能
• 结合样品台设计成高温台、低温台和拉伸 台，透射电子显微镜还可以在加热状态、 低温冷却状态和拉伸状态下观察样品动态 的组织结构、成分的变化，使得透射电子 显微镜的功能进一步的拓宽。 • 透射电子显微镜功能的拓宽意味着一台仪 器在不更换样品的情况下可以进行多种分 析，尤其是可以针对同一微区位置进行形 貌、晶体结构、成分（价态）的全面分析。
试样的制备
左右的薄片。为避免严重发热或形成应力，可采用 化学抛光法。 （3）用电解抛光，或离子轰击法进行最终减薄，在 孔洞边缘获得厚度小于500nm 的薄膜。 （三）复型样品的制备 样品通过表面复型技术获得。所谓复型技术就 是把样品表面的显微组织浮雕复制到一种很薄的膜 上，然后把复制膜（叫做“复型”）放到透射电镜 中去观察分析，这样才使透射电镜应用于显示材料 的显微组织。复型方法中用得较普遍的是碳一级复 型、塑料二级复型和淬取复型。
图片分析
石墨烯层数
试样的制备
（一）粉末样品的制备 • 用超声波分散器将需要观察的粉末在溶液中分散 成悬浮液。用滴管滴几滴在覆盖有碳加强火棉胶 支持膜的电镜铜网上。待其干燥后，再蒸上一层 碳膜，即成为电镜观察用的粉末样品。 （二）薄膜样品的制备 块状材料是通过减薄的方法制备成对电子束透 明的薄膜样品。制备薄膜一般有以下步骤： （1）切取厚度小于0.5mm 的薄块。 （2）用金相砂纸研磨，把薄块减薄到0.1-0.05mm
透射电镜教程PPT课件
图9-19 衍射衬度成像光路图
第四节 电子衍射运动学理论
透射电镜衍射衬度是由样品底表面不同部位的衍射束强度存在差异而 造成的。要深入理解和正确解释透射电镜衍衬像的衬度特征，就需要 对衍射束的强度进行计算。
动力学衍射 运动学衍射
为满足上述基本假设，在实践上可通过以下两条途径实现：
一、成像操作
图9-17 成像操作光路图 （a）明场像 (b)暗场像 (c)中心暗场像
二、像衬度
像衬度是图像上不同区域间明暗程度的差别。
透射电镜的像衬度来源于样品对入射电子束的散射。可分为：
质厚衬度 ：非晶样品衬度的主要来源
振幅衬度
衍射衬度 ：晶体样品衬度的主要来源
相位衬度
图9-18 质厚衬度成像光路图
地揭示表面形貌的细节特征。 常用的复型材料是非晶碳膜和各种塑料薄膜。
复型的种类
按复型的制备方法，复型主要分为：
一级复型
二级复型
萃取复型（半直接样品）
图9-14 塑料-碳二级复型制备过程示意图
萃取复型
二、直接样品的制备
1.粉末样品制备 粉末样品制备的关键是如何将超细粉的颗粒分散开来，各自独立而不
11 1 uv f
式中：u、v与f——物距、像距与焦距。
f
A
(
RV0 NI )
2
（9-1） （9-2）
式中：V0——电子加速电压；R——透镜半径；NI——激磁线圈安匝 数；A——与透镜结构有关的比例常数。
电磁透镜是一种焦距(或放大倍数)可调的会聚透镜。减小激磁电流，可使 电磁透镜磁场强度降低、焦距变长(由f1变为f2 ） 。
2. 照明系统
作用：提供亮度高、相干性好、束流稳定的照明电子束。
透射电镜高中低倍光路图
透射电镜一、基本原理（一）分辨本领与放大倍数分辨本领是指能够分辨物体上两点之间的最小距离。
光学显微镜与电镜的分辨率相差达1000倍，因为光镜的分辨本领受到衍射效应的限制。
当光线从一点出发透过显微镜时，所成的像不再是一点而是一个周围带有阴影的光斑。
如果物体上两个质点靠得很近，所成的像就可能分辨不清。
也就是说，光的波动性给光学显微镜规定了一个分辨本领的限制。
光镜的分辨本领最终只能达到约为照明波长的0。
4倍。
放大倍数是指物体经过仪器放大后的像与物的大小之比。
放大了的像还可多次放大，但到一定限度后继续放大时便不能增加细节，这是分辨本领的限制所致。
不能增加图像细节的放大倍数称为空放大，而与分辨本领相应的最高放大倍数称为有效放大倍数，为眼的分辨本领与仪器的分辨本领之比。
（二）电子波（束）特性为了提高显微镜的分辨本领，就需要寻找波长更短的光波作照明。
1924年法国学者德。
布罗依等人创立了波动力学，提出了物质波的概念，指出高速运动的粒子不仅具有粒子性，而且具有波动性。
这个假设不久就为电子衍射实验所证实。
衍射是波动的特性，高速运动的电子能发生衍射，证明它是一种波。
它具有波动所具有的共同特征量——波长、频率、振幅、相位等，并且服从于波动的规律。
（三）磁透镜的光学性质和聚焦原理电镜实质上是电子透镜的组合。
电子透镜有静电透镜和磁透镜二种。
磁透镜的聚焦原理：电子在进入磁场后受到磁场(洛伦兹力)作用，使电子束产生两种运动——旋转和折射，而电子在磁场中的旋转与折射是各自进行的。
因此，在讨论磁透镜的聚焦作用时就可以暂不考虑电子的旋转，这样，电子在磁透镜的折射与光通过玻璃凸透镜的聚焦作用相似了。
正如玻璃凸透镜可用于放大成像一样。
磁透镜也能用于放大成像，而且还可以借用几何光学中的光线作图法与术语，如用焦点、焦距、物距、像距等概念来描述电子在磁透镜的运动轨迹。
电子枪发射的电子在阳极加速电压的作用下，高速地穿过阳极孔，被聚光镜会聚成很细的电子束照明样品。
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透射电镜
一、基本原理
（一）分辨本领与放大倍数
分辨本领是指能够分辨物体上两点之间的最小距离。
光学显微镜与电镜的分辨率相差达1000倍，因为光镜的分辨本领受到衍射效应的限制。
当光线从一点出发透过显微镜时，所成的像不再是一点而是一个周围带有阴影的光斑。
如果物体上两个质点靠得很近，所成的像就可能分辨不清。
也就是说，光的波动性给光学显微镜规定了一个分辨本领的限制。
光镜的分辨本领最终只能达到约为照明波长的0。
4倍。
放大倍数是指物体经过仪器放大后的像与物的大小之比。
放大了的像还可多次放大，但到一定限度后继续放大时便不能增加细节，这是分辨本领的限制所致。
不能增加图像细节的放大倍数称为空放大，而与分辨本领相应的最高放大倍数称为有效放大倍数，为眼的分辨本领与仪器的分辨本领之比。
（二）电子波（束）特性
为了提高显微镜的分辨本领，就需要寻找波长更短的光波作照明。
1924年法国学者德。
布罗依等人创立了波动力学，提出了物质波的概念，指出高速运动的粒子不仅具有粒子性，而且具有波动性。
这个假设不久就为电子衍射实验所证实。
衍射是波动的特性，高速运动的电子能发生衍射，证明它是一种波。
它具有波动所具有的共同特征量——波长、频率、振幅、相位等，并且服从于波动的规律。
（三）磁透镜的光学性质和聚焦原理
电镜实质上是电子透镜的组合。
电子透镜有静电透镜和磁透镜二种。
磁透镜的聚焦原理：电子在进入磁场后受到磁场(洛伦兹力)作用，使电子束产生两种运动——旋转和折射，而电子在磁场中的旋转与折射是各自进行的。
因此，在讨论磁透镜的聚焦作用时就可以暂不考虑电子的旋转，这样，电子在磁透镜的折射与光通过玻璃凸透镜的聚焦作用相似了。
正如玻璃凸透镜可用于放大成像一样。
磁透镜也能用于放大成像，而且还可以借用几何光学中的光线作图法与术语，如用焦点、焦距、物距、像距等概念来描述电子在磁透镜的运动轨迹。
电子枪发射的电子在阳极加速电压的作用下，高速地穿过阳极孔，被聚光镜会聚成很细的电子束照明样品。
因为电子束穿透能力有限，所以要求样品做得很薄，观察区域的厚度在200nm左右。
由于样品微区的厚度、平均原子序数、晶体结构或位向有差别，使电子束透过样品时发生部分散射，其散射结果使通过物镜光阑孔的电子束强度产生差别，经过物镜聚焦放大在其像平面上，形成第一幅反映样品微观特征的电子像。
然后再经中间镜和投影镜两级放大，投射到荧光屏上对荧光屏感光，即把透射电子的强度转换为人眼直接可见的光强度分布，或由照相底片感光记录，从而得到一幅具有一定衬度的高放大倍数的图像。
二、透射电镜的基本结构
透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。
它由电子光学系统（镜筒）、电源和控制系统、真空系统三部分组成。
三、镜筒结构
（1）照明部分
照明部分由电子枪、双聚光镜、光阑组、电子束平移、倾斜装置和消象散器组成。
它的作用是提供一束亮度大、孔径角小、相干性好、稳定度高的电子束照射到待分析的样品上。
①电子枪
电子枪是电镜的照明源，由阴极，栅极和阳极组成。
阴极通常用0。
1mm直径钨丝做成V型，也可采用LaB6晶体或场发射电子枪，目前常用的灯丝是LaB6。
阴极的作用就是发射电子，栅极（也叫控制极）由一个圆筒形金属帽做成并和阴极一起组装在一个高压瓷瓶上，栅极电位较阴极为负，通过改变它的电位来控制电子束流的大小和像的亮度，阳极则是一个T型中空金属园筒，阴阳两极之间有较高的电位差，阳极由下面还有四级极可使电子进一步加速，电子束进一步地聚焦准直。
阴极发射的电子可以获得足够大的功能，形成定向高速电流，为了安全，阳极接地，而灯丝处于负高压状态。
②双聚光透镜
聚光镜是电磁透镜，对电子束有会聚作用，电磁透镜由带缺口的高导磁软磁材料回路和嵌在其中的激磁线圈组合而成，激磁线圈通电时，缺口间隔全形成轴对称磁场。
电磁透镜的强度，也就是缺口间隙处磁场强度，它与线圈匝数N以及线圈中流过的电流I的乘积NI成正比，一束进入轴对称磁场的电子束会由于电磁交互作用而会聚于一点，这一点称透镜的焦点，焦点到透镜中心的距离叫焦距。
（2）成像放大部份
这部份由样品室、物镜，二级中间镜和二级投影镜组成。
样品室位于照明部份和物镜之间，它的作用是通过样品传递移动装置，在不破坏镜筒真空的情况下，使样品在物镜的极靴孔内平移和倾转。
（3）观察记录部分
在投影镜的下面是电子显微像的观察和记录系统。
这部分由带铅玻璃窗口的观察室和装有发片盒和收片盒的照相室以及CCD（数码相机）组成。
观察室内的萤光屏用发黄绿色光的硫化锌镉类荧光粉制作，荧光屏在电子束照射下，呈现出与样品的组织结构相对应的电子图像，从而将肉眼看不到的电子像转化为可见光
像。
移动样品台，可以观察到不同区域样品的组织结构，调节物镜激磁电流（聚焦）可以使荧光屏上的图像清晰。
图像调清晰后，按动观察室外的按钮，荧光屏转动90°，将荧光屏从光路上移开，使电子束继续沿光轴下行，放置在荧光屏下的发片盒内的电子感光版（电镜底片）就可以把观察到的样品图像连同该操作条件下的加速电压、放大倍率以及底片的顺序等一起记录下来。
四、成像光路图
1、高放大倍数光路图
由电子枪发射的电子束经聚光镜聚焦照射到试
样上，透过试样的电子经物镜放大在中间镜上方形
成一级放大实像，中间镜以一级实像作为物，这时
中间镜放大倍数较高，在投影镜上方形成二级放大
实像，投影镜以二级实像为物进一步放大并投影到荧光屏上，形成三级放大实像。
可获得几万倍至几十万倍的电子显微图像。
一般用于观察晶体缺陷。
2、中放大倍数光路图
由电子枪发射的电子束经聚光镜聚焦照射到试
样上，降低物镜的放大倍数，透过试样的电子经物镜
获得放大倍数较低的一级放大实像，中间镜以一级实
像作为物，这时中间镜放大倍数小于1，故在投影镜
上方获得一个缩小了的像，投影镜以中间镜形成的缩
小的像为物进一步放大并投影到荧光屏上，可获得几千倍至几万倍的电子显微图像。
一般用于观察金属显微组织。
3、低放大倍数光路图
关闭物镜，以中间镜作为物镜，由电子枪发射
的电子束经聚光镜聚焦照射到试样上，透过试样的
电子经物镜放大在中间镜下方形成一级放大实像，
投影镜以一级实像为物放大形成二级放大实像并投
影到荧光屏上。
可获得几百倍至1500倍的电子显微
图像。
五、对中与合轴调整
1)合轴的目的：合轴是一种操作，即通过机械和电参数的调整，使电子光学系统中的电子枪，各组透镜，荧光屏的中心在同一轴线上。
合轴的操作要领
1、查明各类不合轴现象；
2、采取针对性的合轴操作。
不合轴的类型：
电子枪倾斜未合轴
合轴操作：①集中光斑，灯丝欠饱和，显示灯丝像；②调枪倾斜钮，使灯丝像对称；③恢复灯丝电流的饱和状态
聚光镜光栏不对中
合轴操作：①用聚光镜钮收缩光斑，用光平移将光斑移到荧光屏中心；②用聚光镜钮放大光斑，调光栏位置，使光斑对中；③反复上述操作，使两者同心变化为止。
电子枪平移未合轴现象
合轴操作：①选用小尺寸光斑，用聚光镜钮收缩光斑，用光平移将光斑移到荧光屏中心；②选用大尺寸光斑，用聚光镜钮收缩光斑，调枪平移钮，使光斑再对中；③反复上述操作，使两者同心变化为止。
光平移不对中现象
合轴操作：用光平移将光斑移到荧光屏中心。
电压中心不对中现象
合轴操作：①开启电压中心调节钮，像开始抖动；②调正光倾斜钮，使抖动中心移向荧光屏中心；③关闭电压中心调节钮。