扩散炉系统的注意事项

浙江光隆能源科技股份有限公司扩散系统的注意事项

注意事项

●扩散炉运行时为高温状态，因此操作维护时要注意带防护用具。

●源气体中POCL3是有毒气体，在每次维护保养时应确定关闭气源。

●扩散设备中有很多石英制品，在维护保养时也要轻拿轻放。

●炉管清洗时，可根据炉管的洁净程度配比相应的HF和HCL的浓度和浸泡时间（较难清洗时可适当延长浸泡时间）。

●在炉管和SiC桨安装时，要注意SiC桨的位置保持在炉管正确位置，试走舟时均流板等要与炉管保持一段距离为佳。

●POCL3极易水解，在潮湿的空气中，因水解产生酸雾，水解生成的HCL溶于源中会使源变成淡黄色，此时需换源。

●工艺生成物HPO3是一种白色粘滞性液体，对硅片有腐蚀作用，并会使石英舟粘在管道上不易拉出。

安全

●化学品的安全使用

POCL3的安全使用

1.必须在通风柜中灌满POCL3。清洗源瓶时应先倒尽残液，防止发生爆炸。

2.用POCL3做源的扩散炉，炉口要有通风罩，通源前要先开动排风电扇。

3.源的罐装必须在通风良好的操作柜中进行。

4.操作时必须戴好手套和防护面罩，工作完毕后，手套必须用水冲洗干净后才能脱掉。

5.严禁用装有源的密封源瓶在常温下保存。

●酸碱的安全使用

1.在有酸、碱存放的地方要安装良好的通风排气设备。

2.为避免酸、碱对人体皮肤和衣物的腐蚀和灼伤，操作者要穿好防护装置并在抽风排毒柜中进行。

3.搬运时要谨慎小心防止源瓶倾斜或破裂，起封时，瓶口应朝向无人方向。

4.酸碱废液必须经过净化处理，严禁直接排入下水道。