无尘室基础知识
洁净室无尘室基础知识与管理
洁净室无尘室基础知识与管理洁净室（亦称无尘室）：空气悬浮粒子浓度受控的房间。
它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。
室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
现行标准：GB50073-2013 洁净厂房设计规范。
各种条件下微尘状况尘埃粒子直径的示意图：灰尘又是如何产生的呢？一般事务室里拍摄的例子荧光灯全部消失的场合：走路时候发尘样子对比左边是穿一般的工作服走路时候发尘的样子。
右边是穿洁净服走路时候发尘的样子。
拍击工作服时产生的尘埃粒子对比左边是拍击一般的工作服时发尘的样子。
右边是拍击洁净服时发尘的样子。
洁净室内的事例作业人员通过后，尘埃附着在玻璃上的样子。
浮游粒子使用 ParticleEyeDCF 统计浮游粒子数量。
纸张的发尘对比左边是普通纸，右边是无尘纸。
胶带和手套的发尘例子左边是纸芯胶带的发尘的样子，右边是PVC手套的发尘。
电动工具的发尘例子左边是电钻发尘的样子。
右边是真空泵发尘的样子。
吸尘器排气的例子吸尘器各地方排气泄漏的样子。
打喷嚏时从嘴里泄漏飞沫的样子：打喷嚏时瞬间发生的飞沫。
发汗现象：从胳膊发汗条件创造。
吸烟的例子：香烟烟雾的粒子。
运动时产生的尘埃粒子数量灰尘是如何去除的呢？洁净室的空气净化：手持简易型激光粒子计数器测量空气中微粒的数量：限于体量和重量，手持式激光粒子计数器采样流量一般为每分钟0.1立方英尺（0.1cfm），即每分钟2.83升（2.83L/m），其最小粒径通道一般为0.3μm。
通常均可采用电池或交流电工作。
这类产品粒径通道又可分为双通道型，如美国Met One公司生产的HHPC-2型，有0.3和0.5μm及0.5和5μm两种标准配置。
由于这类产品采样空气量小，测量精度相对较低，但随检测人员移动灵便，适用于各种洁净室的监测，判定过滤设备的效率和密封性。
这类产品可存储一定量的采样数据，备有下载软件，均不带打印装置。
高效过滤器高效过滤器检漏：卸下HEPA的散流板，对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。
无尘室工程基本知识
无尘室工程基本知识1 无尘室工程定义：指在特定的温度、湿度和压力下，控制微粒产生源，使其空气中粒子数保持在一定水平的一个密闭空间。
2 净化级别标准：无尘室工程净化级别是根据每立方英尺空气中粒径大于划分标准的粒子数量来规定的。
目前国际上较为大家广泛接受和认可的净化级别标准：ISO14644-1标准，取代了原来的FED STD 209E，并在原基础上有所增加。
3 无尘室工程净化装置工作原理通过空气处理装置（加热或冷却），将空气流送入管道，并通过空气预过滤和末级过滤装置，将洁净的空气送入工作室中。
同时通过工艺排风，将室内空气送回到空气处理装置，经过循环往复，达到室内空气净化的目的。
4 无尘室工程按照室内气流形式分为：非层流式，层流式，混合式。
非层流式（Conventional Airflow Type），又称乱流式。
如同一般空调一样，逆风从顶棚，墙壁等一部分吹出，回风从墙壁，地板的一部分吸入。
层流方式（Laminar Airflow Type），在层流洁净室中，气流被调整得非常好，从室内一侧平稳地流向其对应的另一侧。
因此，层流方式具有两个特点：一是可以将污染源散发出来的尘埃在未向室内扩散以前被压出室外；二是洁净的空气对污染源有隔离作用，隔断尘埃向空间散发。
混合方式（Mixed Airflow Type），乱流式和层流式在同一间房间内组合使用的方式，就洁净使用上看，往往只是部分房间要求高洁净度，而不是整个房间。
因此，层流部分尽量减小，其他部分用乱流方式替代，可以使净化设备更有效的发挥作用。
5 无尘室工程污染的种类A，微粒与纤维 B，化学物品 C，细菌6 Source Of ContaminationA Facilities，Walls，floors and and coatings Air conditioning debris ，Room air and Vapors ，spills and leaks.B People，skin flakes and oil，Cosmetics and le，clothing debris（lint，fibers etc）hair.C Tools，Friction and wear cants and emission，s，mops and dusters.D Fluid Particulates flowing in air，Becteria，organics and moisture，Floor finish or coatings，cleaning chemicals，ized water.E Product Generated，silicon ehips，Quartz flakes，Aluminum Particles.7 Typical particles in semiconductor class 100 room airsource percentHuman 46Dust-Free-Garments 8Clean Materials 4Photoresist Pieces 12Silicon Quartz 22Other 88 Restricted Materials in cleanroom.A wood wood-made product outgas,shed particlesB silicon Hard to removeC PVC Rubber Outgas Transter molecular contaminationD Polymer with surrfactant shed carton particlesCertain carbon loaded material surfactant and topical Topical surface treated materials treatment is volatile9 Good cleanroom practiceA Vaccum Shoe BrushB Openning cleanroom DoorC Air TurbulenceD Air PressureE Produce HandlingF Harware Packaging10 无尘控制行业A chemicalB NuclearC Disc MemoryD Silk ScreeningE Printed circuit boards。
无尘室基础知识
医疗器械的制造过程中，无尘室有助于减少生产环境中的尘埃和微生物污染，提 高医疗器械的洁净度和安全性。
食品工业
食品包装
无尘室用于食品包装材料的生产，确保包装材料的洁净度和 卫生标准，从而保证食品的质量和安全性。
食品加工
某些食品加工过程需要在洁净的环境中进行，如饮料灌装、 糖果制作等，无尘室提供了一个符合卫生标准的加工环境。
回风系统
02
03
排风系统
回风系统将室内的空气排出，经 过过滤和净化后再送回无尘室内。
排风系统用于排除无尘室内的不 良气体和尘埃，保持室内空气的 洁净度。
洁净设备
洁净工作台
01
用于进行高精度、高洁净度要求的实验和生产。
洁净棚
02
一种较经济实惠的洁净空间，适用于一般洁净度要求的场所。
洁净隧道
03
一种高效、快速净化空间的设备，适用于大规模、高洁净度要
无尘室基础知识
目录
• 无尘室的定义与特性 • 无尘室的组成与功能 • 无尘室的洁净度与测试 • 无尘室的应用领域 • 无尘室的未来发展与挑战
01
无尘室的定义与特性
无尘室的定义
无尘室是一种特殊的环境，通过严格 控制室内空气的洁净度、温度、湿度 等参数，为生产、科研等提供了一个 高度洁净的工作环境。
其他领域
科学研究
在科学研究领域，无尘室广泛应用于 实验室、科研机构等，为科研人员提 供了一个洁净、恒温恒湿的环境，有 助于实验的准确性和可靠性。
光学仪器制造
光学仪器制造过程中，无尘室有助于 减少尘埃对光学表面的污染，提高光 学仪器的质量和性能。
05
无尘室的未来发展与挑 战
新型无尘室技术的研发
无尘室基础知识培训讲义
1616-22%
3%
70%
9-15%
2% 5%
35% 70%
8-14% 2727-33%
静电破坏：静电引起的IC等电子零件的破坏现象。是由放电造成的一种破坏。它是由人无法感觉的低电压引 静电破坏：静电引起的IC等电子零件的破坏现象。是由放电造成的一种破坏。 IC等电子零件的破坏现象 起的，因此其特征是人在无法察觉时破坏就已经发生。 起的，因此其特征是人在无法察觉时破坏就已经发生。 静电对IC损伤的主要表现： IC损伤的主要表现 静电对IC损伤的主要表现： 芯片内热二次击穿 要点：关于IC等电子零件的静电对 ※要点：关于 等电子零件的静电对 金属喷镀熔融 策，一般将静电置于100V以下进行管 一般将静电置于 以下进行管 介质击穿 理。 表面击穿 体积击穿 静电损害的形式有两种：即时失效和延时失效： 静电损害的形式有两种：即时失效和延时失效： 即时失效：产品功能丧失，在最终检验前能被测试发现，可以重新维修、测试或报废。 即时失效：产品功能丧失，在最终检验前能被测试发现，可以重新维修、测试或报废。 延时失效：通过所有的检验和测试，到用户使用一段时间后失效，产品性能不稳定，存在潜伏性失效， 延时失效：通过所有的检验和测试，到用户使用一段时间后失效，产品性能不稳定，存在潜伏性失效，极不 易受控，占受静电破坏原件的90% 。 易受控，占受静电破坏原件的90% Faster Cheaper Better
3-3.除电方法 3.除电方法
1.接地除电：将静电通过一条线的连接放入大地，这是防静电措施中最直接最有效的。 1.接地除电：将静电通过一条线的连接放入大地，这是防静电措施中最直接最有效的。 接地除电 常用的接地方法有：带防静电手腕（静电腕带）、静电脚带、静电服、 常用的接地方法有：带防静电手腕（静电腕带）、静电脚带、静电服、静电鞋 ）、静电脚带 手套及指套、防静电地板及静电垫、工作表面接地等。 手套及指套、防静电地板及静电垫、工作表面接地等。 ※佩带静电腕带的注意事项如下： 佩带静电腕带的注意事项如下：
无尘室基本知识
无尘室基本知识无尘室- 条件1、了解设计案件的需求a) 温度b) 相对湿度c) 洁净度d) 室内照度2、客户应提供的资料a) 无尘室面积b) 无尘室吊顶高度c) 建筑物楼板及梁下高度d) 无尘室内的发热量e) 无尘室内的产湿量f) 无尘室内排气量g) 人员数量h) 机房位置、大小i) 一次侧电源位置j) 正负压特殊要求区域k) 隔间材质l) 地板材质m) 施工范围及界面无尘室- 设计1、无尘室风量计算a)面积(m2):长×宽(1坪=0.3025平方米)b) 无尘室系统送风量(CFM;1CFM=1.7CMH)满足洁净度所需送风量(CFM)乱流无尘室:面积×吊顶高度×换气次数×35.3×60换气次数:1,000级>=50次/小时10,000级>=25次/小时100,000级>=15次/小时层流无尘室:面积×平均风速×3600×35.3×60平均风速:垂直层流为0.12~0.5m/s;一般情况取0.3m/s水平层流为0.3~0.5m/s;一般情况取0.35m/s0.1微米10级无尘室建议取0.5m/s2、带走余热余湿所需送风量(CFM)室内显热×1.08×送风温差3、无尘室送风量(CFM)Q总=Max(×,×)×(1-漏风率)C) 无尘室系统新风量(CFM)漏风率:低于1,000级取4%;高于(含)1,000级取2%满足卫生要求所需新风量(CFM)人数×40(m3/h)×35.3×60保持正压所需的新风量(CFM)房间体积×(1-2次/小时)×35.3×60满足一定新风比所需新风量(CFM)乱流无尘室:新风量不小于总风量的10~30%(低于10万级可取30%)层流无尘室:新风量不小于总风量的2~4%(水平层流取4%)无尘室系统新风量(CFM)Q新=Max(排风量和保持室内正压值之和，洁净室人员新风量，非单向流送风量的10%·30%)+漏风率×Q总d) 无尘室系统回风量(CFM)Q回= Q总-Q新4、照明灯具数量计算灯管数量(40w)=面积×照度(Lux) ×0.55×2800(黄光为1850)(吊顶高度4m以下,照度在离地1m处测试)3、空调负荷估算a) 室内显热RSH(Btu/h):下列各项之和传导热=围护结构面积×10.8×传导系数×室内外温差马达产热=马力数(HP) ×2545×0.8人员显热=人数×460灯具产热=灯具总瓦数×3.4×1.2其他热源产热=热源总瓦数×3.414b) 室内潜热RLH(Btu/h) :下列各项之和人员潜热=人数×540蒸汽潜热=蒸汽量(Ls/h) ×1050其他散湿源c) 室内显热比RSHF=RSH×(RSH+RLH)d) 新风显热=新风量×室内外温差×1.08e) 新风潜热=新风量×室内外含湿量差×0.68f) 总显热比TSHF=总显热TSH×(总显热TSH +总潜热TLH)g) 根据以上数据绘制焓湿图,确定各状态点及空气处理过程h) 制冷量=减湿风量×4.5×表冷器进出风焓差i) 再热量=减湿风量×1.08×室内温度与送风温度之差j) 冬季加热量=总风量×1.08×冬季送风温度与混合点温度之差k) 冬季送风温度=室内温度+冬季室内显热×1.08×总风量l) 加湿量=新风量×室内外含湿量差×0.00029×1.2编辑本段5、无尘室- 机械设备选择1、冷水主机根据总制冷量选择合适的机型2、冷却水塔水流量=冷水主机的冷却水量×1.25根据流量及湿球温度选取合适的冷却水塔3、膨胀水箱容积(L)=系统总冷量(Kw) ×0.006×31.2(L/Kw,系统单位水容量之和)4、冷却水泵流量(LPM)= 总冷负荷(RT)×13扬程(m)=冷却水供回水管总长×(0.02~0.06) ×1.3+冷却水塔扬程+主机水头损失+5~10m预留5、冷冻水泵流量(LPM)= 总冷负荷(RT)×10扬程(m)=冷冻水最不利环路供回水管总长×(0.02~0.06) ×1.3+负载端水头损失+主机水头损失+5~10m预留6、空调箱风机风量:依计算结果风机静压:过滤网的终阻力+表冷器阻力+加热器阻力+加湿器阻力+最不利环路送回风管总长×3~5Pa/m+风口阻力制冷量: 依计算结果加热量: 依计算结果加湿量: 依计算结果进出风温度:根据焓湿图数据初效滤网:24”×24”×2”,每片风量2000CFM,终阻力100Pa中效滤网:24”×24”×22”,每片风量2000CFM, 终阻力160Pa高效滤网:24”×24”×11-1/2”,每片风量2000CFM, 终阻力500Pa7、加湿器根据加湿量及相对湿度控制精度选择电热式加湿器控制精度±1%干蒸汽加湿器控制精度±2%电极式加湿器控制精度±3%湿膜加湿器控制精度±10%8、风淋室根据室内人数选择合适的尺寸喷嘴风速:25m/s,风量:67CFM9、传递箱根据室欲传递物品大小选择合适的尺寸编辑本段回目录无尘室-风管工程1、空调风管材质一般为镀锌钢板,厚度根据风管长边尺寸确定2、风管截面尺寸根据风量、风速、摩擦系数选择(查风管尺)3、需保温的风管,保温材质及保温层厚度需根据规范选取4、无尘室风管保温应避免使用内保温以防止污染无尘室- 配管工程1、配管管材质一般为镀锌钢管、无缝钢管2、管径根据流量、流速、摩擦系数选择(查表)3、需保温的水管,保温材质及保温层厚度需根据规范选取4、冷水主机进出水标准配件a) 冷冻水进:防震软管、Y型过滤器、闸阀或蝶阀、b) 冷冻水出:防震软管、闸阀或蝶阀、温度计、压力表、流量开关c) 冷却水进:防震软管、闸阀或蝶阀、d) 冷却水出:防震软管、闸阀或蝶阀1、温度计、压力表、流量开关5、水泵进出水标准配件a) 进水:防震软管、Y型过滤器、闸阀或蝶阀、温度计、压力表b) 出水:防震软管、止回阀、闸阀或蝶阀、温度计、压力表6、冷却水塔进出水标准配件a) 进水:防震软管、Y型过滤器、闸阀或蝶阀、温度计、压力表b) 出水:防震软管、闸阀或蝶阀、温度计、压力表7、空调箱进出水标准配件a) 进水:防震软管、Y型过滤器、三通阀组、闸阀或蝶阀、温度计、压力表b) 出水:防震软管、三通阀组、旁通阀、闸阀或蝶阀、温度计、压力表无尘室- 配电工程1、配电箱a) 一般材质为铁板烤漆b) 形式有落地式及挂壁式c) 动力箱一般为落地式,照明箱一般为挂壁式2、NFB(空气开关)a) 以负载电流×1.25选择A T值b) 参考A T值选择AF值c) 参考AF值选择IC值(NFB的等级)3、MS(电磁开关)a) 用于控制马达启停,选择与马达相同的马力数b) 25HP以上采用Y-Δ启动器4、照光式开关a) 配合MS使用,每个MS使用两个照光式开关b) 按钮开关直径可选择25mm或30mmc) ON、OFF应选择不同颜色5、配电箱基本元件a) 交流电压表VM功能为显示供给的电压值b) 电压相序切换开关VS配合VM使用,可选择欲显示的相序电压值c) 交流电流表AM功能为显示供给的电流值d) 电流相序切换开关AS配合AM使用,可选择欲显示的相序电×流值6、电线选择以负载额定电流值×1.25选择合适的线径及电线电缆种类(查载流量表)7、电线管选择根据电线数量及线径选择合适的电线管径及材质自动控制工程根据输入输出信号的点数及形式选择控制方案及设备。
无尘室基础知识
目录
无尘室的定义 无尘室的分类 无尘室的结构与特点 无尘室的污染源
无尘室气流知识
无尘室管理四原则
无尘室的定义
无尘室(Clean room),亦称洁净室或清净 室,是指将一定的空间范围内之空气中的 微粒子、有害空气、细菌等之污染物排 除，并将室内之温度、洁净度、室内压 力、气流速度与气流分布、噪音振动及 照明、静电控制在某一需求范围内，而 所设计之房间。
(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动 生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级 以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量 之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需 人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业 界及半导体业界均适用。 (3)并装局部无尘室(Clean Spot)：将无尘室等级 10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的 洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用； 洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 洁净工作台：等级Class 1~100级。 洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电 之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或 ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间， 其等级为10~1000级。
无尘室的分类
乱流式(Turbulent
Flow)
层流式(Laminar) 复合式(Mixed
Type)
无尘室分类（一）
.乱流式(Turbulent
Flow)：空气由空 调箱经风管与无尘室内之空气过滤 器(HEPA)进入无尘室，并由无尘室 两侧隔间墙板或高架地板回风。气 流非直线型运动而呈不规则之乱流 或涡流状态。此型式适用于无尘室 等级1,000-100,000级。
无尘室基础知识
飛机所使用的小承軸及齒輪若置於粉末,灰塵多的環境中制造,
其故障多且易旨引起重磊事故,此事宜實于2次大戰前已被了解,加上第2
次大戰中電氣零件故障的原因,乃是因粉削,灰塵等的污染較少處所引起
的緣故,於美國開始將這些零件置於空氣浮灰塵較少處進行加工及組;合
此后韓戰時各種電子零件故障的原因,確係由於在污染空間制造所致,因
4. 手套: 材質除無塵衣相同材質外尚有 薄橡膠或乙烯樹酯(Viny1),原則上使用無 粉之Viny1手套為佳. 無塵衣,鞋,帽等須專人管理,并定期 做清洗,洗須在無塵室內進行,并以純水配 合清潔溶劑,并經約0.2um之過濾器為之,一 般洗滌周期視為無塵凈度等級而定,而在高 潔凈區為2~3天,其他區域為5天至1周,洗滌 完畢干燥后就立即封閉.無塵衣之放置場所 亦須為無塵室,備用品小心存放衣柜內,正 使用者則掉掛衣架上.以方便取用.
二. 構成要件
能去除空氣之PARTICL 能防止灰塵粒子之產生 T/RH之控制 壓力之控制 有害氣体排除 結構物及格間之气密性
三.
無塵分類
亂流式 水平對流式 垂直層流式 複合方式對流式 CLEAN TUNNER MODOULE CLEAN TUBE SPCT CEAN
等的合作,終於完成有關美國聯邦凈室的規格.
在第二次世界大戰中,以原子彈開發為目的曼哈計劃,為除去放射性微
粒子,所做的超高性能過濾器(HEPA FILTER)的開發成功,對日后凈技術的
開發影響极大.
1967年,美國太空總署進行阿波羅計書之時,為防止將細菌攜出磊氣層或從
從在空帶回地球,遂完成無塵菌室(BIO-CLEAN ROOM)的規格.
无尘室管理基础知识更新版课件
3：除去无尘口罩
2：先脱去胶手套，摘除静电手腕
1：出无尘室
第四章 更衣室——脱无尘服顺序
无尘室管理基础知识更新版
全员参与5S标准化实施及管理！
第五章 5S标准化—组织架构图
主管
组长
组长
组长
组长
助理主管
助理主管
员工
员工
员工
员工
无尘室管理基础知识更新版
第五章 5S标准化—拉线摆放
1、设备段拉线摆放及定位
4、时效性物料按《时效性管理》文件要求存放
无尘室管理基础知识更新版
4、生产坏实物与DMTR单同步到到货仓补料于生产线。
3、来料坏实物与DMTR单同步到IQC退料，退料OK后依据退料DMTR单到货仓补料于生产线。
2、物料房不良品存放区
1、产线物料员填写来料不良退料单，技术员填写返修单，物料员记录退料信息
无尘室管理基础知识更新版
7、 贴红色标示Tray为放置不良品Tray，以 颜色分类区分产品状况2CM
6、相关物料柜、物料架用绿色纸张
5、设备状况标示
4、良品区用黄色标示、不良品用红色标示
第五章 5S标准化—物品标签规范
无尘室管理基础知识更新版
第五章 5S标准化—日常管理
1、作业员提前5分钟在指定的位置排好队，等拉长开早会。 2、进入车间交接班时,先按指定位置按次序排好队,等上一班人员起身后方可按次序走入工 位,且保持安静. 3、在无尘室内不允许跑动.尽量减少不必要的走动. 4、在无尘室内不要大声说话,不能说与工作无关的事. 5、离岗时应到拉长处领取离岗证,时间控制在10分钟以内（特殊情况除外） 6、地下不可以有垃圾，随时检查自己工位的周边是否有保护膜、棉签、无尘纸等。 7、无尘室内头发、鼻子不能外露。 8、无尘室内静电工衣袖要包在胶手套内。 9、无尘室内不可以拉开静电工衣拉链取物品 10、作业时，手不能触摸到皮肤。 11、破损的托盘不要用，放到待退物品柜。 12、无尘室内不允许将纸撕破和揉成一团。
无尘室的基础知识
第一章：无尘室的基础知识第一节：无尘室的由来空气洁净技术的发展和它的重要性1、产生时间空气洁净技术最早发展产生在第二次世界大战期间的美国，当时主要是应用于军事领域，为了适应战争的需要（1939年发现了轴核的裂变，1945年投向日本广岛）；空气净化的核心——高效过滤器在当时研制成功。
我国在60年代初期对高效过滤器(HEPA)及层流洁净室研制成功，在1975年以后得到迅猛的发展，产品生产厂家及品种、数量逐步系列配套，一般洁净室所用的材料、配件、设备均实现国产化。
2、应用领域军事：飞机、军舰、导弹、核武器工业部门：光学、机械、化工、宇航、半导体、电子其他：医疗、制药、生物工程、动物饲养总之随着经济与科学技术的发展，空气洁净技术在各行各业的应用在加大，占据重要的地位。
空气洁净技术的水平与应用已成为衡量一个国家和一个地区现代化经济和科技的重要标志。
第二节：洁净无尘室之定义(一)、洁净室的定义洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
「洁净室Clean Room」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室绝不是仅限于“洁净”，不同的行业与部门对温度、湿度、噪声、静电、微振都有相当要求的多功能综合整体，是集建筑装饰（与大气相对隔断的密闭装修）、净化空调、纯水、纯气、动力电、照明电、工艺管道多种专业与一体的产物，叫洁净室（或洁净厂房）。
网易洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。
（二）、洁净室的构成洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室：(1)天花板系统：包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam 或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid 或Ceilingframe)。
无尘室基础知识
Class300K 廠區 Class 500-800K
无尘室知识
•无尘室定义 •无尘室分类 •无尘室组成 •无尘室控制 •瀚誠無塵室主要控制指標
1、無塵室(Cleaning Room,C/R)定義 無塵室 )
使室內(厂房)空气的塵粒、溫度、濕度壓力 等技術指標成為一穩定受控的區域，用來保 証某一生產或試驗過程所必需的環境要求， 該區域即被稱為無塵室。
b).防止交叉污染 b).防止交叉污染 物体与物体、物体与環境等之間的相互污染。 主要有以下途徑： 干淨物体 污臟物体 相對污臟的環境或物体 相對干淨的環境或物体
5、無塵室控制注意事項
人：在所有影響到無塵室清洁度的因素中，人是最主
要因素，發塵量占85%左右，實驗証明在人員走 動頻繁的時間內(上下班時間)，無塵室塵粒數量 明顯高于穩定的工作時間的塵粒數量。為什么人 會對塵粒控制產生如此大的影響呢？因為人是活 躍的，人的新陳代謝會產生大量的頭屑、皮屑等， 呼出的气体中也帶有大量的塵粒人到處走動尤其
大 於 5 Pa 大 於 8~10Pa
無塵室大於更衣室 無塵室大於走廊或外界
以上均為正常工作時需維持參數
无尘室基础知识
Cleaning room training
1.污染定義 1.污染定義 1.污染定义 1.污染定义 a).所有存在于產品上，會對產品產生直接或 間接危害的物質； b).所有存在于產品上，超出產品要求之外的 物質； c).任何客戶不允許存在于產品上的物質。
2.污染危害 2.污染危害
a).打印白點，白線； b).電路短路：導電物質在IC線路間；
無塵室控制思想： 無塵室控制思想： a).少進多出 a).少進多出
一要做到“多出”，也就是盡可能快及盡可能多 一要做到“多出” 地 將無塵室的塵粒排出無塵室之外； 將無塵室的塵粒排出無塵室之外； 二要做到“少進”，試想，如果進入無塵室的塵粒 要做到“少進” 試想，
无尘间基础知识
一：空气调节和空气净化的基础知识
空气调节的原例图见图1和图2
图1
一：空气调节和空气净化的基础知识
图2
一：空气调节和空气净化的基础知识
2：空气调节的气流组织 空气调节气流组织设计的任务就是要合理地组织室内空气的气流流 动，使工作区的温度，湿度，气流速度和洁净度能很好地满足生 产和科学研究以及人们舒适感的要求。气流组织不合理不仅直接 影响空调房间的空调参数和空调效果，而且还增加了空调系统的 能耗。
二
洁净室的运行及其维护
第二是精神教育和警示，提示进入洁净区的任何人员要注意，经 过吹淋以后就进入洁净区了，在洁净区内必须遵守洁净室的规定， 不能擅自乱跑乱动。 第三个作用是隔断作用，吹淋室是洁净区和非洁净区的屏障和隔 断。保护洁净室不受非洁净区的污染。为达此目的，吹淋室必须 设有不能同时开启的两道门（互锁）使用洁净区和非洁净区的空 气不能直接相通，才能起到隔断的作用。
一：空气调节和空气净化的基础知识
二
洁净室的运行及其维护
（一）过滤器的基本知识及其维护管理 1，过滤器的基本知识 过滤器是洁净室的主要净化设备，是空气净化的主要手段。因此 了解和掌握过滤器的基本知识是十分重要的。 A、过滤器的分类 按过滤器的性能（效率、阻力、容尘量）来划分，通常将其划分 成粗效、中效、高中效、亚高效、高效（HEPA）和超高效（ULPA）六 类过滤器。 B、过滤器的使用和更换 粗效过滤器是作为预过滤器使用，一般是设置在空调箱内，其作用是 过滤大颗粒的粒子，以保护其后的空调设备（如表冷器和加热器等） 和中效以及更高级过滤器。一般粗效过滤器不能作为终端过滤器。它 除去的是≥5.0µm的粒子 中效过滤器一般设在空调箱的正压段，其作用是保护亚高效、高效过 滤器等终端过滤器。它除去的是≥1.0µm的中小粒子。一般情况下， 中效过滤器是中间过滤器，不能做预过滤器用，也不能做终端过滤器。
无尘室基础知识02-PPT文档资料
无尘室的结构
无尘室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成 的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一 完整且品质良好的无尘室： (1)天花板系统：包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(IBeam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或 Ceilingframe)。 (2)空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等。 (3)隔墙板(Partitional wall)：包括窗户、门。 (4)地板：包括高架地板或防静电舒美地板。 (5)照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。
无尘室的特点
功能上 防止产尘 设计上 三级过滤 结构上 不产尘 施工 严密
阻止进尘
有效排尘
末端过滤
不积尘
干净
气流方向有利 不妨碍清除 于灰尘沉降 灰尘
无尘室的污染源
无尘室的污染源主要包括：人、设备、
维护结构（地板、墙体和天花板等）、 材料（原材料、纸张等），而人是无尘 室最大的污染源，一般人的发尘量占发 尘总量的90%，室内维护结构表面发尘量，
世界各国均有自定规格，但普遍依据美国联邦政 府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10 级、100级、1000级、10000级、100000级，如 果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设 尘粒的尺寸为0.5µm，例如，1级、10级、100级 无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、 100颗，如果尘粒尺寸不是0.5µm，无尘室等级应 以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级 在0.2µm(尘粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大 于75颗/立方英尺)，1级在0.1µm(尘粒尺寸在 0.1µm或更大下，密度不大于100%之过滤器 进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风， 此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使 用，一般其无尘室等级为Class 1~100。 其 形式又可以分为水平式和垂直式两种。
无尘室知识及规范
手段
粗、中效过滤加热湿交换
除空调手段外还要加高效、超高效过滤器 ，对微生物还要有灭菌措施
送风量（次/h）
初投资（元/m2）
运行耗电（Kw/m2 ）
冷量指标（W/m2 ）
一般降温空调8~10次/h一般恒温空调 10~15次/h
一般降温500元/m2一般恒温800元~1000 元/m2
九. 无尘室的性能测试
洁净度等级 项目
1~3
温度
循环监测
湿度
循环监测
压差值
循环监测
洁净度
循环监测
风量
循环监测
4、5、6
7
8、9
每班二次
每班二次
每周一次
每月一次
每周一次
每3个月一次
每6个月一次
不得超过12个月
九. 无尘室的性能测试
无尘室性能测试的主要仪器和仪表：
压差计
①风压测试仪器：主要用于测 定无尘室之间或洁净与非洁净 区之间的微压差，也可利用压 差法测量风速，计算风量。
一般降温0.04~0.06 Kw/m2一般恒温 0.08~0.10 Kw/m2
一般降温150~200 W/m2一般恒温200~250 W/m2
单向流400~600次/h非单向流15~60次/h
单向流5000~15000元/m2非单向流 1500~3000元/m2 单向流0.9~1.35 Kw/m2非单向流0.13~0.33 Kw/m2 单向流800~1500 W/m2非单向流350~700 W/m2
施工验收规范JGJ71和设计规范GB50073的比较
内容
测定断面的 选取
测点的布置 最少测点数 测定仪器
无尘室基础知识简介
一.分類方式:按照其通風方式來划分 二.類別: 1. 亂流型無塵室, 又稱非單向流無塵室 氣流方向不受控制，潔淨度較低的 無塵室都是用非單一流向型氣流以 節省成本。
亂流型無塵室示意圖
2.單一流向型無塵室： 氣流以同一個方向移動，這種無塵室稱為 單一流向型無塵室，以前稱為層流型無塵 室，定義並無多大改變。高潔淨度無塵室 需要單一流向型氣流。 單一流向型無塵室分類: (1)垂直層流無塵室 (2)水平層流無塵室
單一流向型無塵室
垂直層流無塵室-結构示意圖
垂直式單一方向流無塵室 牆壁排風型之垂直層流無塵室
水平層流無塵室-結构示意圖
無塵級別划分定義:
以每立方米(或立方英尺)為標准,以量測到的微塵粒 子總數取對數,最后所得之值即為公制單位(或英制單 位)分類之等級.
人類頭髮的大小
肉眼可見之微塵粒子
微塵粒子ห้องสมุดไป่ตู้
無塵室基礎知識簡介
Mright Chang
千級無塵室
万級無塵室
無塵室(Cleanroom )
是一間能夠控制微塵粒子濃度的房間,并且它是采用 將引進及產生的污染微塵粒子數降到最低的原則來建 造及使用,而且包含其它相關參數(例如溫度、濕度和 壓力等等)皆必須加以控制在必要之范圍內。
——ISO 14644-1
2.測試設備—粒子計數器
3.測試設備—壓力計
斜管式&磁針式壓力計
在209的舊版本中 ，正壓有建議值，但 是後來就取消了。目 前常見的正壓值約是 10到25 Pa之間。
量測時，所有門窗 都必須關上，所有的 供、排風系統也必須 維持正常運轉。
4.測試設備—風量計
5.空气采樣點數:
NL=√A
NL為最少取樣點數(取最近整數) A為無塵面積
无尘室管理规定精品PPT课件
26
无尘室管理四原则
27
写在最后
成功的基础在于好的学习习惯
The foundation of success lies in good habits
28
谢谢大家
荣幸这一路，与你同行
It'S An Honor To Walk With You All The Way
无尘室管理规定
LED晶片厂
品管部 2008年12月
1
目录
❖ 无尘室基础知识； ❖ 无尘室进出流程； ❖ 无尘室相关规定； ❖ 无尘室管理四原则；
2
无尘室相关知识
❖ 无尘室定义
❖ 无尘室(Clean room),亦称洁净室或清净 室,是指将一定的空间范围内之空气中的 微粒子、有害空气、细菌等之污染物排 除，并将室内之温度、洁净度、室内压 力、气流速度与气流分布、噪音振动及 照明、静电控制在某一需求范围内，而 所设计之房间。
❖ 其他注意事项 3、其他物品如需带入无尘室前需进行洁净处 理。清洁步骤如下： 1）先去除物品之外包装部分 2）取无尘布沾酒精等溶剂将物品表面擦拭 干净
21
无尘室准入制度
❖ 1、与无尘室无关的人员，需要进入无尘室时， 必须由超净室管理人员核准后，方可进入。
❖ 2、外单位人员需要进入洁净室时，必须由超 净室管理人员核准后，在1名或1名以上的准 入人员带领下方可进入。
NG
风淋
不能
时站
用手
在风
去乱
淋不
转动
到的
风淋
位置
口
NG
NG
16
无尘室作业人员注意事项
❖ 无尘车间注意事项
1、无尘室内的人员应维持正常行走，动 作要轻，严禁在无尘室内饮食、抽烟、大 声喧哗、嬉闹、跑、跳、碰撞等。且尽量 减少不必要的进出，以减少污染源的携入。
无尘室常识及管理
于10微米，可以进入人的呼吸系统的颗粒物。
❖ PM100：总悬浮颗粒物，即直径小于或等于100微 米的颗粒物。
DOT 2-1、PM2.5颗粒 大小
❖
DOT
2-2、PM2.5的来源
❖ PM2.5产生的主要来源，是日常发电、 工业生产、汽车尾气排放等过程中经过 燃烧而排放的残留物，大多含有重金属 等有毒物质。一般而言，粒径2.5微米至 10微米的粗颗粒物主要来自道路扬尘等 ;2.5微米以下的细颗粒物(PM2.5)则主要 来自化石燃料的燃烧(如机动车尾气、燃 煤)、挥发性有机物等。
DOT
❖ 洁净室的新风量应取以下两项中的最大值: ❖ a.补偿室内排气量和保证室内正压值所需空
气量之和。 ❖ b.保证洁净室工作人员所需的新鲜空气。 ❖ 依据<洁净厂房设计规范>每人每小时新风量
不小于40m3。
19
DOT
民用建筑新风量标准
DOT
5、空气洁净度标准
DOT 5-1、洁净度等级概念
DOT 2-5、PM2.5的防治措施
❖
❖ pm2.5的主要来源为机动车尾气的排放 ，对个人来说主要以佩戴真正防pm2.5 的口罩为有效手段。
层流式空气气流运动成一均匀之直线，空 气由覆盖率百分之百之过濾器进入室内 。并由高架地板或兩侧格强板回风，此 型式适用于洁净室等级需求较高之环境 使用，一般其洁净室等级为Class1～ 100。
此型分为二种：水平层流式 垂直层流式
DOT B-1、水平层流无尘室
DOT B-2、垂直层流无尘室
DOT3、洁净技术的诞生及发展：
A.乱流型
B.层流型
DOT
A、乱流无尘室
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更好地控制好无尘室的洁净度，最主要 是要考虑到人的因素。
工作人员产生的污染： 1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱
换，人类每分钟脱落约1000片皮肤（平均大小为 换，人类每分钟脱落约1000片皮肤（平均大小为 30*60*3微米） 30*60*3微米） 2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米） ）头发：人类的头发（直径约为50~100微米） 一直在脱落。 3）口水：如钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。 4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种 化学品和细菌。 5）人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3 ）人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3 微米的微粒。 6）人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生 1000000个大于0.3微米的微粒。 1000000个大于0.3微米的微粒。 7）人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生 ）人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生 5000000个大于0.3微米的微粒。 5000000个大于0.3微米的微粒。
无尘室的分类
乱流式(Turbulent Flow) 乱流式(Turbulent 层流式(Laminar) 层流式(Laminar) 复合式(Mixed Type) 复合式(Mixed
无尘室分类（一）
.乱流式(Turbulent Flow)：空气由 乱流式(Turbulent Flow)：空气由 空调箱经风管与无尘室内之空气过 滤器(HEPA)进入无尘室，并由无 滤器(HEPA)进入无尘室，并由无 (HEPA) 尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。 气流非直线型运动而呈不规则之乱 流或涡流状态。此型式适用于无尘 室等级1,000-100,000级。 室等级1,000-100,000级。
空气净化处理示意图
无尘室管理四原则
THANK YOU
无尘室基础知识
品质部:Dream 品质部:Dream seeker
目录
无尘室的定义 无尘室的分类 无尘室的结构与特点 无尘室的污染源 无尘室气流知识 无尘室管理四原则
无尘室的定义
无尘室(Clean room),亦称洁净室或 无尘室(Clean room),亦称洁净室或 清净室, 清净室,是指将一定的空间范围内之空 气中的微粒子、有害空气、细菌等之 污染物排除，并将室内之温度、洁净 度、室内压力、气流速度与气流分布、 噪音振动及照明、静电控制在某一需 求范围内，而所设计之房间。
在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改
进，发尘绝对量也不断减少。 A、材质：棉质发尘量最大，以下依次为 棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。 B、样式：大挂式发尘量最大，上下分装 型次之，全罩型最少； C、活动：动作时的发尘量一般达到静止 时间3 时间3-7倍； D、清洗：用溶剂洗涤的发尘量降至用一 般水清洗的五分之一。
无尘室的结构
无尘室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成 无尘室的构成是由下列各项系统所组成(
的系统分子中是缺一不可的) 的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一 完整且品质良好的无尘室： (1)天花板系统：包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I(1)天花板系统：包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(IBeam或 Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或 Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或 Ceilingframe)。 Ceilingframe)。 (2)空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等。 (2)空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等。 (3)隔墙板(Partitional wall)：包括窗户、门。 (3)隔墙板(Partitional wall)：包括窗户、门。 (4)地板：包括高架地板或防静电舒美地板。 (4)地板：包括高架地板或防静电舒美地板。 (5)照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。 (5)照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。
无尘室的特点
功能上 防止产尘 阻止进尘 有效排尘 设计上 三级过滤 末端过滤 结构上 不产尘 不积尘 施工 严密 干净
气流方向有利 不妨碍清除 于灰尘沉降 灰尘
无尘室的污染源
无尘室的污染源主要包括：人、设备、
维护结构（地板、墙体和天花板等）、 材料（原材料、纸张等），而人是无尘 室最大的污染源，一般人的发尘量占发 尘总量的90%， 尘总量的90%，室内维护结构表面发尘量，
一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过 一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过 滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙 板回风，此型式适用于无尘室等级需定较 高之环境使用，一般其无尘室等级为Class 高之环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。 1~100。 其形式又可以分为水平式和垂直 式两种。
世界各国均有自定规格，但普遍依据美国联邦政
府颁布的标准【 府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10 1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10 级、100级、1000级、10000级、100000级，如 级、100级、1000级、10000级、100000级，如 果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设 尘粒的尺寸为0.5 ，例如，1级、10级、100级 尘粒的尺寸为0.5m，例如，1级、10级、100级 无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、 无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、 100颗，如果尘粒尺寸不是0.5 100颗，如果尘粒尺寸不是0.5m，无尘室等级应 以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级 以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级 在0.2m(尘粒尺寸在0.2m或更大下，密度不大 0.2m(尘粒尺寸在0.2 于75颗/立方英尺)，1级在0.1m(尘粒尺寸在 75颗 立方英尺) 级在0.1m(尘粒尺寸在 0.1m或更大下，密度不大于35颗/立方英尺)。 0.1 或更大下，密度不大于35颗 立方英尺)
(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动 (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动
生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级 生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级 以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量 之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需 人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业 界及半导体业界均适用。 (3)并装局部无尘室(Clean Spot)：将无尘室等级 (3)并装局部无尘室(Clean Spot)：将无尘室等级 10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁 10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁 净度等级提高为10~1000 净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用； 10~1000级以上，以为生产之用； 洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 洁净工作台：等级Class 1~100级。 洁净工作台：等级Class 1~100级。 洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电 之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或 之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或 ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间， ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间， 其等级为10~1000级。 其等级为10~1000级。
(1)水平式：水平式空气自过滤器单方向吹出， (1)水平式：水平式空气自过滤器单方向吹出，
由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排 出室外，一般在下流侧污染较严重。 优缺点：构造简单，运转后短时间内即可变 成稳定。 但建造费用比乱流式高，不易扩充。 (2)垂直式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆 (2)垂直式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆 盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度， 尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区 域。 优缺点：管理容易，运转开始短时间内即可 达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所 影响。但构造费用较高，弹性运用空间困难， 天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器 较麻烦。
ห้องสมุดไป่ตู้
分析国外试验资料可以认为： （１）无尘室内当工作人员穿无尘服时：
静止时的发尘量一般为10-300个/min/人 静止时的发尘量一般为10-300个/min/人 ，躯体一般 活动时的发尘量为 150-1000个/min/人 ，快步行走 150-1000个/min/人 时的发尘量为 900-2500个/min/人 900-2500个/min/人 （２）咳嗽一次一般为 70~700个/ min/人 ，喷嚏一 70~700个 min/人 次一般为 4000~62000个/ min/人 4000~62000个 min/人 （３）穿平常衣服时发尘量3300~62000个 min/人 （３）穿平常衣服时发尘量3300~62000个/ min/人 （４）无口罩发尘量:有口罩发尘量1:7~1:14 （４）无口罩发尘量:有口罩发尘量1:7~1:14 所以，可知无尘室内无尘衣人员的静态发尘量一般 不超过300个 min.人，动态发尘量一般不超过1000 不超过300个/ min.人，动态发尘量一般不超过1000 个/ min/人，以此作为计算依据是可行的 。 min/人，以此作为计算依据是可行的
乱流式的优缺点
优点：构造简单、系统建造成本，无尘室
之扩充比较容易，在某些特殊用途场所， 可并用无尘工作台，提高无尘室等级。 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘 浮不易排出，易污染制程产品。另外若系 统停止运转再激活，欲达需求之洁净度， 往往须耗时相当长一段时间。
无尘室的分类（二）
层流式(Laminar)： 层流式空气气流运动成 层流式(Laminar)：
无尘室气流知识
无尘室需达到规定的洁净度，除了减
少粉尘的产生之外，还需要有良好的 排尘系统，而排尘主要是靠换气来实 现的。换气次数越多，洁净度也越高。 下表体现了洁净度与换气次数的关系。