扫描电镜的基本原理和应用的国标
扫描电镜原理及操作
偏转线圈；其中偏转线圈通以锯齿波的电流，产生的磁场 作用于电子束使它在样品上扫描。扫描的区域、扫描比率
磁透镜一般有三个：第一、二聚光镜和物镜，
作用与透射电镜的聚光镜相同:缩小电子束的直径，把来 自电子枪的约30微米大小的电子束经过第一、二聚光镜和 物镜的作用，缩小成直径约为几十埃的狭窄电子束。
像的大小 扫描区域的大小
2、电子枪亮度，样品的性质，相互作用的方式以及扫描 速度和像的线数。 目前商品扫描电镜分辨率一般达到50-60埃，使用场发 射电子枪可达约10埃。
显微镜成像原理
2、扫描电镜的结构
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2015/6/20
2、扫描电镜的结构
扫描电镜的主要由三大部分组成： 1、电子光学系统 2、成像系统 一种具有特征能量值的电子，这种电子
3、电子与样品的相互作用
（二）射线 1、X射线：
又称伦琴射线；波长约0.001-10nm。电子探针轰击
1925年发现，用它可以进行样品轻元素的分析，
样品时，可产生特征X射线和连续X射线。其中特征X射线 的波长和能量随样品中各种元素的不同而各异，根据这 一性质可以对样品中的某些元素进行定性和定量分析。 X射线主要反映样品深层（约50—500nm）的某些信 息。X射线适合于重元素的成分分析。
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2015/6/20
有强烈的立体视觉:
大鳞副泥鳅的受精过程
3、扫描电子显微镜的特点
示受精孔
精孔区
有强烈的立体视觉
卵膜孔
受精后5秒
有强烈的立体视觉:
大鳞副泥鳅的受精过程
3、扫描电子显微镜的特点
(4)样品制备较简单—— 甚至可以不作任何处理。并且样品可以很大，如直
扫描电镜的原理及其在材料科学领域的应用
一、扫描电镜的原理扫描电镜（Scanning Electron Microscope），简写为SEM，是一个复杂的系统，浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术。
扫描电镜的基本工作过程如图1，用电子束在样品表面扫描，同时，阴极射线管内的电子束与样品表面的电子束同步扫描，将电子束在样品上激发的各种信号用探测器接收，并用它来调制显像管中扫描电子束的强度，在阴极射线管的屏幕上就得到了相应衬度的扫描电子显微像。
电子束在样品表面扫描，与样品发生各种不同的相互作用，产生不同信号，获得的相应的显微像的意义也不一样。
入射电子与试样相互作用产生图2所示的信息种类[1-4]。
这些信息的二维强度分布随试样表面的特征而变（这些特征有表面形貌、成分、晶体取向、电磁特性等），是将各种探测器收集到的信息按顺序、成比率地转换成视频信号，再传送到同步扫描的显像管并调制其亮度，就可以得到一个反应试样表面状况的扫描图如果将探测器接收到的信号进行数字化处理即转变成数字信号，就可以由计算机做进一步的处理和存储扫描电镜主要是针对具有高低差较大、粗糙不平的厚块试样进行观察，因而在设计上突出了景深效果，一般用来分析断口以及未经人工处理的自然表面。
图 1 扫描电子显微镜的工作原理图 2 电子束探针照射试样产生的各种信息扫描电子显微镜（SEM）中的各种信号及其功能如表1所示表1 扫描电镜中主要信号及其功能二、扫描电镜的构成图3给出了电镜的电子光学部分的剖面图。
主要包括以下几个部分：1.电子枪——产生和加速电子。
由灯丝系统和加速管两部分组成2.照明系统——聚集电子使之成为有一定强度的电子束。
由两级聚光镜组合而成。
3.样品室——样品台，交换，倾斜和移动样品的装置。
4.成像系统——像的形成和放大。
由物镜、中间镜和投影镜组成的三级放大系统。
调节物镜电流可改变样品成像的离焦量。
调节中间镜电流可以改变整个系统的放大倍数。
5.观察室——观察像的空间，由荧光屏组成。
扫描电子显微镜的原理及应用
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扫描电子显微镜的原理及应用
一、实验目的与任务
1.了解扫描电镜的基本结构和原理。
2..掌握扫描电镜试样的制备方法。
3. 熟悉利用二次电子信号拍摄扫描电镜照片。
二、扫描电镜的基本结构和原理
扫描电镜由电子光学系统、扫描系统、信号收集处理显示系统、真空系统、供电控制系统和冷却系统等六部分组成。
图1为其结构原理示意图。
图1 扫描电镜机构原理图
扫描电镜成像原理与闭路电视非常相似，显像管上图像的形成是靠信息的传送完成的。
电子束在样品表面逐点逐行扫描，依次记录每个点的二次电子、背散射电子或X射线等信号强度，经放大后调制显像管上对应位置的光点亮度。
扫描发生器所产生的同一信号又被用于驱动显像管电子束实现同步扫描，样品表面与显像管上图像保持逐点逐行一一对应的几何关系。
因此，扫描电子图像所包含的信息能很好地反映样品的表面形貌。
三、实验内容：
1.介绍扫描电子显微镜的生产厂家型号构造和工作原理.
2.讲解并演示扫描电镜试样的制备方法
3.讲解什么是二次电子，演示利用二次电子信号拍摄扫描电镜照片。
四、实验数据及处理
1、简述扫描电子显微镜的基本组成和工作原理。
2. 什么是二次电子？如何利用二次电子信号拍摄扫描电镜照片？
3. 扫描电镜对试样有何要求？应如何制备？。
扫描电镜的结构原理与应用
扫描电镜的结构原理与应用1. 概述扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种使用电子束来观察样品表面的高分辨率显微镜。
相比传统的光学显微镜，扫描电镜具有更高的放大倍数和更好的分辨率，能够观察到更细微的细节和表面形貌的特征。
本文将介绍扫描电镜的结构原理和应用领域。
2. 结构原理扫描电镜由以下几个基本组成部分构成：•电子枪：产生高速电子束的源头。
•准直系统：用于调节电子束的尺寸和形状，使其具有良好的准直性。
•聚焦系统：通过磁场对电子束进行聚焦，使其在样品表面形成高亮度的扫描点。
•扫描线圈：产生水平和垂直方向的扫描电场，控制电子束在样品表面的移动。
•探测器：用于检测样品表面所产生的信号，并转化为图像进行显示。
•显示器：将探测器所获得的信号转化为可见图像，并进行显示。
扫描电镜的工作过程如下：1.电子枪产生高能电子束。
2.准直系统和聚焦系统将电子束调整为合适的形状和大小。
3.扫描线圈控制电子束在样品表面进行扫描。
4.探测器检测样品表面所产生的信号，转化为图像进行显示。
5.显示器将图像进行显示和观察。
3. 应用领域扫描电镜在科学研究、工业生产和教育培训等领域有着广泛的应用。
以下是扫描电镜常见的应用领域：3.1 材料科学•表面形貌观察：扫描电镜可以观察材料表面的微观形貌特征，如纹理、孔洞和颗粒等。
•材料成分分析：通过能谱仪等附加装置，可以对材料进行成分分析，确定材料的化学组成。
3.2 生物科学•细胞观察：扫描电镜可以观察生物细胞的形态特征，揭示细胞的微细结构和功能。
•细菌病毒研究：通过扫描电镜可以观察细菌和病毒的形态和结构，研究其生长和传播机制。
3.3 纳米技术•纳米材料研究：扫描电镜可以观察纳米材料的形貌和结构，研究其物理和化学性质。
•纳米器件制备：扫描电镜可以用于观察和调控纳米级器件的制备过程和性能评价。
3.4 地质学•矿物鉴定：扫描电镜对地质样品进行观察和成分分析，有助于鉴定矿物种类和性质。
扫描电镜的工作原理和应用
扫描电镜的工作原理和应用1. 扫描电镜的工作原理扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种利用电子束与样品相互作用来获取图像的仪器。
相比传统的光学显微镜，扫描电镜具有更高的分辨率和更大的深度感，可以观察到更细微的细节。
扫描电镜的工作原理如下：1.电子发射: 扫描电镜通过热发射或场发射的方式产生高能电子束。
这个电子束经过加速电压，使电子获得足够大的能量。
2.聚焦: 电子束经过一系列的聚焦透镜，使其在样品表面形成一个非常小的聚焦点，以提高分辨率。
3.扫描: 电子束通过控制扫描线圈的方式，沿着样品表面进行扫描。
在每一个扫描点，样品上的电子与电子束发生相互作用。
4.信号检测: 所有与电子束相互作用的信号都被收集和检测，包括次级电子、反射电子、散射电子等。
5.图像生成: 通过扫描电镜的控制系统将所有收集到的信号转换为图像。
这些图像可以显示出样品表面的形貌、结构和组成。
2. 扫描电镜的应用扫描电镜广泛应用于各个领域，包括材料科学、生物学、医学等。
下面列举一些常见的应用：1.纳米材料研究: 扫描电镜可以观察到纳米级别的材料结构和形貌，对于纳米材料的制备和性质研究非常重要。
2.生物学研究: 扫描电镜可以观察生物样品的微观结构，如细胞、细胞器和微生物等。
它可以帮助研究者了解生物体的形态、组织和功能。
3.医学检测: 扫描电镜可以用于医学领域中的病理学研究和临床诊断。
例如，可以观察病毒、细菌、组织断面等微小结构，帮助医生进行疾病诊断和治疗。
4.材料表征: 扫描电镜能够观察材料的粗糙度、晶体结构、颗粒分布等参数，对于材料研究和工程应用具有重要意义。
5.环境科学研究: 扫描电镜可以用于观察和分析大气颗粒物、水中微生物和污染物等的形貌和组成，有助于环境污染的起因和后果研究。
6.艺术文物保护: 扫描电镜可以帮助对文物进行分析，如绘画的颜料、雕塑的材料等。
这对于文物的保护和修复具有重要价值。
扫描电镜的基本原理及应用
扫描电镜的基本原理及应用1. 简介扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种利用高能电子束进行样本表面成像的仪器。
与传统的透射电子显微镜不同，扫描电子显微镜通过扫描样本表面并测量反射电子的信号来生成图像，因此可以观察到样本表面的形貌、结构和组成。
2. 基本原理扫描电子显微镜的基本原理是利用电子的波粒二象性和电磁透镜的作用，将电子束聚焦到极小的尺寸并扫描样本表面。
主要包括以下几个步骤：2.1 电子源扫描电子显微镜的核心部件是电子枪，它通过发射电子来产生电子束。
电子源通常采用热阴极、场致发射或冷阴极等不同技术，以产生高能、高亮度的电子束。
2.2 电子聚焦电子束经过电子透镜的作用，可以实现对电子束的聚焦。
电子透镜通常由磁场或电场构成，可以调节电子束的聚焦度和放大倍数。
通过调节电子透镜的参数，可以得到所需的电子束直径和形状。
2.3 样本扫描电子束通过扫描线圈进行扫描，并在扫描过程中与样本表面发生相互作用。
扫描线圈可以控制电子束的位置和方向，将电子束在样本表面上进行扫描。
在扫描过程中，电子束与样本表面发生的相互作用产生不同的信号。
2.4 信号检测与处理样本表面与电子束相互作用时，会产生不同的信号。
扫描电子显微镜通常会检测并测量这些信号，用于生成图像。
常用的信号检测方式包括：反射电子检测、二次电子检测、原子力显微镜等。
3. 应用领域扫描电子显微镜在科学研究、工业生产和材料表征等领域有广泛的应用。
以下是扫描电子显微镜的一些常见应用：3.1 材料科学扫描电子显微镜可以观察材料的表面形貌和结构，对材料的微观结构进行分析。
在材料科学研究中，扫描电子显微镜常常用于研究材料的晶体结构、晶界、纳米颗粒和材料表面的纳米结构等。
3.2 生物学扫描电子显微镜在生物学研究中有广泛的应用。
它可以观察生物样本的细胞结构、细胞器和细胞表面的微观结构，对生物样本的形态和结构进行研究。
扫描电子显微镜也被用于病毒、细菌和其他微生物的观察和研究。
扫描电镜原理
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3、成像原理、信号采集及应用（2）
二次电子形貌衬度的形成原理：
样品表面倾斜度越小，二次电子产额越少，亮度越低， 反之，样品表面倾斜度越大，二次电子产额越多，亮度越 大。
若样品上：
1. B 面的倾斜度最小， 二次电子产额最少，亮度最低。
2. A 面倾斜度次之，亮度为灰色。
3. C 面倾斜度最大，亮度也最大。
因此，随着原子序数Z的增大，背散射电子产 生的数额越多。故荧光屏上的图像较亮。
利用原子序数造成的衬度变化 可以对各种金属和合金进行定 性的成分分析。 重元素区域：图像上是亮区；
轻元素区域：图像上是暗区。
用背散射电子进行成分分析时，为了避免形貌 程度对原子序数衬度的干扰，背分析样品只进 行抛光，不进行腐蚀。
构造：主机部分与 SEM 相同，只增加了检测X射线的信号的谱仪， 用于检测X射线的特征波长或特征能量。
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1、电子探针显微分析仪的工作原理（1）
电子探针显微分析仪：信号检测系统是 X 射线谱仪。
(1) 波长分散谱仪(WDS) ： 用来测定特征X 射线波长 的谱仪，简称为波谱仪。
(2) 能量分散谱仪(EDS) ： 用来测定 X 射线特征能量 的谱仪，简称为能谱仪。
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扫描电镜结构原理方框图
2、电子与固体作用产生的信号
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特征X射线是当样品原子的内
层电子被入射电子激发或电离时， 原子就会处于能量较高的激发状 态，此时外层电子将向内层跃迁 以填补内层电子的空缺，从而使 具有特征能量的X射线释放出来。 根据莫塞来定律，如果我们用X 射线探测器测到了样品微区中存 在某一种特征波长，就可以判定 这个微区中存在着相应的元素。
根据莫塞莱定律，用 X射线探测 器检测特征X射线，就可判定这 个微区中存在着相应的元素。
扫描电镜工作原理
扫描电镜工作原理扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，能够通过扫描样品表面并利用电子束与样品相互作用来观察和分析样品的表面形貌和成分。
它在材料科学、生物学、纳米技术等领域有着广泛的应用。
一、扫描电镜的基本构成扫描电镜主要由电子光学系统、样品台、探测系统和显像系统组成。
1. 电子光学系统：电子光学系统包括电子源、电子束调制系统和扫描线圈。
电子源通常采用热阴极或场发射阴极，产生高能电子。
电子束调制系统用于控制和调节电子束的形状和大小。
扫描线圈通过改变电子束在样品表面的位置，实现对样品进行扫描。
2. 样品台：样品台是承载样品的平台，通常具有XY移动功能，可以调整样品的位置。
样品台还可以加热、冷却或施加电场等特殊处理。
3. 探测系统：探测系统用于收集与样品相互作用后产生的信号。
常用的探测器有二次电子探测器和反射电子探测器。
二次电子探测器用于观察样品表面形貌，反射电子探测器用于分析样品的成分。
4. 显像系统：显像系统将探测到的信号转化为图像，并通过显示器进行显示。
显像系统还可以进行图像增强和处理，以获得更清晰的图像。
二、扫描电镜的工作原理扫描电镜的工作原理可以分为电子源产生电子束、电子束与样品相互作用、探测信号收集和图像显示四个步骤。
1. 电子源产生电子束：扫描电镜中的电子源通常采用热阴极或场发射阴极。
电子源产生的电子束经过电子束调制系统的调节，形成高能、聚焦的电子束。
2. 电子束与样品相互作用：电子束照射到样品表面后，与样品表面的原子和分子发生相互作用。
这种相互作用包括电子与样品表面原子的散射、电子与样品表面原子的激发和电子与样品表面原子的透射等。
3. 探测信号收集：样品与电子束相互作用后，会产生多种信号，如二次电子、反射电子、散射电子等。
这些信号被探测器收集，并转化为电信号。
4. 图像显示：探测到的信号经过放大、增强和处理后，通过显像系统转化为图像，并通过显示器进行显示。
司法鉴定标准扫描电镜x射线能谱仪
司法鉴定标准扫描电镜x射线能谱仪司法鉴定是一项涉及到法律和科学技术的重要工作，对于司法鉴定的标准和方法有着严格的要求。
在司法鉴定中，扫描电镜和x射线能谱仪是两种常用的科学仪器，它们在司法鉴定中发挥着重要的作用。
本文将从扫描电镜和x射线能谱仪的原理和应用、在司法鉴定中的作用以及相关的标准和要求等方面进行详细的介绍。
一、扫描电镜的原理和应用扫描电镜是一种通过电子束对样品进行扫描的显微镜，通过收集样品散射或者反射的电子信号来获取高分辨率的图像。
它具有高放大倍数、高分辨率和表面成像等特点。
在司法鉴定中，扫描电镜经常用于痕迹检验、物证分析、鉴定鉴定和认定化学成分等方面。
1.痕迹检验：扫描电镜可以对物证进行表面成像，从而找到微小的痕迹、纹路等特征，为案件的侦破提供重要线索。
2.物证分析：通过扫描电镜，可以对物证的表面形貌、结构和成分进行详细的分析，从而为案件的侦破提供科学依据。
3.鉴定鉴定：扫描电镜可以对物证进行形貌和成分鉴定，判定其真伪和特征。
4.认定化学成分：通过扫描电镜加上能谱分析技术，可以对样品的化学成分进行分析和鉴定。
二、X射线能谱仪的原理和应用X射线能谱仪是一种通过样品与X射线相互作用，从而产生特征X 射线谱的仪器，它具有高分辨率、高灵敏度和高准确性等特点。
在司法鉴定中，X射线能谱仪常用于物证的化学成分分析、材料鉴定和成分检测等方面。
1.化学成分分析：X射线能谱仪可以对样品进行原子组成的定性和定量分析，从而了解其化学成分的种类和含量。
2.材料鉴定：通过X射线能谱仪可以对不同材料进行鉴定，包括金属、非金属、无机物和有机物等。
3.成分检测：X射线能谱仪可以检测样品中的微量元素、有害元素等，为案件的侦破提供科学依据。
三、扫描电镜和X射线能谱仪在司法鉴定中的作用扫描电镜和X射线能谱仪在司法鉴定中发挥着重要的作用，主要体现在以下几个方面：1.提供科学依据：扫描电镜和X射线能谱仪可以为案件的侦破提供科学依据，通过对物证的表面形貌、结构和成分进行详细分析，为案件的侦破和证据的认定提供有力支持。
扫描电镜技术原理及应用
扫描电镜技术原理及应用摘要: 扫描电镜一种新型的多功能的，用途最为广泛的电子光学仪器。
数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。
关键词：扫描电镜;应用1938 年德国的阿登纳制成了第一台扫描电子显微镜，1965 年英国制造出第一台作为商品用的扫描电镜，使扫描电镜进入实用阶段。
近 20 年来，扫描电镜发展迅速，多功能的分析扫描电镜（即扫描电镜带上能谱仪、波谱仪、荧光仪等）既能做超微结构研究，又能做超微结构分析，既能做定性、定量分析、又能做定位分析,具有景深大，图像富有立体感，分辨率高，图像放大倍数高，显像直观，样品制备过程相对简单，可连接EDAX（X-射线能谱分析仪）进行微区成分分析等特点，被广泛应用于生物学、医学、古生物学、地质学、化学、物理、电子学及林业等学科和领域［1-2］。
1扫描电镜的工作原理与技术特点1.1 扫描电镜的工作原理扫描电镜( SEM) 的工作原理是由电子枪发射出来直径为50μm（微米）的电子束，在加速电压的作用下经过磁透镜系统会聚，形成直径为5nm（纳米）的电子束，聚焦在样品表面上，在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下，电子束在样品上做光栅状扫描，同时同步探测入射电子和研究对象相互作用后从样品表面散射出来的电子和光子，获得相应材料的表面形貌和成分分析［3］。
从材料表面散射出来的二次电子的能量一般低于50 eV，其大多数的能量约在2 ～ 3 eV。
因为二次电子的能量较低，只有样品表面产生的二次电子才能跑出表面，逃逸深度只有几个纳米，这些信号电子经探测器收集并转换为光子，再通过电信号放大器加以放大处理，最终成像在显示系统上。
扫描电镜工作原理的特殊之处在于把来自二次电子的图像信号作为时像信号，将一点一点的画面“动态”地形成三维的图像。
1.2 扫描电镜的技术特点［4］扫描电子显微镜测试技术特点主要有:( 1) 聚焦景深大。
扫描电子显微镜的聚焦景深是实体显微镜聚焦景深的50倍，比偏反光显微镜则大500 倍，且不受样品大小与厚度的影响，观察样品时立体感强。
扫描电镜的原理及应用
104cps/nA，入射电子束单位强度所产生的X射线计数率)。
如它可将波长十分接近的VK (0.
影响二次电子产额的因素主要有：
Si(Li)能谱仪的缺点
样品高度不宜超过30mm，样品最大宽度不能超过100mm
能谱仪的能量分辨率(130eV)比波谱仪的能量分辨率(5eV)低。
SEM: 二次电子
背散射电子
由于能谱仪中Si(Li)探头可以放在离发射源很近的地方(10cm左右)，无需经过晶体衍射，信号强度几乎没有损失，所以灵敏度高(可达
104cps/nA，入射电子束单位强度所产生的X射线计数率)。
二次电子 几种类型电子枪性能比较
二次电子：产生范围在5-50nm的区域
(3)主当要反样应原品子中序数存衬度在凸起小颗粒或尖角时
能谱分析实例
区域分析实例－颗粒
Element Wt%
CK
07.29
OK
04.55
AlK
01.51
SiK
02.13
PK
05.55
SnL
04.29
FeK
74.69
At% 23.57 11.03 02.17 02.94 06.96 01.40 51.93
EDAX-EDS面扫描的工作界面
面扫描实例
Cu网
夹杂物分析实例
能谱分析实例
SEI图像
BEIW图像
能谱分析实例
Element OK MgK AlK SiK CaK FeK CoK Matrix
Wt% 45.01 02.42 04.46 36.42 00.83 10.60 00.26 Correction
At% 61.29 02.17 03.60 28.25 00.45 04.14 00.10 ZAF
扫描电镜的原理与应用
扫描电镜的原理与应用1. 扫描电镜的原理扫描电镜（Scanning Electron Microscopy，SEM）是一种高分辨率、高放大倍数的显微镜，它利用电子束对样本进行扫描，通过收集样本产生的散射电子和二次电子来生成图像。
其原理主要包括以下几个步骤：1.电子发射：在扫描电子显微镜中，首先需要产生高能的电子束。
这通常通过热力发射或场致发射来实现。
对于热力发射，根据石鹢-德拜方程，利用电子枪通过加热金属丝或陶瓷发射体，使其发射出的电子能够获得足够的能量进入到显微镜的系统中。
2.电子透镜系统：扫描电子显微镜中的电子束需要通过一系列的电子透镜系统进行聚焦。
这些电子透镜包括磁透镜、电透镜和取向透镜等。
通过精确控制这些电子透镜，可以获得较小的电子束尺寸和良好的分辨率。
3.样本交互：样本位于电子束进入样品室的位置。
当电子束与样品相互作用时，会产生多种相互作用，包括透射、反射、散射等。
通过控制电子束的扫描方式，可以对不同相互作用的电子进行收集和分析。
4.信号检测和图像生成：通过探测电子束与样品相互作用产生的信号，可以获取样品表面上的丰富细节信息。
最常用的信号检测方法包括二次电子检测和散射电子检测。
通过收集这些信号，并进行信号处理和图像生成，可以获得样品的高分辨率图像。
2. 扫描电镜的应用扫描电镜在各个领域中都有广泛的应用，其高分辨率和高放大倍数的特点使其成为了研究和观察微观结构的重要工具。
以下列举了几个扫描电镜应用的领域：2.1 材料科学•纳米材料研究和观察：扫描电镜可以对纳米材料进行表面和内部结构的观察，有助于研究纳米材料的物理性质和化学反应过程。
•材料表面形貌观察：扫描电镜可以观察材料表面的形貌特征，如晶体结构、表面缺陷、孔洞分布等，有助于研究材料的结构与性能。
2.2 生物科学•细胞观察：扫描电镜可以观察细胞的形态和结构，包括细胞壁、细胞膜、细胞核、细胞器等，有助于研究细胞的功能和生理过程。
•组织结构研究：扫描电镜可以观察组织的微观结构，有助于研究组织的生物学特性和病理学变化。
扫描电镜原理及应用
蜘蛛
HV-mode 15 kV
SE-detector
毛虫
VPSE-detector 10 kV
XVP-mode 48 Pa air
医学
在医学中扫描电镜技术已经从基础研究发展到疾病模型、培 养细胞或组织鉴定、伤情诊断、药理作用与效果观察、疑难病症的电镜 诊断等。扫描电镜技术在医学形态学的研究中已成为不可缺少的科研工 具与手段。 • 用于植物药鉴定：用电镜能揭示一些有关植物药的新性状、结构，并已 成为在分类上有特殊意义的指标。通过对微细形态结构的变化规律的研 究，可以得到亚显微水平上特征量的变化趋势。业已证明，植物的一些 微细形态结构特征，以其高度的品种专属性和稳定的遗传性，而成为植 物药分类鉴定的依据和标准。并有助于了解种间的亲缘关系远近及进化 地位。 • 病情诊断：应用扫描电镜对人脑原发性胶质瘤的癌细胞和间质的超微形 态特征进行研究，可直接的观察到瘤组织内各种成分之间的相互关系， 以供鉴别诊断。 • 医疗材料：在临床医学上，应用扫描电镜对心瓣膜材料的观察研究，可 以寻找合适的替换材料。 • 修复病变：用扫描电镜观察用半导体激光处理的离体牙，判断激光对牙 齿的作用和损伤，研究如何促进病变的修复和愈合。
• 电子束的波长为与加速电压有关，加速电压越高 ，波长越短
光镜与电镜
光镜与电镜的光路比较
光源
可见光
电子束
聚光镜 物镜 投影镜
样品
光镜
聚光镜 样品
扫描线圈 探测器
图像 扫描电镜
同步扫描 电子束 样品表面
荧光屏
a
A
景深的定义
光镜与扫描电镜的图像比较
扫描电镜图像
光学显微镜图像
扫描电镜的特点
• 有较高的分辨率。钨灯丝可达 3nm • 有较高的放大倍数，几倍到几十万倍之间连续可调，且高
扫描电镜的原理及应用
扫描电镜的原理及应用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种利用电子束扫描样品表面并通过检测电子束与样品交互产生的多种信号来获得样品表面形貌和成分信息的显微镜。
相比传统光学显微镜，扫描电镜具有更高的分辨率和深度，广泛应用于材料科学、生物学、地质学、电子学等多个领域。
1.电子源：扫描电镜使用热阴极或场发射电子枪产生电子源，通过激光或电子束对电子源进行刺激，使其产生电子。
2.真空系统：扫描电镜需要在真空中进行工作，以避免电子与空气分子的相互作用。
真空系统可确保电子束能够稳定地通过管道进入样品表面。
3.电子束的聚焦和定位：经过加速和聚焦装置后，电子束被聚焦到非常小的直径，同时通过扫描线圈控制电子束在样品表面上进行移动和定位。
4.样品表面的信号检测：样品表面与电子束交互后，产生多种信号，包括二次电子、背散射电子、X射线、荧光等。
通过相应的检测元件，如二次电子检测器和能谱仪，来收集这些信号。
5.数据处理和成像：通过对收集到的信号进行放大、滤波、扫描等处理，将数据转化为像素点，通过屏幕或计算机显示成像。
扫描电镜具有很多应用领域，以下是其中的几个主要应用：1.材料科学：扫描电镜可用于研究材料表面形貌、晶体结构以及纳米材料的性质。
通过观察和分析材料表面形貌和成分，可以揭示材料的微观结构、缺陷、晶胞排列等信息。
2.生物学：扫描电镜对于生物学研究也有很大的帮助。
可以观察细胞、组织和器官的微观形态、细胞器的分布和关系。
通过扫描电镜的成像，可以研究细胞的形态和结构与功能的关系，以及疾病的发生机制。
3.地质学：扫描电镜可用于研究岩石和矿石的成分、结构、矿物组成等信息。
可以观察到岩石和矿石的微观结构、矿物晶型、矿物交代等特征，为地质学和矿物学研究提供重要的信息。
4.电子学：在微电子制造中，扫描电镜可用于观察和分析电子元件的形态和结构、探测缺陷和纳米线路的状况。
这对于电子元件的设计和质量控制非常重要。
扫描电镜工作原理
扫描电镜工作原理扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，利用电子束与样品之间的相互作用来获取样品表面的形貌和结构信息。
它在材料科学、生物学、医学、纳米技术等领域具有广泛的应用。
一、扫描电镜的基本原理扫描电镜的基本原理是利用电子束与样品表面的相互作用来获得样品表面的形貌和结构信息。
其主要由电子光学系统、扫描控制系统和图象显示系统三部份组成。
1. 电子光学系统扫描电镜的电子光学系统主要包括电子枪、透镜系统和探测器。
电子枪通过加热阴极产生热电子，经过加速电压加速后形成高速电子束。
透镜系统包括聚焦透镜和扫描线圈，通过调节透镜电压和扫描线圈电压来控制电子束的聚焦和扫描。
探测器用于检测样品表面的信号并转换为电信号。
2. 扫描控制系统扫描控制系统主要由扫描线圈和样品台组成。
扫描线圈通过改变电流大小和方向来控制电子束的扫描范围和速度。
样品台用于固定和调节样品位置，保证样品与电子束之间的距离和角度的稳定。
3. 图象显示系统图象显示系统主要由信号放大器、数字转换器和显示器组成。
信号放大器用于放大探测器输出的电信号，数字转换器将摹拟信号转换为数字信号，最后通过显示器将数字信号转换为可视的图象。
二、扫描电镜的工作过程扫描电镜的工作过程主要包括样品制备、样品加载、电子束扫描和图象获取四个步骤。
1. 样品制备样品制备是扫描电镜工作的前提，样品的制备质量直接影响到最终的观察结果。
常见的样品制备方法包括金属薄膜沉积、切片制备、离子切割等。
2. 样品加载样品加载是将制备好的样品放置到扫描电镜的样品台上，并调整样品位置和角度，使得样品表面与电子束之间的距离和角度适合观察要求。
3. 电子束扫描电子束扫描是通过控制扫描线圈的电流和方向，使得电子束在样品表面上进行扫描。
扫描过程中，电子束与样品表面的相互作用会产生多种信号，如二次电子信号、反射电子信号、散射电子信号等。
4. 图象获取图象获取是将样品表面的信号转换为电信号，并通过信号放大器、数字转换器和显示器将其转换为可视的图象。
扫描电镜原理及应用
扫描电镜原理及应用扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种利用电子束来观察样品表面的显微镜。
与传统的透射电子显微镜不同，SEM 主要通过扫描电子束对样品进行微观观察。
扫描电子显微镜的原理基于电子显微学的加速电子束原理。
电子枪通过加速电场和聚焦电场加速高速运动的电子，并将其聚焦在一点上，形成尖锐的电子束。
这个电子束通过扫描线圈，沿着将样品表面分成的多个点进行扫描。
当电子束与样品表面交互作用时，样品表面的原子会吸收电子能量。
这会导致样品中的电子从低能级跃迁到高能级，同时也会发生电子散射。
电子束和样品的交互会产生多种信号，包括二次电子（SE）、反射电子（BE）、种子激发的X射线（EDX）和散射电子（BSE）等。
扫描电子显微镜的应用非常广泛。
以下是一些主要的应用领域：1.材料科学：扫描电子显微镜可以揭示材料的微观结构、形貌和表面缺陷，对材料的表面形貌和表面化学成分进行表征和分析。
2.生物科学：SEM可以观察生物样品的表面结构，例如细胞的微观形态、细胞器的空间分布和微生物的表面特征。
3.纳米科学：采用SEM可以观察纳米颗粒的形态和大小分布，以及纳米材料的结构和形貌。
4.矿物学和地质学：SEM可以对矿物和岩石样品进行表面形态和组成分析，对地质样本的微量元素进行分析。
5.金属学和材料工程：SEM可以对金属材料的晶格结构、相分布、晶粒尺寸和晶界进行表征和分析。
6.考古学和文物保护：SEM可以观察古代文物和考古样品的微观结构和表面细节，帮助研究人员进行文物保护和修复。
7.环境科学和污染控制：SEM可以用于观察和分析大气、水和土壤中的微观颗粒物、微生物和污染物。
总之，扫描电子显微镜通过扫描电子束对样品表面进行观察，广泛应用于材料科学、生物科学、纳米科学等领域。
它可以提供高分辨率的图像和丰富的表征信息，对研究和应用具有重要的意义。
司法鉴定标准扫描电镜x射线能谱仪
司法鉴定标准扫描电镜x射线能谱仪司法鉴定是指依法由司法鉴定机构对证据、案件中涉及的技术性问题进行专门的检验、实验、分析和评价，为法院提供科学的、客观的鉴定结论的活动。
在司法鉴定过程中，常常需要使用先进的科学技术设备来帮助进行证据的检验和分析，其中扫描电镜和X射线能谱仪就是常用于司法鉴定的重要设备之一。
本文将结合扫描电镜和X射线能谱仪的原理、应用和标准要求等方面，对这两种设备在司法鉴定中的重要性进行探讨。
一、扫描电镜的原理及应用扫描电镜是一种利用电子束扫描样品表面获得其表面形貌和微结构图像的显微镜。
相比于传统光学显微镜，扫描电镜具有更高的分辨率和放大倍数，能够观察到更小尺度的细微结构。
在司法鉴定中，扫描电镜常用于检验和分析微小物质的形态、结构及组成，例如纤维、颗粒、涂层等。
通过观察和分析样品的微观形貌，可以为案件的侦破和鉴定提供重要的科学依据。
扫描电镜在司法鉴定中的应用主要包括对纤维、纸张、印章、表面痕迹等物证的检验和分析。
例如，通过扫描电镜观察纤维的形态和结构，可以确定其种类和来源；对纸张的表面图案和纤维结构进行观察和比对，可以辅助确定纸张的真伪及其制作工艺；对印章的图案和磨损痕迹进行检验和比对，可以判断其真伪和历史性。
通过扫描电镜的高分辨率观察和分析，可以为案件的真相调查和证据的确凿性提供重要支持。
二、X射线能谱仪的原理及应用X射线能谱仪是一种利用X射线与物质相互作用，分析样品成分的仪器。
它通过测量样品辐射出的特征X射线谱线，来确定样品中元素的种类和含量。
X射线能谱仪具有高灵敏度、高分辨率和多元素分析能力，可以对各种类型的物质进行快速、准确的成分分析。
在司法鉴定中，X射线能谱仪广泛用于对物证中的无机成分进行分析和鉴定。
例如，对于矿物、合金、陶瓷、玻璃等样品，可以通过X 射线能谱仪确定其成分和掺杂元素；对于各种类型的标本和化合物，可以通过X射线能谱仪确定其元素组成和含量。
通过X射线能谱仪的分析，可以为案件的定性和定量分析提供科学依据。
扫描电子显微镜的工作原理与应用
扫描电子显微镜的工作原理与应用扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的电子显微镜，是目前表面形貌分析的最佳工具之一，适用于多种材料和生物物质的表面形态、结构和组成分析。
SEM的优点在于可以获得非常高的分辨率和清晰度，以及较大的景深，可以将样品内部的形态和组成分析得更加详尽。
下面本文将深入探讨SEM的工作原理和应用。
一、SEM的工作原理SEM是以电子束作为传感器，利用与样品表面发生的各种交互作用过程，探测样品表面带来的信息，再根据这些信息生成像。
其工作原理可以分为五个部分：1. 电子源贡献电子束SEM的电子源通常采用热阴极或冷阴极场发射电子枪，将电子束在空间中聚焦形成高能束，通常在1-40kV范围内操作。
2. 透镜聚焦并控制电子束的扫描SEM利用磁场或电场将电子束聚焦到极小的直径，尽量保证对样品表面的扫描质量。
同时，调整电子束的扫描路径，并均匀地照射样品表面确保得到高分辨率的SEM图像。
3. 样品表面信号当样品表面遇到电子束时，电子束失去动能，被所处原子与电子作用发射出来。
这些发射的电子被称为二次电子。
4. 捕捉和放大由样品表面发射的信号随着电子束被扫描，排放并捕捉由样品表面发射的二次电子，并通过鼠标、显微镜、扫描仪或计算机放大和记录这些信号。
5. 显示和分析像素在计算机屏幕上，用像素来显示SEM图像，并再次利用计算机软件对数据进行分析。
二、SEM的应用SEM的应用范围非常广泛，包括但不限于材料、能源、生命科学、环境科学等领域。
具体应用如下：1. 材料科学SEM是评估材料科学和工程领域性能的关键技术之一。
它可以直接表征材料的微观结构和成分，并评估其性能。
例如，SEM广泛应用于薄膜、涂层、复合材料、纳米材料、高温材料、高分子材料、金属等材料的微观分析。
2. 生命科学SEM用于生物学中的组织和单细胞分析，可提供非常清晰的生物图像。
例如，在细胞培养、细胞表面形态、生物分子以及动植物细胞、组织和器官等领域广泛应用。
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扫描电镜的基本原理和应用的国标
1. 扫描电镜的基本原理
扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种使用电子束来观察样
品表面形貌的仪器。
其基本原理如下：
•电子源：扫描电镜使用热阴极或场发射枪产生高能电子束。
这些电子经过加速和聚焦，形成高能电子的束流。
•扫描线圈：扫描线圈控制电子束的位置，并负责将电子束扫描在样品上。
电子束从一边开始扫描，逐行覆盖整个样品表面。
•样品台：样品台是安放样品的平台，它可通过电动装置在水平以及垂直方向上移动，以便对样品进行调整。
•检测器：当电子束照射到样品表面时，该区域将会发射出不同的信号，检测器用于接收并测量这些信号。
常用的检测器包括二次电子检测器
（SE），反射电子检测器（BSE）等。
•图像处理系统：扫描电镜能够通过图像处理系统显示样品表面的形貌和微观结构。
图像处理系统可以调节对比度、亮度等参数，以获得更清晰的图像。
2. 扫描电镜的应用的国标
扫描电镜被广泛应用于材料科学、生物科学、地质学等领域。
以下是一些与扫
描电镜应用相关的国标：
•GB/T 20112-2006 扫描电子显微镜技术术语和定义：该国标定义了扫描电子显微镜中使用的术语和定义。
它包括了电子源、扫描线圈、检测器等组成部分的定义，为扫描电镜的使用提供了统一的术语标准。
•GB/T 21306-2008 金属和合金中显微组织的测量信息的表达：该国标规定了使用扫描电子显微镜观察金属和合金显微组织时所需的信息表达方法。
它定义了显微组织的分类、测量参数的计算方法等内容，为金属和合金显微组织的表征提供了规范。
•GB/T 26354-2010 扫描电子显微镜橡胶纳米复合材料分析方法：该国标规定了使用扫描电子显微镜分析橡胶纳米复合材料的方法。
包括样品的制备、参数的设定和分析步骤等内容，为橡胶纳米复合材料的研究提供了规范。
•GB/T 17661.1-2017 粉尘爆炸危险性试验方法第1部分：确定粉尘爆炸特性的方法：该国标规定了使用扫描电子显微镜检测粉尘的方法。
该方
法主要用于测定粉尘的颗粒形状和大小等特性，为粉尘爆炸危险性的评估提供了依据。
3. 扫描电镜在材料科学中的应用
•纳米材料的研究：扫描电镜可以观察和分析纳米材料的形貌和结构。
通过SEM，研究人员可以了解纳米颗粒的形状、大小和分布情况，从而评估
纳米材料的性能。
•材料缺陷分析：扫描电镜可以检测材料中的缺陷，如裂纹、气泡和晶界等。
通过观察缺陷的形貌和分布，研究人员可以分析材料的强度、断裂性能等指标。
•薄膜表面形貌观察：扫描电镜可用于观察薄膜的表面形貌，评估薄膜的光学和电学性质等。
这对于薄膜材料的研究与应用具有重要意义。
•材料界面观察：扫描电镜可以观察和分析材料界面的形貌与结构。
这对于理解材料的相互作用、研究材料界面的性质以及优化材料的界面性能具有重要意义。
•材料化学成分分析：扫描电镜结合能谱仪（EDS）或电子能量损失光谱仪（EELS）等技术，可以进行材料化学成分的分析。
这对于研究材料的组
成与相变等具有重要意义。
总结来说，扫描电镜作为一种强大的表征工具，在材料科学研究以及相关领域
的应用中发挥着重要作用。
国标的制定为扫描电镜的使用提供了规范，进一步促进了相关领域的研究与发展。