8第八章CCD应用举例概述
《传感器与检测技术》课后习题:第八章(含答案)
第八章习题答案1.什么是光电效应,依其表现形式如何分类,并予以解释。
解:光电效应首先把被测量的变化转换成光信号的变化,然后通过光电转换元件变换成电信号,光电效应分为外光电效应和内光电效应两大类:a)在光线作用下,能使电子逸出物体表面的现象称为外光电效应;b)受光照的物体导电率1R发生变化,或产生光生电动势的效应叫内光电效应。
2.分别列举属于内光电效应和外光电效应的光电器件。
解:外光电效应,如光电管、光电倍增管等。
内光电效应,如光敏电阻、光电池和光敏晶体管等。
3.简述CCD 的工作原理。
解:CCD 的工作原理如下:首先构成CCD 的基本单元是MOS 电容器,如果MOS 电容器中的半导体是P 型硅,当在金属电极上施加一个正电压时,在其电极下形成所谓耗尽层,由于电子在那里势能较低,形成了电子的势阱,成为蓄积电荷的场所。
CCD 的最基本结构是一系列彼此非常靠近的MOS 电容器,这些电容器用同一半导体衬底制成,衬底上面覆盖一层氧化层,并在其上制作许多金属电极,各电极按三相(也有二相和四相)配线方式连接。
CCD 的基本功能是存储与转移信息电荷,为了实现信号电荷的转换:必须使MOS 电容阵列的排列足够紧密,以致相邻MOS 电容的势阱相互沟通,即相互耦合;控制相邻MOC 电容栅极电压高低来调节势阱深浅,使信号电荷由势阱浅的地方流向势阱深处;在CCD 中电荷的转移必须按照确定的方向。
4.说明光纤传输的原理。
解:光在空间是直线传播的。
在光纤中,光的传输限制在光纤中,并随光纤能传送到很远的距离,光纤的传输是基于光的全内反射。
当光纤的直径比光的波长大很多时,可以用几何光学的方法来说明光在光纤内的传播。
设有一段圆柱形光纤,它的两个端面均为光滑的平面。
当光线射入一个端面并与圆柱的轴线成θi 角时,根据斯涅耳(Snell )光的折射定律,在光纤内折射成θj ,然后以θk 角入射至纤芯与包层的界面。
若要在界面上发生全反射,则纤芯与界面的光线入射角θk 应大于临界角φc (处于临界状态时,θr =90º),即:21arcsin k c n n θϕ≥=且在光纤内部以同样的角度反复逐次反射,直至传播到另一端面。
CCD原理
第八章光电传感器及其应用§8-1传感器及其特性一.传感器的组成:图8-1传感器组成方块图二.传感器的分类P113表7-1三.传感器的一般特性(一).静态特性:线性度、灵敏度、迟滞、重复性1)线性度:传感器的输入——输出是线性关系。
1.优点如下:①.简化理论分析及设计计算;②.方便仪器定标和数据处理;③.使仪表度盘均匀刻度,工艺性好,精度高。
④.避免了非线性补偿。
2.只含有奇次非线性的传感器线性特性好(线性范围大)。
实际传感器一般为非线性,可表示为多项式(不考虑迟滞、蠕变):y=a0+a1x+ a2x2+……+ a n x n不考虑零位输出a0①当仅有偶次非线性项(图b)y= a1x+a2x2+ a4x4+……没对称性,零位附近线性范围窄,很少采用。
②当仅有奇次非线性项(图c)y=a1x+a3x3+ a5x5+……y(-x)=-〔a1x+a3x3+ a5x5+……〕=- y(x)关于原点对称,零位附近线性范围宽,较多使用。
图8-2 传感器的静态特性例如:差动传感器就有较宽的线性范围。
差动传感器一边的输出为:y 1=a 0+a 1x+ a 2x 2+……+ a n x n (例: sin θ) 另一边的反向输出为:y 2=a 0-a 1x+ a 2x 2+……+(-1)na n x n (例: -sin θ) 差动输出为:y= y 1-y 2=2(a 1x +a 3x 3+ a 5x 5+…… ) (例: 2sin θ) 仅含有奇次非线性项,有较宽的线性范围。
3.线性度(误差)e 1=±Y max FS100℅Δmax : 最大非线性绝对误差; y FS :输出满量程。
2) 灵敏度 Sn =dxdy对线性传感器: Sn =dx dy=y/x=a 1 即斜率 差动传感器:Sn = dxdy=d(y 1-y 2)/ dx=2 a 1 比一般传感器的灵敏度高一倍。
3)e 2=±Y max FS∆100℅输出最大误差与满量程之比。
光电成像原理与技术Chapter-固体成像器件成像原理及应用
2
V1 V1
t2 t3 t4 t1 t5 t6 t7 t8
2
势阱深度
1
2
1
V2
t t
( a)
(a)
t6 t7 t8
t V1 t V1
( b)
2 V2
势阱深度
1
V2
t1
t5
(b)
二相时钟的脉冲波形
2018/11/11
单时钟脉冲二相CCD (a)φ2断开,(b) φ2开通
8.2. CCD的结构与特性
2018/11/11
3
t t1
1 2
1 2 3 4 5 6 7 8 9 N-Si衬底
Al栅电极
10 SiO2 (a)
1 V 2 0 3 0 t t2 1 V 2 V 3 0
电势
(b)
(c)
1 V / 2 2 V 3 0
1 0 2 V 3 0
VG的大部分压降 Vs 落在半导体表面的空间电荷区上,只 有小部分落到SiO2上。 故而,该形成反型层的空间上没有电子,只有空的电子 势阱,也就是说表面还处在载流子耗尽状态,这种耗尽 层从表面一直延伸到半导体内深处,此状态为“深层耗 尽状态”。 -这实际上是MOS电容器处于热非平衡状态。
Vs深耗 Vs强反
2kT N a Vs ln e ni
xd max
2018/11/11
4 s 0 F eN A
1 2
稳态下的MOS电容器-强反型状态
一旦出现反型层, 耗尽层厚度xd达到最大值,且不随VG而变化。 表面出现强反型状态时对应外加偏压VG为阈值 电压(开启电压),常用Vth表示。 由于反型层中的电子实际上是被限制在表面附 近能量最低的一个狭窄区域,故称为反型层沟 道。 P 型半导体的表面反型层由电子构成,故称 N 型 沟道。
ccd应用场景
ccd应用场景CCD(Charge Coupled Device)是一种常用于图像传感器的技术,具有高灵敏度、高分辨率和低噪声的特点。
它在许多领域中都有广泛的应用场景。
本文将从医疗、农业、工业和安防四个方面,介绍CCD的应用场景。
一、医疗领域CCD技术在医疗领域中有着重要的应用。
例如,在医学影像诊断中,CCD传感器可以捕捉X射线或超声波等影像信息,通过数字化处理后,医生可以清晰地观察患者的内部结构,准确地判断疾病的情况。
此外,CCD还可以应用于内窥镜、显微镜等医疗设备中,帮助医生进行病灶检测和手术操作。
二、农业领域CCD技术在农业领域也有着广泛的应用。
例如,农业无人机配备了CCD传感器,可以通过拍摄农田的高清图像,帮助农民判断作物生长情况、测量土壤水分含量、检测病虫害等。
这些信息可以帮助农民制定科学的农业生产计划,提高农作物的产量和质量,减少资源的浪费。
三、工业领域在工业领域,CCD技术被广泛应用于质量检测、自动化生产等方面。
例如,CCD传感器可以用于检测产品的表面缺陷、尺寸偏差等质量问题,提高产品的合格率和生产效率。
此外,CCD还可以用于机器人视觉系统中,实现对工件的精确定位、抓取和组装等自动化操作。
四、安防领域CCD技术在安防领域中也有着重要的应用。
例如,CCD摄像头可以用于监控系统,实时监测公共场所、商业建筑、居民小区等区域的安全情况。
通过CCD摄像头拍摄的图像和视频可以提供给安防人员进行监控和查证。
此外,CCD还可以用于人脸识别、车牌识别等安防技术中,提高安全性和便利性。
总结起来,CCD技术在医疗、农业、工业和安防等领域中都有着重要的应用场景。
随着技术的不断进步,CCD传感器的性能将进一步提升,应用范围也将更加广泛。
相信在不久的将来,CCD技术将在更多的领域中发挥重要作用,为人们的生活带来更多的便利和进步。
第八章CCD应用举例
数,再乘以单个高频时钟脉冲对应的尺寸(脉冲当量)。
被测尺寸= 计数值×脉冲当量
例:采用TCD1206进行尺寸测量时,计数值为50,脉冲当量 为14μm,则被测尺寸为50×14=700微米。这里,脉冲当量 就是当用CCD的复位脉冲作计数脉冲时的CCD的象元中心 距。 两种计数值获取方法:硬件逻辑电路、边沿计数
照明系统
照明系统主要由光源和聚光镜组成。 照明系统的作用是为了使目标物得到充分地照明,以保证像平 面有足够的照度。 光源经过聚光镜后,成像于物平面上的照明方法,称为临界照明。
优点:亮度高,结构简单(若忽略光能的损失,则光源像的亮度与光
源本身相同,因此,这种方法相当于在物平面上放置光源)
缺点:照度不均匀(如果光源表面亮度不均匀,或明显地表现出细小的
系统组成:线阵CCD. 光学成像系统. 计算机数据采集与处理
特点: Ø高分辨率、高灵敏度 Ø自扫描、非接触 Ø结构紧凑 Ø无需配合复杂的机械运动结构
一维尺寸的测量实例——玻璃管外径、壁厚尺寸测量仪器设计 用于玻璃管生产线,对相关尺寸进行实时监测,控制生产过程.
线阵CCD非接触外径测量仪典型应用:石英玻璃管成品测量仪 精度要求为0.01mm; 直径测量范围:20-50mm; 壁厚测量范围:1.65-9.5mm; 管长测量范围:1000-1600mm;
式中,L0为线阵CCD的像敏单元中心距,β为光学系统放大倍数
照明系统
☆玻璃管能否得到均匀照明对测量结果有 很大影响 ☆成像系统采用了物方远心光路 ☆照明系统需用柯拉照明与之相匹配 ☆光源为12V、100W的白炽钨丝灯,灯丝 尺寸为4mm×3mm
第8章-光电子技术应用举例
8.3 光盘存储
二、DVD与CD区别
DVD的特点是存储容量比现在的CD大得多 1.短波长激光 CD播放机和CD-ROM驱动器采用波长为780nm的红外光来读出盘 上的信息。DVD刻录机和播放机就需要采用波长更短的激光源。 2.大记录区域 DVD盘光道之间的间距由原来的1.6μm缩小至0.74μm,而记录信息 最小凹凸坑长度由原来的0.83μm缩小到0.4μm, DVD盘的记录区域从 CD盘的86 cm2提高到86.6 cm2。
8.2 摄像机和数码相机
单反相机是目前最流行的相机,“单反”是指用一个镜头反光, 取景和曝光共用一个镜头。在系统中,巧妙地设计了反光镜和五棱 镜。取景时,反光镜将光线反射到五棱镜上,再进入取景器,摄影 者可以直接观测到影像;拍摄时,将反光镜抬起,光线直接入射到 感光元件上。摄影和取景共用一个镜头,保证了取景时看到的景物 和拍摄的景物完全一致,解决了拥有独立取景镜头旁轴相机或双反 相机的视差问题
8.3 光盘存储
3.双面和多层记录. 使用盘片的两个面记录数据。
8.4 全息技术应用
一、全息干涉 全息干涉计量是指利用全息照相的方法获得两个光波一个光波是标 准波前,另一个光波是变形物体产生的变形波前,并使两光波进行干涉 度量比较的计量技术。 最常用的方法是单次曝光法、两次曝光法和时间平均法。
光电子技术基础
第8章光电子技术应用举例
厚德博学
求实创新
8.1光电成像系统的应用
一、线性CCD的应用
线阵CCD常用于几何量的测量,如位移、直径等。图8.1(a)所示为用投影 方式测量某小型零件直径原理图,线阵CCD放在被测对象后面,用平行光照射被
测目标,没有被被测目标遮挡的光线直接入射到CCD单元上,而被被测物体遮挡
第八章 图像信息的光电变换2-1节
序信号;CMOS图像传感器采用顺序开通行、列开关的方式完成像
素信号的一维输出。因此,有时也称面阵CCD、CMOS图像传感 器以自扫描的方式输出一维时序电信号。
监视器或电视接收机的显像管几乎都是利用电磁场使电子束偏
转而实现行与场扫描,因此,对于行、场扫描的速度、周期等参数 进行严格的规定,以便显像管显示理想的图像。
(8-1)
式中thf为行扫描周期,而W/thf应为电子 束的行扫描速度,记为vhf,式可改写为
f=fx〃vhf
(8-2)
CCD与CMOS等图像传感器只有遵守上 述的扫描方式才能替代电子束摄像管,因
此, CCD与CMOS的设计者均使其自扫描制式与电子束摄像管相同。
8.2.2 电视制式
电视的图像发送与接收系统中,图像的采集(摄像机)与图像
当摄像管有光学图像输入时,则入射光子打到靶上。 由于本征层占有靶厚的绝大部分,入射光子大部分被本征 层吸收,产生光生载流子。且在强电场的作用下,光生载 流子一旦产生,便被内电场拉开,电子拉向N区,空穴被 拉向P区。这样,若假定把曝光前本征层两端加有强电场 看作是电容充电,则此刻由于光生载流子的漂移运动的结 果相当于电容的放电。其结果,在一帧的时间内,在靶面 上便获得了与输入图像光照分布相对应的电位分布,完成 了图像的变换和记录过程。
传感器件通过电子束扫描或数字电路的自扫描方式将二维光学图像 转换成一维时序信号输出出来。这种代表图像信息的一维信号称为 视频信号。视频信号可通过信号放大和同步控制等处理后,通过相 应的显示设备(如监视器)还原成二维光学图像信号。 视频信号的产生、传输与还原过程中都要遵守一定的规则才能 保证图像信息不产生失真,这种规则称为制式。
第二,要求相邻两场光栅必须均匀地镶嵌,确保获得最高的清晰度。
固体成像器件成像原理及应用
§8.4 增强型(微光)电荷 耦合成像器件
1、光学耦合像增强器型CCD(ICCD)
像增强器与CCD芯片的光纤耦合方式
§8.4 增强型(微光)电荷 耦合成像器件
光锥耦合ICCD结构
光学耦合的像增强CCD(ICCD)
光学耦合的像增强CCD(ICCD)
§8.4 增强型(微光)电荷 耦合成像器件
1、光学耦合像增强器型CCD(ICCD)
§8.2 CCD的结构与特性
三相SCCD的转移过程及时钟脉冲波形
§8.2 CCD的结构与特性
除了上述要求外,CCD中信号电荷的转移还必须沿确 定的路线进行,为此,需设计好沟道与沟阻,在沟阻的 部位做高掺杂,形成沟阻,从而确定沟道。
三相CCD俯视图
§8.2 CCD的结构与特性
三、CCD的结构 CCD由信号输入/输出电极、转移电极组成。 1、转移电极 按连接方式分为二相/三相/四相电极结构。
三相单层铝电极结构CCD
§8.2 CCD的结构与特性
为使CCD能在二相时钟脉冲驱动下工作,电极 须设计成不对称的结构,以保证电荷在不对称电 极下产生体内定向运动。
二相多晶硅栅极结构
§8.2 CCD的结构与特性
电极有方向性的二相CC D转移过程和时钟波形Βιβλιοθήκη §8.2 CCD的结构与特性
四电极结构CCD的奇数电极位于厚SiO2上,偶 数电极位于薄SiO2上。故即使在同一栅压下, 偶数电极下的耗尽层要深一些,以保证电荷产生 定向运动。
固体成像器件是指利用内光电效应工作在非真 空环境下的成像器件。
特点:体积小、重量轻、灵敏度高、寿命长、 低功耗、动态范围大。
例如:CCD、CID、CPD、SSPD
§8.1 CCD的物理基础与工作原理
第八章 CCD
细丝直径D 13( N 0 N ) N 计数器计数
N 0-光敏元数,为光敏元大小 13
2.微光电视中的应用
④按输出信号分类:模拟式、数字式
数字摄像机 ---- 电子快门 曝光时间: 1/50s、1/125s、1/250s、 1/500s、1/1000s、1/2000s、1/4000s、 1/8000s、1/16000s、1/32000s… ⑤按形状分类:长形、短形、方块形、半球形、单板形
CCD应用 1.用于测量
CCD结构
基本单元(一个像素)是MOS结构。
金属 VG
氧化物 半导体
四种平衡状态
CCD工作原理
VG=0,多子均匀
VG<0,多子堆积
多子耗尽,形成势阱
反型状态,N沟道 电子迁移率高
CCD的非稳态工作
深耗尽:施加电压VG>Vth瞬间,空穴被排
斥(10-12s),而电子尚未产生(源于热激 发的产生-复合过程,弛豫时间T: 0.1~10s) t > T,势阱被热激发电子填满而形成反型 层,势阱消失 要求存贮有用信号电荷的时间小于热激发 电子的存贮时间。 通过内部时钟脉冲控制电荷包的存储时间
三、主要特性: 1.体积小,重量轻,耗电少,启动快,寿命长
2.光谱相应范围宽
3.灵敏度高 4.暗电流小,监测噪音低 5.动态响应范围宽 6.分辨率高
7.与微光像增强器级联,低照度下可采集信号
8.有抗过度曝光性能
五、CCD输出信号的处理方式
CCD一般输出信号为负极性视频信号,对CCD输 出信号的处理方式很多,典型的用于检测和控制 的信号处理方式如下: 1。CCD-放大-二值化处理-计数 2。CCD-放大-滤波-比较整形-高频填脉冲- 计数 3。CCD-放大-同步采样保持-高速A/D转换-存 储-计算机图像处理 4。CCD-放大-滤波-变成全电视信号-存储 (面阵CCD)
08第八章 前照灯检测
第八章 前照灯检测前照灯是汽车在夜间或在能见度较低的条件下,为驾驶员提供行车道路照明的重要设备,而且也是驾驶员发出警告,进行联络的灯光信号装置。
所以前照灯必须有足够的发光强度和正确的照射方向。
由于在行车过程中,汽车受到震动,可能引起前照灯部件的安装位置发生变动,从而改变光束的正确照射方向,同时,灯泡在使用过程中会逐步老化,反射镜也会受到污染而使其聚光灯性能变差,导致前照灯的亮度不足。
这些变化,都会使驾驶员对前方道路情况辨认不清,或在对面来车交会时造成对方驾驶员眩目等,从而导致事故的发生。
因此,前照灯的发光强度和光束的照射方向被列为机动车运行安全的检验项目。
8.1 前照灯检测仪的结构与工作原理8.1.1 投影式前照灯检测仪结构与工作原理仪器主体由车架和受光箱两部分构成。
受光箱用以接受被检前照灯的光束并进行检测。
受光箱安装在车架上,可沿立柱由电动机驱动(或摇动手轮)上下移动,并可在地面上沿轨道左右移动,外形结构见图8-1。
由被检前照灯发出的光束经聚光镜会聚后,由反射镜反射到屏幕上。
屏幕呈半透明状态,在屏幕上可看到光束的光分布图形。
该图形近似于在10米屏幕上观察的光分部特性。
屏幕上对称分布五个光检测器,如图8-2所示。
№1及№2用以检测垂直方向的光分布,其输出电流经转换成电压后,连接到垂直方向的指示表上。
通过旋转上下刻度盘,使反光镜移动,从而使№1及№2输出信号相等,上下指示表指示为零。
此时上下刻度盘指示出光轴偏移量的数值。
№3及№4用以检测左右方向的光分布情况,其原理同上。
由左右刻度盘指示出光轴偏移量。
№5用以检测发光强度,其输出放大后由发光强度指示表指示发光强度数值。
图8-1 投影式前照灯检测仪整体结构电源开关左右表瞄准器发光强度表 上下表 显示 上下刻度盘 聚光透镜钢卷尺转动箱 底座加油孔水平调节偏心轴前齿条立柱 左右刻度盘 后立柱 光接收箱 对准旋钮 手轮拉手图8-2 光接受箱内部结构图和硅光电池板8.1.2 自动跟踪光轴式前照灯结构与工作原理(单测远光)仪器外形如图8-3所示。
CCD
基于CCD图像传感技术的指纹、人像识别仪 图像传感技术的指纹、 基于 图像传感技术的指纹
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CCD电荷耦合器件特点 电荷耦合器件特点
1. 集成度高、体积小、重量轻 功耗低、 集成度高、体积小、重量轻、 不同于大多数以电流、 、功耗低、可靠性高 不同于大多数以电流、电压为信号载体的传 感器,CCD电荷耦合器件最突出的特点是以电 感器,CCD电荷耦合器件最突出的特点是以电 荷作为信号载体。 2. 空间分辨率高 荷作为信号载体。 3. 4.
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电荷耦合——通过相邻电极间的电平改变而产 通过相邻电极间的电平改变而产 电荷耦合 生势阱,使电荷在CCD势阱间耦合。 势阱间耦合。 生势阱,使电荷在 势阱间耦合
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CCD工作原理及特性 工作原理及特性
CCD基本结构是由 基本结构是由MOS光敏元列阵和读出移位寄存器组 基本结构是由 光敏元列阵和读出移位寄存器组 的电极就是MOS结构的栅极,CCD的金属栅极一个个 结构的栅极, 成.CCD的电极就是 的电极就是 结构的栅极 的金属栅极一个个 紧密排列,若干电极为一组,构成一“ 紧密排列,若干电极为一组,构成一“位”,每位有多少个电 极就对应有多少个独立的驱动时序,称作: 极就对应有多少个独立的驱动时序,称作:“相”。
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在三个电极上分别施加三相时钟脉冲波φ1φ2 在三个电极上分别施加三相时钟脉冲波 Φ3, 三相时钟脉冲波形如图所示。 , 三相时钟脉冲波形如图所示。
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信号输出: 列阵的末端制作一个N+区 信号输出:在CCD列阵的末端制作一个 区,形成反向偏置二极 列阵的末端制作一个
ccd的原理及应用
1. CCD的原理及应用1.1 CCD是什么CCD(Charge-Coupled Device)是一种设备,用于将光信号转化为电信号并进行图像捕捉。
它由大量光敏元件组成的阵列构成,每个元件可以存储并转移电荷,这些电荷代表从光信号中获得的信息。
1.2 CCD的原理CCD的原理是基于光电效应和电荷耦合效应。
当光照射到CCD上时,光子会击中光敏元件,将能量转化为电荷。
这些电荷被存储在元件的电容中,并依次传递到相邻元件中。
通过逐行读出和放大这些电荷,最终形成一个完整的图像。
2. CCD的应用CCD技术在许多领域中得到广泛应用,下面将介绍几个重要的应用领域。
2.1 数字摄影CCD作为数字相机的核心部件,被广泛用于数字摄影领域。
CCD的高灵敏度和高分辨率使得它能够捕捉到细节丰富的图像。
此外,CCD还具有较低的信噪比,能够在较暗的环境中获取清晰的图像。
2.2 星空观测天文学家利用CCD技术进行星空观测。
CCD相较于传统的感光片,具有更高的灵敏度和动态范围,能够捕捉到更加微弱的星光信号,并提供更准确的测量和分析数据。
CCD在天文学研究中发挥着重要的作用,帮助我们深入了解宇宙的奥秘。
2.3 显微镜图像拍摄在生命科学和材料科学中,CCD技术被广泛应用于显微镜图像的拍摄和分析。
CCD的高灵敏度和分辨率使得显微镜能够观察到微观领域内的微小细节。
结合图像处理技术,CCD在显微镜研究中发挥着重要的作用。
2.4 光学测量CCD技术广泛应用于光学测量领域,例如粒子测量、位移测量和形貌测量等。
CCD的高灵敏度和高速度使其能够捕捉到瞬时变化的光学信号,并提供准确的测量结果。
2.5 光谱分析CCD技术在光谱分析中也发挥着重要作用。
光谱仪通过将光分散成不同波长的光,并使用CCD进行捕捉和分析,可以获取不同物质的光谱信息。
这项技术在化学、物理和生物学等领域中被广泛应用。
3. 总结CCD作为一种将光信号转化为电信号的设备,具有高灵敏度和高分辨率的特点,被广泛应用于数字摄影、星空观测、显微镜图像拍摄、光学测量和光谱分析等领域。
CCD图象传感器的应用
§8—4 CCD图象传感器的应用一.CCD的七个应用领域1.小型化黑白、彩色TV摄像机这是面阵CCD应用最广泛的领域。
日本松下CDT型超小型CCD彩色摄像机,直径17mm,长48 mm,使用超小型镜头,重量54g,深受欢迎。
典型TV用IS尺寸:7×9 mm2,480×380像元。
2.传真通讯系统用1024~2048像元的线阵CCD作传真机,可在不到一秒钟内完成A4开稿件的扫描。
3.光学字符识别IS代替人眼,把字符变成电信号,进行数字化,然后用计算机识别。
重庆大学1985年的CD-1型OCR机,识别率达99.9﹪。
4.广播TV用SSIS(Solid State Imaging Sensor固态图象传感器)代替光导摄像管。
1986年柯达公司已推出140万素的IS,尺寸7×9 mm2,比电视图象信号多4倍以上。
5.工业检测与自动控制这是IS应用量很大的一个领域,统称机器视觉应用。
①.在钢铁、木材、纺织、粮食、医药、机械等领域作零件尺寸的动态检测,产品质量、包装、形状识别、表面缺陷或粗糙度检测。
②.在自动控制方面,主要作计算机获取被控信息的手段。
③.还可作机器人视觉传感器。
6.可用于各种标本分析(如血细胞分析仪),眼球运动检测,X射线摄像,胃镜、肠镜摄像等。
7.天文观测①.天文摄像观测②.从卫星遥感地面如:美国用5个2048位CCD拼接成10240位长取代125mm宽侦察胶卷,作地球卫星传感器。
③.航空遥感、卫星侦察如:1985年欧洲空间局首次在SPOT卫星上使用大型线阵CCD 扫描,地面分辨率提高到10m。
还在军事上应用:微光夜视、导弹制导、目标跟踪、军用图象通信等。
二.尺寸测量1.微小尺寸的检测(10~500μm)(一)原理用衍射的方法对细丝、狭缝、微小位移、微小孔等进行测量。
原理: 当满足远场条件L ﹥﹥d 2/λ时,根据夫琅和费衍射公式可得到d=K λ/Sin θ (1)式中:d ——细丝直径;K ——暗纹周期K=±1,2,3…;λ——激光波长;L ——被测细丝到IS 光敏面的距离;θ——被测细丝到第K 级暗纹的连线,与光线主轴的夹角;当θ很小时(即L 足够大时)Sin θ≈tg θ= X k /L 代入(1)式得 d=K X L K λ=K X L K /λ=SLλ …………..(2) S ——暗纹周期,S=X K /K 是相等的,则测细丝直径d 转化为用CCD 测S 误差分析:S SLL SSL d ∆+∆+∆=∆2λλλ由于激光波长误差λ∆很小﹙<10—5λ=,可忽略不计,则S S LL Sd ∆+∆=∆2λλ(或者用随机误差的形式合成)例:He-Ne 激光λ=632.8nm, L=1000mm ±0.5mm, d=500μm,则根椐(2)式: S= SLλ=32361010510108.632--⨯⨯⨯⨯ =1.265 (mm ) 当CCD 像元选用13±1μm ,则ΔS=m μ10)1(1002=±⨯ 测量误差 S SLL Sd ∆+∆=∆2λλ=)(S SLL S∆+∆λ=)265.1101010005.0265110863236--⨯⨯+⨯(。
光电检测 第八章 固体成像器件
辒入栅的偏置电压,Uth为硅材料的阈值电压,μ为载流
子的迁秱率,Cox为注入栅IG的电容。
8.1
电荷耦合器件
经过Tc时间注入后,CR2下势阱的信号电荷量为
W Cox Qs ( U in U iD U th ) 2 Tc (8-5) Lg 2
可见这种注入斱式的信号电荷Qs,丌仅依赖于Uin和 Tc,而且不辒入二极管所加偏压的大小有关。因此 ,Qs不Uin没有线性关系。 用作信息存储和处理时,采用电注入的斱式辒 入电荷。信号电荷来自先注入时,也需要电注入电 路在零信号时注入少量电荷(即“胖零”模式)。
比。如图(a)所示为空势阱的情冴。图 (b)所示为反
型层电荷填充1/3势阱时
第 八 章 固 体 成 像 器 件
表面势收缩的情冴,当反型
层电荷继续增加,表面Φs 将逐渐减小,反型层电荷 足够多时,表面势Φs减小到最低值ΦF,如图(c)所示
8.1
电荷耦合器件
此时,表面势丌再束缚多余的电子,电子将产生 “溢出”现象。这样,表面势可作为势阱深度的量度, 而表面势又不栅极电压、氧化层厚度dox有关,即不
电极和②电极共有。如图(c)
所示。
8.1
电荷耦合器件
t=t3时,各电极上的电压如图 (d)所示,此时①电极上的电压 由+10 V发为+2V,下面的势 阱由深发浅,势阱内电荷开始 秱入②电极下的深势阱中。
第 八 章 固 体 成 像 器 件
深势阱仍①电极下秱动到②
电极下面,势阱内的电荷也向
右转秱(传辒)了一位。如图
得规频信号;不真空成像器件丌同,固体成像器件本
身就能完成先学图像转换、信息存储和按顺序辒出
(称自扫描)规频信号的全过程。
第八章CCD应用(1)
11
3.第二代像增强器——微通道板像增强器
微通道板(Micro Channel Plate)一种二维高增益电子
倍增器,简称MCP。
微通道板的剖面/截面结构示意图
12
微通道板的结构:微通道板是由上百万个平行而紧密排列 的微细空心含铅玻璃纤维(微通道)组成的二维阵列。通 道内壁覆盖一层具有较高二次电子发射系数的薄膜,两个
比是微不足道的。电子轰击型CCD器件采用电子从“光阴极”
直接射入CCD基体的成像方法,简化了光子被多次转换的过 程,信噪比大大提高,与ICCD相比,电子轰击型CCD具有体 积小、重量轻、可靠性高、分辨率高及对比度好的优点。
26
4.多帧累积型微光CCD摄像器 (1)目标物体是静止的,各帧图像在同一空间位置的信号是 相同的,设为Vs,各帧信号之间的相关系数Cv=1,m帧图 像积累后信号功率为 S [V ]2 [m V ]2 m 2V 2 Si S S
19
微光像增强器与CCD有三种耦合方式: 1)光纤光锥耦合方式
光纤光锥也是一种光纤传像器件,一头大,一头小,利用纤维
光学传像原理,可将微光管光纤面板荧光屏(通常, 有效为 18、 25或 30mm)输出的经增强的图像,耦合到CCD光敏面(对角线尺寸 通常是12.7mm和16.9mm)上,从而可达到微光摄像的目的。 这种耦合方式的优点是荧光屏光能的利用率较高,理想情况下, 仅受限于光纤光锥的漫射透过率(≥60%)。缺点是需要带光纤面板输 入窗的CCD;对背照明模式CCD的光纤耦合,有离焦和MTF下降 问题。此外,光纤面板、光锥和CCD均为若干个像素单元阵列的离 散式成像元件,因而,三阵列间的几何对准损失和光纤元件本身的 疵病对最终成像质量的影响等都是需要考虑的问题。
CCD的应用12131
CCD的应⽤12131CCD的应⽤⼀、概述CCD(Charged Coupled Device)于1969 年在贝尔试验室研制成功,后由⽇、美等国公司开始量产,期间从初期的10 多万像素已经发展⾄⽬前主流应⽤的500 万像素。
CCD 分为线型与⾯型两种,其中线型应⽤于影像扫瞄器及传真机上,⽽⾯型主要应⽤于数码相机(DC)、摄录影机、监视摄影机等影像产品上。
对于⾯型CCD,根据其⼯作⽅式⼜分为:帧转移型,⾏间转移型和⾏帧转移型三种,根据其扫描⽅式⼜分为全帧和隔⾏两种,全帧型多⽤于专业级, 隔⾏多⽤于民⽤级。
⼆、CCD的特点1、⾼解析度:像点的⼤⼩为µm 级,可感测及识别精细物体,提⾼影像品质。
从早期1 ⼨、1/2 ⼨、2/3 ⼨、1/4 ⼨到现在的1/9 ⼨,像素数⽬已从初期的10多万增加到千万像素,以后还有继续增加的趋势。
2、低噪声⾼敏感度:CCD具有很低的读出噪声和暗电流噪声,因此有⽐较⾼的信噪⽐(SNR),同时具有⾼敏感度0 . 0003~0 . 0005LUX 甚⾄0LUX 低光度的⼊射光也能检测到,其信号不会被噪声掩盖,所以CCD 的应⽤基本不受⽓候的限制;3、动态范围⼴:通过数字处理的CCD 信号, 其动态范围可达到400%, 专业级可达到600%, 可同时适⽤于强光和弱光,提⾼系统环境的使⽤范围,不因亮度差异⼤⽽造成信号反差现象;4、良好的线性特性曲线:⼊射光源强度和输出信号⼤⼩成良好的正⽐关系,能很好地反映被摄图像的细节层次,降低信号补偿处理成本;5、光⼦转换效率⾼:很微弱的⼊射光照射都能被记录下来,若配合影像增强管及投光器,即使在⿊夜远处的景物仍然还可以拍摄到;6、⼤⾯积感光:利⽤半导体技术已可制造⼤⾯积的CCD 晶⽚,⽬前与传统胶⽚尺⼨相当的35mm 的CCD 已经开始应⽤在数码相机中,成为取代专业光学相机的关键元件;7、光谱响应⼴:从0.4~1.1µm, 能检测很宽波长范围的光,增加系统使⽤弹性,扩⼤系统应⽤领域;当然根据不同的应⽤场合和要求,需⽤滤⾊⽚或复合滤⾊⽚;8、低影像失真:使⽤CCD 感测器,其图处理不会有失真的情形,使原物体表⾯信息忠实地反应出来;9、体积⼩、重量轻:CCD 具备体积⼩且重量轻的特性, 应⽤⼴泛.10、低耗能,不受强电磁场影响;11、电荷传输效率佳:该效率系数影响信噪⽐、解像率,若电荷传输效率不佳,影像将变得较模糊;12、可⼤批量⽣产,品质稳定,坚固,不易⽼化,使⽤⽅便及保养容易。
CCD基本原理与应用
由上图可看出:CMOS和CCD最大的区别是 CMOS的 电荷到电压转换过程是在每个像素上完成的
电路更改 速度 噪声 灵敏度 功耗 成本
CCD与CMOS比较
CCD 方便 慢 好 好 毫安级 高
CMOS 固定 快 差 差 微安级 低
为实现信号电荷的转换: 1、必须使MOS电容阵列的排列足够紧密,以致相
邻MOS电容的势阱相互沟通,即相互耦合。 2、控制相邻MOS电容栅极电压高低调节势阱深浅,
使信号电荷由势阱浅处流向势阱深处。 3、在CCD中电荷的转移必须按照确定的方向。
CCD 的工作过程
3. 电荷可以被有秩序地转移出感光区域。
Serial Register
Full Frame
Preamplifier
Active Array
Output Node
ADC
Serial Register
Full Frame
Preamplifier
Active Array
Output Node
Serial Register
Full Frame
Preamplifier
Active Array
Output Node
彩色的形成
利用BAYER滤光片,让相临四个像素分别只能接收一 色光。每个像素输出的信息只是相应色光的灰度值,之后通 过软件合成为彩色。
每四个像素形成一个单元,一个负责 过滤红色、一个过滤蓝色,两个过滤 绿色(因为人眼对绿色比较敏感)
Go 输出
SiO2
N+
1
2
62
63
64
P型衬底
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第八章 CCD应用举例37 总目录
8.1 CCD用于一维尺寸的测量
直径 条码 测量 识别
8.2 CCD用于轨道振动的非接触测量
8.3 CCD高精度细丝直径测量系统
8.4 线阵CCD在扫描复印中的应用 8.5 CCD用于数码相机
8.6 彩色线阵的工程应用
CCD应用举例
光学基础知识
1.焦点与焦面
像方焦点:无限远轴上的物点所对应的像点Fˊ
● 孔径光阑
限制成像光束大小的光阑
● 视场光阑
限制成像范围大小的光阑
物
L
A.S.
像
孔径光阑
视场光阑
y'
F
光学基础知识
❖ 入射光瞳——孔径光阑经其前面的光组在光学系统物空间 所成的像。入射光束的入口。 入瞳
❖ 出射光瞳——孔径光阑经其后面的光组在光学系统像空间 所成的像。出射光束的出口。 出瞳
❖ 主光线——由轴外一物点发出并通过入瞳中心的光线叫主 光线。
物方焦点:无限远轴上的像点所对应的物点F
物方焦面:过物方焦点的垂轴平面 像方焦面:过像方焦点的垂轴平面
焦距
A
A
(物方焦点) F
F/(像方焦点)
物方焦平面
垂轴放大率公式 (横向放大率)
β l l
像方焦平面 定义为像高与物高之比。
光学基础知识
光学系统中,对光束起限制作用的光学元件称为光阑。如透 镜的边框、光孔等。
照明系统
照明系统主要由光源和聚光镜组成。 照明系统的作用是为了使目标物得到充分地照明,以保证像平 面有足够的照度。 光源经过聚光镜后,成像于物平面上的照明方法,称为临界照明。
优点:亮度高,结构简单(若忽略光能的损失,则光源像的亮度与
光源本身相同,因此,这种方法相当于在物平面上放置光源)
缺点:照度不均匀(如果光源表面亮度不均匀,或明显地表现出细小的
④ 如果物体B1B2 沿光轴方向有所移动,不在位置A1处, 而在位置A2处时, 那么它的像面B1′ B2′ 将与光电器件接受面不重合,在光电器件上得到 的是B1′ B2′ 点的投影像。
⑤ 由于 B1′ B2′ 与M1M2 二者不重合, 使像点B1′ 、B2′ 在M1M2上形成弥 散斑。其中心仍为M1和M2点,按此投影像读出的长度仍为M2M1。这 就是说,上述物距改变并不影响测量精度。
被测玻璃管的最大外径,为28mm±0.4mm 壁厚的测量精度要求较高,为±0.05mm 因此,系统的测量范围应大于28.4mm
TCD1206UD线阵CCD为光电探测元件 它的像敏单元尺寸为0.014mm×0.014mm 像敏区的总长度为30.24mm 满足测量系统对视场与测量精度的要求
二值化电路
采用浮动阈值二值化
经过二值化电路进行二值处理,分出外径和壁厚信号。将外径、壁厚信
号送入到计算机数据采集系统,并在软件的支持下计算出玻管外径和壁厚值, 再与公差带值比较,得到偏差量。然后,一方面保存所测得的偏差量,另一 方面根据偏差的情况给出调整玻璃管的拉制速度和吹气量等参数,随时调节 玻璃管,并进行分选,将不合格的玻璃管淘汰。
S
t
[N1
(t)
N1(0)] [N2(t)
2N2(t) N1(t)
N2
(0)]
W
利用上式可以得到铁轨在垂直方向上振动的位移S(t)曲线。
检测原理
CCD的位置检测
为标定和检验轨道振动 的测量仪器,将黑白条标 志贴在标准的液压振动台 上。该振动台可以产生已 知振幅和频率的正弦波震 动。
图12-35所示为轨道振动测量仪对标准振动台进行实测所得到 的实测振动波形。根据实测数据分析,该仪器的振幅测量范围 为0.1~200mm,测量精度优于0.lmm。
式中,L0为线阵CCD的像敏单元中心距,β为光学系统放大倍数
照明系统
☆玻璃管能否得到均匀照明对测量结果有 很大影响 ☆成像系统采用了物方远心光路 ☆照明系统需用柯拉照明与之相匹配 ☆光源为12V、100W的白炽钨丝灯,灯丝 尺寸为4mm×3mm
线阵CCD的选择
测量范围和测量精度是选择CCD的主要依据
用线阵CCD光电传感器对铁轨的震动进行非接触的测量方 法,该方法适用于桥梁等构件振动的非接触测量。
运用光学、电子学、CCD光电传感技术与微机数据处理技 术相结合,克服了接触式测量方法的缺点,同时,能进行多点 振动的测量,具有造价低、灵敏度高、安全性好等优点。
8.2 CCD用于轨道振动的非接触测量
铁轨受到机车的激励会产生受迫振动,当振 动量级过大时会使铁轨产生裂纹、疲劳、断 裂、接触面磨损、紧固件松动,从而提前报 废,严重时甚至会造成车毁人亡的惨痛事故, 因此在机车行车过程中对铁轨的振动状况检 测已成为铁路部门的重要课题。
人眼与照相机
眼睛如同一只自动变焦和自动 改变光圈大小的照相机。从光学角 度看,眼睛中三个最重要的部分是 水晶体、瞳孔和网膜,它们分别对 应与照相机中的镜头、光阑和底片。
8.1 CCD用于一维尺寸的测量
图像传感器用于尺寸测量的技术是非常有效的非接触检测 技术,广泛地应用于各种工件的在线检测和高精度、高速度的 检测技术领域。
① 在物镜L 的像方焦平面F′处设置孔径光阑, 即物镜的出瞳, 其入瞳位于物 方无限远处。
② 物体B1B2上各点发出的光束经物镜L后, 其主光线通过光阑中心所在的 像方焦点F′ , 而其物方主光线均平行于光轴。
③ 如果物体B1B2正确地位于光电器件接受面 M1M2 相共轭的位置A1 处, 则在光电器件上像的长度为M1M2;
轨外侧的黑底白条图案经光学成像物镜成像到线阵CCD的光敏 面上,线阵CCD的输出端将得到如图所示的输出信号U0。
线阵CCD输出的U0信号经二值化电路处理后得到图所示的二 值化方波脉冲,脉冲的前沿对应于黑白边N1,而后沿对应于白黑 边N2。任一时刻白条中心值N应为
N t N1 t N2 t
2
设轨道在没有受到机车的冲击时的初始(t=0时)位置为 N(t)=N(0),当轨道受激振动时(t≥0),轨道上的白条图像在线 阵CCD的像敏单元阵列上做上、下的振动。线阵CCD不断地输 出白条像在像面上不同位置的视频信号U0。经二值化处理电路 得到每个积分时间内的二值化方波,经数据采集电路得到轨道
系统组成:线阵CCD. 光学成像系统. 计算机数据采集与处理
特点: ➢高分辨率、高灵敏度 ➢自扫描、非接触 ➢结构紧凑 ➢无需配合复杂的机械运动结构
一维尺寸的测量实例——玻璃管外径、壁厚尺寸测量仪器设计 用于玻璃管生产线,对相关尺寸进行实时监测,控制生产过程.
线阵CCD非接触外径测量仪典型应用:石英玻璃管成品测量仪 精度要求为0.01mm; 直径测量范围:20-50mm; 壁厚测量范围:1.65-9.5mm; 管长测量范围:1000-1600mm;
• CCD测出的是被测物体像的尺寸。
• 由于光学成像系统的横向放大倍率为β,所
以被测物体的尺寸
• 式中,D/为被测物的像的尺寸;n为所测的 脉冲数;M为脉冲当量(当用CCD的复位脉 冲作计数脉冲时,脉冲当量M为CCD的象元 中心距);β为光学成像系统的放大倍数。
玻璃管测量工作波形图
玻璃管外径的值 玻璃管的壁厚
对CCD像面的光强进行采样,以便消除背景光的 不稳定带来的影响
VCCd
峰值保持
Vth
缓冲级 CR
缓冲级 RW
R2
VH
R1
阈值比较器
Vbin
图 3 浮动阈值电路
浮动阈值 固定阈值
正确二值化波形 不正确二值化波形
8.2 CCD用于轨道振动的非接触测量
振动测量与试验一直是工程技术界重视的课题,对于航空 航天、动力机械、交通运输、军械兵器、能源工业、土木建筑、 电子工业、环境保护等尤为重要。
另外还完成石英玻璃管的 截面积、椭圆度、偏壁度、 弯曲度、管重等参数的测 量
一维尺寸的测量实例——玻璃管外径、壁厚尺寸测量仪器设计
(一) 玻璃管内、外径尺寸测量控制仪器的技术要求
(1) 被测的玻璃管外径尺寸分为Φ20mm,Φ28mm两种, 整 个测量仪器的测量范围应大于28mm; (2) 仪器测量精度的要求分别为外径Φ20土0.3mm, Φ28土 0.4mm,壁厚1.2土0.05mm,2土0.07mm; (3) 仪器显示内容分别为实测玻璃管的直径、玻璃管的壁厚 值、上下偏差值及超差报警; (4) 仪器执行的过程控制为:玻璃管拉制速度、吹气量及玻 璃管产品的质量的筛选等控制。
位置N(t)值。
N(t)值与轨道的时间位移量S(t)的关系为 S t [N (t) N 0] l
式中,l为CCD两相邻像元的中心距;
β 为光学成像系统的横向放大倍率。 N 0 N1 0 N2 0
2
β可以通过已知的白条宽度W随时进行标定
l N2 t N1 t
W
从而得到时间位移量S(t)与测量值N1 (t)与N2 (t)的关系
结构,如灯丝等,则会使物体表面照度不均匀,从而使接受器上的光能量分布 不均匀,而影响成像质量和测量精度 )
照明系统
为了克服临界照明中物面光照度不均匀的缺点,采用柯拉照明。 柯拉照明:将光源成像在物镜的入射光瞳处。
柯拉镜
光源经柯拉镜成像在视场光阑处;柯拉镜经聚光镜成像于物 平面上;聚光镜把它焦点处的视场光阑成像于无限远,与成 像物镜的入瞳重合(设物镜的入瞳位于无限远)。
测试系统组成
CCD的选择: TCD1500C 5340像元 7*7um
检测原理: 铁轨外侧贴黑底白条,经光学系统成像(透镜部分) 到CCD光敏元上,振动改变白条在CCD的像移动,
关系式: S=(N-N0)•L/β
其中:S为轨道位移,β为光学系统放大系数,N为白条 像中心对应的值
8.3 CCD高精度细丝直径测量系统
1. 概念: 为了消除像平面位置的放置误差而引起的测量误差,在物镜的 像方焦平面上加入一个光阑作为孔径光阑,入瞳则位于物方无 穷远,称为“物方远心光路”。