4F-DF外层干菲林工程培训
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保护. 2.防止氧气进入阻剂层,由于曝光后聚合反应将继续进
行,氧气进入会与自由基发生反应形成非活性的过氧 化物，阻止聚合反应的进行，使聚合过程停止造成 曝光聚合不足。
干膜各层作用
聚乙烯隔膜 避免卷膜、运输、储存时，干膜药膜与保护膜
之间相互粘贴，(厚度25µ m-30µ m，测本公司 干膜隔膜27µ m)
磨
钢
板
钢
磨
磨Leabharlann Baidu
钢
钢
磨
磨板的控制
磨辘的安装-要求
磨辘的转动方向应与磨辘上标识方向一致。
磨辘与钢辘的接触点应与其它运输保持在一条水 平线上。 安装磨辘人员应戴手套，避免油污污染磨板机。 磨辘安装完成之后清洁磨板机。 磨辘安装完成应作磨痕测试，检查钢辘与磨辘是 否水平。
磨板的控制
C、磨痕测试 磨痕测试结果可以直接反映磨板机工作情况，由此可以 分析到钢辘与磨辘是否平行，磨辘是否到使用寿命，功率 表数据是否有太大偏差，避免磨板过度或磨板不良。
五、无尘房的控制
无尘房需控制的条件
温度 湿度 压力 空气中尘粒含量 光线
温度控制
a. 温度过高，干膜容易融边，而且干膜 溶剂挥发影响贴膜效果。
磨板效果图附后
磨板效果图 板面氧化.油污.手指印等
磨板前板
磨板
磨板后板
磨板的控制
A、磨辘的选择：根据磨料粒度的大小区分 *沉铜粗磨一般选择180-320#刷 *外层干菲林精磨一般选择380-600#刷子 *磨辘主体是尼龙丝，磨料有：Sic、AI2O3
磨板的控制
B、磨辘的安装 磨辘的转动方向应与磨辘上标识方向一致，安装磨辘人员 应戴手套，避免油污污染磨板机。磨辘安装完成之后清洁 磨板机，作磨痕测试，检查钢辘与磨辘是否水平。 附图：
分 a. 感光增色：曝光后颜色加深。 类 b. 感光褪色：曝光后颜色变浅。
化学成分作用
6.热阻聚剂 干膜在生产及应用过程中很多步骤需接受高温，为 阻止热能使干膜发生聚合作用而加入热阻聚剂
7.溶剂 将各有效成份溶解，丙酮、酒精。
干膜反应过程
启始剂吸收UV光的能量后，先自行分裂产生自由 基，自由基引发光聚反应，形成交联聚合物，不溶 于显影液，而未曝光的光阻膜被显影液剥去，聚合 成像部分，保留在铜面上。
F、影响磨板质量的主要因素 a.磨辘型号及材料 b.磨轮转速(线速度相对稳定，大约12m/Sec,转速与磨辘 的直径有关，125mm直径转速一般在1800-2000min-1。) c.输送速度 d.功率或磨痕 e.磨辘、钢辘及运输轮的水平。 f.摇摆(3-10mm)摇摆可以减少板面粗糙度的方向性改善 板面质量，延长磨辘的使用寿命。)
光阻膜层(药膜层) 光聚反应的主体
干膜化学组成
1.粘合剂 2.光聚合反应单体
3.感光启动剂(光引发剂) 4.促化剂与附着力促进剂 5.染料 6.热阻聚剂 7.溶剂
化学成分作用
1.粘合剂 *将干膜各组份粘结成膜，是光阻层的骨架，主要 影响膜层的物理性能， 在光聚合过程中不参与化学反应，但其决定光阻剂 是属于溶性、半水溶 性和溶剂性干膜，粘洁剂决定干膜的Tg点。 2.光聚合反应单体 *聚合反应主体，单体吸收自由基后进行聚合反应 形成商分小聚合体。
B Part: 光阻膜层 Photopdlymer Film Resist C Part:聚乙烯隔膜、贴膜时撕去Polyettylenc
Separator Sheet 厚度1mil 附图于下一页
干膜结构-附图
聚醋盖膜(保护膜) 光阻膜层
聚乙烯隔膜
干膜各层作用
聚酯保护膜： 1. 保护作用，防止擦花药膜，尤其是贴膜到冲影前的
D、用水喷淋磨辘作用 洗去磨辘上的铜粉，冷却湿润磨辘，防止尼龙丝过热而 熔化。要求：喷淋角度在板与磨辘之间45O处。
磨板的控制
E、磨板后质量检查 a.目检板面是否有氧化、水迹、污物． 板面清洁度 。 b.水膜测试 测试方法：取板面清洁处理后的板，用水浸湿板面并垂直 放置，用秒表测量水腊膜破裂的时间,一般在精磨时采用 处。 c.板面粗糙度：经磨板后的板面粗糙程度(2.0µ m左右).
化学成分作用
3.感光启动剂 感光启始剂吸收特定波长紫外光(一般320-400nm), 启动剂自行裂解而产生自由基，为聚合反应提供条 件。 4.促化剂与附着力促进剂 增进光阻层与铜面之间的附着力，防止粘结不牢而 引起的渗 镀与甩膜。
化学成分作用
5.染料
目 的
a. 干膜本身制造时，方便进行检查。 b. 曝光前后有明显颜色变化，便于已曝光 板与未曝光的区分及目检。
外层干菲林工程培训内容
一、干膜知识 二、干膜工序的职能 三、工序流程 四、磨板段 五、无尘房的控制 六、贴膜段 七、曝光段 八、菲林制作 九、显影段 十、问题原因分析及改善措施
一、干膜知识
1968年由杜邦公司研制并用于线路板行业(非水溶性 干膜，溶剂型；显影用三氯乙烷，退膜用二氯甲烷)。( 缺点：需消耗大量有机溶剂，污染大，成本高)
* 行业界人员定义一些参数衡量粗糙度如 Ra;表面取样长度内基准线上所有距离绝对值 的算术平均值;一般0.2-0.4µ m.Rt;表面取样长度内最高峰顶和最低谷度之间的距离 1.5-3.0µ m一般用目视法估计，较少用科学仪器检测。粗糙度由：磨刷材料，磨料粒度， 磨板时的功率等共同决定。
磨板的控制
流程图
紫外光照射
单体吸收自由基 出现自由基 启始剂裂解
单体发生光聚反应形成聚合体
显影
二、干膜工序的职能
将菲林上的外层线路图像，转移到已 完成沉铜或板电镀工艺的覆铜板上，形 成抗电镀干膜图像。
三、工序流程-附图
磨板
贴膜
曝光
菲林制作
检查
冲影
四、磨板段
磨板作用
a.除去板面的氧化，油污，手指印，及其 它污物。 b.在板面上形成微观粗糙表面，增大干膜 与板面积，使干膜有更好的附着力。 c.提供烘干后的干燥板面。
1970年研制出一种半水溶性干膜，显影.退膜用水溶 液(添加2-15%有机溶剂.BCS)，成本.污染有很大改善。
1978年改进为全水溶性干膜，显影用K2CO3.Na2CO3, 退膜用KOH.NaOH，其成本更低，污染更小，品质更好。
干膜结构
A Part: 聚醋盖膜(保护膜)冲影时撕去 1milPolyester Cover Sheet
行,氧气进入会与自由基发生反应形成非活性的过氧 化物，阻止聚合反应的进行，使聚合过程停止造成 曝光聚合不足。
干膜各层作用
聚乙烯隔膜 避免卷膜、运输、储存时，干膜药膜与保护膜
之间相互粘贴，(厚度25µ m-30µ m，测本公司 干膜隔膜27µ m)
磨
钢
板
钢
磨
磨Leabharlann Baidu
钢
钢
磨
磨板的控制
磨辘的安装-要求
磨辘的转动方向应与磨辘上标识方向一致。
磨辘与钢辘的接触点应与其它运输保持在一条水 平线上。 安装磨辘人员应戴手套，避免油污污染磨板机。 磨辘安装完成之后清洁磨板机。 磨辘安装完成应作磨痕测试，检查钢辘与磨辘是 否水平。
磨板的控制
C、磨痕测试 磨痕测试结果可以直接反映磨板机工作情况，由此可以 分析到钢辘与磨辘是否平行，磨辘是否到使用寿命，功率 表数据是否有太大偏差，避免磨板过度或磨板不良。
五、无尘房的控制
无尘房需控制的条件
温度 湿度 压力 空气中尘粒含量 光线
温度控制
a. 温度过高，干膜容易融边，而且干膜 溶剂挥发影响贴膜效果。
磨板效果图附后
磨板效果图 板面氧化.油污.手指印等
磨板前板
磨板
磨板后板
磨板的控制
A、磨辘的选择：根据磨料粒度的大小区分 *沉铜粗磨一般选择180-320#刷 *外层干菲林精磨一般选择380-600#刷子 *磨辘主体是尼龙丝，磨料有：Sic、AI2O3
磨板的控制
B、磨辘的安装 磨辘的转动方向应与磨辘上标识方向一致，安装磨辘人员 应戴手套，避免油污污染磨板机。磨辘安装完成之后清洁 磨板机，作磨痕测试，检查钢辘与磨辘是否水平。 附图：
分 a. 感光增色：曝光后颜色加深。 类 b. 感光褪色：曝光后颜色变浅。
化学成分作用
6.热阻聚剂 干膜在生产及应用过程中很多步骤需接受高温，为 阻止热能使干膜发生聚合作用而加入热阻聚剂
7.溶剂 将各有效成份溶解，丙酮、酒精。
干膜反应过程
启始剂吸收UV光的能量后，先自行分裂产生自由 基，自由基引发光聚反应，形成交联聚合物，不溶 于显影液，而未曝光的光阻膜被显影液剥去，聚合 成像部分，保留在铜面上。
F、影响磨板质量的主要因素 a.磨辘型号及材料 b.磨轮转速(线速度相对稳定，大约12m/Sec,转速与磨辘 的直径有关，125mm直径转速一般在1800-2000min-1。) c.输送速度 d.功率或磨痕 e.磨辘、钢辘及运输轮的水平。 f.摇摆(3-10mm)摇摆可以减少板面粗糙度的方向性改善 板面质量，延长磨辘的使用寿命。)
光阻膜层(药膜层) 光聚反应的主体
干膜化学组成
1.粘合剂 2.光聚合反应单体
3.感光启动剂(光引发剂) 4.促化剂与附着力促进剂 5.染料 6.热阻聚剂 7.溶剂
化学成分作用
1.粘合剂 *将干膜各组份粘结成膜，是光阻层的骨架，主要 影响膜层的物理性能， 在光聚合过程中不参与化学反应，但其决定光阻剂 是属于溶性、半水溶 性和溶剂性干膜，粘洁剂决定干膜的Tg点。 2.光聚合反应单体 *聚合反应主体，单体吸收自由基后进行聚合反应 形成商分小聚合体。
B Part: 光阻膜层 Photopdlymer Film Resist C Part:聚乙烯隔膜、贴膜时撕去Polyettylenc
Separator Sheet 厚度1mil 附图于下一页
干膜结构-附图
聚醋盖膜(保护膜) 光阻膜层
聚乙烯隔膜
干膜各层作用
聚酯保护膜： 1. 保护作用，防止擦花药膜，尤其是贴膜到冲影前的
D、用水喷淋磨辘作用 洗去磨辘上的铜粉，冷却湿润磨辘，防止尼龙丝过热而 熔化。要求：喷淋角度在板与磨辘之间45O处。
磨板的控制
E、磨板后质量检查 a.目检板面是否有氧化、水迹、污物． 板面清洁度 。 b.水膜测试 测试方法：取板面清洁处理后的板，用水浸湿板面并垂直 放置，用秒表测量水腊膜破裂的时间,一般在精磨时采用 处。 c.板面粗糙度：经磨板后的板面粗糙程度(2.0µ m左右).
化学成分作用
3.感光启动剂 感光启始剂吸收特定波长紫外光(一般320-400nm), 启动剂自行裂解而产生自由基，为聚合反应提供条 件。 4.促化剂与附着力促进剂 增进光阻层与铜面之间的附着力，防止粘结不牢而 引起的渗 镀与甩膜。
化学成分作用
5.染料
目 的
a. 干膜本身制造时，方便进行检查。 b. 曝光前后有明显颜色变化，便于已曝光 板与未曝光的区分及目检。
外层干菲林工程培训内容
一、干膜知识 二、干膜工序的职能 三、工序流程 四、磨板段 五、无尘房的控制 六、贴膜段 七、曝光段 八、菲林制作 九、显影段 十、问题原因分析及改善措施
一、干膜知识
1968年由杜邦公司研制并用于线路板行业(非水溶性 干膜，溶剂型；显影用三氯乙烷，退膜用二氯甲烷)。( 缺点：需消耗大量有机溶剂，污染大，成本高)
* 行业界人员定义一些参数衡量粗糙度如 Ra;表面取样长度内基准线上所有距离绝对值 的算术平均值;一般0.2-0.4µ m.Rt;表面取样长度内最高峰顶和最低谷度之间的距离 1.5-3.0µ m一般用目视法估计，较少用科学仪器检测。粗糙度由：磨刷材料，磨料粒度， 磨板时的功率等共同决定。
磨板的控制
流程图
紫外光照射
单体吸收自由基 出现自由基 启始剂裂解
单体发生光聚反应形成聚合体
显影
二、干膜工序的职能
将菲林上的外层线路图像，转移到已 完成沉铜或板电镀工艺的覆铜板上，形 成抗电镀干膜图像。
三、工序流程-附图
磨板
贴膜
曝光
菲林制作
检查
冲影
四、磨板段
磨板作用
a.除去板面的氧化，油污，手指印，及其 它污物。 b.在板面上形成微观粗糙表面，增大干膜 与板面积，使干膜有更好的附着力。 c.提供烘干后的干燥板面。
1970年研制出一种半水溶性干膜，显影.退膜用水溶 液(添加2-15%有机溶剂.BCS)，成本.污染有很大改善。
1978年改进为全水溶性干膜，显影用K2CO3.Na2CO3, 退膜用KOH.NaOH，其成本更低，污染更小，品质更好。
干膜结构
A Part: 聚醋盖膜(保护膜)冲影时撕去 1milPolyester Cover Sheet