FLIR G300 A和G300 pt进行连续气体监控的光学气体热像仪 菲力尔
FLIR G300 a 和 G300 pt
进行连续气体监控的光学气体热像仪
FLIR G300 pt
FLIR G300 a https://www.360docs.net/doc/452790569.html,
世界第六感
OGI红外热像仪
配备TCP/IP
方位/俯仰云台https://www.360docs.net/doc/452790569.html,
2
3
光学气体(OGI )红外热像仪广泛应用于各种工业环境，如：炼油厂、天然气加工厂、海上平台、化工/石化行业、沼气厂和发电厂。
经济高效
OGI 红外热像仪可在较远距离对代价昂贵的气体泄漏事故进行快速、高效的定位，以达到改进效率的目的。还可以通过快速扫描大范围区域来减少检测时间，期间无需中断工业生产。
OGI 红外热像仪可通过非接触模式在安全距离检测泄露气体。这样可降低检测人员接触无形和具有潜在危
害或爆炸性化学品的风险。OGI 热像仪还便于扫描传统方式难于接近的感兴趣区域。
您可以获取完整的图片，能即刻排除无需采取措施的区域。这意味着您能节省大量的时间与人力。许多挥发性有机物(VOC )对人体健康或环境有害，通常受到政府的限制。使用OGI 红外热像仪能够检测并记录非常小的气体泄漏现象。
FLIR 的光学气体热像仪能将泄漏气体可视化并锁定其泄漏位置，无需关停生产操作。安装此红外热像仪后，可对遥远区域或较难接近位置安装的设备进行连续扫描。
所谓连续监控是指一旦发生危险或代价高昂的气体泄漏事故时，您可立即发现并采取及时措施。
针对气体泄漏进行连续监控的光学气体热像仪
世界第六感
FLIR G300 a
FLIR G300 a红外热像仪需要安装在
外壳内。安装完成后，它们一直面
向同一方向。 FLIR G300 pt则配有
一个相当稳固的方位/俯仰云台。
方便安装集成
FLIR G300 a红外热像仪可简单安在
到外壳中，能满足特定的应用需求。
制冷式探测器显示最细微的温差
FLIR G300 a和FLIR G300 pt 也包含
一个制冷式锑化铟探测器，生成
320 x 240像素的热图像。需要高气
体灵敏度的用户可优先选择兼具低
光圈数和低气体灵敏度性能，能
够检少量气体泄漏的FLIR G300 a或
FLIR G300 pt。
高灵敏度模式
高灵敏度模式可进一步增强热像仪
的灵敏度，因此能够检测到最小的
气体泄漏现象。
易于控制
所有的型号均便于安全远距离内控
制，可通过以太网实现全面控制。
这些型号均可轻松集成至TCP/ IP网
络。这些热像仪与Vision/Genicam?
兼容。
可用镜头
FLIR G300 a和G300 pt可使用23 mm
或38 mm的镜头。
FLIR G300 a
FLIR G300 a
1. 复合视频
2. HDMI
3. USB
4. 以太网
5. RS-232
6. 电源输入
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6
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FLIR G300 pt ：安装在精确方位/俯仰云台上的全方位解决方案鉴于FLIR G300 a 需要安装在外壳中，G300 pt 已经安装在置于方位/俯仰云台上的坚固外壳内。这样用户可360°连续旋转热像仪，可将俯仰角调至+45°或-45°。还能使用相同的系统监测不同的区域。如果既想监控气体泄漏，又需使用该系统进行预防性维护应用，该解决方案是理想之选。
方位/俯仰云台具有128个预设位置，非常适合连续扫描不同的区域。
G300 pt 还配备了长距离白光/微光摄像机。红外热像仪的视频输出和白光/微光摄像机可同时使用。白光摄像机提供36x 光学变焦。FLIR G300 a 和G300 pt 可检测以下气体：
苯、乙醇、乙苯、庚烷、正己烷、异戊二烯、甲醇、MEK 、MIBK 、辛烷、戊烷、1-戊烯、甲苯、二甲苯、丁烷、乙烷、甲烷、丙烷、乙烯和丙烯。
FLIR G300 pt
FLIR G300 pt
FLIR G300 a 是否安装在外壳中是否有无可见光相机有
无方位/俯仰云台+45至-45；0.1°至30°/秒无
图像质量320 x 240像素320 x 240像素热灵敏度
< 15 mK
< 15 mK
生产现场捕捉到的气体泄漏现象
发生气体泄漏的压力表
捕捉到的气体泄漏现象
热图像上清晰显示的气体泄漏现象
世界第六感
6
重量18.7 kg (41.2 Ib)
热像仪尺寸，不包括镜头(长×宽×高)460 x 467 x 326 mm (18.1 x18.4 x 12.8 in.)热像仪尺寸，包括镜头(长×宽×高)
外壳材料铝
技术规格
https://www.360docs.net/doc/452790569.html,
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1,4 kg (3,1 lb ),包括14,5镜头 不适用
242x80x105mm (9,5x3,1x4,1 in.)不包括14,5镜头 铝
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SPECIFICATIONS ARE SUBJECT TO CHANGE WITHOUT NOTICE
?Copyright 2014, FLIR Systems, Inc. All other brand and product names are trademarks of their respective owners.
The images displayed may not be representative of the actual resolution of the camera shown. Images for illustrative purposes only.
FLIR 授权经销商:
The World's
Sixth Sense?https://www.360docs.net/doc/452790569.html, 世界第六感https://www.360docs.net/doc/452790569.html,
141010 G 300a G 300p t S C N
红外热像仪用户手册终结版
IPRE-160 红外热像仪用户手册
! 警告、小心和注意 定义 !警告代表可能导致人身伤害或死亡的危险情况或行为。 !小心代表可能导致热像仪受损或数据永久丢失的情况或行为。 !注意代表对用户有用的提示信息。 重要信息–使用仪器前请阅读 !警告–本仪器内置激光发射器，切勿凝视激光束。激光规格为635 nm, 0.9mW, 二级。 !小心–因热像仪使用非常灵敏的热感应器，因此在任何情况下（开机或关机）不得将镜头直接对准强烈幅射源（如太阳、激光束直射或反射等），否则将对热像仪造成永久性损害！ !小心 - 运输期间必须使用原配包装箱，使用和运输过程中请勿强烈摇晃或碰撞热像仪。!小心–热像仪储存时建议使用原配包装箱，并放置在阴凉干燥，通风无强烈电磁场的环境中。 !小心-避免油渍及各种化学物质沾污镜头表面及损伤表面。使用完毕后，请盖上镜头盖。 !小心 -为了防止数据丢失的潜在危险，请经常将数据复制（后备）于计算机中。 !注意 -在精确读取数据前，热像仪可能需要3-5分钟的预热过程。 !注意 -每一台热像仪出厂时都进行过温度校正，建议每年进行温度校正。 !小心 -请勿擅自打开机壳或进行改装，维修事宜仅可由本公司授权人员进行。
目录 ! 警告、小心和注意 (2) 1简介 (5) 1.1标准配置 (7) 1.2可选配置 (7) 2热像仪简介 (8) 2.1功能键 (8) 2.2接口 (11) 3基本操作 (12) 3.1电池安装及更换 (12) 3.1.1电池装卸 (12) 3.1.2更换电池 (13) 3.2电池安全使用常识 (14) 3.3快速入门 (15) 3.3.1获取热像 (15) 3.3.2温度测量 (15) 3.3.3冻结和存储图像 (17) 3.3.4回放图像 (17) 3.3.5导出存储的图像 (17) 4操作指南 (18) 4.1操作界面描述 (18) 4.1.1工作界面 (18) 4.1.2主菜单 (19) 4.1.3对话框 (20) 4.1.4提示框 (20) 4.2测温模式 (20) 4.3自动/手动 (21) 4.4设置 (22) 4.4.1测温设置 (22) 4.4.2测温修正 (23) 4.4.3分析设置 (24) 4.4.4时间设置 (25) 4.4.5系统设置 (26) 4.4.6系统信息 (27) 4.4.7出厂设置 (27) 4.5文件 (29) 4.5.1打开 (29) 4.5.2存储 (30)
FLIRA315红外热像仪中文说明书
FLIRA315红外热像仪使用说明书 代理商：武汉筑梦科技有限公司 2014-1-6
第一章设备简介 1 FLIR红外热像仪原理 1.1红外热像仪 从原理上讲，热像仪包括两部分：光学部件和探测器。光学部件使目标的红外辐射集中到探测器上，探测器对之成像。 1.1.1光学材料 红外辐射和可见光的性质一样能折射和反射。因而，红外热像仪的光学部件设计方法和普通相机的相似。用于普通相机的玻璃对红外线的透射程度不够好，因而不能用于红外热像仪。所以必须寻找别的材料。对红外线透明的材料一般对可见光不透明。象硅和锗就通常对可见光不透明。 从图中可以看出，这两种材料可以作为SW和LW光学材料。通常，硅用于SW系统而锗用于LW热像仪。硅和锗有好的机械性能，即不易破裂，它们不吸水，可以用现代车削法加工成镜头。 1.1.2探测器 对红外辐射敏感的元件称为探测器。这些年来，热像仪采用过许多不同类型的探测器。这些探测器不分类型都有一些典型特点。探测器对入射辐射的探测结果以电信号输出。这信号取决于入射红外辐射的强度与波长。大部分探测器都存在截止波长，这也很典型。如果入射辐射的波长长于探测器的截止波长，探测器将没有信号输出。在1997 年以前，所有的探测器都是制冷型的，根据不同型号，低的至少制冷到–70oC，更有甚者需制冷到–196oC。 1997 年，AGEMA 公司在世界上首先生产出了新一代非制冷微量热型探测器热像仪：Thermovision? 570，现在叫做AGEMA 570。500 系列的另一种热像仪叫做AGEMA 550，它使用制冷型探测器。
AGEMA 550 的探测器由斯特林制冷机制冷。这种PtSi探测器需制冷到–196oC。它需要两分钟来制冷。作为“单一”探测器的换代品，在1995年FPA 探测器被运用于所有的热像仪（AGEMA）上。AGEMA 550的探测器有320 x 240 = 76,800 探测器单元。 2 FLIR红外热像仪组成及接口 2.1、红外热像仪组成 红外热像仪组成：抗反射膜、光学滤片、探测器 2.2 使用说明 2.2.1 红外测温方法 红外热像仪是通过非接触探测红外能量（热量），并将其转换为电信号，进而在显示器上生
红外热像仪和视频报警系统在安防领域的应用讲解
红外热像仪和视频报警系统在安防领域 的应用 一、系统概述随着技术进步，视频监控系统已经在国家公共安全防范的各个领域中开始了广泛使用，这使得人民的安全环境在很大程度上得到了提高。现在的视频监控系统主要采用的是可见光摄像机和人工监视、录像相结合的方式进行日常的安全防护。但由于可见光摄像机在恶劣天气或照度较低的条件下，很难滤除干扰得到有用的视频图像，因此使得整个安全防范系统在夜间或恶劣天气条件下的防范能力大打折扣。而且现在的视频监控系统必须由安保 一、系统概述 随着技术进步，视频监控系统已经在国家公共安全防范的各个领域中开始了广泛使用，这使得人民的安全环境在很大程度上得到了提高。现在的视频监控系统主要采用的是可见光摄像机和人工监视、录像相结合的方式进行日常的安全防护。但由于可见光摄像机在恶劣天气或照度较低的条件下，很难滤除干扰得到有用的视频图像，因此使得整个安全防范系统在夜间或恶劣天气条件下的防范能力大打折扣。而且现在的视频监控系统必须由安保人员对视频画面进行24小时不间断的监视、人为对视频图像进行分析报警，否则系统就起不到实时报警的功能只能起到事发后取证的作用。因此整体来说，现在的视频监控系统还处于在半天时、半天候和半自动状态。因此如何提高在“夜黑风高”的案件高发时间段的自动报警防范能力，就成为了国家公共安全防范领域内急需解决的重要问题之一。 红外热像仪及视频报警系统，是基于非制冷红外热像仪或可见光摄像机等硬件系统，采用红外/可见光复合成像、视频图像处理及自动行为分析报警等相关软件与之结合，将现有视频监控系统的良好天气下的人工监视、事后取证功能，提升为全天候条件下的免人为看护、电脑自动实时报警功能。系统可在夜间或者恶劣天气条件下（如大雨、大雾等）工作，不仅能节省大量的人力，同时可实现全天时全天候实时报警。不仅弥补了现有视频监控系统的不足，而且提升了安防系统的自动识别、自动报警等相关自动化程度，具有非常重要的社会作用，具有广阔的市场。 1、非制冷红外热像仪硬件系统
红外热成像摄像机原理分析以及应用
红外热成像摄像机原理分析以及应用 随着技术的进步，监控系统已经在各个领域得到了广泛的应用。目前的视频监控系统主要采用可见光摄像机和人工监视、录像相结合的方式进行日常的安全防护，但由于可见光摄像机在恶劣天气或照度较低的条件下，很难滤除干扰得到有用的视频图像，因此使得整个安防系统在夜间或恶劣天气条件下的防范能力大打折扣。 同时，由于现在的视频监控系统仍然依托于人工监视，安保人员需要对监控画面进行24小时不间断的监视、人为对视频图像进行分析报警，否则系统就起不到实时报警的功能，而更多的只是事发后取证的作用。从整体上来说，目前的视频监控系统还处于在半天时、半天候和半自动状态。 在伊拉克战争中，美军平均每个士兵拥有1.7台红外热像仪产品 一项统计数据表明，世界上47%的暴力犯罪案件发生在晚6点到早6点之间。原因很简单，在夜幕的笼罩下，犯罪分子容易隐蔽，犯罪场面也不容易被看见——黑暗掩盖了犯罪行为。即使安装了一般的视频监控系统，也有可能让犯罪分子逃之夭夭。因此，如何提高在“夜黑风高”的案件高发时间段的自动报警防范能力，成为安防系统当成亟待解决的难题之一。 在这种情况下，红外热成像技术以其作用距离远、穿透能力强、能识别隐蔽目标等优势被引入安防领域，成为监控领域的一份子。 热成像摄像机的监控原理 在自然界中一切温度高于绝对零度(-273.16摄氏度)的物体都不断地辐射着红外线，这种现象称为热辐射。红外线是一种人眼不可见的光波，无论白天黑夜，物体都会辐射红外线，但红外线不论强弱，人们都看不到。 热成像摄像机(又叫热像仪)就是利用红外探测器、光学成像物镜接收被测目标的红外辐射信号，经过红外光学系统红外探测器的光敏源上利用电子扫描电路对被测物的红外热像进行扫描转换成电信号，经放大处理、转换或标准视频信号通过电视屏或监测器显示红外热图像。利用这种原理制成的仪器为热成像摄像机。它通过探测微小的温度差别，将温度差异转换成实时的视频图像，显示在监视器上。与其他需要少量光线产生影像的夜视系统不同，其完全不需要任何光，这使它成为人们在全黑环境、黑暗的夜晚监控的完美工具。
红外热像仪使用说明书
红外热像仪使用说明书 在红外热像仪的使用说明书中，以下的指标值得关注： 除了从典型应用的角度之外，还可以快速地从回答3个简单问题，来进行红外热像仪关键指标的选择： 问题一：红外热像仪到底能测多远？ 红外热像仪的检测距离= 被测目标尺寸÷IFOV，所以空间分辨率（IFOV）越小，可以测得越远。例如：输电线路的线夹尺寸一般为50mm，若使用Fluke Ti25 热像仪，其IFOV为2.5mRad ，则最远检测距离为50÷2.5=20m 问题二：红外热像仪能测多小的目标？ 最小检测目标尺寸= IFOV×最小聚焦距离。所以IFOV越小，最小聚焦距离越小，则可检测到越小的目标。举例： 某品牌热像仪Fluke Ti25 热像仪 空间分辨率（IFOV）：2.6mRad 空间分辨率（IFOV）：2.5mRad 像素：320×240 像素：160×120 最小聚焦距离：0.5m 最小聚焦距离：0.15m 最小检测尺寸：1.3 mm 最小检测尺寸：0.38 mm 从对比图看，右侧Fluke Ti25，虽像素稍低，但凭借更小的IFOV 及最小聚焦距离优势，实际可以拍摄到0.38mm微小目标，而另一品牌则只能测到1.3mm 的目标。 问题三：热像仪能看得多清晰？ 因素一：热灵敏度决定热像仪区分细微温差的能力。同样状况下，右图所用热像仪的热灵敏度更低，画面清晰显示花蕊细节的温度分布，而左图同区域只能看到一片红色。
因素二：最小检测尺寸决定了热像仪捕捉细小尺寸的能力。尺寸越小，相同面积的检测目标画面由更多像素组成，画面更清晰。 由右图可见，像素（马赛克）越小越清晰 什么是空间分辨率（IFOV）? 在单位测试距离下，红外热像仪每个像素能够检测的最小目标( 面积)，以mRad 为单位，是一个主要由像素和所选镜头角度所决定的综合性能参数，是热像仪处理空间细节能力的技术指标。 为什么空间分辨率（IFOV）越小越好? 单位距离相同时，IFOV 越小，单个像素所能检测的面积越小，单位测量面积上由更多的像素所组成，图像呈现的细节越多，成像越清晰。
红外热像仪操作步骤(精)
红外热像仪操作步骤 第一、连接设备，该仪器主要的部件有MAG30系列在线式热像仪（包括镜头）1台，12V电源适配器一个，网线一条（普通网线即可），IO接线端子，安装盘（光盘内附带用户手册）。使用时，将热像仪固定在三角支架上，连接处有螺丝固定，旋紧即可；将电源线插入12V DC 电源接口，此时电源指示灯亮；将网线插入电脑的网线接口（即RJ45网口）和热像仪的RJ445网口，若连接通路，则网口的黄色指示灯变亮，若不通则检查网线等方面。 第二、我们目前使用的是将热像仪与电脑直接通过网线相连，该情况下需要对电脑的ip地址进行修改，xp系统与win7系统修改ip的方法稍有差异，对于xp系统，可右键点击网上邻居—选择属性—本地连接—右键—属性—双击 tcp/ip协议—使用下面的ip地址，进行修改即可，若为win7系统，则右键点 击网上邻居—选择属性----点击本地连接—属性—双击 internet 协议版本4--—使用下面的ip地址，修改即可，Ip地址为 192.168.1.2—192.168.1.250之间均可，子网掩码255.255.255.0，网关192.168.1.1，即可完成连接。 第三、打开电脑上的软件ThermoX.exe（红外热像仪），，由于是网线直接连接在软件界面右侧的启用DHCP Server打钩
，打钩后，MAG30-110257即为该设备的型号，此时连接完毕。 第四、点击软件主界面右下方的黑色三角即可开始进行红外录制，然后要进行对焦，使出现的画面更加清晰，点击对焦按钮 完成自动对焦。 第五、该设备可以进行图片和视频以及带温度等详细信息的视频文件，根据需要进行保存，也可直接存储为温度流，方便以后进行相关分析。 ，左键点击存温度流按钮，出现保存路径对话框，设置其保存路径。待完成需要的测量后，点击上图黑色方框停止记录，此时完成实验过程。 第六、对实验保存的温度流进行回放，首先断开热像仪，点击下图中的断开按钮，然后点击主界面上方菜单的回放下拉菜 单，，选择打开文件，寻找保存的.mgs为文件后缀名的文件，可通过回放菜单中的回放控制进行一些相应的设置（如选择循环播放等）。
红外热成像仪的介绍及工作原理
1.红外热成像技术 红外成像技术作为一门新技术，在电力设备运行状态检测中有着无比的优越性。红外成像是以设备的热状态分布为依据对设备运行状态良好与否进行诊断，它具有不停运、不接触、远距离、快速、直观地对设备的热状态进行成像。由于设备的热像图是设备运行状态下热状态及其温度分布的真实描写，而电力设备在运行状态下的热分布正常与否是判断设备状态良好与否的一个重要特征。因此采用红外成像技术可以通过对设备热像图的分析来诊断设备的状态及其隐患缺陷。 2.什么是红外热像图 一般我们人眼能够感受到的可见光波长为：0.38—0.78微米。通常我们将比0.78微米长的电磁波，称为红外线。自然界中，一切物体都会辐射红外线，因此利用探测器测定目标本身和背景之间的红外线差，可以得到不同的红外图像，称为热图像。 同一目标的热图像和可见光图像是不同，它不是人眼所能看到的可见光图像，而是目标表面温度分布图像，或者说，红外热图像是人眼不能直接看到目标的表面温度分布，变成人眼可以看到的代表目标表面温度分布的热图像。 3.红外热像仪的原理 热像仪是利用红外探测器和光学成像物镜接受被测目标的红外辐射能量分布图形反映到红外探测器的光敏元件上，从而获得红外热像图，热图像的上面的不同颜色代表被测物体的不同温度。红外热像仪的非接触式测温方式，能够在不影响轧辊工作的同时测量其实时温度，并随时采取降温措施。
红外热像仪的原理 4.红外热成像的特点 自然界所有温度在绝对零度（-273℃）以上的物体，都会发出红外线，红外线（或称热辐射）是自然界中存在最为广泛的辐射。大气、烟云等吸收可见光和近红外线，但是对3~5微米和8~14微米的红外线却是透明的。因此，这两个波段被称为红外线的“大气窗口”。我们利用这两个窗口，可以在完全无光的夜晚，或是在烟云密布的恶劣环境，能够清晰地观察到前方的情况。 5.在线式红外热像仪 采用红外热成像技术，探测目标物体的红外辐射，并通过光电转换、信号处理等手段，将目标物体的温度分布图像转换成视频图像的设备，我们称为红外热像仪。
TiS系列红外热像仪使用说明书
TiS10, TiS20, TiS40, TiS45, TiS50, TiS55, TiS60, TiS65 Performance Series Thermal Imagers 用户手册July 2015 (Simplified Chinese) ? 2015 Fluke Corporation. All rights reserved. Specifications are subject to change without notice. All product names are trademarks of their respective companies.
有限保证和责任限制 在正常使用和维护条件下，Fluke 公司保证每一个产品都没有材料缺陷和制造工艺问题。保证期为从产品发货之日起二（2）年。部件、产品修理和服务的保证期限为 90 天。本项保证仅向授权零售商的原始买方或最终用户提供，并且不适用于保险丝和一次性电池或者任何被 Fluk e 公司认定由于误用、改变、疏忽、意外非正常操作和使用所造成的产品损坏。Fluke 公司保证软件能够在完全符合性能指标的条件下至少操作 90 天，而且软件是正确地记录在无缺陷的媒体上。Fluke 公司并不保证软件没有错误或无操作中断。 Fluke 公司仅授权零售商为最终客户提供新产品或未使用过产品的保证。但并未授权他们代表 Fluke 公司提供范围更广或内容不同的保证。只有通过 Fluke 授权 的销售商购买的产品，或者买方已经按适当的国际价格付款的产品，才能享受 Fluke 的保证支持。在一个国家购买的产品被送往另一个国家维修时，Fluke 公 司保留向买方收取修理/更换零部件的进口费用的权利。 Fluke 公司的保证责任是有限的，Fluke 公司可以选择是否将依购买价退款、免费维修或更换在保证期内退回到 Fluke 公司委托服务中心的有缺陷产品。 要求保修服务时，请与就近的 Fluke 授权服务中心联系，获得退还授权信息；然后将产品连同问题描述寄至该服务中心，并预付邮资和保险费用（目的地离岸价格）。Fluke 对运送途中发生的损坏不承担责任。在保修之后，产品将被寄回给买方并提前支付运输费（目的地交货）。如果 Fluke 认定产品故障是由于疏忽、误用、污染、修改、意外或不当操作或处理状况而产生，包括未在产品规定的额定值下使用引起的过压故障；或是由于机件日常使用损耗，则 Fluke 会估算修理费用，在获得买方同意后再进行修理。在修理之后，产品将被寄回给买方并预付运输费；买方将收到修理和返程运输费用（寄发地交货）的帐单。 本保证为买方唯一能获得的全部赔偿内容，并且取代所有其它明示或隐含的保证，包括但不限于适销性或适用于特殊目的的任何隐含保证。F LUKE 对任何特殊、间接、偶发或后续的损坏或损失概不负责，包括由于任何原因或推理引起的数据丢失。 由于某些国家或州不允许对隐含保证的期限加以限制、或者排除和限制意外或后续损坏本保证的限制和排除责任条款可能并不对每一个买方都适用。如果本保证的某些条款被法院或其它具有适当管辖权的裁决机构判定为无效或不可执行，则此类判决将不影响任何其它条款的有效性或可执行性。
光学薄膜技术复习提纲讲解
光学薄膜技术复习提纲 、典型膜系 减反射膜（增透膜） 1、减反射膜的主要功能是什么？ 是减少或消除透镜、棱镜、平面镜等光学表面的反射光，从而增加这些元件的透光量, 减少或消除系统的杂散光。 ★ 2、单层减反射膜的最低反射率公式并计算 厂 宀 >2 llo —111 /11；#-1 R= ------------ <山+爲沁+/ ★ 3、掌握常见的多层膜系表达，例如 G| H L | A 代表什么？ G| 2 H L | A ? ★ 4、什么是规整膜系？非规整膜系？ 把全部由入0/4整数倍厚度组成的膜系称为规整膜系，反之为非规整膜系。 ★ 5、单层减反射膜只能对某个波长和它附近的较窄波段内的光波起增透作用。 为了在较宽的 光谱范围达到更有效的增透效果，常采用双层、三层甚至更多层数的减反射膜。 ★ 6 V 形膜、W 形膜的膜系结构以及它们的特征曲线。P16-17 ㈡高反射膜 ★ 1、镀制金属反射膜常用的材料有铝（AI ）、银（Ag ）、金（Au ）、铬等。 ★ 2、金属反射膜四点特性。P29 ① 高反射波段非常宽阔，可以覆盖几乎全部光谱范围，当然，就每一种具体的金属而言，它 都有自己最佳的反射波段。 V --G I HL| A / M |=! !膜 / fix 一上 —\ >< WG | 2HL | A 0 400 450 500 550 600 650 700 VUavelsnqth (rm ) 43 2
②各种金属膜层与基底的附着能力有较大差距。如Al、Cr、Ni （镍）与玻璃附着牢固；而Au、 Ag与玻璃附着能力很差。 ③金属膜层的化学稳定性较差，易被环境气体腐蚀。 ④膜层软，易划伤。 ㈢分光膜 1什么是分光膜？ 中性分束镜能够在一定波段内把一束光按比例分成光谱成分相同的两束光，也即它在一定的 波长区域内，如可见区内，对各波长具有相同的透射率和反射率之比值一一透反比。因而反射光和透射光不带有颜色，呈色中性。 ★2、归纳金属、介质分束镜的优缺点： 金属分束镜p32 优点：中性好，光谱范围宽，偏振效应小，制作简单 缺点：吸收大，分光效率低。 使用注意事项：光的入射方向 介质分束镜p30 优点：吸收小，几乎可以忽略，分光效率高。 缺点：光谱范围窄，偏振分离明显，色散明显。 5、偏振中性分束棱镜是利用斜入射时光的偏振，实现50/50中性分光。 ㈣、截止滤光片 ★1、什么是截止滤光片？什么是长波通、短波通滤光片？p33 截止滤光片是指要求某一波长范围的光束高效透射，而偏离这一波长的光束骤然变化为高反 射的干涉截止滤光片。 抑制短波区、透射长波区的截止滤光片称为长波通滤光片。 抑制长波区、透射短波区的截止滤光片称为短波通滤光片。 2、截止光滤片的应用：彩色分光膜。P51 ①图2.4.13分光原理；②解决棱镜式分光元件偏振效应的方法是合理设计分光棱镜的形式，尽可能减小光束在膜面上的入射角。 ㈤、带通滤光片 ★1、什么是带通滤光片？P58
热成像技术原理及其应用
热成像技术原理及其应用(参考) 第一章导言 1 热成像系统技术基础 热成像系统能把物体发射的红外辐射(红外光)转变成可见光，从而将人类的视觉由可见光扩大到不可见红外光。人的眼睛不能响应0.4～0.7μm以外的光，要使人眼在夜间看东西象白天一样，使红外转换为可见景物的视觉判读成为可能，需目标相对背景有显著的发射率、温差和与大气窗口相一致的红外辐射传输通道；还需要一种光电器件能响应物体发射出的红外光子。 人眼是接受可见光辐射的最好敏感元件：眼睛的光谱响应范围0.4～0.7μm，正好符合太阳光源的输出峰值，这个波段集中了38%的太阳辐射能量，且地球上的物体具有良好的反射度；眼睛是一种理想的可见光波段量子噪声限探测器(量子能级的低噪声)；人眼对非可见红外光有很好的滤波功能。 自然可见图像主要是由反射和反射度差产生。相反热像仪对红外光响应所形成的热图像主要是由发射率差产生。 目前热像仪工作的三个红外辐射传输的窗口是1μm~3μm，3μm~5μm，8μm~14μm。 2 热成像系统技术发展简述 最初的热成像系统是circa温度记录仪(1930)；
1952年美国陆军制成第一台自动温度记录仪(采用双轴扫描和测辐射热探测器，照相胶卷记录图像)，以后10年主要是民用； 1956年美国空军研制了第一台实时FLIR航扫仪(AN/A-AS-3)，后发展改进研制了第一台二维图像的热像仪XA-1(单元扫描)； 1960年Perkin-Elmer公司为陆军研制了地面FLIR(锑化铟、双折射棱镜扫描，5°视场、瞬时视场1mrad、帧频0.2)； 1960～1974由空军和德克萨斯仪器公司及海军和休斯飞机公司分别制定扫描FLIR研制计划，研制完成60多种FLIR，产品几百件（试用于对北越轰炸）； 到90年代初扫描型热像仪发展至顶盛，美国发展了采用64元、120元、180元制冷MTC探测器的热成像通用组件(以色列120元，英国32元和8条SPRITE探测器)同期世界上生产了约10万台热像仪(1代)；80-90年代美国的标准组件计划是第一代红外热像仪（扫描型）发展的标志性事件。 九十年代末美国、法国（SOFRADIR）、英国、以色列相继研制并批量生产了非制冷焦平面探测器、制冷焦平面探测器，至此引发了一场热成像技术的革命，进入了2代热成像技术发展阶段。2000年，美国和法国的焦平面红外探测器产业化，这是第二代红外热像仪（凝视型）发展的标志性事件。2015年，低成本非制冷红外探测器产业化。 3 热成像系统工作原理 基本内容 辐射理论和目标识别 目标辐射的大气传输 热像仪指标体系 高效的红外光学系统 探测器及其工作条件(制冷、真空)
victor350红外热像仪用户手册v1.1
VICTOR 350 红外热像仪 用户手册 深圳市驿生胜利科技有限公司! 警告、小心和注意 定义
警告代表可能导致人身伤害或死亡的危险情况或行为。 小心代表可能导致热像仪受损或数据永久丢失的情况或行为。 注意代表对用户有用的提示信息。 重要信息–使用仪器前请阅读 小心–因热像仪使用非常灵敏的热感应器，因此在任何情况下（开机或关机）不得将镜头直接对准强烈幅射源（如太阳、激光束直射或反射等），否则将对热像仪造成永久性损害！ 小心 - 运输期间必须使用原配包装箱，使用和运输过程中请勿强烈摇晃或碰撞热像仪。 小心–热像仪储存时建议使用原配包装箱，并放置在阴凉干燥，通风无强烈电磁场的环境中。 小心 -避免油渍及各种化学物质沾污镜头表面及损伤表面。使用完毕后，请盖上镜头盖。 小心 -为了防止数据丢失的潜在危险，请经常将数据复制（后备）于计算机中。 注意 -在精确读取数据前，热像仪可能需要3-5分钟的预热过程。 注意 -每一台热像仪出厂时都进行过温度校正，建议每年进行温度校正。 小心 -请勿擅自打开机壳或进行改装，维修事宜仅可由本公司授权人员进行。 目录 ! 警告、小心和注意 (2) 1简介 (5) 标准配置 (7) 可选配置 (7) 2热像仪简介 (8) 功能键 (8) 接口 (11) 3基本操作 (12)
电池安装及更换 (12) 电池装卸 (12) 更换电池 (13) 电池安全使用常识 (14) 快速入门 (15) 获取热像 (15) 温度测量 (15) 冻结和存储图像 (16) 回放图像 (16) 导出存储的图像 (16) 4操作指南 (17) 操作界面描述 (17) 工作界面 (17) 主菜单 (18) 对话框 (18) 提示框 (19) 测温模式 (19) 自动/手动 (20) 设置 (20) 测温设置 (21) 测温修正 (21) 分析设置 (22) 时间设置 (23) 系统设置 (23) 系统信息 (25) 出厂设置 (25) 文件 (26) 打开 (26) 存储 (27) 自动存储 (28) 删除 (29) 格式化 (29) 5技术规格 (31) 6故障对策 (33) 附录 A (34) 常用材料的比辐射率（仅供参考） (34) 附录B (35) 出厂设置参数表 (35)
《薄膜光学与技术》2012期末考试试题A-答案
2012-2013学年第1学期《薄膜光学与技术》期末考试试题（A 卷） 参考答案及评分标准 一、填空题 （每空1分，共24分） 1、在折射率为3.5的基底表面镀单层减反射膜，对于4000nm 的光波，理论上能达到最佳减反射效果的薄膜折射率为： 1.8708 ，需要镀制的薄膜光学厚度为 1000 nm 。 2、若薄膜的折射率为n ，光线在薄膜内的折射角为θ，则s 、p 光的修正导纳分别为 ncos θ 、 n/cos θ 。 3、对于波长为λ的光来说，单层膜的光学厚度每增加 λ/4 ，薄膜的反射率就会出现一次极值变化。当薄膜的折射率小于基底折射率时，出现的第一个反射率极值是 极小 （极大、极小）值。 4、虚设层的形成条件是： 薄膜的光学厚度等于半波长的整数倍 。 5、周期性对称膜系(pqp)s 的等效折射率和 基本周期/pqp 的等效折射率完全相同，其等效位相厚度等于 基本周期的s 倍 。 6、折射率为n 1，光学厚度为λ0/4，基底的折射率为n s ，那么，该单层膜与基底的组合导纳为： s n n Y 21 7、介质高反射膜的波数宽度仅与两种膜料的 折射率 有关，折射率 差值越大 ，高反射带越宽。 8、热偶真空规是通过测量温度达到间接测量 真空 的目的。 9、镀膜室内真空度高表明气体压强 小 ，真空度低则气体压强 大 。 10、薄膜几何厚度的监控通常用 石英晶振 膜厚仪来实现，光学厚度常常采用 光电 膜厚仪来监控。 11、采用PVD 技术制造薄膜器件时，薄膜折射率的误差主要来自三个方面： 膜层的聚集密度 、 膜层的微观组织物理结构 、 膜层的化学成分 。 12、改善膜层厚度均匀性的措施包括 旋转夹具 和 膜层厚度调节板 。 13、采用光电极值法监控膜厚，如果需要镀制光学厚度为900nm 的薄膜，在500-700nm 范围内，可以选取的监控波长为 600 和 514.3 nm 。
红外热像仪工作原理和使用方法
红外热像仪工作原理和使用方法 现如今在我们的生活和工作中，都离不开红外热像仪。红外热像仪在化石、电力系统、土木工程、冶金、汽车等诸多领域应用的都是非常广泛的。下面我们简单的介绍一下红外热像仪工作原理和使用方法，希望能够帮助我们很多不了解的朋友。 我们从本质上来讲，目前所有的红外热像仪型号都是在利用波尔兹曼定律，这也是在前人的基础上进行广泛的研究得出的结果，普朗克的理论也是波尔兹曼借鉴的基础。其中比较关键的一个规律就是：红外线总能量与温度的四次方成正比。因此我们借助红外线探测器，如果能够捕捉温度的变化，那么我们自然能够清楚的看到各种不同的图像分布等，两者也能够相互的做出一定的判断。 当然呈现的过程也是非常复杂的，要能够对于不同的波长红外线的反应值进行数字化处理，一般在获得信号之后能够能够转换成电信号，这些信号能够形成完整的热像图，图像中我们可以选择不同的颜色代表一定的温度，因此可以给很多观察温度的领域提供一定程度的参考，比如工业生产中的锅炉、电机、变电站等，同时在军事应用中的范围也是比较广泛的，并且效果比较好。 总之，红外热像仪工作原理关键的就是呈现的过程，如果不是初基本定律，到目前为止，红外热像仪就不会出现。当然我们在了解红外热像仪工作原理之后，
在购买或者选择的时候，对于探测器和测量的温度等两方面应该给与格外的注意，直接决定成像的质量。 我们再来说说红外热像仪正确的使用方法。 1、调整焦距 可以在红外图像存储后对图像曲线进行调整，但是无法在图像存储后改变焦距，也无法排除其他杂乱的热反射。保证操作正确性将避免现场的操作失误。仔细调整焦距！ 2、选择正确的测温范围 为了获得正确的温度读数，请务必设置正确的测温范围。当观察目标时，对仪器的温度跨度进行微调将获得好的图像质量。这也将同时会影响到温度曲线的质量和测温精度。 3、了解大测量距离
红外线热像仪原理和作用
红外线热像仪原理和作用 一、红外线热像仪原理 红外线热像仪在现代社会中有着非常充分的应用，其应用的场合非常的广泛，在消防事业。现场搜寻以及森林防火中有着非常独特的优势，可以实现高精度的探测。我们在使用红外线热像仪进行使用时，需要掌握设备的具体使用原理，以及设备的操作系统，以便更好的进行使用。我们可以利用红外线热像仪的红外成像原理，通过获得物体的本身热量，来制造出物体的红外成像图谱，帮助我们更好的实现检测和搜索。 红外线热像仪是通过热成像系统来进行目标物体捕捉和探测的，就是通过能够透过红外辐射的红外光学系统将景物的热量进行收集，最后再利用红外探测器进行最终的收集，红外探测器再将强弱不等的辐射信号转换成相应的电信号，经过特殊的图像处理，转变成人眼可以观看的图像。 下面是红外线热像仪的几个主要的探测系统组成介绍： 1、红外线热像仪成像系统 热像仪的成像系统是设备当中最重要的一个系统，多用于目标的追踪、监控，可以帮助我们实现高效的实时追踪，可以应用在国防军事领域，属于高精密检测的设备。该设备的成像系统对设备的功能要求是图像越清晰越好，发现目标的距离越远越好，这样才可以提高设备的成像能力。 2、红外线热像仪成像检测系统 红外线热像仪使用的比较广泛的用途就是工业检测，对设备进行预知性检测或研究，提高设备的使用价值，帮助设备更好的进行生产。通过成像检测系统观察热分布的图像，建立设备的资料库、方便我们更好的进行实验。设备的监测系统能够对设备的要求是图像尽量清晰，保持设备测量精度。 3、红外线热像仪的成像监控系统 该设备的监控系统可以用于安装于电气或机械设备内部，帮助监视设备的温度和目标物体的具体位置，提高了对于关键区域设备的安全监控。 二、红外线热像仪作用 热像仪的应用非常广泛，只要有温度差异的地方都有应用。比如：在建筑领域，检查空鼓、缺陷、瓷砖脱落、受潮、热桥等；在消防领域可以查找火源，判定事故的起因，查找烟雾中的受伤者；公安系统可以找夜间藏匿的人；汽车生产领域可以检测轮胎的行走性能、空调发热丝、发动机、排气喉等性能；医学可以检测针灸效果、早期发现鼻咽癌、乳腺癌等疾病；电力检查电线、连接处、快关闸、变电柜等。 在科研领域主要应用包括：汽车研究发展－射出成型、模温控制、剎车盘、引擎活塞、电子电路设计、烤漆；电机、电子业－印制电路板热分布设计、产品可靠性测试、电子零组件温度测试、笔记本电脑散热测试、微小零组件测试；引擎燃烧试验风洞实验；目标物特征分析；复合材料检测；建筑物隔热、受潮检测；热传导研究；动植物生态研究；模具铸造温度测量；金属熔焊研究；地表/海洋热分布研究等。 红外红外线热像仪已广泛应用于安全防范系统中，并成为安全监控系统中的明星。由于具有隐蔽探测功能，不需要可见光，可以使犯罪份子不知其工作地点和存在，进而产生错误
红外热成像仪操作使用说明
TI20红外热成像仪操作使用说明 目录 1 TI20简介 (2) 1.1 TI20组成及其附件 (2) 1.1.1 TI2O的组成及其控件 (2) 2 基本操作 (4) 2.1 TI20的启动与关闭 (4) 2.2 识别首页画面 (5) 2.3 图像的聚焦与图像捕捉及其他 (7) 2.3.1 图像的聚焦 (7) 2.3.2 图像的捕捉 (7) 2.4 其他操作 (7) 2.4.1 水平的调整 (7) 2.4.2 跨度的调整 (7) 3.高级操作 (8) 3.1 图像及其他的操作 (8) 3.1.1图像的浏览与删除 (8) 3.1.2 发射率的调整 (8) 3.1.3 反射率的调整 (8) 3.1.4 拍摄距离光点尺寸比的使用 (9) 3.1.5报警极限设置 (10) 4.INSIDE IR的操作说明 (10) 4.1 基本操作 (10) 4.1.1 TI20与PC的连接 (10) 4.1.2 TI20日期和时间的设置 (11) 4.1.3 图像数据的上传和下载 (12) 4.1.4 热图像集合的导出 (12) 4.1.5 热图像的导出 (12) 5.红外热成像拍摄检测时的注意事项 (14)
1 TI20简介 Fluke Ti20 Imager（以下简称“Imager”）是当代技术最先进的轻型手持式热成像设备。使用Imager，可即时、准确地获取远距离目标的热图像和辐射读数。Imager 按人机工程学原理进行设计，左右手均可使用，只要扣动扳机，就可捕获热图像和数据。Imager 最多可存储50 张图像，并可下载到您的个人电脑中，供存储、分析和制作报告之用。 InsideIR 辅助软件应用程序，可用来显示、检查、分析图像和数据，以确定与目标设备相关的定量及定性趋势。您还可根据设备的条件、监控和资产管理的需要，使用InsideIR 来定义维护数据库。 Imager 能提供高性能的热成像功能，适于工业应用。 TI20热像仪的主要技术参数 ●电磁频谱范围：红外长波辐射7.5～14 μm ●工作环境温度：0 °C～50 °C ●测量温度范围：－10 °C～350 °C ●报警温度范围：－15 °C～360 °C（可调） ●存储容量： 50张热图像 ●具有防尘和防潮保护（IP54 级），可用于恶劣的工业环境。 ●电池可供持续工作 3 小时。 1.1 TI20组成及其附件 1.1.1 TI2O的组成及其控件 如图及表1-1所示。
什么是红外辐射红外热像仪及其工作原理
什么是红外辐射红外热像仪及其工作原理
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什么是红外辐射？红外热像仪及其工作原理 1800年，英国天文学家弗里德里希?威廉?赫歇尔第一次发现了红外辐射的存在。为了解不同颜色的光所产生的热量有何不同，他将太阳光用三棱镜分解成一个彩虹样的光谱，然后测量了每种颜色的温度。他发现，从光谱的紫罗兰色部分到红色部分，温度呈现逐渐升高的趋势。 在注意到这一现象之后，赫歇尔决定再在没有可见太阳光线的区域测量光谱中红色光之外的部分的温度。令他惊讶的是，这一区域的温度最高。 什么是红外辐射？ 红外辐射介于电磁光谱的可见光辐射和微波辐射之间。红外辐射源主要为热量或热辐射。温度高于绝对零度(-273.15摄氏度或0开尔
文)的任何物体均会发出红外辐射。即使我们认为非常冷的物体(例如冰块)也存在红外辐射。 我们每天都会接触红外辐射，这包括我们从太阳光、火或散热器等处感觉到的热量。尽管肉眼看不到，但皮肤中的神经却可以感受到热量。物体越热，其红外辐射量越大。 红外热像仪及其工作原理 尽管肉眼无法观测红外辐射（IR），但是红外热像仪可将其转化为可见光图像，描绘被测物体或场景的温度变化。所有温度高于绝对零度的物体均可发射红外光，且物体温度越高，红外辐射量越大。 红外热像仪工作原理的简化图 某个物体发出的红外能量通过光学镜头聚焦在红外探测器上，探测器向传感器电子元件发送信息，进行图像处理，电子元件将探测器发来的数据转译成可在取景器或标准视频监视器或LCD显示屏上查看的图像。 红外热成像是一种可将红外图像转换为热辐射图像的技术，该技术可从图像中读取温度值。因此，热辐射图像中的各个像素实际上都是一个温度测量，可实现对物体表面温度的非接触式测量。
红外热成像仪操作规程教学内容
红外热成像仪使用操作规程 一、目的 规范使用红外热成像仪日常检查和测试工作，及时发现、解决电气设备及线路隐患问题，确保电气设备及线路正常运行，制定本规程。 二、检查内容 1、日常检查内容： 电线电缆、母线、接线端子、正在使用的电源插座的温度 1）变配电室（按配电柜编号及变压器号依次测量）： 抽屉开关、接线端子、母线、电线电缆、变压器； 2）设备机房（风机房、水泵房、电梯机房、空调机房、 锅炉房、发电机房、洗衣房等所有用电设备按配电 箱号依次测量）控制箱接线端子、电线电缆； 3）楼层电井（按配电箱号依次测量）：配电箱接线端 子、电缆电线； 4）主力店配电间（按配电箱号依次测量）接线端子、 电线电缆；主力店及小商户电源控制箱接线端子、 开关，终端用电设备电线、正在使用的电源插座； 5）销售物业：检查电力公司管辖外的公共区域用电设 备。 2、大型活动前检查内容 1）现场使用的所有电气设备控制接线端子、电线电缆； 2）现场接线处配电箱开关、接线端子； 3）变配电室（接线处的配电柜）：抽屉开关、接线端
子、母线、电缆、变压器。 三、检查测试频次 1、各地公司日常检查为每半年不少于1次，万达广场持有物 业日常检查为每季度不少于1次，万达广场销售物业和非 万物业影城日常检查为每半年不少于1次； 2、大型活动前1天用红外热成像仪进行检查测试。 四、保管使用要求 1、热成像仪持有公司指定专人（持电工证）负责设备保存管 理，确保设备配件、文字资料齐全； 2、设备应放置在干燥、通风的环境中，绝对避免潮湿； 3、热成像仪是集光、电、计算机一体的精密仪器设备，使用 时需严格按照说明书要求进行，不得在超出规范要求的环 境中进行使用； 4、万达广场内主力店（包括百货、影城、大歌星）电气设备 检查应由商管公司专业人员进行，各主力店配合； 5、所有使用人员需经过持有设备公司保管人员培训，一年培 训两次并有记录； 6、各公司应在每年12月25日前制定下一年度的热成像仪检 查测试计划，并将计划报给设备持有公司，经设备持有公 司核对无检查冲突后实施； 7、各公司热成像仪使用前应进行OA流程审批（附件2），审 批后应在使用前1天到设备持有公司登记取用（附件3）， 并于使用后2天内归还。
红外热成像仪的发展历程及工作原理
红外热成像仪的发展历程及工作原理 “红外线”一词源于“pastred”，是超出红色之外的意思，表示该波长在电磁辐射频谱中所处的位置。“thermography”一词是采用同根词生成的，意思是“温度图像”。热成像的起源归功于德国天文学家SirWilliamHerschel，他在1800年使用太阳光做了一些实验。Herschel让太阳光穿过一个棱镜并在各种颜色处放置温度计，利用灵敏的水银温度计测量每种颜色的温度，结果发现了红外辐射。Herschel发现，当越过红色光线进入他称为“暗红热”区域时，温度便会升高。“暗红热”即是现在人们所说的红外热能，处于被称为电磁辐射的电磁波频谱区域。 二十年后，德国物理学家ThomasSeebeck发现了温差电效应。在该发现的基础上，意大利物理学家LeopoldoNobili于1829年发明了热量倍增器（即早期版本的热电偶）。这种简单的接触式设备的工作原理是两个异种金属之间的电压差会随着温度的变化而变化。过了不久，Nobili的合作伙伴MacedonioMelloni把热量倍增器改进为热电堆（以串联方式安装热量倍增器）并将热辐射集于热电堆上，这样，他可以检测到9.1米（33英尺）远处的人类体热。 1880年，美国天文学家SamuelLangley使用辐射热检测仪探测到304米(1000英尺）以外的牛的体热。辐射热 检测仪测量的不是电压差异，而是与温度变化有关的电阻变化。SirWilliamHerschel的儿子SirJohnHerschel于1840年使用名为“蒸发成像仪”的设备制作出第一幅红外图像。热图像是薄油膜的蒸发量差异形成的，可以借助油膜上反射出的光线进行查看。 热像仪是一种无需与设备直接接触便可检测出红外波长频谱中的热图案的设备。早期型号的热像仪称为“光导探测器”。从1916年至1918年，美国发明家TheodoreCase利用光导探测器做实验，通过与光子（而不是热能）直接交互作用产生信号，最终发明了速度更快、更灵敏的光导探测器。20世纪四十年代和五十年代期间，为了满足日益增长的军事应用领域的需求，热成像技术不断演变，取得了长足的发展。德国科学家发现，通过冷却光导探测器可以提高整体性能。 直到20世纪六十年代，热成像技术才被用于非军事应用领域。虽然早期的
光学薄膜厚度监控技术—赵福庭
光学薄膜厚度监控技术 赵福庭 北京京仪博电光学技术有限责任公司 2008-5 1.与膜层厚度监控有关的基本考虑 ?制备膜系的目标—膜系的光谱特性--透射特性、反射特性、相位特性、斜入射时的偏振特性等?膜系的光谱特性取决于其结构参数：F=F[nj(λ),kj(λ),dj] ?nj(λ),kj(λ)—在真空中(与淀积过程参数有关），在大气中及在工作环境中的变化规律 ?只在真空室某一特定的部位进行实时监控—设置监控片
?假设监控片与被镀工件上的膜层厚度具有固定的比例关系的比例关系((工具因子工具因子)) ? 工具因子受诸多因素的影响：几何关系、修正板因素、压强分布、剩余气体组分,热场分布、淀积速率的分布,等离子体状态、膜层材料本身的蒸发特性、蒸发源状态及工作参数、膜层折射率的色散等诸多因素—具有动态特性—在很大程度上影响监控结果 2．膜层厚度监控的主要方法 2.1时间—功率控制法功率控制法：d=vt –监控膜层的物理厚度—多应用于溅射系统 ?其前提是膜层折射率的再现性足够好 ?电源的功率足够稳定，使淀积速率v 接近为常数?靶材随着逐渐消耗，其表面形状会发生变化，影响淀积速率的一致性 ?解决方法—积累数据，建立淀积速率v 相对于特定靶材溅射能量E(千瓦小时)的关系: v=v(E)
?对于不需要考虑厚度误差相关性的情形，例如干涉截止膜系或其他类似膜系，时间—功率控制法已经取得成功 ?在良好的工作状态下，监控精度可达0.2nm 2.2石英晶体监控法—监控膜层的物理厚度 ?Δf=k1*Δm=k2*Δd—数学关系简单，便于实现自动控制 ?要求工艺条件稳定,膜层折射率的再现性较好?对于不同的膜料,分别有确定的工具因子 ?膜层厚度的分辨率很高，实际的监控精度约为1-5% ?影响因素：温度、蒸发源的状态,各种动态因素?实现与光学系统联用，进行数据交换 ?用于控制淀积速率，取得良好效果