激光干涉仪讲解

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激光干涉仪原理及应用概述

激光干涉仪原理及应用概述

激光干涉仪原理及应用概述激光干涉仪的原理可以简单介绍为以下几个步骤:首先,激光器产生激光光束,通过光学系统使光束变得平行。

然后,光束被分成两束,一束作为参考光束,另一束作为测量光束。

参考光束被发送到一个参考反射镜上反射回来,而测量光束则被发送到被测物体上,然后反射回来。

参考光束和测量光束在一个光学平台上交汇,形成干涉条纹。

通过观察、记录和分析干涉条纹的形态变化,可以得到被测物体的表面形貌或者其他参数。

1.工业制造:激光干涉仪可以用于测量工件的平面度、圆度、直线度等形貌参数,用于质量控制和优化生产过程。

2.精密测量:激光干涉仪可以进行亚微米级的位移测量,被用于精密仪器的研发和生产。

3.表面形貌测量:激光干涉仪可以测量微观表面的凹凸及表面光滑度,广泛应用于材料科学、纳米科技等领域。

4.生物医学:激光干涉仪可以测量生物组织的变形、变量等参数,用于医学研究和医疗诊断。

5.振动分析:激光干涉仪可以对机械部件或振动体进行振动频率、幅度等参数的测量,用于机械工程的研究和调试。

激光干涉仪的应用还在不断拓展和发展,不仅可以实现高精度的测量,还可以配合其他技术如像散斑技术、数码图像处理等进行更精确的测量和分析。

此外,随着激光技术的发展,激光干涉仪的体积和成本也在不断降低,有助于其在各个领域的广泛应用。

总之,激光干涉仪作为一种高精度测量仪器,具有广泛的应用前景。

它可以实现精确测量、快速响应和非接触测量等特点,被用于各个领域的研究和应用。

随着技术的进一步发展,激光干涉仪将会在更多领域得到应用,为科学研究和工业生产提供更多的支持和解决方案。

激光干涉仪的原理和应用

激光干涉仪的原理和应用

激光干涉仪的原理和应用1. 引言激光干涉仪是一种利用激光的干涉现象测量物体形状、表面粗糙度等参数的高精度仪器。

本文将介绍激光干涉仪的原理和应用,并深入探讨其工作原理和常见的应用领域。

2. 原理激光干涉仪的原理基于激光的干涉现象。

当两束光波相遇时,若其光程差为整数倍的波长,两束光波会发生干涉。

激光干涉仪利用这个原理,通过测量干涉条纹的位置和形态来进行各种参数的测量。

3. 工作原理激光干涉仪的工作原理可以分为两个步骤:光路干涉和信号处理。

3.1 光路干涉激光干涉仪的光路干涉部分包含分束器、反射镜和待测物体。

激光通过分束器被分为两束光,一束经过反射镜反射后再次汇聚,另一束直接照射到待测物体上。

两束光再次汇聚形成干涉条纹,这些条纹可以用来测量待测物体的形状和表面特性。

3.2 信号处理激光干涉仪的信号处理部分主要包括光电探测器和信号分析处理装置。

光电探测器负责将干涉条纹转换为电信号,信号分析处理装置则对这些电信号进行处理和分析,提取出有用的信息。

4. 应用激光干涉仪具有高精度、非接触、快速测量等特点,在各个领域都有着广泛的应用。

4.1 表面形状测量激光干涉仪可以通过测量干涉条纹的位置和形态来获取物体的表面形状信息。

例如,在机械制造中,可以利用激光干涉仪来检测零件的平整度、平行度等参数;在地质勘探中,可以用激光干涉仪来测量地表起伏、地壳变形等。

4.2 表面粗糙度测量激光干涉仪还可以用于表面粗糙度的测量。

通过测量干涉条纹的密度和间距,可以确定物体表面的粗糙度。

这在材料科学、电子工程等领域都有着重要的应用。

4.3 精密测量激光干涉仪的高精度使得其在精密测量领域有着广泛应用。

例如,在光学制造过程中,可以利用激光干涉仪来测量光学元件的表面形状,保证其质量和精度;在纳米技术中,激光干涉仪可以用于测量微小尺寸的构造。

4.4 光学与激光实验研究在光学与激光实验研究中,激光干涉仪也扮演着重要角色。

利用激光干涉仪,可以研究光的干涉、衍射等现象,对光学原理进行深入理解。

激光平面干涉仪说明书讲解

激光平面干涉仪说明书讲解

一、用途激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器,主要用于精密测量光学平面度。

仪器配有激光光源(波长为632.8nm)。

对于干涉条纹可目视、测量读数。

工作时对防震要求一般。

该仪器可应用与光学车间、实验室、计量室。

如需配购相关的必要附件,可精密测量光学平面的微小楔角、光学材料折射率n的均匀性,光学镀膜面或金属块规表面的平面度,90度棱镜的直角误差及角锥棱镜单角和综合误差。

二、主要数据1. 第一标准平面(A面),不镀膜。

工作直径:D1=φ146mm不平度小于0.02um2.第二标准平面(B面),不镀膜。

工作直径:D2=φ140mm不平度小于0.03um3.准直系统:孔径F/2.8,工作直径:D0=φ146mm焦距:f=400mm4.测微目镜:焦距f=16.7mm,放大倍数β=15X,视场角2W=40°,成像物镜:1.D=4.5 II.D=7 III.D=10F=15 f=23 f=375.工作波长:632.8nm6.干涉室尺寸:深260X宽300X190mm。

7.光源规格:激光ZN18(He-Ne)。

8.仪器的外形尺寸:长X宽X高 350X400X720mm9.仪器重量:100公斤图一第一标准平面(A面)精度照片图二第二标准平面(B面)三、工作原理本仪器工作基于双光束等厚干涉原理。

根据近代光学的研究结果,光兼有波动与颗粒两重特性。

光的干涉现象是光的波动性的特性。

因此,介绍本节内容时,仅在光的波动性的范围内讨论,例如,把“光”称为“光波”,“平行光”称为“平面光”。

波长为的单色光经过仪器有关的光学系统后成为平面波M。

(如图三所示),经仪器的标准平面P1和被检系统P2反射为平面波M1和 M2。

M1、M2即为两相干光波,重叠后即产生等厚干涉条纹。

等厚干涉原理能够产生干涉的光束,叫相干光。

相干光必须满足三个条件:1.震动方向必须一致,2.频率相等:3.光束必须相遇,且在相遇点处的相位差在整个时间内为一常量。

激光干涉仪原理及应用

激光干涉仪原理及应用

激光干涉仪原理及应用
激光干涉仪是一种利用激光光束干涉现象进行测量和检测的仪器。

它利用激光的单色性、相干性和定向性等特点,通过激光光束的干涉现象来测量光线的相位和波前差,从而达到测量目的。

激光干涉仪的原理和应用都具有重要的科学研究价值和实际应用意义。

激光干涉仪的原理可以简单描述为:两束激光光束通过分束器分开,分别在一边经过样品(或目标物)后再次合并在一起,然后通过干涉物后进入光电探测器进行信号采集。

当两束光经过样品后的相位有差异时,就会产生干涉,形成干涉条纹。

通过观察和分析干涉条纹的变化,可以得到样品的相关信息,如形状、厚度、折射率等。

激光干涉仪的原理中,常见的有两种干涉方式,即自由空间干涉和光纤干涉。

自由空间干涉指的是激光光束在空气中进行干涉,可用于测量样品的曲率、平面度、倾斜度等参数。

而光纤干涉则是将激光光束传输到光纤中进行干涉,可用于对光纤的插入损耗、光纤传输的延迟等进行测量。

激光干涉仪的应用非常广泛。

首先,在科学研究中,激光干涉仪可用于测量光学元件的表面形貌,如透镜、棱镜等,以及光学薄膜的厚度和折射率。

其次,激光干涉仪在工业领域中也得到广泛应用,如测量金属工件的平面度、光滑度等,以及检测半导体器件的曲率、形状等。

此外,激光干涉仪还可用于测量纳米颗粒、生物细胞和薄膜等微小尺度的物体,应用于生物医学领域,如细胞生长的监测、精确测量等。

总之,激光干涉仪作为一种精密测量和检测仪器,在科学研究和工业应用中具有重要意义。

其原理的理解和应用的熟练掌握可推动光学测量和微纳技术的发展,为实现精确测量和控制提供基础和技术支持。

物理实验技术中激光干涉仪操作步骤详解

物理实验技术中激光干涉仪操作步骤详解

物理实验技术中激光干涉仪操作步骤详解激光干涉仪是一种常用的物理实验技术,它利用激光的干涉现象来测量光学元件的性能。

本文将详细介绍激光干涉仪的操作步骤,包括调节光路和实施测量等过程。

首先,激光干涉仪的调节光路是关键的一步。

在调节光路之前,我们需要准备好一束稳定、单色的激光器和一些基本的光学元件,例如反射镜、透镜等。

1. 校准光路:首先,将激光器稳定放置在平坦的台面上,并连接好电源。

然后,使用一块平行玻璃或反射镜将激光器的光束分成两束,使其相互平行。

这可以通过调节反射镜的角度来实现。

2. 调整波长:使用光学元件来调整激光器的波长,以匹配干涉仪所使用的光学元件。

这可以通过调节光栅或控制激光器参数等方法来实现。

3. 调整光路长度:在干涉仪中,需要调整光路的长度,使得两束光相互干涉。

这可以通过移动反射镜或调节镜子的位置来实现。

需要注意的是保持两束光的相对位置稳定,以避免干涉产生失真。

完成光路的调节后,我们可以开始实施测量。

激光干涉仪的主要测量对象包括薄膜膜层、透镜曲率、表面形貌等。

1. 薄膜测量:将待测薄膜放置在干涉仪的光路中,通过测量光的干涉条纹来确定薄膜的厚度或者折射率。

这可以通过调节光路长度或者改变薄膜的位置来实现。

2. 透镜曲率测量:将待测透镜放置在光路中,通过测量光的干涉条纹来确定透镜的曲率半径。

这可以通过调节光路长度或者改变透镜的位置来实现。

3. 表面形貌测量:通过测量光的干涉条纹来确定物体表面的形貌。

这可以通过调节光路长度、移动探测器位置或者改变样品的位置来实现。

在进行测量过程中,我们需要注意以下几点:1. 确保实验环境的稳定性,如避免外界震动和温度变化对实验的影响。

2. 实施测量时应使用合适的探测器,如光电二极管或相机。

探测器的位置应在干涉条纹中心,以保证测量的准确性。

3. 进行实验时要小心避免对光学元件的损坏,尤其是透镜和反射镜,避免触摸它们的表面。

通过以上步骤,我们可以成功地进行激光干涉仪的操作和测量。

激光干涉仪测量距离和表面精度

激光干涉仪测量距离和表面精度

激光干涉仪测量距离和表面精度激光干涉仪是一种常用的精密测量仪器,可用于测量距离和表面精度。

通过利用光波的干涉现象,激光干涉仪能够实现高精度的测量。

本文将介绍激光干涉仪的原理、测量距离和表面精度的方法,以及激光干涉仪在不同领域中的应用。

激光干涉仪是基于光波的干涉现象进行测量的仪器。

光波的干涉是指两束或多束光波相遇时发生的波的叠加现象。

激光干涉仪通过将激光分成两束,一束作为参考光束,一束照射到待测物体上反射回来作为待测光束,再将两束光波进行干涉,通过测量干涉条纹的变化来获得距离和表面精度的信息。

激光干涉仪的测量距离的原理基于光波的干涉,利用干涉条纹的变化来获得物体到仪器的距离。

当两束光波相遇时,它们会发生干涉,干涉条纹的间距和形态会随着物体到仪器的距离的变化而改变。

通过测量干涉条纹的形态和间距的变化,激光干涉仪可以计算出物体到仪器的距离。

这种测量方法具有高精度和高分辨率的特点,适用于微小距离的测量。

激光干涉仪的测量表面精度的方法基于光波的干涉,利用干涉条纹的形态和间距来获得表面精度的信息。

当光波照射到物体表面时,由于表面的形态和光的反射特性的影响,干涉条纹的形态和间距会发生变化。

通过测量干涉条纹的形态和间距的变化,激光干涉仪可以计算出物体表面的精度。

这种测量方法具有高精度和高分辨率的特点,适用于表面平整度和粗糙度的测量。

激光干涉仪广泛应用于多个领域,如制造业、科学研究和地质勘探等。

在制造业中,激光干涉仪可用于检测零件的尺寸和形状,以及测量零件表面的精度。

在科学研究中,激光干涉仪可用于研究光学现象、材料的性质和微小物体的运动。

在地质勘探中,激光干涉仪可用于测量地表的高程和形态,以及探测地下的岩层和地下水位。

总结一下,激光干涉仪是一种常用的精密测量仪器,可用于测量距离和表面精度。

通过利用光波的干涉现象,激光干涉仪能够实现高精度的测量。

通过测量干涉条纹的形态和间距的变化,激光干涉仪可以计算出物体到仪器的距离和物体表面的精度。

激光干涉仪性能简介

激光干涉仪性能简介

激光干涉仪性能简介激光干涉仪是一种利用激光作为光源,通过干涉效应来测量光路差的精密仪器。

它广泛应用于长度测量、位移测量、表面形貌分析等领域。

本文将介绍激光干涉仪的性能特点和相关应用。

一、测量精度激光干涉仪的测量精度是衡量其性能的重要指标之一。

它通常表示为测量的标准偏差,也称为测量重复性。

激光干涉仪的测量精度受到多个因素的影响,包括激光光源的稳定性、光路稳定性、探测器的分辨率等。

一般来说,激光干涉仪的测量精度可以达到纳米级甚至亚纳米级。

二、线性度激光干涉仪的线性度是指输出信号与输入量之间的线性关系。

在理想情况下,激光干涉仪的输出信号应该与输入量成线性关系。

然而,在实际应用中,激光干涉仪的线性度常常受到非线性因素的影响,如光学元件的非线性特性、电子控制的非线性响应等。

为了提高激光干涉仪的线性度,可以采用校正算法或者提高光学元件的质量。

三、稳定性激光干涉仪的稳定性是指其输出信号在一定时间范围内的变化程度。

稳定性包括长期稳定性和短期稳定性两个方面。

长期稳定性指的是在长时间使用过程中,激光干涉仪的性能变化情况。

短期稳定性指的是在短时间内,激光干涉仪的输出信号的波动情况。

稳定性对于激光干涉仪的应用非常重要,尤其是在需要长时间测量或者对测量结果要求高精度的情况下。

四、灵敏度激光干涉仪的灵敏度是指其对于被测量的参数变化的敏感程度。

一般来说,激光干涉仪的灵敏度越高,能够检测到更小的参数变化。

激光干涉仪的灵敏度与输入光强度、光路长度等因素相关。

提高灵敏度的方法包括增强光源的亮度、采用高分辨率的探测器等。

五、动态范围激光干涉仪的动态范围是指能够测量的最大和最小光强的范围。

这个范围通常用分贝单位来表示。

动态范围越大,表示激光干涉仪能够处理更大和更小的光强。

动态范围的大小与仪器的灵敏度和噪声水平有关。

六、应用领域激光干涉仪广泛应用于工业制造、科学研究和实验室测量等领域。

在工业制造中,激光干涉仪常用于长度测量、表面形貌分析和位移测量等。

激光干涉仪的使用教程

激光干涉仪的使用教程

激光干涉仪的使用教程激光干涉仪是一种常见的光学测量装置,可以用于测量物体的长度、形状和表面的平整度等。

本文将介绍激光干涉仪的基本使用方法,帮助读者快速掌握这一技术。

一、仪器准备在使用激光干涉仪之前,我们首先需要准备好所需的仪器和材料。

激光干涉仪主要由激光发生器、光学平台、干涉装置和探测器等组成。

确认这些仪器和材料完好无损,并确保仪器的稳定性和准确性。

二、调整仪器使用激光干涉仪之前,我们需要对仪器进行调整,以确保其正常工作。

首先,将激光发生器插入电源,打开电源开关。

仪器启动后,等待一段时间,使激光充分发挥作用。

然后,通过调整光学平台和干涉装置的位置,使激光光束垂直射向目标物体。

三、设定测量参数在激光干涉仪的使用过程中,我们需要设定一些测量参数,以获得所需的测量结果。

这些参数包括光程差、相位移、干涉图的放大倍数等。

根据实际测量需要,选择合适的参数,并进行相应的设置。

四、开始测量一切准备就绪后,我们可以开始进行实际的测量工作了。

在进行测量前,确保测量环境稳定,并尽量减小外界干扰。

然后,将待测物体放置在光学平台上,并调整激光光束的位置和角度,使其能够覆盖待测物体的整个表面。

五、记录数据在进行测量过程中,我们应该及时记录测量结果和数据。

可以使用计算机或其他记录设备,将测量结果保存下来,以备后续分析和处理。

同时,应该对数据进行分析和统计,以获得更准确的测量结果。

六、数据处理在激光干涉仪的使用过程中,我们经常需要对测量数据进行处理和分析。

这包括数据的滤波、平均和曲线拟合等。

通过对数据进行处理,我们可以得到更加精确的测量结果,并获得更多有用的信息。

七、应用领域激光干涉仪具有广泛的应用领域。

它可以用于测量光学元件的表面形状、光学透明薄膜的厚度、机械零件的平整度和曲率等。

同时,激光干涉仪还可以用于光学几何测量、材料表面形貌分析和激光工艺等方面。

八、注意事项在使用激光干涉仪时,我们需要注意一些安全事项。

首先,激光光束对眼睛有一定的伤害,使用过程中应戴上适当的防护眼镜。

激光干涉仪的基本原理

激光干涉仪的基本原理

激光干涉仪的基本原理激光干涉仪是一种高精度的测量仪器,它可以用来测量物体的形状、表面质量、位置以及运动状态等。

在工业、航空航天、医学等领域都有广泛的应用。

本文将介绍激光干涉仪的基本原理。

1. 激光的特性首先,我们需要了解激光的特性。

激光是一种单色性和相干性极高的光波。

其波长稳定,方向一致,段差小,能够形成高质量的平行光束。

这些特性使得激光在干涉测量中有着很大的优势。

2. 干涉原理干涉现象是指两束光波在空气中相遇时,由于相位差的存在,会发生一系列的干涉现象。

常见的干涉现象有等厚干涉、等附加厚度干涉、菲涅尔双棱镜干涉、迈克尔逊干涉等。

在迈克尔逊干涉中,激光光束从分束器射出,经过反射镜反射后再次聚焦于分束器,形成一种干涉图形。

在干涉图形中,可以通过测量干涉带的位移、亮度等来计算物体的形态、位置、偏移量等信息。

3. 激光干涉仪的工作原理激光干涉仪是一种基于干涉原理的测量仪器。

它包括激光源、分束器、反射镜、检测器等部分。

当激光从激光源经过分束器后,会被分为两束光束。

其中一束光束经过反射镜后返回分束器,与另一束光束发生干涉。

通过调整反射镜的位置,可以改变干涉光束之间的相位差,从而形成干涉图形。

检测器会将干涉图形转化为电信号,通过电路处理后输出测量结果。

4. 激光干涉仪的优点和应用激光干涉仪有着高精度、高稳定性、非接触性测量等一系列优点。

它可以被应用于各种领域,例如:在机械加工领域,激光干涉仪可以用来测量机床导轨、定位板、工件表面形态等参数,从而提高加工质量和效率。

在医学领域,激光干涉仪可以用来测量角膜曲率、晶体位移等参数,从而用于诊断和治疗眼科疾病。

在航空航天领域,激光干涉仪可以用来测量航天器的姿态、运动状态等参数,从而实现精确的导航和控制。

总之,激光干涉仪是一种重要的测量仪器,具有广泛的应用前景。

了解其基本原理可以帮助我们更好地理解其工作原理和优点,从而更好地应用于实际应用中。

激光干涉仪讲解

激光干涉仪讲解
EC10机架后部有电源插座、电源开关(on/off、一个状态灯、以及数据链接电缆插座,可将EC10装臵连接PC10或PCM20接口卡。
三、警告
EC10的原厂设臵应已符合您所在国家的电压及频率规格。不过,在您使用EC10前,特别是在国外使用EC10或在非标准电源的场所使用时,请先确定将电源设定在适当的电压。请检查装臵下部的开关设臵,如下图5所示:
2.零线没有熔接保险丝。将装臵接上电源时,务必留心将正确的电线连接火线
三、接口介绍
ML10的后面板包括一个激光器状态灯、ON/OFF电源开关、电源连接、数据联结插座、以及角度俯仰调整。注:请返回3.1.2观看ML10后面面板(图)
激光器状态灯可表示激光器是否已达到稳定的状态。
ON/OFF开关控制ML10激光器的电源输入。电源插座就在此开关旁边,可插入提供的电源导线上压模的标准IEC接头。
切换平均开启/关闭功能。
选择长期平均。
选择短期平均。
启动Renishaw Laser10分析软件。
会显示一个帮助窗口,其中包含本Renishaw Laser10校准系统用户手册的信息库。
结束数据采集软件。
以下为软件本体上的一些功能:
图1
图1显示当前检测到的实际位置,其中有红色背景和灰色背景的区分,红色代表当前检测过程- 19 -
3.2激光干涉仪是由哪些软件组成
3.1.2什么是软件?
软件:是人们为了告诉电脑要做什么事而编写的,电脑能够理解的一串指令,有时也叫代码、程序。
3.2.2具体的软件名称以及各自的用途是什么?
(1)Renishaw Laser窗口:
- 13 -
2.3怎么检测螺距误差?
(1)安装高精度位移检测装置。
(2)编制简单的程序,在整个行程中顺序定位于一些位置点上。所选点的数目及距离则受数控系统的限制。

激光干涉仪使用技巧讲解

激光干涉仪使用技巧讲解

激光干涉仪使用技巧讲解激光干涉仪是一种在科学和工业中常用的精密测量仪器,广泛应用于光学、电子、机械等领域。

随着技术的不断发展,激光干涉仪的测量精度和稳定性不断提高,但在实际使用中仍然需要注意一些技巧才能获得较好的测量效果。

一、使用前准备在使用激光干涉仪之前,需要进行一些必要的准备工作:1.检查仪器在使用前,应检查仪器是否完好无损,各部件是否牢固,电路是否连接正确,激光是否正常发出等。

如果存在问题,应及时修理或更换。

2.校准仪器在进行精密测量之前,需要对激光干涉仪进行校准。

一般需要校准的包括:•激光输出功率•干涉仪干涉条纹数目•干涉仪光程差校准的目的是保证测量结果的准确性。

3.环境准备为了保证测量的准确性,需要将测量环境尽可能的控制在稳定状态,避免振动、温度变化等干扰。

二、使用技巧在进行实际测量时,需要注意以下几点:1.避免干扰激光干涉仪对环境干扰比较敏感,因此需要避免一些潜在的干扰源,如:•光源的影响•地震、微震等地面振动•温度变化等如果遇到上述干扰,应及时采取措施进行处理。

2.保持仪器稳定在进行测量时,需要保持激光干涉仪的稳定性,避免因振动、移动等因素导致测量误差。

可以采用以下措施:•固定仪器底座•采用抗震支架或振动隔离器•保持室内空气流通3.控制测量误差在使用激光干涉仪进行精密测量时,需要注意控制误差,包括:•误差源的分析和消除•测量数据的处理和分析•测量过程中的观察和记录通过对误差的控制,可以获得更加准确可靠的测量结果。

三、注意事项在使用激光干涉仪时,还需要注意以下事项:1.安全问题激光干涉仪使用的是激光光源,需要注意安全问题。

在使用时应佩戴适当的个人防护装备,防止激光对眼睛等部位造成伤害。

2.红外光问题部分激光干涉仪使用的是红外光源,需要注意该光源对照相机等摄像设备的影响,避免损坏这些设备。

3.维护问题激光干涉仪使用后应及时进行维护和保养,包括:•清洁仪器外壳•更换磨损的部件•校准仪器通过维护和保养,可以延长仪器的使用寿命,保证测量的准确性。

简述激光干涉仪的基本原理及应用

简述激光干涉仪的基本原理及应用

简述激光干涉仪的基本原理及应用激光干涉仪的基本原理激光干涉仪是一种利用干涉现象测量物体形状、表面粗糙度和位移等参数的仪器。

它基于光的干涉原理,通过将激光分成两束,使得它们在空间中相互干涉产生干涉条纹。

根据干涉条纹的变化,可以获取物体表面的形状和位移信息。

以下是激光干涉仪的工作原理:1.激光发射:激光干涉仪使用一台激光器产生单一频率、单色性好的激光束。

2.光分束:激光束被一个分束器分成两束,分别称为参考光和测量光。

3.光路径的差异:参考光和测量光沿着不同路径到达物体表面,然后反射回来。

4.光的重合:参考光和测量光在空间中重合形成干涉条纹,这些条纹会展现出光程差的变化。

5.干涉条纹的检测:通过使用光电二极管或相机等光学检测器,可以观察和记录干涉条纹的变化。

6.数据处理:通过对记录的干涉条纹进行分析和处理,可以得到物体表面的形状、位移等参数。

激光干涉仪的应用激光干涉仪广泛应用于科学研究、工程技术和工业领域。

以下是一些常见的应用领域:1.表面形貌测量:激光干涉仪可以用来测量物体的表面形状和轮廓。

通过分析干涉条纹的密度和形态,可以获取物体表面的高程数据,从而实现对物体形貌的准确测量。

2.镜面反射测试:激光干涉仪可以用来测试镜面的反射质量。

通过分析镜面反射的干涉条纹,可以评估镜面的平整度、平行度等参数,从而判断镜面的质量。

3.光学元件定位:激光干涉仪可以用来定位光学元件,例如透镜、光栅等。

通过测量光学元件的位置和位移,可以实现准确的光学装配和校正。

4.振动分析:激光干涉仪可以用来分析物体的振动状态。

通过测量物体在不同时间点的位移,可以获得物体的振动频率、振幅等信息,从而进行振动分析和优化设计。

5.材料应力测试:激光干涉仪可以用来测试材料的应力分布。

通过测量材料表面的形变量,可以推断材料内部的应力分布状况,从而实现对材料力学性能的评估。

综上所述,激光干涉仪是一种重要的光学测量仪器,具有广泛的应用前景。

它通过利用激光的干涉现象,实现对物体形状、表面粗糙度和位移等参数的测量和分析。

激光干涉仪测量原理及应用

激光干涉仪测量原理及应用

激光干涉仪测量原理及应用激光干涉仪是一种基于干涉原理的精密测量仪器,广泛应用于科学研究、工业制造和医疗领域。

本文将介绍激光干涉仪的测量原理、测量对象以及应用领域。

一、测量原理激光干涉仪利用激光光束的干涉现象进行测量。

首先,通过激光发生器产生一个相干的激光束,然后将光束分为两束,其中一束通过参比光路径传播,另一束通过待测物体的表面反射。

两束光束重新合并后,通过干涉现象形成干涉条纹。

根据干涉条纹的变化,可以计算出待测物体的表面形态、位移或变形信息。

在激光干涉仪中,常用的测量原理有两条著名的分支:相位差法和长度差法。

1. 相位差法相位差法通过测量干涉条纹的相位差来确定待测物体的形态、位移或变形信息。

当待测物体发生形变或位移时,相位差会发生变化。

利用激光干涉仪测量相位差,并通过相位差与位移间的关系,可以获得待测物体的位移信息。

2. 长度差法长度差法通过测量干涉条纹的长度差来确定待测物体的形态、位移或变形信息。

待测物体的表面形态、位移或变形导致光程差的改变,进而影响干涉条纹的长度差。

通过测量长度差,并通过长度差与位移间的关系,可以获得待测物体的位移信息。

二、测量对象激光干涉仪广泛应用于各个领域的测量任务中,包括科学研究、工业制造和医疗领域。

1. 科学研究在科学研究领域,激光干涉仪常用于测量微小位移和形变。

例如,在光学领域,激光干涉仪可用于测量光学元件的表面形态和位移,以及光学系统的变形;在材料科学中,激光干涉仪可用于测量材料的热膨胀、压力变形等。

2. 工业制造在工业制造领域,激光干涉仪被广泛应用于检测和测量任务中。

例如,激光干涉仪可以用于检测零件的形状和尺寸,以确保制造过程的准确性和一致性。

此外,激光干涉仪还可以用于测量机械零部件的运动、振动和变形。

3. 医疗领域在医疗领域,激光干涉仪被应用于眼科手术和体内干涉成像。

在眼科手术中,激光干涉仪可以测量眼角膜的形态和厚度,以辅助眼科医生进行手术;在体内干涉成像中,激光干涉仪可以测量生物组织的纤维结构和表面形态,以帮助医生进行疾病诊断。

激光干涉仪原理及实验装置概述

激光干涉仪原理及实验装置概述

激光干涉仪原理及实验装置概述激光干涉仪是一种利用激光干涉原理测量物体表面形貌和长度的仪器。

它是利用激光的准直性、单色性和相干性,通过光的干涉现象来实现高精度的测量。

激光干涉仪具有测量精度高、测量速度快、非接触式测量等优点,在实验研究、制造业等领域有广泛的应用。

一、激光干涉仪原理激光光源发射的单色、准直的光经过分束器被分成两束,分别形成参考光和测量光。

这两束光同时照射到待测物体上,然后被反射回来。

由于待测物体表面形貌的不同,两束光返回时光程差发生变化,进而产生干涉现象。

通过探测和分析干涉信号,就可以推断出待测物体的形貌和长度。

激光干涉的基本原理是光程差干涉,它产生的干涉条纹是由于两束光的相干性和光程差的变化引起的。

当两束光的相位差为奇数倍的半波长时,干涉会出现亮条纹;当相位差为偶数倍的半波长时,干涉会出现暗条纹。

二、实验装置概述激光干涉仪主要由激光器、分束器、反射镜、干涉仪和检测器等组成。

下面分别介绍其中的几个重要组成部分。

1. 激光器:激光干涉仪的激光器是产生高亮度、单色激光光源的关键设备。

常用的激光器有氦氖激光器、二极管激光器等。

激光器的输出功率要稳定,光束质量好,满足实验要求。

2. 分束器:分束器是将激光分成两束光的光学元件。

常用的分束器有半反射镜、双折射晶体等。

分束器需要具备高反射和高透射的特性,以保证光能被正确地分割。

3. 反射镜:反射镜用于将分出的两束光照射到待测物体上,并接收反射回来的光。

反射镜要具备高反射率、光学稳定性和机械稳定性,以保证光的质量和测量的稳定性。

4. 干涉仪:干涉仪是激光干涉仪中的核心部件,用于产生干涉现象并形成干涉条纹。

常用的干涉仪有马赫曾德干涉仪、迈克尔逊干涉仪、光栅干涉仪等。

不同类型的干涉仪适用于不同的实验需求。

5. 检测器:检测器用于接收干涉信号并将其转化为电信号,以实现干涉信号的分析和处理。

常用的检测器有光电二极管、CCD等。

检测器的灵敏度和响应速度需要满足实验测量的要求。

激光干涉仪原理

激光干涉仪原理

激光干涉仪原理激光干涉仪是一种利用激光干涉现象来测量物体表面形状、薄膜厚度、折射率等参数的精密光学仪器。

其原理基于激光的相干性和干涉现象,通过激光光束的分束、干涉和合束,实现对被测物体的精密测量。

激光干涉仪的原理主要包括干涉、分束、合束和干涉图样的形成。

首先,激光干涉仪利用激光的相干性,使得两束光线相互叠加形成干涉条纹。

当两束相干光线相遇时,由于光波的叠加效应,形成明暗交替的干涉条纹,通过测量干涉条纹的位置和形态,可以得到被测物体的形状和参数信息。

其次,激光干涉仪通过分束器将激光光束分为两束,分别照射到被测物体表面,然后再利用合束器将两束光线重新合成一束,使得两束光线相互干涉,形成干涉条纹。

通过测量干涉条纹的位置和形态变化,可以得到被测物体表面的形状信息。

激光干涉仪的干涉图样是由两束相干光线相互叠加形成的,其形态和位置的变化与被测物体的形状和参数密切相关。

通过对干涉图样的分析和处理,可以得到被测物体的形状、薄膜厚度、折射率等参数信息。

总的来说,激光干涉仪利用激光的相干性和干涉现象,通过分束、干涉和合束的过程,实现对被测物体的精密测量。

其原理简单而又精密,广泛应用于工业制造、科学研究、医学诊断等领域,为精密测量提供了重要的技术手段。

激光干涉仪的应用非常广泛,包括但不限于工业制造中的零件测量、表面质量检测、薄膜厚度测量;科学研究中的光学实验、材料表征、精密测量;医学诊断中的眼底成像、生物组织测量等。

随着激光技术的不断发展和完善,激光干涉仪的应用领域将会更加广阔,为各行各业的精密测量提供更加可靠、精准的技术支持。

综上所述,激光干涉仪利用激光的相干性和干涉现象,通过分束、干涉和合束的过程,实现对被测物体的精密测量。

其原理简单而又精密,应用广泛,为精密测量提供了重要的技术手段。

随着激光技术的不断发展,激光干涉仪的应用领域将会更加广阔,为各行各业的精密测量提供更加可靠、精准的技术支持。

激光干涉仪检测与调整过程讲解

激光干涉仪检测与调整过程讲解

激光干涉仪检测与调整过程讲解激光干涉仪是一种常用的光学测量工具,可以用于测量非常小的距离和角度变化。

它通常由两个关键组件组成:稳定的激光源和一个高质量的干涉仪。

在本文中,我们将介绍激光干涉仪的工作原理、使用方法和调整过程。

激光干涉仪的工作原理激光干涉仪的设计基于激光干涉原理,该原理是将激光束分为两个光束,分别通过被测物体的两个侧面,然后将两束光重新合成。

当光束互相干涉时,它们会产生间隔的明暗条纹,这些条纹的间隔可以被用于测量小的长度变化。

在实践中,激光干涉仪使用的激光源通常是由半导体光源提供的,这种光源在可见光范围内有非常狭窄的频谱分布。

可以使用反射镜和分束器将光分为两束。

在光路上分别安装一个光栅使得干涉仪可以使用逆反射干涉,提高测量的精度。

使用激光干涉仪进行测量在进行测量时,需将两束光线分别传输给要被测量的物体的两个侧面。

当两束光线重新合并时,它们会形成明暗相间的条纹图案,这是干涉产生的结果。

通过测量条纹的间隔,我们可以轻松地计算出被测物体的位移变化。

激光干涉仪可用于测量非常小的长度、位移和角度变化,其度量精度可以达到亚微米级别。

此外,通过使用高质量的干涉仪,我们可以将其用于高精密表面形貌测量。

调整激光干涉仪如果干涉仪的调试不当,会导致干涉条纹模糊或者严重扭曲的情况,降低干涉仪的度量精度。

因此,在使用激光干涉仪进行测量之前,必须对其进行调整。

以下是调整激光干涉仪的步骤:1.调整激光源:确保激光源光束的宽度和强度足够稳定。

可以将激光传输到墙上的标定留置板来检查光束的准直性和焦点。

2.双色干涉圈合并:在数字式激光干涉仪中,需要将蓝色和红色光线重合在一个干涉圈内。

使用向一侧旋转/切向板识别同步点,其中图案由蓝色和红色光线表示。

提示:每次转动方向8分钟。

3.气象因素:排除湿度、温度固定输出、地面震动等因素的影响。

工作时确保放在一个平稳的场所,切不可震动。

4.探头选择:一般选其低灵敏度的测头。

不完全平整的表面则需要高灵敏度的探头。

测量天体距离的激光干涉仪操作指南

测量天体距离的激光干涉仪操作指南

测量天体距离的激光干涉仪操作指南激光干涉仪是一种常用的仪器,它能够精确测量物体的距离。

在天文学领域,激光干涉仪也被广泛应用于测量天体之间的距离。

本文将为您提供一份激光干涉仪的操作指南,帮助您在天文学研究中运用激光干涉仪进行精确的距离测量。

1. 准备工作在使用激光干涉仪之前,首先需要做一些准备工作。

确定测量的目标天体,并将激光干涉仪设定为相应的模式。

同时,确保仪器的稳定性,消除任何可能影响测量结果的干扰因素。

2. 设置参考平面激光干涉仪需要一个参考平面来确定测量的基准。

在天文学中,我们通常选择恒星作为参考平面。

通过测量天体与恒星之间的干涉条纹变化,我们可以计算出天体的距离。

3. 进行测量在设置好参考平面后,即可进行距离测量。

激光干涉仪会发出一束激光并照射到目标天体上。

激光从天体上反射回来后,会与参考激光产生干涉,形成一系列的干涉条纹。

4. 记录干涉条纹在测量过程中,需要记录下干涉条纹的变化情况。

可以使用相机或其他光学设备将干涉条纹投影到探测器上。

确保记录到清晰、准确的干涉条纹图像,以便后续的数据分析和处理。

5. 数据处理获得干涉条纹图像后,需要进行数据处理来获取天体的距离。

首先,利用图像处理软件对图像进行处理和增强,以提高数据的可靠性和准确性。

其次,通过分析干涉条纹的相位变化,利用干涉仪的原理计算出天体的距离。

6. 精度评估在进行距离测量后,需要对测量结果进行精度评估。

可以通过与其他独立的测量结果进行对比来验证数据的可靠性。

如果有必要,可以进行多次测量并取平均值,以提高测量的精确性。

总结:激光干涉仪是一种重要的测量工具,可用于测量天体之间的距离。

本文提供了一份激光干涉仪的操作指南,包括准备工作、设置参考平面、测量过程、数据处理和精度评估等步骤。

通过正确操作激光干涉仪,我们可以获取准确的天体距离数据,进一步深入研究天文学领域的问题。

在实际操作中,需要注意仪器的稳定性和准确性,以确保结果的可信度。

激光干涉仪的原理

激光干涉仪的原理

激光干涉仪的原理一、引言激光干涉仪是一种基于激光干涉原理的精密测量装置,广泛应用于工程测量、物理实验和科学研究等领域。

本文将从激光干涉的基本原理、激光干涉仪的工作原理以及应用等方面进行介绍。

二、激光干涉的基本原理激光干涉是指利用激光光束的干涉现象进行测量或实验的一种技术。

激光是一种具有高亮度、高单色性和高相干性的光源,能够形成明暗交替的干涉条纹。

其基本原理是激光光束经过分束器分为两束,一束经过反射镜反射后与另一束光相干叠加,形成干涉条纹。

三、激光干涉仪的工作原理激光干涉仪主要由光源、分束器、反射镜、光阑、检测器等组成。

光源发出的激光光束经过分束器分为两束,分别经过反射镜反射后再次汇聚在一起。

在汇聚之处,光的干涉现象会产生明暗交替的干涉条纹,这些干涉条纹会被检测器接收并转换为电信号。

激光干涉仪通过调整反射镜的位置,可以改变光的路径差,从而改变干涉条纹的形态。

当反射镜移动一个波长的距离时,干涉条纹会发生一个周期的变化。

通过检测干涉条纹的变化,可以计算出反射镜的位移量,进而实现对被测量的物体的测量。

四、激光干涉仪的应用激光干涉仪广泛应用于工程测量、物理实验和科学研究等领域。

在工程测量中,激光干涉仪常用于测量物体的位移、振动和形变等参数,如测量建筑物的沉降、机械零件的变形等。

在物理实验中,激光干涉仪可以用于测量光的波长、厚度和折射率等参数,如测量薄膜的厚度、气体的折射率等。

在科学研究中,激光干涉仪可以用于研究光的干涉现象、光的相干性等,如研究光的干涉条纹的形成机制、光的相干长度等。

五、总结激光干涉仪是一种基于激光干涉原理的精密测量装置,通过调整反射镜的位置,利用干涉条纹的变化来测量物体的位移、振动和形变等参数。

激光干涉仪在工程测量、物理实验和科学研究等领域有着广泛的应用。

通过深入理解激光干涉仪的原理和工作方式,我们可以更好地应用和发展激光干涉技术,推动科学和技术的进步。

激光干涉仪的使用方法和技巧

激光干涉仪的使用方法和技巧

激光干涉仪的使用方法和技巧激光干涉仪(Laser Interferometer)是一种常用于测量物体长度和表面形貌等精密测量的仪器。

本文将介绍激光干涉仪的基本原理、使用方法和技巧,以帮助读者更好地应用激光干涉仪进行精密测量。

一、激光干涉仪的基本原理激光干涉仪基于干涉现象进行测量。

激光光源发出的单色光通过分束板分成两束光,然后分别经过两个光路,最后再次汇聚到一起。

当两束光的相位差为整数倍的波长时,两束光相互叠加干涉,形成明暗交替的干涉条纹。

通过测量干涉条纹的特征,可以计算出被测物体的长度、形状等信息。

二、激光干涉仪的使用方法1. 准备工作在使用激光干涉仪之前,需要确保仪器处于良好的工作状态。

首先,检查激光光源是否正常工作,确保光束的稳定性和质量。

其次,校准激光干涉仪的光路,确保两束光在汇聚时能够产生明确的干涉条纹。

2. 调整测量位置将激光干涉仪放置在待测物体的旁边或上方,并使用调节装置将光束对准物体表面。

确保光束垂直于物体表面,以获得准确的测量结果。

3. 观察干涉条纹打开激光干涉仪的显示屏或调节装置上的干涉条纹显示功能。

观察干涉条纹的形态和变化,根据实际测量需求调整光路或物体位置,使干涉条纹清晰可辨。

4. 实施测量根据所需测量的参数,选择合适的测量模式和功能。

根据干涉条纹的特征,采集测量数据,并使用仪器自带的软件或计算工具进行数据处理和分析。

三、激光干涉仪的使用技巧1. 注意环境条件激光干涉仪对环境条件相对敏感,尤其是光线和振动。

在测量过程中,尽量避免光线的干扰,选取较为安静的环境。

如果必要,可以使用隔离罩或振动吸收装置来降低外界环境对测量的影响。

2. 规避反射干扰激光干涉仪对光线的反射比较敏感,测量时应注意避免光线被反射到其他表面上,产生干涉干扰。

可以通过调整光源角度、使用吸光材料等方式减少反射干扰。

3. 熟悉仪器功能熟悉激光干涉仪的各种功能和测量模式,合理选择并设置相应的参数。

根据不同测量对象和要求,调整仪器的测量范围、采样率、干涉条纹的对比度等,以获得最佳的测量结果。

激光干涉仪原理介绍

激光干涉仪原理介绍

激光干涉仪原理介绍激光干涉仪(Interferometer)是一种基于干涉原理的精密测量仪器。

它利用激光的相干性和波动性,通过测量光程差或位相差的变化,可以对物体的长度、形状、表面质量等进行高精度的测量。

本文将介绍激光干涉仪的原理、构成和使用方法。

一、激光干涉原理激光干涉仪的基本原理是激光光束的干涉,干涉是指两个或多个波的叠加形成的干涉图案。

激光干涉仪一般是利用两束平行或近似平行的激光光束进行干涉。

当两束光束相遇时,由于光的波动性,会产生相长相消的干涉条纹。

根据干涉条纹的变化,可以测量物体表面的形状、光程差等。

二、激光干涉仪的构成1.激光器:激光干涉仪使用的激光器一般是氦氖激光器或半导体激光器,能够提供稳定的、单色、相干光源。

2.分束器:分束器是将激光光束分为两束平行的光束的光学元件,常用的分束器有半反射镜或分波镜。

分束器分为两个光路,一个称为参考光路,另一个称为测量光路。

3.反射镜:反射镜用于将分离出的两束光束反射回归并形成干涉。

反射镜一般被安置在待测物体的两端,将参考光束和测量光束反射回到检波器。

4.检波器:检波器用于测量干涉条纹的强度和位置。

常用的检波器有光电二极管和CCD相机等。

它将干涉图案转化为电信号,方便进行数据分析和处理。

三、激光干涉仪的使用方法1.相对干涉法:相对干涉法是通过比较两个物体之间的长度差异来测量物体的形状或表面质量。

在测量时,将待测物体和参考物体分别安置在两个光路中。

随后,根据两个干涉图案的变化,可以计算出两个物体之间的长度差异。

2.绝对干涉法:绝对干涉法是通过测量干涉图案中的位相差来进行测量。

在测量时,同时测量待测物体和参考物体表面的干涉图案。

通过分析两个干涉图案的位相差,可以计算出物体表面的形状和高度差。

应用领域:在制造业中,激光干涉仪常用于测量工件的形状、平整度和表面光洁度。

例如,在光学元件的制造中,可以使用激光干涉仪来精确测量元件的曲率和表面误差。

在科学研究中,激光干涉仪可用于测量物体的振动、变形和位移等动态过程。

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三个安装杆(安装杆有M8螺丝钉可拧上底板、标准磁基或其它Renishaw装臵)M8适配器(可连接标准磁基或Renishaw的CMM探头)两个底板
两个安装块和安装螺钉(可将光学元件连接至安装杆)
镜组安装组件不包括任何可将安装的镜组夹上待测机床的元件,要这么做需视不同的机床
而异。一种通用的方式是用磁性安装块直接将钢制底板或/和安装杆装上机床。安装组件的安装杆和底板都是磁性不锈钢所制,因此可以用磁性安装块来加以牢固。
线性测量:是激光器最常见的一种测量。激光器系统会比较轴位置数显上的读数位置与激光器系统测量的实际位置,以测量线性定位精度及重复性。
三、根据第二点的解释,线性测量正符合我们检测螺距误差的要求。因此,我们此次使用的检测方法——线性测量。
总结以上我们的核心在于:如何操作Renishaw激光器测量系统结合线性测量的方法进行检测,之后将检测得到的数据进行分析,最后将分析得到的数据存放到数控系统中。这样做的目的在于——提高机床的精度。
(4)线性测量镜组
线性测量镜组可用于测量线性定位精度。线性测量镜组组件包括下列要件,如图1所示:①分光镜
②两个线性反射镜③两个光靶以助于光学准直
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注:当您组合一个分光镜和线性反射镜后,便成为一个线性干涉镜。
(5)用于将镜组安装到机床机床上的安装组件
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镜组安装组件是用来将Renishaw测量镜组安装到CMM或机床上。本系统的设计可以轻易地交换不同的测量镜组,无需重新准直激光器。组件包括:
三脚架、安装云台和ML10激光器三合一体,可为ML10光束准直提供下列调整:
∙ ∙ ∙ ∙
高度调整水平平移调整角度偏转偏转调整角度俯仰调整
其中高度调整是由图9上显示的高度曲柄控制的,水平平移是由图2上显示的平移控制旋钮控制,角度偏转偏移是由图2上显示的旋转微调旋钮控制。图2后的两个示意图为水平平移和角度偏移的使用方法。
3.2激光干涉仪是由哪些软件组成
3.1.2什么是软件?
软件:是人们为了告诉电脑要做什么事而编写的,电脑能够理解的一串指令,有时也叫代码、程序。
①增量型误差
增量型误差是指:以被补偿轴上相邻两个补偿点间的误差差值为依据来进行补偿②绝对型误差
绝对型是误差是指:以被补偿轴上各个补偿点的绝对误差值为依据来进行补偿2.5螺距误差补偿的原理是什么?
螺距误差补偿的基本原理就是将数控机床某轴上的指令位置与高精度位置测量系统所测得的实际位置相比较,计算出在数控加工全行程上的误差分布曲线,再将误差以表格的形式输入数控系统中。这样数控系统在控制该轴的运动时,会自动考虑到误差值,并加以补偿。
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第二章、
2.1什么是螺距误差?
基础知识
开环和半闭环数控机床的定位精度主要取决于高精度的滚珠丝杠。但丝杠总有一定螺距误差原因可以得知:
螺距误差是指由螺距累积误差引起的常值系统性定位误差。2.2为什么要检测螺距误差?
根据2.1节,检测螺距误差是为了减少加工过程中造成零件的外形轮廓偏差,即提高机床的精度。
硬件:硬件就是我们看到的一堆由金属、塑料等材料堆成的被称之为‚Renishaw激光干涉仪‛的东西(事实上,它是由一些机壳和电路板等物构成。因为是一些看得见、摸得着的东西,又因为都是‚硬‛的,所以被人们形象地称为‚硬件‛。
3.1.2具体硬件名称以及各自的用途是什么?
一、本次使用激光检测仪主要检测螺距误差,因此我们主要使用到以下的仪器:
2.3怎么检测螺距误差?
(1)安装高精度位移检测装置。
(2)编制简单的程序,在整个行程中顺序定位于一些位置点上。所选点的数目及距离则受数控系统的限制。
(3)记录运动到这些点的实际精确位置。
(4)将各点处的误差标出,形成不同指令位置处的误差表。(5)多次测量,取平均值。
(6)将该表输入数控系统,数控系统将按此表进行补偿。2.4什么是增量型误差、绝对型误差?
(1)ML10激光器
Renishaw ML10 Gold Standard激光器
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以上四个图案为激光罩在不同的状态下的作用
A无光束射出B缩小横截面光束及目标C)最答光束及目标D)标
准测量位置射出最大光来的横截面以及反射光束的探测器孔Renishaw ML10 Gold Standard激光器:
ML10是一种单频HeNe激光器,内含对输出激光束稳频的电子线路及对由测量光学镜产生的干涉条纹进行细分和计数处理。
其主要作用简单概括为:发射红外线以及返收红外线供特定的软件做分析,记录相关的数据
(2)三脚架
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三脚架及云台可用来安装ML10激光器,将ML10激光器设臵在不同的高度,并充分控制ML10激光束的准直。对于大多数机床校准设臵,建议将ML10激光器安装在三脚架和云台上。
第一章、前言
一、本次我们主要研究:如何检测机床的螺距误差。因此我们主要的任务在于:1.应该使用什么仪器进行测量2.怎么使用测量仪器3.怎么进行数据分析
4.怎么将测量所得的数据输入对应的数控系统
二、根据第一点的要求,我们选择的仪器为:Renishaw激光器测量系统,此仪器检测的范围包括:
1.线性测量2.角度测量3.平面度测量4.直线度测量5.垂直度测量6.平行度测量
(3)EC10环境补偿装臵
EC10环境补偿装置可以补偿激光器光束波长在气温、气压、及相对湿度影响之下的变化。
大多数机床会随着温度变化膨胀或收缩,可能导致校准发生误差,为了避免校准误差,线性测量软件纳入一种称为热膨胀补偿或“归一化”的数学修正,应用在线性激光读数上。软件使用膨胀系数将测量加以归一(膨胀系数需手动输入),并使用EC10来测量平均机床温度。修正的目的是要评估在20 °C (68 °F的温度下执行校准时应得的激光器校准结果。
采用螺距误差补偿功能应注意:螺距误差补偿功能的实现方法又有增量型和绝对型之分。所谓补偿就是指通过特定方法对机床的控制参数进行调整,其参数调整方法也依各数控系统不同而各有差异。
第三章、
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认识激光干涉仪
本次试验我们使用的仪器为:Renishaw激光器测量系统
3.1激光干涉仪是由什么硬件组成
3.1.1什么是硬件?
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