干式真空泵发展现状

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一、国外干式真空泵发展状况

目前国外干式真空泵市场不断增长，主要用于半导体行业、化工、制药和薄膜产业。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替油封式机械泵，目前干式真空泵的主要型式有爪型、罗茨型、涡旋型、螺杆型和往复活塞式、隔膜式等几种。

英国爱德华公司年产爪型和罗茨型干泵8000套，年销售额达1.5亿美元，主要用于半导体、制药和化工等行业；日本的安耐特 Anlet公司年产三叶型罗茨干泵8000套，主要用于化工、塑料、农药等行业，干式真空泵发展空间十分广阔。

德国普旭、莱宝，美国凯尼、日本Ebara荏原、Kashiama (日)、Alcatel (法)等国际真空行业巨头均花去大量资源研发制造干式真空泵。

人们预言：21世纪与高真空相联系的大多数真空泵将是干式真空泵。

二、国内干式真空泵发展状况

据预测，到2010年我国将成为世界第二大半导体集成电路市场，总需求量约1000 亿块，达到1000亿美元以上的市场规模，需建30多条大生产线才能满足需求。所需干式真空泵约15000台，随清洁真空的逐步普及，食品、化工、制药和薄膜行业也急需大量具有优良性价比的干式真空泵，而国内只有少数几家企业从事干式真空泵的研发和制造，如：朗禾-爪型干式真空泵、沈科仪-

涡旋泵、淄博-螺杆干式真空泵等。

三、干式真空泵主要应用领域

1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺，半导体刻蚀工艺。

2、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

3、化工、医药、食品中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，防止有机溶剂污染；

4、用作一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。