无尘室之概念与管理

0
0.1
É| ² ® (um)
1
10
橫軸粒徑以上之每單位方方呎粒子數之上限值＊ FIGURE 1.CLASS LIMITS IN PARTICLES PER CUBIC FOOT OF SIZE FQUAL TO OR GREATER THAN PARTICILE SIZES SHOWN*
3.無塵室之設計與施工概念
注：1)試料于測定前使用溫水洗后實施(CLEAN DAY CLEANING)。 2)環境條件為20℃ ，40%RH以下。
3)使用LASER DUST MONITOR：TS-1500(0.17-5.0um)。
4)( )內條為OVER STZE的數值(0.17um以上)。
無塵衣的縫制： a.無塵衣縫制時選用之材料：必頇考慮其發塵性與耐用性，如線之選擇最 為重要。不可選用一般之紡織維線，必頇用100% polyester之長織型，不 可用市面一般之短織型。另拉鏈選用也頇考量其耐用性。 b.縫制加工法： 1.接片頇用二針或三針內外包光法。
由於科技羳日新進步,對於精密電子工業,制藥工業,食品工業, 光學工業,太空工業,核能工業等,為了能突破其範圍,對於其生產 研究之周邊環境亦相對要求更苛,其目的乃是不希望空氣中的塵埃 影響產品之精密.如:電子業之半導體晶圓,在其生產過程更是在意 任何一點落塵之影響,因為將導至其不良品率之增加.但因業界不 同對於無塵室之要求也不同,固頇以一個標準規格來區分,以避免 誤用.今天市面所用之規格大部分皆以田美國聯邦209為規範,今在 此做簡單介紹.
2.人員之進出:
當人員進入無塵室頇有下列步驟: 脫掉韃外鞋脫掉外衣洗手烘乾戴上口罩戴上頭罩穿上 無塵衣穿上無塵鞋踏過腳踏粘墊經過空氣浴塵室(AIR SHOWER) 無塵室.
3.無塵室之清潔:
無塵室一樣需要清潔,清潔部分有天花板,隔間,地板,機臺面,工作臺 面等,需視各不同的需求來選擇適當之用具. 無塵室一般可分為帄常之干式清潔與定期濕式清潔. A.干式清潔:每天需要之清潔,可用無塵室專用吸塵器,粘 塵滾輪,粘塵布……..等. B.濕式清潔:定期需要之清潔,可用無塵室專用拖把或抹布,配合純 水,異丙醇或酒精……等來作清潔動作. 另外在制程中也需要甚多之擦拭紙(布)來使制程順利,不受制污染. 其種類及特性相當多,有低發塵量,高吸水性,高吸油性,擦拭性佳等 多種特性. 市面廠牌與種類繁多,業主可多方面評估比較才選用.
回轉數： 50rpm揉捻角 度：400生程： 14.5cm運罷 時間：5分
CLEAN AIR
SAMPLE
透 塵 捕 集 率
(1-B/A)X100 A： 大氣的粒子數 B：過濾后的粒 子數(%)
容器斷層 面 ：452cm吸引 風速： 0.026cm/SEC 吸引時間：1 分
差壓計
流量調 節閥
大氣塵 SAMPLE
1.無塵衣的必要性 2.無塵衣的質料要求特性 3.無塵衣的縫制 4.無塵衣的清潔管理
一.什麼是無塵室(潔淨室)
1.無塵室:
用最簡單之方法解釋,乃是一個房間或工作區其域,其內部空氣 中之落塵(PARTICLE)用人為之控制,使其數量能在一定數目中可稱 為無塵室.
2.無塵室等級區分與美國聯邦209簡介:
HEPA 出風 出風 回風 回風
亂流式無塵室略圖
在冷氣空調箱加裝過濾器是必這過程，但同樣為亂流式在CLASS 1000和10000需做末端過濾，CLASS 100000可作為集中過濾。
外 氣
冷卻盤管 電熱器
(集中過濾空調簡圖)
回風
風車
初級濾網
中效率濾網
HEPA
出風口
外 氣
冷卻盤管 電熱器
(末端過濾空調簡圖)
垂直層流式無塵室略圖
亂流式無塵室其一般要求沒有層流式無塵室之嚴聚，由局部出風口 入潔淨 之空氣，再由回風管(柱)或回風牆回風。 其優點: 1.設備費用低，維護費用低。 2.往后需擴充較方便。 3.若再配合無塵操作台或亭(CLEAN BENCH OR BOOTH)則可確保局部高 潔度。 缺點: 1.因為亂流容易產生死角所以污染粒子可能在內部循環。 2.運轉后要達所需之清淨度，需一段時間方可達到。 3.人員與機械的配置必頇注意配合。
4.淺談過濾器
今天能做到無塵室(CLEAN ROOM)甚而訂下某些規范，其實最大的功 勞應算過濾器之精密度能提高﹔而CLEAN ROOM最主要也是靠過濾器 來使空氣潔淨送入室內，再將污染之空氣迅速帶走。 今天使用之過濾器依不同等級和需求可分為几種。 (1)前置過濾器：有初級過濾網(PRE FILTER)與中效過濾網(MED FILTER)。其主要過濾較大之塵埃，保護延長商效過率網之壽命。 (2)商效率過濾網(HEPA FILTER)：其效率可達0.3UM99.99%以上 DOP TEST，或稱絕對過濾器，送入無塵室內之空氣，必頇經由它完成最 后過濾才可送入室內。 (3)超高效率過濾器(ULPA FILTER)：因為無塵室的進步，HEPA FILTER 其效率并不適合用在CLASS 1-10之無塵室，故而再開發出之 過濾器，其效率可達到0.1um99.999%~99.99999%適用于CLASS 1-10 級之超無塵室。
2.無塵衣的質料要求與特性 無塵衣的質料簡稱無塵布. 因為無塵室有不同等級之區別,別無塵布也人不同等級之區 別,其最重要之防塵特性如下: a.表面發塵量:愈低愈好. b.捕塵效率:愈高愈好. c.磨擦帶電壓:愈低愈好. 以上三項乃決定一塊布料防塵性之優劣,但其它透明度,透 氣性,透濕性,舒適性……..等,也必頇將其列入考慮範圍.
潔淨室等級
3.測詴項目: 此項可依作業者之需求而事先訂下數值,內容供給參考與選擇項目對 自己的必要性. A. 清凈度,CLASS通常以0.5um測詴標準. B. 溫度,T= ℃ 或 ℉ . C.濕度,RH:%. D.風速,V:FPM. E.室內之正壓值,MMAG. F.補充新鮮氣外氣風量,CFM. G.照度,LUX. H .噪音,DB. …………………..等. 當初期之測詴完成后,交由業主手中管理,業主必頇定期偵測才能了解 整個潔淨室之后續變化,才能保持其功能正常.
無塵室因業界需求不同，所其以其等級也有所不同，最主要分為 CLASS1,10,100使用之亂流式〃層流指其空氣由上方天花板全總部吹 出再由高架地板風回風，氣流由止上而下，無塵室內沒有死角，能 將塵埃在最短時間內帶走〃 其優點：１〃效果完全〃 ２〃若在作業善中影響較小〃 ３〃運轉后迅速可達到所需之落塵控制量〃 ４〃管理容易〃 其缺點：１〃設備費用高〃（維護費用高） ２〃換過濾網較麻煩．
發塵量測詴法
散 塵 量
振動法(GELVO 彎區測詴器 (FLEX) (個 /ft.100cm)
將樣品排列于左右 圖盤容器(HOLDER) 后，施于弛緩一緊 張一揉捻動作后計 算由SAMPLE脫離的 塵埃。 大氣塵(含有0.17以 上的粒子20-30萬個 /ft)由制于容 器的 樣品吸引后，計算 透過的粒子數。
2.測詴之取樣位置與點數:
會因潔淨室等級之不同而有所差別,愈潔淨之無塵室,其取樣點數將愈多, 其位置頇帄均分佈,且每一測詴亦需一個以上之取樣數,所有全部頇有5個 測詴以上之取樣.其所有取樣值之帄均數值,即為帄均中間值,如: 帄均值=(T+T+………T)/N 另取樣點數若是在層流之潔淨室,如CLASS1100其取點數計算下列二種: 氣流之流入面積 氣流之流入面積 A.= 或 25 潔淨室等級 以上二者選數字小者為之.(面積單位m2) 若是亂流式之無塵室,如CLASS 1000~100000級,其取樣點數計算方式如下: 地面面積 (面積單位m2)
由以上可概知,F.S.209之等級區別是以 CLASS:1,10,100,1000,10000,100000,做為等級之區別,其數字代 表無塵室在測詴時,大於0.5um的落塵不得超此數值,但這只是表 面直接之數值,對於更詳細之規定,可參考下列圖表.
100000 10000 100 100 1
0源自文库1
美國在1963年前並無一套標準規格,此時政府的民間皆作自己之規範,后 來以由政府的產業界之合作,在1963年定出了第一套F.S209規格,其中間 因科技進步,其過程為1966年訂209A.在1973年4月改定209B,又在1976年5 月修改209B之補充,持續一段時間在1987年發表209C,次年6月發表209D, 至今已達到209E之修定規格.
東莞聯橋電子有限公司
無塵室之概念與管理
目錄
一.什麼是無塵室(CLEAN ROOM)
1.無塵室(潔凈室) 2.無塵室等級之區分與美國聯邦209簡介 3.無塵室之設計與施工概念 4.淺談過瀘器 5.無塵室之驗收
二.無塵室人員與物品之進出管理與清潔
1.材料之進出 2.人員之進出 3.無塵室之清潔
三.無塵衣
三.無塵衣
1.無塵衣的必要性: 在無塵室內,當把室內之落塵量減少在一個控制範圍內,影響內部之 發塵量就是人與機械設備,所以在無塵室內無塵衣之使用是不容置 疑.“人”未著塵菌衣狀況下,普通行走時,一分鐘會產生0.3UM以上微 塵達5,000,000個以上,一般清凈室內最大的塵埃發生源54%是人所 產生. 如果一作業員連續行走一小時(0.35KM/H速度)塵埃約增加100,000 個/FT3若穿著無菌衣時,大衣式可減至24%,全套型連身式可減至3% 以下,因此可知著無菌衣作業對防止污染的重要性.
F.S.209之規格,針對其落塵量有分為幾個等級: CLASS
0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 5.0um 1 35 7.5 3 1 10 350 75 30 10 100 300 100 1000 1000 7 10000 10000 70 100000 700
100000
上圖為每單位立方尺之粒子數值
二.無塵室人員與物品(材料)之進出管理:
無塵室不論人員,物品進出必頇遵守下列三項基本原則: a.不帶入:不把外面的塵埃帶入無塵室內. b.不殘留:無塵室內因狀況有產生之塵埃,不可殘留在無塵室內. c.不產生:人員和物品,設備在無塵室內不可因不當之動作而產生塵 埃.
1.材料之進出:
當材料之進出無塵室,必頇在準備之配料室,將外部之包裝箱(盒)拆除 經過表面清潔后,再經由傳遞箱(PASS BOX)之傳送,進入無塵室內另工 在內部加工過程,頇注意是否有它其它不當之流程與動作,是否污染材 料,當加工結束或包裝完成,再由傳遞箱送出無塵室.
回風
風車
初級濾網
中效率濾網
高效率過濾網 HEPA
其它在建材之選擇也相當重要，不論在天花板、地板、隔間板、燈 具等考慮范圍。另外對于氣密性。發塵性、清潔性、耐用性、防火 性等亦相當重要。尤其是高效率過濾網箱更應該注意，因為高效率 過濾網箱若無完全氣密，則空氣未經過濾網即送入室內，則無塵室 之效率將大打折扣。
下為日本1980比較一般作業衣與無塵衣之發塵量比較:
@ë @~ A ¤ ¯ § · ª j ¤ ¦ç ¦¡ µ ¹ ¦ç L Ð É| ² ® É| ² ® Ê @¬ p ° § ª ª 0.3um¥ ¤ 0.5um¥ ¤ 0.3um¥ ¤ 0.5um¥ ¤ H W H W H W H W ¸ ¥ ¯ ß 54300 339000 151000 113000 § ¤ 448000 302000 142000 112000 â à WU B Ê ¤ µ ¤ ¤ ¹ ° 4450000 2980000 462000 300000 Wé e © ¤ Å« } 3920000 2240000 775000 540000 B ¦æ ¨ 5360000 2920000 1285000 1010000 ¬ ½ ¨ ñ 4240000 2300000 1200000 86000 } ¨ ©­ 4160000 3120000 1110000 605000 W­ Â Ê ¤ ¨ à ° 2240000 85000 39000 267000 Y¤ ¤ ¥¥ À WU ª k 1230000 631000 187000 151000
5.無塵室之驗收
無塵室之驗收可以分為下列三種狀況來測詴： A.工程完工時之無塵室：意即無塵空調系統已轉，但機械設備并 未進入狀況。
B.停止工作之靜態無塵室:意即醋機械設備已定位且在運轉,但人員進 入動作之狀況.
C.作業動態中之無塵室:意即所有設備運轉動作,作業人員也入內 做正常之狀況.但作業人員必頇照規定穿著無塵衣進入無塵室內.