扫描电镜原理及提高图像质量的方法.
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生各种物理信号。
(2)扫描系统
扫描系统是扫描电镜的特殊部件，它由扫 描发生器和扫描线圈组成。它的作用是：1)使入 射电子束在样品表面扫描，并使阴极射线显像管 电子束在荧光屏上作同步扫描；2)改变入射束在 样品表面的扫描振幅，从而改变扫描像的放大倍 数。
(3)信号收集系统
扫描电镜应用的物理信号可分为： 1）电子信号，包括二次电子、背散射电子、 透射电子和吸收电子。吸收电子可直接用电流表
反映试样表面形貌的二次电子像。
扫描电镜成像的物理信号
特征X射线
• 背散射电子
它是被固体样品中原子反射回来的一部分入射电 子。又分弹性背散射电子和非弹性背散射电子，前者 是指只受到原子核单次或很少几次大角度弹性散射后
即被反射回来的入射电子，能量没有发生变化；后者
主要是指受样品原子核外电子多次非弹性散射而反射
回来的电子。
• 二次电子
它是被入射电子束轰击出来的样品核外电 子，又称为次级电子。 在样品上方装一个电子检测器来检测不同 能量的电子，结果如图所示。二次电子的能量 比较低，一般小于50eV；背散射电子的能量比 较高，其约等于入射电子能量 E0。
电子能谱图
特征X射线
特征 X射线是原子的内层电子受到激发之 后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能 量和波长的一种电磁波辐射。
较低，两者衬度正好相反。
（3）特征X射线衬度
利用特征X射线只与元素种类有关的特性，可 对试样作成份检测。
四、影响扫描电镜像质量的主要因素
一幅高质量的图像应满足三个条件：首先
是分辨率高，显微结构清晰可辨；第二是信噪
比好,没有明显的雪花状噪声;第三是衬度适中,
图像中无论白区还是黑区细节都能看清楚。
二、 扫描电镜的构造
wenku.baidu.com
扫描电镜由六个系统组成
(1) 电子光学系统（镜筒）
(2) 扫描系统
(3) 信号收集系统
(4) 图像显示和记录系统
(5) 真空系统 (6) 电源系统
(1)电子光学系统（镜筒）
由电子枪、聚光镜、物镜和样品室等部件
组成。它的作用是将来自电子枪的电子束聚焦成
亮度高、直径小的入射束来轰击样品，使样品产
2
2
• 公式中，d为电子束斑直径， α 为孔径角， Cs为末级透镜的球差系数; λ 为入射电子波 长; Ip为电子束电流; β 为电子束的亮度. 式中第一项为球差,第二项是衍射差引起的, 第三项是无像差透镜形成的电子束直径。
对于热发射的钨丝电子枪其亮度可表达为
J c eV / kT A / cm sr
δ ∝ 1/cosα
实际样品的形状虽然复杂，但都可以被看 作是由许多位向不同的小平面组成的，扫描电 镜中入射电子束的方向是固定的，由于试样表 面凹凸不平，它对试样表面不同处的入射角是 不同的，由此产生二次电子的产额上的差异， 经调制放大便可得到反映样品形貌的二次电子 像。
2
断口照片
2.原子序数衬度
据背散射电子像衬度来判断相应区域原子序数
的相对高低。
;
(2) 吸收电子像衬度
吸收电子信号强度与二次电子及背散射电 子的发射有关，若样品较厚，即T=0，则 η +δ +α =1。这说明，吸收电子像的衬度是与
背散射电子像和二次电子像是互补的。因此可
以认为，样品表面平均原子序数大的微区，背
散射电子信号强度较高，而吸收电子信号强度
同一样品, 不同能量电子束
15 kV
5 kV
25 kV
不同样品, 同一能量电子束
碳
铁
银
2.分辨率(入射电子束斑直径)
入射电子束束斑直径是扫描电镜分辨本 领的极限。
电子束斑直径的计算公式
4 2 1 3 2 d Cs 1.22 2 I p / 2
原子序数衬度又称为化学成分衬度，它是 利用对样品微区原子序数或化学成分变化敏感 的物理信号作为调制信号得到的一种显示微区 化学成分差别的像衬度。这些信号主要有背散 射电子、吸收电子和特征X射线。
(1) 背散射电子像衬度
背散射系数η 随原子序数Z的变化如图所示 (δ 为二次电子产率)。可见，背散射电子信号 强度随原子序数Z增大而增大，样品表面上平均 原子序数较高的区域，产生较强的信号，在背 散射电子像上显示较亮的衬度。因此，可以根
如何利用扫描电镜拍出 高质量的图像
西安交通大学材料学院 王 伟
S-2700扫描电镜
如何利用扫描电镜拍出高质量的图像
一、扫描电镜的工作原理
二、扫描电镜的构造
三、扫描电镜的成像(衬度)原理
四、影响扫描电镜像质量的主要因素
五、操作要点
六、样品制备
一、扫描电镜的工作原理
电子枪发射的电子束经两级聚光镜及物镜的 汇聚，形成具有一定能量、一定束流强度和束斑 直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样 表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦 电子束与试样相互作用，产生二次电子发射（以 及其它物理信号），二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管得到
影响扫描电镜像质量的主要因素
1. 入射束在样品中的扩展效应
2. 分辨率(入射电子束斑直径)
3. 信噪比
4. 杂散电磁场及机械振动 5. 样品的自然衬度
1. 入射束在样品中的扩展效应
电子束打到样品上，会发生散射，扩散范围 如同梨状或半球状。入射束能量越大，样品原子 序数越小，则电子束作用体积越大。因此，用不
测，其他电子信号用电子收集器；
2）特征X射线信号，用X射线谱仪检测；
3）可见光讯号（阴极荧光），用可见光收
集器。
三、扫描电镜的成像(衬度)原理
1.形貌衬度
若设α 为入射电子束与试样表面法线之间 的夹角，实验证明，当对光滑试样表面、入射 电子束能量大于 1kV且固定不变时，二次电子 产率δ 与α 的关系为
同的物理信号调制的扫描像有不同的分辨本领。
二次电子扫描像的分辨本领最高，约等于入射电
子束直径，背散射电子为50-200 nm，X射线为
100-1000nm。
电子束-样品交互作用区
一次电子束 ~ 10 nm: 二次电子 ~ 1~2 mm: 背散射电子
~ 2~5mm: X-射线/阴极荧光 交互作用区
2
式中, Jc是电子枪的发射电流密度; V为加速 电压; k为玻尔兹曼常数;T 是电子枪灯丝工 作温度(K); e是电子的电荷.
(2)扫描系统
扫描系统是扫描电镜的特殊部件，它由扫 描发生器和扫描线圈组成。它的作用是：1)使入 射电子束在样品表面扫描，并使阴极射线显像管 电子束在荧光屏上作同步扫描；2)改变入射束在 样品表面的扫描振幅，从而改变扫描像的放大倍 数。
(3)信号收集系统
扫描电镜应用的物理信号可分为： 1）电子信号，包括二次电子、背散射电子、 透射电子和吸收电子。吸收电子可直接用电流表
反映试样表面形貌的二次电子像。
扫描电镜成像的物理信号
特征X射线
• 背散射电子
它是被固体样品中原子反射回来的一部分入射电 子。又分弹性背散射电子和非弹性背散射电子，前者 是指只受到原子核单次或很少几次大角度弹性散射后
即被反射回来的入射电子，能量没有发生变化；后者
主要是指受样品原子核外电子多次非弹性散射而反射
回来的电子。
• 二次电子
它是被入射电子束轰击出来的样品核外电 子，又称为次级电子。 在样品上方装一个电子检测器来检测不同 能量的电子，结果如图所示。二次电子的能量 比较低，一般小于50eV；背散射电子的能量比 较高，其约等于入射电子能量 E0。
电子能谱图
特征X射线
特征 X射线是原子的内层电子受到激发之 后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能 量和波长的一种电磁波辐射。
较低，两者衬度正好相反。
（3）特征X射线衬度
利用特征X射线只与元素种类有关的特性，可 对试样作成份检测。
四、影响扫描电镜像质量的主要因素
一幅高质量的图像应满足三个条件：首先
是分辨率高，显微结构清晰可辨；第二是信噪
比好,没有明显的雪花状噪声;第三是衬度适中,
图像中无论白区还是黑区细节都能看清楚。
二、 扫描电镜的构造
wenku.baidu.com
扫描电镜由六个系统组成
(1) 电子光学系统（镜筒）
(2) 扫描系统
(3) 信号收集系统
(4) 图像显示和记录系统
(5) 真空系统 (6) 电源系统
(1)电子光学系统（镜筒）
由电子枪、聚光镜、物镜和样品室等部件
组成。它的作用是将来自电子枪的电子束聚焦成
亮度高、直径小的入射束来轰击样品，使样品产
2
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• 公式中，d为电子束斑直径， α 为孔径角， Cs为末级透镜的球差系数; λ 为入射电子波 长; Ip为电子束电流; β 为电子束的亮度. 式中第一项为球差,第二项是衍射差引起的, 第三项是无像差透镜形成的电子束直径。
对于热发射的钨丝电子枪其亮度可表达为
J c eV / kT A / cm sr
δ ∝ 1/cosα
实际样品的形状虽然复杂，但都可以被看 作是由许多位向不同的小平面组成的，扫描电 镜中入射电子束的方向是固定的，由于试样表 面凹凸不平，它对试样表面不同处的入射角是 不同的，由此产生二次电子的产额上的差异， 经调制放大便可得到反映样品形貌的二次电子 像。
2
断口照片
2.原子序数衬度
据背散射电子像衬度来判断相应区域原子序数
的相对高低。
;
(2) 吸收电子像衬度
吸收电子信号强度与二次电子及背散射电 子的发射有关，若样品较厚，即T=0，则 η +δ +α =1。这说明，吸收电子像的衬度是与
背散射电子像和二次电子像是互补的。因此可
以认为，样品表面平均原子序数大的微区，背
散射电子信号强度较高，而吸收电子信号强度
同一样品, 不同能量电子束
15 kV
5 kV
25 kV
不同样品, 同一能量电子束
碳
铁
银
2.分辨率(入射电子束斑直径)
入射电子束束斑直径是扫描电镜分辨本 领的极限。
电子束斑直径的计算公式
4 2 1 3 2 d Cs 1.22 2 I p / 2
原子序数衬度又称为化学成分衬度，它是 利用对样品微区原子序数或化学成分变化敏感 的物理信号作为调制信号得到的一种显示微区 化学成分差别的像衬度。这些信号主要有背散 射电子、吸收电子和特征X射线。
(1) 背散射电子像衬度
背散射系数η 随原子序数Z的变化如图所示 (δ 为二次电子产率)。可见，背散射电子信号 强度随原子序数Z增大而增大，样品表面上平均 原子序数较高的区域，产生较强的信号，在背 散射电子像上显示较亮的衬度。因此，可以根
如何利用扫描电镜拍出 高质量的图像
西安交通大学材料学院 王 伟
S-2700扫描电镜
如何利用扫描电镜拍出高质量的图像
一、扫描电镜的工作原理
二、扫描电镜的构造
三、扫描电镜的成像(衬度)原理
四、影响扫描电镜像质量的主要因素
五、操作要点
六、样品制备
一、扫描电镜的工作原理
电子枪发射的电子束经两级聚光镜及物镜的 汇聚，形成具有一定能量、一定束流强度和束斑 直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样 表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦 电子束与试样相互作用，产生二次电子发射（以 及其它物理信号），二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管得到
影响扫描电镜像质量的主要因素
1. 入射束在样品中的扩展效应
2. 分辨率(入射电子束斑直径)
3. 信噪比
4. 杂散电磁场及机械振动 5. 样品的自然衬度
1. 入射束在样品中的扩展效应
电子束打到样品上，会发生散射，扩散范围 如同梨状或半球状。入射束能量越大，样品原子 序数越小，则电子束作用体积越大。因此，用不
测，其他电子信号用电子收集器；
2）特征X射线信号，用X射线谱仪检测；
3）可见光讯号（阴极荧光），用可见光收
集器。
三、扫描电镜的成像(衬度)原理
1.形貌衬度
若设α 为入射电子束与试样表面法线之间 的夹角，实验证明，当对光滑试样表面、入射 电子束能量大于 1kV且固定不变时，二次电子 产率δ 与α 的关系为
同的物理信号调制的扫描像有不同的分辨本领。
二次电子扫描像的分辨本领最高，约等于入射电
子束直径，背散射电子为50-200 nm，X射线为
100-1000nm。
电子束-样品交互作用区
一次电子束 ~ 10 nm: 二次电子 ~ 1~2 mm: 背散射电子
~ 2~5mm: X-射线/阴极荧光 交互作用区
2
式中, Jc是电子枪的发射电流密度; V为加速 电压; k为玻尔兹曼常数;T 是电子枪灯丝工 作温度(K); e是电子的电荷.