MicroSense电容式位移传感器

MicroSense电容式位移传感器

产品名称: MicroSense电容式位移传感器

产品型号: 4810, 5810,6810,6360等

产品展商: 岱美有限公司,

简单介绍

基于电容式感技术专利，MicroSense电容式位移传感器提供高准确度，高带宽测量精度电容式位移传感器设备，为满足客户高准确度的应用要求,MicroSense优化传感器的操作性能以达到高稳定性和线性方案、高分辨率、高带宽测量方案，用于测量硬盘驱动马达，气动轴承转子，X-Y样品台精确度，光盘，汽车零部件和机床等测量。

MicroSense电容式位移传感器的详细介绍

精密电容式位移传感器

非接触式高分辨率近距离位移测量

MicroSense公司（前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司）开创了高辨率电容式位移传感器的先河，致力于为客户提供以艺术级别性能的高精度非接触式微位移传感器。

特性

1.完全非接触式电容式微位移测量—最准确的电子感应技术, 无损样品测量

2.最优化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米

3.高准确性，高灵敏性测量，最高精度可达0.5nm。

4.可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响

5.用途广泛: 金属薄片厚度测量,振动测量,工作台垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)测量,精密马达转轴偏振测量(Axial, Radial, Spindle runout),精密仪器工作平台定位，设备自动聚焦测量(微影设备，原子力显微镜，光罩探测，图像确认，LCD生产设备…)

测量表（Gauge）型号

4800系列8800系列5800系列6800系列6360厚度测量系统

4800系列以最优化的线性和稳定性著称, 一款多功能测量设备

8800系列以拥有最好的线性和稳定性系统著称，测量带宽高达20K HZ,纳米级分辨率，超低

噪声完美的伺服定位反馈系统设计

5800系列以高动态测量著称--高分辨率测量，可达100Khz 带宽测量，可靠性测量甚至达触

地物例如气动转子和马达

6800系列拥有皮米级别噪声分辨率

Mini系列迷你压缩型传感器测量系统

6360系列非接触式，高精度测量硅片、CD、DVD、光盘厚度

测量探头(Probe)形状

圆柱型测量探头45°倾角测量探头矩型测量探头直角型测量探头

圆柱型测量探头探头直径0.5mm 到5mm 可选

45°倾角测量探头可紧贴圆柱形被测物测量

矩型测量探头测量马达及轴向转动物时可提供最大分辨率

直角型测量探头用于测量受限空间测量

设备应用

定位测量系统应用远程位置调节器的伺服反馈系统应用

间距和位移测量应用空间测量及检测轴向位移测量

转动测量系统应用马达精度和转轴转动测量转轴测量计精度校准测量直线和平面平台精度测量

厚度测量系统应用磁性介质厚度测量光盘厚度测量

自动聚焦和归零测量应用半导体硅片测量

振动测量系统应用样品台精度振动测量转轴振动精度测量主动性防震系统反馈测量

设备性能及主要参数

量程±25µm 到±1000µm满量程测量

分辨率优于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz

带宽1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可选