华南理工大学半导体物理第七章课件
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半导体物理
第七章 半导体的磁效应
华南理工大学电子与信息学院 蔡 敏 教授
第七章 半导体的磁效应
• 7.1 一种载流子的霍耳效应 • 7.2 两种载流子的霍耳效应 • 7.3 霍耳效应的应用
霍尔效应
定义:把有电流通过的半导体样品放在磁场中,如果磁场 的方向与电流的方向垂直,将在垂直于电流和磁场的方向 上产生一个横向电势差,这种现象称为霍尔效应。
2
2 2
j x Bz
2 2
en n p p
若令b n p ,则有
1 p nb 2 RH e p nb2
在两种载流子同时导电的情况下,稳定以后, y方向的总电流为零,但是电子和空穴在y方向的电流 并不分别为零。它们的电流大小相等,方向相反。
霍尔系数与温度T的关系
霍尔效应的过程如下: ⅰ 当样品中存在沿x方向的外加电场ε x时,产生了样品的电流 密度 jn x n x ne n x
j
p x
p x pe p x
ⅱ 当在z方向施加一磁感应强度为Bz的磁场时,在y方向上将产 生偏移电流
jn y n jn x n Bz jn x ne n 2 Bz x
这里要注意的几点是: (在一种载流子的霍尔效应中) r r r ①样品电流密度 j p 由外加x方向电场 x决定,与Bz, y 无关. x r r r r j 由外加 z 方向磁场 B 和 决定,与 ②偏移电流密度 p y x y 无关.
③偏移电流密度与样品电流密度的合电流密度 j p与x方向的夹角
j
p y
p j p x p Bz j p x pe p Bz x
2
ⅲ 从而y方向必将产生一霍尔电场, 其产生的漂移电流平衡掉 偏移电流,结果使y方向上的总电流为0,即:
jn y n y nen y
j
p y
①样品的电流密度: ②漂移电流密度: ③偏移电流密度: ④
j
p x
p x
p
j
p y p y p y
y
p
y方向
y
j j
y方向
r jp
r r r 与 j p 的合电流密度j p与 j p 的夹角为: x y x p p Bz
我们定义:由x轴出发,顺时针方向旋转为负角,逆时针方向为正 角 ,则 : n n Bz (弱磁场时) ④可见,此时电流由三部分构成,一是纵向(x方向)的样品电流 密度(jn)x,一部分是横向的漂移电流 (jn)y’,由霍尔电场引起,还有 一部分是横向的偏移电流(jn)y,由洛仑兹力引起.稳态时,总的电 流密度为(jn)x.
x
在弱磁场下,霍尔电场很小,霍尔角也很小 则:
y Rj x Bz x x
R x Bz
y
x
j
x
R Bz
图5.9 霍尔角
上式表明,霍尔角的符号与霍尔系数一样,对于P型半导体 是正值(ε转向y轴的正方向),对于N型半导体是正值(ε转向y 轴的负方向)。
• 以上得到的所有关系,都假设载流子的弛豫 时间是与速度无关的常数,或者认为所有 的载流子都以相同的速度做漂移运动,这 显然是不符合实际情况的。在考虑电场和 磁场同时作用的情形时,必须考虑每个载 流子的速度分布函数。即用玻尔兹曼方程 求解。
此时,从平均的效果来看,载流子偏移运动的迁移率不 再等同于电导现象中的迁移率μ n或μ p ,而可以引入一个新的 迁移率—霍尔迁移率(μ H) 。此时
又因为 y Rjx Bx,则得n型半导体的霍尔系数为
Rn 1 nq
同理,P型半导体的霍尔系数为
Rp 1 pq
⒉霍尔角
从上面的讨论可以看出,由于横向霍尔电场的存在,导致电流 和总电场方向不再相同,它们之间的夹角称为霍尔角。如图所 示,电流沿x方向,霍尔角就是霍尔电场和x方向的夹角。因此, 霍尔角θ由下式确定: y tan
vx H x
y
:P型, :N型
:N型 vx Bz H x Bz :P型,
j
p x
pe p x,
jn x ne n x
H 1 y pe j p x Bz p H 1 j n x Bz y n ne
P型 N型
H 1 即:R p p pe
1 Rn H n ne
R p p H p Rn n H n
P型 N型
其中 H 称为霍尔因子,其与散射机构有关(因为与v函数
'
这一电流实际上是由磁场引起的,是洛仑兹力引起的偏移电流. ③ 偏移电流 jn y 与 jn x的合电流jn与x方向的夹角为
jn y n y y tan tan n jn x n x x
可见:与霍尔角 大小相等 .
y
jn y
B y
jn
jp y
y
y
n
x
p p x
jn x x
B
jp x
x
y
jp
jp
jn y
a b
2 P型半导体(空穴的霍尔效应)
情况类似于N型半导体,总的电流有三部分:
对于N型和P型半导体,电子和空穴的霍尔角分别为
n
eBz 1 Bz n Bz n ne mn
eBz 1 p p Bz p Bz m pe p
r eB r 2 根据f m a m r m v evB m
jn x n x
②y方向上由于霍尔电场εy ,将产生漂移电流(jn)y‘ ,沿-y方向.
jn y n y
稳态时,y方向的总电流密度必为零,因此,正y方向一定存在一个 电流(jn)y , 其大小应与(jn)y’相等。
即: jn y jn y n y
另外,根据公式n Rn n和 p R p p,可测量迁移率.
思考题:请大家设计一个实验,要求能通过该实验测量某 半导体样品的载流子浓度、迁移率、禁带宽度及判断该样 品的导电类型。
第七章 半导体的磁效应
• 7.1 一种载流子的霍耳效应 • 7.2 两种载流子的霍耳效应 • 7.3 霍耳效应的应用
p
y pe p y
3 由以上分析,当有两种载流子同时存在时: ①y方向上总的偏移电流为:
j y jn y j p y ne n pe p Bz x
2 2
②y方向上总的漂移电流为:
j y jn y j p y n p y ne n pe p y
两种载流子的霍尔效应
z
y
r B
r
x
e e
n
jn n
p
jn x
p
j p x
jp
• 从动态平衡的角度考虑,稳定时,横向电流 应为零,即载流子分布达到动态平衡。
1 N型半导体(电子霍尔效应)
设磁场为z方向(Bz),电流为x方向(jn)x。则洛仑兹力方向为 -y方向,电子向-y方向聚集(偏转)。从而产生-y方向的霍尔 电场εy 。 下面考虑载流子运动引起的各种电流。 ①由于在x方向有一恒定电场εx , 因此沿x方向电子的电流密 度为
在稳态时为霍尔角的负值,即:偏移电流与样品电流密度的关系 是一定的,即:
j
p y
tg p j p x p j p x p Bz j p x
jn y tg n jn x n jn x n Bz jn x
对于一种载流子导电的N型或P型半导体。电流通过半导 体样品,是载流子在电场中作漂移运动的结果,如果有垂直 于电流方向的磁感应强度为B的磁场存在,则以漂移速度v运 动的载流子要受到洛仑兹力F的作用:
r r r F q v B
空穴 电子
这个电流和磁场方向垂直的作用力,使载流子产生横向运动, 也就是磁场的偏转力引起横向电流。该电流在样品两侧造成 电荷积累,结果产生横向电场。当横向电场对载流子的作用 力与磁场的偏转力相抵消时,达到稳定状态。通常称这个横 向电场为霍尔电场,称横向电势差为霍尔电势差。 可通过判断霍尔电场的方向判断半导体的导电类型。
③稳态时,y方向上总的电流为零,即:
jy jy 0 y p p n n
2 2
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n n p p
Bz x
jx x ne n pe p
jx
y
可见,此时霍尔系数为:
RH
en n p p p p n n
2
p p n n
对于大多数半导体, μ n> μ p,所以在下面的讨论中设b>1. ⒈本征半导体,或者杂质半导体处于本征激发区时.由于 n=p=ni,所以有 1 b 1 RH 0 ni e b 1 在这种情况下R<0,随着温度的升高,ni增大,所以霍尔系数 的绝对值减小。 ⒉P型半导体 ①杂质电离区:导带中的电子很少,p>nb2,因此,R>0.
由此可见,因子eBz/m*是在磁场作用下,载流子的速度矢量绕 磁场转动的角速度,所以霍尔角的数值就等于在弛豫时间内速 度矢量所转过的角度.
在弱磁场条件下,霍尔角很小,上两式条件可写为μ B <<1.
例如,对于N型硅样品,如果电子迁移率为0.135m2/V.s,则取B 为0.5T,就可以认为满足弱磁场条件了.
z
y
x
B
0
I
y
Fy
B
a
I
y
Fy
b
霍尔效应
(a)N型半导体 (b)P型半导体
在电子导电和空穴导电这两种不同类型的半导体中,载流子 的漂移运动方向是相反的,但磁场对它们的偏转作用力方向 是相同的。结果在样品两侧积累的电荷在两种情况下符号相 反,因此霍尔电场或霍尔电势差也是相反的。按照这个道理, 由霍尔电势差的符号可以判断半导体的导电类型。 ⒈霍尔系数 实验表明:在弱磁场条件下,霍尔电场ε y与电流密度jx和磁感 应强度Bx成正比,即 y Rjx Bz 比例系数R称为霍尔系数,它标志霍尔效应的强弱。
半导体的霍尔效应比金属的更为显著。
机理:做漂移运动的载流子在磁场作用下受到洛仑兹力的 作用,使得载流子发生偏转,并在半导体两端积累电荷,产 生附加电场,导致横向电势差。 在本节中,我们假设:半导体的温度是均匀的,所有载流 子的速度相同,载流子的弛豫时间是与速度无关的常数, 来分析霍尔效应。
一种载流子的霍尔效应
以N型半导体为例,由于弛豫时间是常数,所有的电子都以相 同的漂移速度vx(vx<0)运动,所以磁场使它们偏转的作用力也 是相同的,即
Fy qvx Bz
在稳定情况下,霍尔电场对电子的作用力与磁场的偏转力相 抵消,即
q y qvx Bz 0
y vx Bz
由此得出
利用jx nqvx,上式可以写成 1 y jx Bz nq
②随着温度的升高,电子不断由价带激发到导带,n逐 渐增加,当p=nb2时,R=0.
③温度再升高,则p>nb2,于是R<0.
所以,当温度从杂质电离区 向本征区过渡时,P型半导 体的霍尔系数将改变符号.
⒊ N型半导体 不管在什么温度下,都有p<nb2,所以R总是小于零,不 会随温度而改变符号.
霍尔系数的修正
第七章 半导体的磁效应
华南理工大学电子与信息学院 蔡 敏 教授
第七章 半导体的磁效应
• 7.1 一种载流子的霍耳效应 • 7.2 两种载流子的霍耳效应 • 7.3 霍耳效应的应用
霍尔效应
定义:把有电流通过的半导体样品放在磁场中,如果磁场 的方向与电流的方向垂直,将在垂直于电流和磁场的方向 上产生一个横向电势差,这种现象称为霍尔效应。
2
2 2
j x Bz
2 2
en n p p
若令b n p ,则有
1 p nb 2 RH e p nb2
在两种载流子同时导电的情况下,稳定以后, y方向的总电流为零,但是电子和空穴在y方向的电流 并不分别为零。它们的电流大小相等,方向相反。
霍尔系数与温度T的关系
霍尔效应的过程如下: ⅰ 当样品中存在沿x方向的外加电场ε x时,产生了样品的电流 密度 jn x n x ne n x
j
p x
p x pe p x
ⅱ 当在z方向施加一磁感应强度为Bz的磁场时,在y方向上将产 生偏移电流
jn y n jn x n Bz jn x ne n 2 Bz x
这里要注意的几点是: (在一种载流子的霍尔效应中) r r r ①样品电流密度 j p 由外加x方向电场 x决定,与Bz, y 无关. x r r r r j 由外加 z 方向磁场 B 和 决定,与 ②偏移电流密度 p y x y 无关.
③偏移电流密度与样品电流密度的合电流密度 j p与x方向的夹角
j
p y
p j p x p Bz j p x pe p Bz x
2
ⅲ 从而y方向必将产生一霍尔电场, 其产生的漂移电流平衡掉 偏移电流,结果使y方向上的总电流为0,即:
jn y n y nen y
j
p y
①样品的电流密度: ②漂移电流密度: ③偏移电流密度: ④
j
p x
p x
p
j
p y p y p y
y
p
y方向
y
j j
y方向
r jp
r r r 与 j p 的合电流密度j p与 j p 的夹角为: x y x p p Bz
我们定义:由x轴出发,顺时针方向旋转为负角,逆时针方向为正 角 ,则 : n n Bz (弱磁场时) ④可见,此时电流由三部分构成,一是纵向(x方向)的样品电流 密度(jn)x,一部分是横向的漂移电流 (jn)y’,由霍尔电场引起,还有 一部分是横向的偏移电流(jn)y,由洛仑兹力引起.稳态时,总的电 流密度为(jn)x.
x
在弱磁场下,霍尔电场很小,霍尔角也很小 则:
y Rj x Bz x x
R x Bz
y
x
j
x
R Bz
图5.9 霍尔角
上式表明,霍尔角的符号与霍尔系数一样,对于P型半导体 是正值(ε转向y轴的正方向),对于N型半导体是正值(ε转向y 轴的负方向)。
• 以上得到的所有关系,都假设载流子的弛豫 时间是与速度无关的常数,或者认为所有 的载流子都以相同的速度做漂移运动,这 显然是不符合实际情况的。在考虑电场和 磁场同时作用的情形时,必须考虑每个载 流子的速度分布函数。即用玻尔兹曼方程 求解。
此时,从平均的效果来看,载流子偏移运动的迁移率不 再等同于电导现象中的迁移率μ n或μ p ,而可以引入一个新的 迁移率—霍尔迁移率(μ H) 。此时
又因为 y Rjx Bx,则得n型半导体的霍尔系数为
Rn 1 nq
同理,P型半导体的霍尔系数为
Rp 1 pq
⒉霍尔角
从上面的讨论可以看出,由于横向霍尔电场的存在,导致电流 和总电场方向不再相同,它们之间的夹角称为霍尔角。如图所 示,电流沿x方向,霍尔角就是霍尔电场和x方向的夹角。因此, 霍尔角θ由下式确定: y tan
vx H x
y
:P型, :N型
:N型 vx Bz H x Bz :P型,
j
p x
pe p x,
jn x ne n x
H 1 y pe j p x Bz p H 1 j n x Bz y n ne
P型 N型
H 1 即:R p p pe
1 Rn H n ne
R p p H p Rn n H n
P型 N型
其中 H 称为霍尔因子,其与散射机构有关(因为与v函数
'
这一电流实际上是由磁场引起的,是洛仑兹力引起的偏移电流. ③ 偏移电流 jn y 与 jn x的合电流jn与x方向的夹角为
jn y n y y tan tan n jn x n x x
可见:与霍尔角 大小相等 .
y
jn y
B y
jn
jp y
y
y
n
x
p p x
jn x x
B
jp x
x
y
jp
jp
jn y
a b
2 P型半导体(空穴的霍尔效应)
情况类似于N型半导体,总的电流有三部分:
对于N型和P型半导体,电子和空穴的霍尔角分别为
n
eBz 1 Bz n Bz n ne mn
eBz 1 p p Bz p Bz m pe p
r eB r 2 根据f m a m r m v evB m
jn x n x
②y方向上由于霍尔电场εy ,将产生漂移电流(jn)y‘ ,沿-y方向.
jn y n y
稳态时,y方向的总电流密度必为零,因此,正y方向一定存在一个 电流(jn)y , 其大小应与(jn)y’相等。
即: jn y jn y n y
另外,根据公式n Rn n和 p R p p,可测量迁移率.
思考题:请大家设计一个实验,要求能通过该实验测量某 半导体样品的载流子浓度、迁移率、禁带宽度及判断该样 品的导电类型。
第七章 半导体的磁效应
• 7.1 一种载流子的霍耳效应 • 7.2 两种载流子的霍耳效应 • 7.3 霍耳效应的应用
p
y pe p y
3 由以上分析,当有两种载流子同时存在时: ①y方向上总的偏移电流为:
j y jn y j p y ne n pe p Bz x
2 2
②y方向上总的漂移电流为:
j y jn y j p y n p y ne n pe p y
两种载流子的霍尔效应
z
y
r B
r
x
e e
n
jn n
p
jn x
p
j p x
jp
• 从动态平衡的角度考虑,稳定时,横向电流 应为零,即载流子分布达到动态平衡。
1 N型半导体(电子霍尔效应)
设磁场为z方向(Bz),电流为x方向(jn)x。则洛仑兹力方向为 -y方向,电子向-y方向聚集(偏转)。从而产生-y方向的霍尔 电场εy 。 下面考虑载流子运动引起的各种电流。 ①由于在x方向有一恒定电场εx , 因此沿x方向电子的电流密 度为
在稳态时为霍尔角的负值,即:偏移电流与样品电流密度的关系 是一定的,即:
j
p y
tg p j p x p j p x p Bz j p x
jn y tg n jn x n jn x n Bz jn x
对于一种载流子导电的N型或P型半导体。电流通过半导 体样品,是载流子在电场中作漂移运动的结果,如果有垂直 于电流方向的磁感应强度为B的磁场存在,则以漂移速度v运 动的载流子要受到洛仑兹力F的作用:
r r r F q v B
空穴 电子
这个电流和磁场方向垂直的作用力,使载流子产生横向运动, 也就是磁场的偏转力引起横向电流。该电流在样品两侧造成 电荷积累,结果产生横向电场。当横向电场对载流子的作用 力与磁场的偏转力相抵消时,达到稳定状态。通常称这个横 向电场为霍尔电场,称横向电势差为霍尔电势差。 可通过判断霍尔电场的方向判断半导体的导电类型。
③稳态时,y方向上总的电流为零,即:
jy jy 0 y p p n n
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n n p p
Bz x
jx x ne n pe p
jx
y
可见,此时霍尔系数为:
RH
en n p p p p n n
2
p p n n
对于大多数半导体, μ n> μ p,所以在下面的讨论中设b>1. ⒈本征半导体,或者杂质半导体处于本征激发区时.由于 n=p=ni,所以有 1 b 1 RH 0 ni e b 1 在这种情况下R<0,随着温度的升高,ni增大,所以霍尔系数 的绝对值减小。 ⒉P型半导体 ①杂质电离区:导带中的电子很少,p>nb2,因此,R>0.
由此可见,因子eBz/m*是在磁场作用下,载流子的速度矢量绕 磁场转动的角速度,所以霍尔角的数值就等于在弛豫时间内速 度矢量所转过的角度.
在弱磁场条件下,霍尔角很小,上两式条件可写为μ B <<1.
例如,对于N型硅样品,如果电子迁移率为0.135m2/V.s,则取B 为0.5T,就可以认为满足弱磁场条件了.
z
y
x
B
0
I
y
Fy
B
a
I
y
Fy
b
霍尔效应
(a)N型半导体 (b)P型半导体
在电子导电和空穴导电这两种不同类型的半导体中,载流子 的漂移运动方向是相反的,但磁场对它们的偏转作用力方向 是相同的。结果在样品两侧积累的电荷在两种情况下符号相 反,因此霍尔电场或霍尔电势差也是相反的。按照这个道理, 由霍尔电势差的符号可以判断半导体的导电类型。 ⒈霍尔系数 实验表明:在弱磁场条件下,霍尔电场ε y与电流密度jx和磁感 应强度Bx成正比,即 y Rjx Bz 比例系数R称为霍尔系数,它标志霍尔效应的强弱。
半导体的霍尔效应比金属的更为显著。
机理:做漂移运动的载流子在磁场作用下受到洛仑兹力的 作用,使得载流子发生偏转,并在半导体两端积累电荷,产 生附加电场,导致横向电势差。 在本节中,我们假设:半导体的温度是均匀的,所有载流 子的速度相同,载流子的弛豫时间是与速度无关的常数, 来分析霍尔效应。
一种载流子的霍尔效应
以N型半导体为例,由于弛豫时间是常数,所有的电子都以相 同的漂移速度vx(vx<0)运动,所以磁场使它们偏转的作用力也 是相同的,即
Fy qvx Bz
在稳定情况下,霍尔电场对电子的作用力与磁场的偏转力相 抵消,即
q y qvx Bz 0
y vx Bz
由此得出
利用jx nqvx,上式可以写成 1 y jx Bz nq
②随着温度的升高,电子不断由价带激发到导带,n逐 渐增加,当p=nb2时,R=0.
③温度再升高,则p>nb2,于是R<0.
所以,当温度从杂质电离区 向本征区过渡时,P型半导 体的霍尔系数将改变符号.
⒊ N型半导体 不管在什么温度下,都有p<nb2,所以R总是小于零,不 会随温度而改变符号.
霍尔系数的修正