管式炉安全操作规程模板
真空高温管式炉操作规程
真空高温管式炉操作规程（总、2页）-CAL-FENGHAI.-(YICAI)-Company One 1•CAL■本页仅作为文档封面，使曲准备工作1.设计升降温曲线，升温速率不得高于10°C/分钟，降温速率应低于15C/分钟。
2 •清扫环境。
GSL-1300X. 1600X真空高温管式炉操作规程3.每周开始使用管式炉时，检查机械泵油线处于标线以上，拆除两端盖，用吸尘器清洁刚玉炉管。
4・将样品舟推入刚与管炉膛中部（恒温长度10cm） o5.塞上两块隔热炉塞，使第二个炉塞的末端与炉体侧面平齐。
6.装上气炉法兰，确认密封垫落入槽中。
二、充工作气体1.使用氢气作为工作气体时1.接通氢气气路，对各接头处用肥皂水检漏，确认不漏气。
2.确认各阀门处于关闭状态。
3.逆时针旋转旋钮开氢气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0. IMPao4.接通机械泵电源，打开管式炉出口阀和机械泵气路上的两个阀门，抽5分钟。
5.关闭机械泵气路上的两个阀门，关闭管式炉出口阀门，关机械泵。
6.逆顺时针打开上气路控制阀，使箭头指向“开”位置。
7.逆顺时针调节流量计旋钮，使示数在20ml/mino&逆时针旋动旋钮，打开管式炉进气阀，直至气压表读数为零。
9.打开管式炉进气阀，打开氢气气路上的红色出口阀门。
10•在通氢气满十分钟后，才能开始加热管式炉。
加热前，逆时针调节流量计旋钮，使锥形瓶中气泡出现的速度为2个/秒钟。
II.使用惰性气体作为工作气体时1.接通工作气体气路，将管式炉气体出口端连接机械泵。
2.打开管式炉进气阀，合上真空泵电源，打开出气阀（注意把住法兰，避免炉管受力过大），抽空刚玉管和气体管路。
3.当管式炉真空表到-0・1 （指针到尽头时），关闭出气阀，关闭进气阀。
4.逆时针旋动旋钮开气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0. 004MPa （2小格）o5.逆时针旋动旋钮，缓慢打开管式炉进气阀；密切注意管式炉气圧表，确认气压在0. OSMPa以下（如气压高于0. OSMPa,打开管式炉出气阀放气）。
管式炉安全操作规程
管式炉安全操作规程管式炉是一种常用的加热设备，广泛应用于化工、冶金、建材、电子、食品等行业。
为了确保管式炉的安全运行，必须遵守一系列操作规程，以下是管式炉安全操作规程的详细内容。
一、操作前的准备工作1.检查管式炉的外部设施、炉门密封、烟囱、排烟装置等是否完好，如有问题应及时修理或更换。
2.清理燃烧室和出烟道，确保无积灰、异物等杂物。
3.检查燃气、电力供应是否正常，有否泄露现象，确保供应安全可靠。
4.检查操作人员的防护装备，包括安全鞋、安全眼镜、手套、防护服等，确保操作人员的人身安全。
二、操作过程安全规范1.在操作过程中，操作人员必须全程保持专注，不得分心或离开岗位，确保对设备的严密监控。
2.操作人员应时刻关注管式炉的燃气或电能状态，确保供应充足并避免泄露或短路等问题。
3.燃烧室内的温度和压力应时刻掌握，如发现异常变化，应及时采取措施，如停炉、降温等，确保管式炉的安全。
4.操作人员应严格遵守操作程序，如点火、调节温度、加料等，不得随意操作或超过设备规定的参数范围。
5.在操作过程中，禁止抽烟、使用明火或携带易燃物品，以免引发火灾或爆炸事故。
6.管式炉外表面温度较高，请避免接触，否则易造成烫伤。
三、事故应急措施1.在管式炉发生事故时，操作人员应立即停止供气或供电，并关闭进气阀门、切断电源开关，以防事态扩大。
2.在火灾事故中，应立即采取灭火措施，可使用灭火器、灭火器等手段，或者将炉内的供气或供电切断。
3.如发生燃气泄露事故，应立即停止供气，打开门窗通风，防止积累的燃气引发爆炸等危险。
4.在事故发生后，应及时报警，并迅速疏散人员，确保安全无误。
四、保养维护规范1.定期对管式炉进行清洗、检查，清除燃烧室内的积灰、异物，确保通畅，避免影响炉内温度和压力。
2.检查炉门密封、燃气、电力供应管道的连接是否紧固，如有发现松动、损坏等情况，应及时修理或更换。
3.对于炉内燃烧器、电热丝等零部件，应定期检查其状态是否良好，如有损坏应及时更换。
立式管式炉安全操作及保养规程
立式管式炉安全操作及保养规程前言立式管式炉是一种高温熔炼器具，具有高温、高压、易爆等危险因素，因此在使用过程中必须格外小心谨慎。
本文将详细介绍立式管式炉的安全操作及保养规程，以确保使用者的人身安全和设备的正常运转。
安全操作规程1. 穿戴防护用品使用立式管式炉时必须穿戴相关的防护用品，包括防高温手套、耐酸碱护目镜、穿戴耐高温的工作服等。
特别要注意头部和手部的防护，因为在使用的过程中，头部和手部很容易接触到高温设备，必须特别小心。
2. 谨慎操作在操作立式管式炉时一定要谨慎，对温度、时间、压力等参数必须仔细控制，确保炉内温度和压力不超过设定最大值。
同时，炉内物品的摆放也必须符合规定，不能超负荷运行炉子，在实验和生产过程中随时对炉内情况进行监测，确保设备稳定运行。
3. 合理使用燃气燃气是立式管式炉重要的能源，一旦操作不当将会对生命和设备造成极大危害。
因此，在使用燃气时必须注重管道与阀门的密封性，保证炉内燃气浓度和燃烧温度的稳定性，防止燃气泄漏的危险。
同时，必须定期对气罐、气管等相关配件进行检查，确保良好状态。
4. 切勿擅自操作在使用立式管式炉设备时切勿擅自进行拆卸和更改设备结构，更不能进行非正常操作。
如需进行检修和维护工作，一定要按照规定流程进行，遵守标准操作程序，如果不懂得具体操作，需要进行相关培训和学习。
5. 防备意外情况在操作设备时必须时刻保持警觉，防备意外情况的发生。
如发生设备故障、泄漏等情况，必须立即切断电源、关闭燃气阀、开启排气设备等措施，避免造成不必要的麻烦。
保养规程1. 定期清洗炉内长期使用会产生灰尘和异物，影响设备的正常运行。
因此，必须定期对立式管式炉进行清洗，将炉内油污和灰尘清洗干净。
同时，还应对炉内进行消毒和杀菌，防止交叉污染和炉内异味的产生。
2. 更换防护装置在使用过程中，立式管式炉内部的一些防护装置会因为损坏或者老化而失去使用功能，必须及时更换。
例如，防护手套、护目镜、耳塞等，必须按照设备要求定期更换。
真空高温管式炉操作规程
GSL-1300X、1600X真空高温管式炉操作规程一、准备工作1.设计升降温曲线，升温速率不得高于10℃/分钟，降温速率应低于15℃/分钟。
2.打扫环境。
3.每周开始使用管式炉时，检查机械泵油线处在标线以上，拆除两端盖，用吸尘器清洁刚玉炉管。
4.将样品舟推入刚与管炉膛中部（恒温长度10cm）。
5.塞上两块隔热炉塞，使第二个炉塞旳末端与炉体侧面平齐。
6.装上气炉法兰，确认密封垫落入槽中。
二、充工作气体Ⅰ. 使用氢气作为工作气体时1.接通氢气气路，对各接头处用肥皂水检漏，确认不漏气。
2.确认各阀门处在关闭状态。
3.逆时针旋转旋钮开氢气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0.1MPa。
4.接通机械泵电源，打开管式炉出口阀和机械泵气路上旳两个阀门，抽5分钟。
5.关闭机械泵气路上旳两个阀门，关闭管式炉出口阀门，关机械泵。
6.逆顺时针打开上气路控制阀，使箭头指向“开”位置。
7.逆顺时针调整流量计旋钮，使示数在20ml/min。
8.逆时针旋动旋钮，打开管式炉进气阀，直至气压表读数为零。
9.打开管式炉进气阀，打开氢气气路上旳红色出口阀门。
10.在通氢气满十分钟后，才能开始加热管式炉。
加热前，逆时针调整流量计旋钮，使锥形瓶中气泡出现旳速度为2个/秒钟。
Ⅱ. 使用惰性气体作为工作气体时1. 接通工作气体气路，将管式炉气体出口端连接机械泵。
2. 打开管式炉进气阀，合上真空泵电源，打开出气阀（注意把住法兰，防止炉管受力过大），抽空刚玉管和气体管路。
3. 当管式炉真空表到-0.1（指针到尽头时），关闭出气阀，关闭进气阀。
4. 逆时针旋动旋钮开气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0.004MPa（2小格）。
5. 逆时针旋动旋钮，缓慢打开管式炉进气阀；亲密注意管式炉气压表，确认气压在0.08MPa 如下（如气压高于0.08MPa，打开管式炉出气阀放气）。
6. 管式炉气压表当气压稳定期，关闭管式炉进气阀，打开出气阀，抽真空到-0.1，关管式炉出气阀。
真空高温管式炉安全操作规程
真空高温管式炉安全操作规程一、准备工作1、设计升降温曲线，升温速率不得高于10℃/分钟，降温速率应低于15℃/分钟。
2、清扫环境。
3、每周开始使用管式炉时，检查机械泵油线处于标线以上，拆除两端盖，用吸尘器清洁刚玉炉管。
4、将样品舟推入刚与管炉膛中部（恒温长度10cm）。
5、塞上两块隔热炉塞，使第二个炉塞的末端与炉体侧面平齐。
6、装上气炉法兰，确认密封垫落入槽中。
二、充工作气体1、使用氢气作为工作气体时：（1）接通氢气气路，对各接头处用肥皂水检漏，确认不漏气。
（2）确认各阀门处于关闭状态。
（3）逆时针旋转旋钮开氢气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0.1MPa。
（4）接通机械泵电源，打开管式炉出口阀和机械泵气路上的两个阀门，抽5分钟。
（5）关闭机械泵气路上的两个阀门，关闭管式炉出口阀门，关机械泵。
（6）逆顺时针打开上气路控制阀，使箭头指向“开”位置。
（7）逆顺时针调节流量计旋钮，使示数在20ml/min。
（8）逆时针旋动旋钮，打开管式炉进气阀，直至气压表读数为零。
（9）打开管式炉进气阀，打开氢气气路上的红色出口阀门。
（10）在通氢气满十分钟后，才能开始加热管式炉。
加热前，逆时针调节流量计旋钮，使锥形瓶中气泡出现的速度为2个/秒钟。
2、使用惰性气体作为工作气体时：（1）接通工作气体气路，将管式炉气体出口端连接机械泵。
（2）打开管式炉进气阀，合上真空泵电源，打开出气阀（注意把住法兰，避免炉管受力过大），抽空刚玉管和气体管路。
（3）当管式炉真空表到-0.1（指针到尽头时），关闭出气阀，关闭进气阀。
（4）逆时针旋动旋钮开气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0.004MPa（2小格）。
（5）逆时针旋动旋钮，缓慢打开管式炉进气阀；密切注意管式炉气压表，确认气压在0.08MPa以下（如气压高于0.08MPa，打开管式炉出气阀放气）。
（6）管式炉气压表当气压稳定时，关闭管式炉进气阀，打开出气阀，抽真空到-0.1，关管式炉出气阀。
真空管式炉安全操作规程
真空管式炉安全操作规程真空管式炉是一种常用于高温物质处理的设备，具有高温、大气状体可控、无气体污染等特点。
为了确保操作人员和设备的安全，以下是真空管式炉的安全操作规程：1. 热态操作前的准备：a. 确保炉体及周围环境清洁整齐，无阻挡物。
b. 检查电源供应情况，确保电源正常。
c. 查看真空度指示器，确保真空系统工作正常。
d. 检查炉体密封，确保密封良好。
2. 开启炉体：a. 打开炉体门前应确保内部温度降至安全范围。
b. 缓慢打开炉体门，防止冷空气迅速进入引起温度变化。
c. 关注炉内是否有异常情况，如温度异常升高或异味等。
3. 加热升温：a. 控制加热速度，避免温度急剧升高。
b. 关注温度表，确保温度升温过程在正常范围内。
c. 在加热过程中不得长时间离开设备，以防意外发生。
4. 真空度控制：a. 关注真空度指示器，确保真空度在正常范围内。
b. 如果真空度出现问题，应停止加热并排查原因，确认问题解决后才能继续操作。
5. 炉体冷却：a. 加热结束后，应缓慢降温至安全温度。
b. 关闭加热源，保持炉体冷却。
c. 在炉体温度降至安全范围后，可以关闭炉体门并断开电源。
6. 设备维护：a. 定期清理炉体内部，清除积尘和杂物。
b. 维护真空系统，检查真空度及气密性。
c. 定期检查电源供应情况，确保电气连接良好。
7. 安全防护：a. 操作时应戴上必要的防护装备，如防热手套、护目镜等。
b. 禁止操作人员穿戴松散的衣物或佩戴饰品，防止发生纠缠事故。
c. 遵守操作规程，不擅自更改设备参数或操作流程。
8. 火灾与应急处理：a. 在发生火灾时，应立即切断电源，并使用灭火器或灭火装置扑灭火源。
b. 在无法控制火势的情况下，应立即撤离人员，并联系消防部门。
以上是真空管式炉的安全操作规程，遵守规程可以有效降低操作风险，确保设备和操作人员的安全。
每个操作员都应熟悉并且遵守以上规程，并在操作前进行必要的安全培训。
高温燃烧管式炉操作规程
高温燃烧管式炉操作规程
《高温燃烧管式炉操作规程》
一、炉前准备
1. 在使用高温燃烧管式炉之前，需要确保炉内无残留物，清洁整洁，并将炉门关闭。
2. 检查炉内和炉外的通风设施是否良好，并保持通风畅通。
二、点火步骤
1. 打开燃气阀门，并点燃火焰。
2. 使用打火机或火柴点燃燃气，并调整火焰大小，确保炉内温度逐渐上升。
三、炉内操作
1. 在使用过程中，严禁将易燃物品放入炉内。
2. 定期检查炉内燃烧情况，确保燃烧效果良好。
3. 使用炉具时，需要佩戴防护手套，避免烫伤。
四、停止使用
1. 在使用完毕后，关闭燃气阀门，并等待炉具冷却。
2. 清理炉具残余物，并及时清洗、维护炉具。
五、安全提示
1. 在使用高温燃烧管式炉时，需要戴防护眼镜和口罩，避免受到燃烧产物的影响。
2. 炉具使用过程中，严禁离开现场，确保安全操作流程。
3. 若发现炉具有异常情况或故障，应立即停止使用并进行维修
处理。
以上即为《高温燃烧管式炉操作规程》，希望大家在使用炉具时能够严格按照规程进行操作，确保安全使用和延长炉具的使用寿命。
管式炉
管式炉操作规程（一）编程示例1：直接降温程序C01=0℃T01=30minC02=200℃T02=40minC03=400℃T03=30minC04=400℃T04=60minC05=800℃T05=30minC06=800℃T06=—121示例2：保温降温程序C01=0℃T01=30minC02=200℃T02=40minC03=400℃T03=30minC04=400℃T04=60minC05=800℃T05=30minC06=800℃T06=80minC07=1100℃T07=30minC08=1100℃T08=40minC09=900℃T09=10minC010=900℃T010=60minC011=500℃T011=10minC012=500℃T012=—121（二）操作1.检查1.1 通电前，先检查马弗炉电气性能是否完好，接地线是否良好，并应注意是否有断电或漏电现象。
1.2 检查门堵、垫板、加热棒是否良好，2装炉2.1 打开炉门，取出门堵，将需要烧结的产品放置在垫板上，严禁加热棒直接辐射产品。
2.2产品放置好后，放上门堵，关闭炉门。
3升温3.1 打开总电源，打开LOCK开关，仪表灯亮。
3.2 输入控温程序曲线。
运行曲线结束一定要设置结束语“txx -121”3.3 按下绿色Turn-on按键，听见“嘭”的一声，主继电器吸合。
3.4 按住仪表上“RUN”键2秒钟，SV显示“RUN”，进入仪表自动控制状态。
3.5 待升温正常后，记录各个数据。
5管式炉 操作规程及注意事项
403管式炉操作规程及注意事项
操作规程
1.使用时切勿超过电炉最高温度800o C；升温速率≤ 2 o C /min，程序正常设置。
2.此管式炉热电偶很容易
．．，抽真空装置已坏，停止使用。
用前务必联系负．．．．．．折断
责人李仁杰调试。
3.装取试样时一定要切断电源，以防触电。
4.受热膨胀的样品务必用
．．．．．。
．．．．．．．．．．铝箔纸包裹
5.送样、取样时要使用炉旁专用炉钩。
6.试样放在石英管中间，整齐放好，切勿乱放。
7.使用时要经常照看，发现故障，立即切断电源，晚间无人值班时勿使用管式
炉使用。
8.未经管理人员许可，不得操作管式炉，严格按照设备的操作规程进行操作。
注意事项
1、炉子长时间不用后，要在120o C左右烘烤1小时，在300 o C左右烘烤2小
时后使用，以免造成炉膛开裂。
不要超过额定温度800o C。
2、禁止向石英管内灌注任何液体，不得放入易燃易爆腐蚀性物品，不得用沾
有水和油的炉钩装取试样。
3、保持管式炉清洁，及时清除管内杂物，管式炉周围不要放置易燃易爆及腐
蚀性物品，保持炉外散热，通风良好。
4、启动升温程序前检查加热启动按钮是否亮绿灯，绿灯亮表示加热开启。
5、升温时请勿与加热区接触；升温过程不可打开炉门；结束后自然降至室
温。
6、打开和放下管式炉炉门时务必双手操作。
7、用完后需检查各部砌砖有无裂缝，耐火衬里有无脱落，钢架、吊挂有无弯
曲变形，炉管有无变形。
8、严禁物体撞击管式炉。
管式炉操作规程
双温区真空管式炉操作规程一、开机1. 打开电源。
2. 打开控气柜电源开关，预热15min，将流量显示仪调零。
二炼气1. 放置四个管堵，安装法兰。
2. 左右温区均以3o C/min升温至150 o C，保温30min，加热的同时抽真空，抽真空时，法兰将抽气针阀打开一点，待真空压力表降至-0.05 MPa时，分三个阶段完全打开（约3圈）针阀，至-0.1 MPa保持30min。
三、气体置换1. 关闭抽气口法兰上的针阀，打开气瓶约至0.04MPa以下，打开气柜上进气阀Tv1orTv2，同时观察气柜上的P1orP2压力，打开排气阀Tv3，再打开进气口法兰上的针阀2. 打开MFC1or2至阀控位置，缓慢调节“设定”旋钮至最大（1000ml/min），当法兰真空压力表达到0.01MPa时，关闭其上针阀，调节流量为0，打开抽气口针阀，抽气至-0.1MPa，再关闭抽气口针阀。
3. 再二次打开进气口针阀，缓慢开流量至最大，真空压力表至0.01MPa，关闭进气口针阀，调节流量为0，打开抽气口针阀，抽至-0.1MPa，再关闭抽气口针阀，完成二次气体置换。
4. 根据需要重复气体置换（步骤3），一般三次，关闭真空泵。
四、实验1. 充入0.01MPa保护性气体，关闭进气口针阀，等炉温降至室温，打开抽气口法兰，取出两个管堵。
2. 放入样品至热电偶位置，放入两个管堵至要求位置，安装法兰。
3. 确认抽气口针阀为关闭状态，打开真空泵，再缓慢打开针阀，真空压力表降至-0.05MPa，分阶段完全打开针阀至-0.01MPa，关闭抽气口针阀，关闭真空泵。
4. 打开进气口针阀，调节气柜流量至最大，使真空压力表达0.01MPa，打开抽气口针阀对外排气，根据实验要求调节流量，一般为100ml/min。
5. 两侧同时设定升温程序，温差不能超过300 o C。
6. 工作结束，降至室温，取出样品，再放入管堵，安装法兰。
7. 关闭进气口针阀，打开真空泵，抽至-0.01 MPa，充入0.01MPa保护气体，关闭进气口针阀。
中山cvd管式炉操作规程
中山CVD管式炉操作规程一、引言为了保证中山CVD管式炉的正常运行，保护设备和人员的安全，制定本操作规程。
本规程的目的是规范中山CVD管式炉的操作流程，确保操作人员按照标准操作流程进行操作，减少事故发生的风险。
同时，本规程还提供了应急故障处理的方法，以保障在发生异常情况时的快速响应和处理。
二、设备及工具准备操作人员在进行中山CVD管式炉操作前，需要进行以下设备及工具的准备：1.中山CVD管式炉2.试样3.指定的加热气体4.加热炉控制系统5.打火工具6.温度计7.备用试样三、操作流程1. 设备准备与检查1.检查中山CVD管式炉的外观是否完好，无损坏和破损现象。
2.确保试样的准备工作已经完成，试样符合要求。
3.检查加热炉控制系统是否正常运行，各功能按键是否灵敏。
2. 打开中山CVD管式炉1.打开加热炉控制系统电源，确认系统启动正常。
2.打开中山CVD管式炉的上盖，将试样放入炉腔中。
3.关闭中山CVD管式炉的上盖，并确保密封良好。
3. 设定加热温度和时间1.打开加热炉控制系统，进入温度设定界面。
2.输入所需加热温度和时间，确认设置无误。
3.确认设置后，启动加热炉控制系统。
4. 监测加热过程1.在加热过程中，密切监测温度和时间的变化。
2.通过温度计监测炉腔内部温度，确保温度达到设定要求。
3.在加热过程中，禁止离开操作区域，特别是随意打开炉腔。
5. 结束操作1.加热时间到达后，停止加热炉控制系统。
2.打开加热炉控制系统，将加热炉内的试样取出。
3.关闭加热炉控制系统和中山CVD管式炉。
4.检查试样的加工效果，如有异常情况及时记录。
四、应急故障处理中山CVD管式炉在操作过程中可能会遇到故障，需要进行应急处理。
1.温度异常–如果温度异常升高，立即停止加热炉控制系统，断开电源。
–快速打开加热炉的上盖，将加热炉内的试样取出，并放置在安全地方进行冷却。
–检查加热炉控制系统，确认是否有故障，修复故障后方可继续操作。
2.加热炉控制系统故障–如果加热炉控制系统出现故障，立即停止操作。
管式炉操作规范和注意事项
管式炉操作规范和注意事项
操作规范:
注意事项:
1、仪器外壳必须有效接地,以保证使用安全。
2、仪器应放通风良好室内,在其周围不可放置易燃易爆物品。
3、不得放入易燃易爆物品。
4、仪器使用完要切断电源。
5、严禁物体撞击机器。
6、烘炉通蒸汽时必须先脱水,缓慢进行,防止水击。
7、烘炉过程中要加强检查,升温要匀速缓慢,严格按烘炉升温曲线进行,发现异常现象立即请示处理。
8、用完后需检查各部砌砖有无裂缝,耐火衬里有无脱落,钢架、吊挂有无弯曲变形,炉管有无变形,基础有无下沉等。
管式炉操作规程
双温区真空管式炉操作规程一、开机1. 打开电源。
2. 打开控气柜电源开关，预热15min，将流量显示仪调零。
二炼气1. 放置四个管堵，安装法兰。
2. 左右温区均以3o C/min升温至150 o C，保温30min，加热的同时抽真空，抽真空时，法兰将抽气针阀打开一点，待真空压力表降至-0.05 MPa时，分三个阶段完全打开（约3圈）针阀，至-0.1 MPa保持30min。
三、气体置换1. 关闭抽气口法兰上的针阀，打开气瓶约至0.04MPa以下，打开气柜上进气阀Tv1orTv2，同时观察气柜上的P1orP2压力，打开排气阀Tv3，再打开进气口法兰上的针阀2. 打开MFC1or2至阀控位置，缓慢调节“设定”旋钮至最大（1000ml/min），当法兰真空压力表达到0.01MPa时，关闭其上针阀，调节流量为0，打开抽气口针阀，抽气至-0.1MPa，再关闭抽气口针阀。
3. 再二次打开进气口针阀，缓慢开流量至最大，真空压力表至0.01MPa，关闭进气口针阀，调节流量为0，打开抽气口针阀，抽至-0.1MPa，再关闭抽气口针阀，完成二次气体置换。
4. 根据需要重复气体置换（步骤3），一般三次，关闭真空泵。
四、实验1. 充入0.01MPa保护性气体，关闭进气口针阀，等炉温降至室温，打开抽气口法兰，取出两个管堵。
2. 放入样品至热电偶位置，放入两个管堵至要求位置，安装法兰。
3. 确认抽气口针阀为关闭状态，打开真空泵，再缓慢打开针阀，真空压力表降至-0.05MPa，分阶段完全打开针阀至-0.01MPa，关闭抽气口针阀，关闭真空泵。
4. 打开进气口针阀，调节气柜流量至最大，使真空压力表达0.01MPa，打开抽气口针阀对外排气，根据实验要求调节流量，一般为100ml/min。
5. 两侧同时设定升温程序，温差不能超过300 o C。
6. 工作结束，降至室温，取出样品，再放入管堵，安装法兰。
7. 关闭进气口针阀，打开真空泵，抽至-0.01 MPa，充入0.01MPa保护气体，关闭进气口针阀。
管式炉安全操作规程
管式炉安全操作规程操作：1.法兰安装：向上开启炉体，将炉管对称置于炉膛中央，样品置于炉管中央，将管堵置于炉膛两端，盖好炉体，随后按内法兰，密封圈，压环，密封圈，外法兰的顺序组装好，均匀上好三颗内六角螺栓，分多次均匀轮流旋紧三颗六角螺栓（至少看到4个螺纹），确保法兰不倾斜，两侧安装步骤相同，安装外法兰时，请确保炉管端面与外法兰内面有一定的距离（5-10 mm），否则会造成炉管破裂。
2.抽真空：确保进气口关闭，打开出气口，连接真空泵，将炉管压强抽至-0.09 Mpa，随后关闭出气口和真空泵。
接着按气瓶主阀、分压阀（第一个示数0.5-1.0，第二个示数0.02）、管路开关、气体流量计的顺序打开气路，打开进气口阀门，待炉管内压强升至正压（不超过0.02 Mpa）时，打开出气口阀门，通过进气阀门及流量计调节气体流速，一般以安全瓶中连续鼓出气泡为准。
稳定后，通氮气5-20 min，把管内空气全部排空。
3.控温程序设定：打开电源总开关及箱体开关，按键进入设置状态，按键依次设置程序值，程序设置结束后，按键不放开再按键可退出设置状态。
检查程序无问题后，点击绿色“Heating Ready”按钮，长按键（下显示器SV显示“run”，“hold”为停止加热），红灯闪烁，程序开始执行。
程序运行过程中必须隔一段时间（不超过20 min。
如果温度高于800 ℃的反应，必须现场看守！）查看气瓶压力，炉管压力和出气口情况。
4.收样：程序结束炉体的温度下降到300 ℃后，关闭显示开关，再关闭气瓶主阀，分压阀，管路开关，流量计和炉管进出口阀门。
待炉膛温度自然冷却至室温，若炉管内压强为正压方可打开炉膛，取出物料。
若炉管内压强为负压，则需充氮气直至压强为正。
（也可通氮气直至降至室温打开炉膛）取出样品后关闭箱体开关及总开关，确保管路无气体残留，及时清洗出气口（碱液和乙醇清洗），填写使用记录本。
使用时注意剩余气体压力，若剩余气体不足（仅有1格），请及时叫气。
管式炉安全操作规程
编号：CZ-GC-00033
( 操作规程)
单位：_____________________
审批：_____________________
日期：_____________________
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管式炉安全操作规程
Safety operation regulations for tubular furnace
管式炉安全操作规程
操作备注：安全操作规程是要求员工在日常工作中必须遵照执行的一种保证安全的规定程序。
忽视操作规程在生产工作中的重要作用，就有可能导致出现各类安全事故，给公司和员工带来经济损失和人身伤害，严重的会危及生命安全，造成终身无法弥补遗憾。
一、仪器使用
1.检查线路是否正确；
2.开启空气开关，旋转开关，看控温仪表是否显示；
3.进样，用炉钩将样品放到正中间，放好炉塞；
4.安装好法兰，检查气密性；
5.洗炉，完成加热前准备；
6.设置仪表升温程序；
7.点击启动键，绿色指示灯亮，长按run键1-2秒，松手，设备运行。
二、注意事项
1.使用前戴好手套，眼罩口罩等护具；
2.保持电炉清洁，定期检查线路是否接触良好；
3.确保电炉周围没有导电，易燃易爆物及能破坏金属和绝缘的腐
蚀性气体；
4.静止想炉内防止可燃性液体及易溶解的金属；
5.温度过低（300℃以下）时，升温速率不能太快；
6.使用完毕后，切断电源，及时清理。
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管式炉操作规程
管式炉操作规程
管式炉操作规程
普通操作方法：
接通电源，打开仪器开关按↑键二秒钟使SV窗口出现STOP（暂停）。
设定步骤：按←键PV 显示C01。
按←↓↑设置所需的温度。
按SET键，PV显示t01。
按←↓↑设置-1。
等到返回菜单（SV显示STOP）。
再按↓键二秒钟，SV显示RUN即可。
此时PV即显示升温。
SV窗口HOLD 和设置的温度交替显示。
例如：要仪器到600℃长期保持自动恒温
按←键一下 C01 = 600
按SET键一下 t01 = -1
等到SV返回STOP，再按↓键。
SV显示RUN即仪器开始工作。
带真空装置真空管式炉的操作方法：
１．真空操作：打开不锈钢法兰，将试件放入石英管内，密封法兰，关闭进气阀，利用真空泵抽真空达到目的后关闭阀门。
２．气体保护操作：打开不锈钢法兰，将试件放入石英管内，密封法兰，将所需保护的气体通过进气阀冲入石英管内（如有流量计也可通过流量计控制流量），关闭阀门。
注意事项
1.仪器外壳必须有效接地，以保证使用安全。
2.仪器应放通风良好室内，在其周围不可放置易燃易爆物品。
3.本仪器无防爆装置，不得放入易燃易爆物品。
(推荐)管式炉操作规程
双温区真空管式炉操作规程一、开机1. 打开电源。
2. 打开控气柜电源开关，预热15min，将流量显示仪调零。
二炼气1. 放置四个管堵，安装法兰。
2. 左右温区均以3o C/min升温至150o C，保温30min，加热的同时抽真空，抽真空时，法兰将抽气针阀打开一点，待真空压力表降至-0.05 MPa时，分三个阶段完全打开（约3圈）针阀，至-0.1 MPa保持30min。
三、气体置换1. 关闭抽气口法兰上的针阀，打开气瓶约至0.04MPa以下，打开气柜上进气阀Tv1orTv2，同时观察气柜上的P1orP2压力，打开排气阀Tv3，再打开进气口法兰上的针阀2. 打开MFC1or2至阀控位置，缓慢调节“设定”旋钮至最大（1000ml/min），当法兰真空压力表达到0.01MPa时，关闭其上针阀，调节流量为0，打开抽气口针阀，抽气至-0.1MPa，再关闭抽气口针阀。
3. 再二次打开进气口针阀，缓慢开流量至最大，真空压力表至0.01MPa，关闭进气口针阀，调节流量为0，打开抽气口针阀，抽至-0.1MPa，再关闭抽气口针阀，完成二次气体置换。
4. 根据需要重复气体置换（步骤3），一般三次，关闭真空泵。
四、实验1. 充入0.01MPa保护性气体，关闭进气口针阀，等炉温降至室温，打开抽气口法兰，取出两个管堵。
2. 放入样品至热电偶位置，放入两个管堵至要求位置，安装法兰。
3. 确认抽气口针阀为关闭状态，打开真空泵，再缓慢打开针阀，真空压力表降至-0.05MPa，分阶段完全打开针阀至-0.01MPa，关闭抽气口针阀，关闭真空泵。
4. 打开进气口针阀，调节气柜流量至最大，使真空压力表达0.01MPa，打开抽气口针阀对外排气，根据实验要求调节流量，一般为100ml/min。
5. 两侧同时设定升温程序，温差不能超过300 o C。
6. 工作结束，降至室温，取出样品，再放入管堵，安装法兰。
7. 关闭进气口针阀，打开真空泵，抽至-0.01 MPa，充入0.01MPa保护气体，关闭进气口针阀。
宁夏cvd管式炉操作规程
宁夏CVD管式炉操作规程1. 引言本文档旨在规范宁夏地区CVD（化学气相沉积）管式炉的操作流程，以确保安全生产和提高工作效率。
所有操作人员在进行CVD管式炉操作时，必须遵守本规程。
2. 设备概述CVD管式炉是一种常用的材料生长设备，适用于薄膜沉积、晶体生长等工艺。
其主要组成部分包括加热炉体、进料装置、气体控制系统、真空系统以及温度和压力监控仪器等。
3. 操作流程3.1 准备工作•检查管式炉的供电情况，确保电源接地正常。
•确保炉体内无残留物或污染物。
•检查进气线路、真空泵等设备的连接情况。
•检查管式炉内是否放置了加热介质，如石墨舟等。
•确保操作人员已经具备相关安全操作知识和技能，并穿着符合要求的工作服和防护设备。
3.2 真空操作•打开真空泵的电源，并打开与炉体连接的阀门，确保气体顺利抽出。
•观察真空表的读数，当达到要求的真空度时，关闭真空泵的电源和阀门。
3.3 加热操作•启动加热系统，设置所需温度和加热时间。
•观察温度控制仪表的读数，并按照要求进行调整，以确保温度稳定在设定值附近。
3.4 气体操作•打开气体控制系统的电源，设定相应的气体流量和时间。
•打开相应气体瓶的阀门，调整气体流量，并确保气体稳定流入炉体。
•按照工艺要求的时间进行气体供给，并在完成供气后及时关闭相应的阀门。
3.5 操作注意事项•操作人员需佩戴耐高温手套、防酸碱面罩等防护设备。
•对于有毒气体或易燃气体的操作，必须采取额外的安全措施，如通风设备、防爆装置等。
•在操作过程中，禁止随意触碰管式炉设备，以免发生触电或高温烫伤等事故。
•操作完成后，及时关闭所有电源和气源，并清理工作现场。
4. 安全措施4.1 灭火器配备•在工作现场配备符合要求的灭火器，并定期检查灭火器的有效性。
4.2 废气处理•对于有毒有害气体的产生，需配置废气处理系统，并确保其正常运行。
4.3 紧急救援计划•制定紧急救援计划，并进行定期演练，以确保在发生意外情况时能够及时、有效地应对。
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微型管式炉安全操作规程
一、仪器使用
1. 检查线路是否正确；
2. 开启空气开关，旋转开关，看控温仪表是否显示；
3. 进样，用炉钩将样品放到正中间，放好炉塞；
4. 安装好法兰，检查气密性；
5. 洗炉，完成加热前准备；
6. 设置仪表升温程序；
7. 点击启动键，绿色指示灯亮，长按run键1-2秒，松手，设备运行。
二、注意事项
1. 使用前戴好手套，眼罩口罩等护具；
2. 保持电炉清洁，定期检查线路是否接触良好；
3. 确保电炉周围没有导电，易燃易爆物及能破坏金属和绝缘的腐蚀性气体；
4. 静止想炉内防止可燃性液体及易溶解的金属；
5. 温度过低（300℃以下）时，升温速率不能太快；
6. 使用完毕后，切断电源，及时清理。