真空设备操作维护保养规程
爱发科真空泵维修工厂安全操作及保养规程
爱发科真空泵维修工厂安全操作及保养规程引言爱发科真空泵是工业生产中常见的一种设备,在使用过程中需要进行正确的操作和定期的保养,以确保设备的安全和可靠性。
本文将介绍爱发科真空泵的安全操作规程和保养规程,以帮助维修工厂工作人员正确使用和维护这款设备。
1. 安全操作规程1.1 设备准备在进行任何操作之前,确保以下准备工作已经完成:•检查设备是否处于关机状态,确保安全。
•确保设备周围环境清洁,无杂物和障碍物。
•确认工作场所的通风良好,防止有害气体积聚。
•戴上适当的个人防护装备,如安全眼镜、手套等。
1.2 启动操作以下是爱发科真空泵的启动操作步骤:1.检查设备电源是否连接正常,确保供电稳定。
2.打开设备主电源,确保设备处于待机状态。
3.检查设备连接管路是否正常,防止泄漏。
4.打开真空泵的阀门,逐步增加泵速,以避免突然增加的负荷。
5.检查真空泵的运行是否平稳,观察是否有异常噪音或震动。
1.3 关闭操作以下是爱发科真空泵的关闭操作步骤:1.先关闭真空泵的阀门,逐步减小泵速,降低负荷。
2.断开设备的电源,确保设备停止运行。
3.清理设备周围的杂物和泄漏物。
4.定期检查设备管路和密封件的磨损情况,及时更换。
1.4 应急处理在出现以下情况时,应立即进行应急处理:•发现设备漏电或电线起火时,立即切断电源并通知相关人员。
•发现设备发生异常噪音或振动,立即停止设备并检查原因。
•发现设备泄漏有害气体或液体时,迅速通风并采取防护措施。
2. 保养规程爱发科真空泵的定期保养是确保设备长期高效运行的关键。
以下是爱发科真空泵的保养规程:2.1 清洁维护定期清洁设备的外表面和内部部件,确保设备无积尘和杂物。
2.2 润滑保养定期为设备进行润滑保养,以延长设备寿命和提高运行效率。
2.3 管路维护定期检查设备的管路连接是否松动或泄漏,及时修复或更换。
2.4 磨损部件更换定期检查设备的磨损部件,如密封件、滤网等,及时更换。
2.5 运行记录定期记录设备的运行情况和维护记录,以进行问题分析和改进。
真空活塞压力计安全操作及保养规程
真空活塞压力计安全操作及保养规程真空活塞压力计是测试真空度的常见仪器,使用它需要遵循一定的操作规范和维护保养方法,以确保仪器的精度和安全性。
本文将介绍真空活塞压力计的安全操作及保养规程。
安全操作1. 操作前注意事项在操作前,必须确保仪器处于正常状态,并检查以下事项,以确保操作的安全性:•仪器表面应干净无尘;•仪器所在环境应干燥无潮湿;•操作人员应穿戴静电防护服、手套等器械,并加静电垫;•仪器电源应处于关闭状态;•操作人员应明确操作程序,确定操作路线及流程;•操作前应对仪器进行重复检查。
2. 操作步骤2.1. 连接真空管路将待测试物体放置于真空管路内,将管路连接至表头,用敲击拍打法排除其中气泡,封口。
2.2. 打开开关按照操作程序,将真空活塞压力计电源开关打开,并按下数秒,待稳定后读数。
2.3. 读数及记录将读数记录在管理日志上,记录精度到小数点后两位。
2.4. 断电待读数稳定后按照程序要求将电源关闭。
断开真空管路,将测试物体移除管路。
保养规程1. 日常维护1.1. 清洁长期使用的真空活塞压力计易受到灰尘、污垢的影响,因此应定期清洁。
首先应该使用清洁剂擦拭,至表面干净。
1.2. 检查使用过程中,应注意真空活塞压力计的变化,如出现漏气、读数不准等情况应及时予以处理或维修,并进行测试。
2. 定期维护2.1. 校准如果真空活塞压力计初始误差,应当及时进行校准。
2.2. 更换若数码管、电源点火装置或手持电路板发生故障,应视情况更换。
2.3. 发现问题处理如发现没有进行日常维护,或者维护不良的设备,应当及时维修。
注意事项•在进行操作时应格外注意个人安全,慎重操作;•仪器应保持清洁;•仪器使用后必须关闭电源;•定期维护和检验仪器,维护记录应该记录;总结真空活塞压力计是测试真空度的必备仪器,正确的使用和维护保养不仅能长度仪器的使用寿命,同时也能有效避免仪器故障所带来的安全隐患,对于各种制造、生产、研发行业都是必不可少的工具。
爱德华真空泵设备安全操作及保养规程
爱德华真空泵设备安全操作及保养规程一、前言爱德华真空泵设备是电子学、微处理器、半导体、化学工业等领域中广泛应用的一种高级真空泵。
本文将介绍爱德华真空泵设备的安全操作和保养规程,以确保设备的正常运行和使用寿命。
二、安全操作1、使用前检查在使用爱德华真空泵设备前,需要仔细检查设备是否处于完好状态,并且按照以下步骤进行操作:•确认室内空气干燥,且没有致病细菌和异物;•确认真空泵设备的各个连接口是否紧固,以防漏气;•确认泵的转子是否能够自由转动。
2、操作过程中注意事项在操作爱德华真空泵设备时,需要注意以下几点:•避免在设备未关机的情况下触碰电线或设备;•在碰触高温部分和易滴出物的部分时,需要佩戴防护手套和眼镜;•禁止将化学品直接倒入泵体中;•在操作进行过程中,需要保持设备干燥、清洁、无尘。
在设备维护过程中,需要注意以下几点:•其他泵设备中除气体泵外,若有漏油,应紧急整治。
若非常规操作造成泵组件过热,应至少休息 20 分钟,然后再开机;•不要将化学品直接倒入泵体中,以免损坏设备;•定期清洁泵的滤网和泵体内部的灰尘,避免过度沉积影响设备的使用寿命。
三、保养规程1、日常保养在日常使用爱德华真空泵设备时,需要注意以下几点:•保持设备干燥、清洁,且无尘;•定期检查设备的这些部分:油位是否过低,滤芯是否异常;•定期更换真空泵的密封性部件。
2、长期保养在爱德华真空泵设备长时间未使用时,需要注意以下几点:•清理设备表面的污垢和水汽;•拆下泵体,清理并更换各个部件;•拆下转子、轴承、泵胚,并加差油清洗。
在设备维护过程中,需要注意以下几点:•定期检查和维护设备,以保证设备的正常运行;•遵循设备操作规程,确保设备使用寿命的延长;•使用合适的替代零部件,以确保设备的正常运行状态。
四、总结通过以上介绍,我们可以了解到爱德华真空泵设备的安全操作和保养规程,希望大家能够认真遵守,以确保设备的正常运行和使用寿命。
同时,如果在操作或维护过程中出现问题,应及时联系专业技术人员进行调试和修理。
真空成型机安全操作及保养规程
真空成型机安全操作及保养规程真空成型机是一种用于制造塑胶制品的设备。
在使用过程中,需要严格遵守操作规程,以确保设备的正常运行和操作者的安全。
本文将介绍真空成型机的安全操作规程和保养要求,以帮助用户正确使用和维护真空成型机设备。
一、安全操作规程1. 读取设备说明书在使用真空成型机之前,必须仔细阅读设备说明书,并了解设备的性能及操作细节,以确保操作者能熟练操作设备,并避免由于操作失误造成意外事故。
2. 安装设备在安装设备之前,请确认设备的电压与所在的电源电压符合,不要直接接在220V的电源上。
在安装设备时,确保设备的水平度正确,并且所有连接都紧固牢固。
同时,必须确保设备周围有足够的安全距离,以方便操作者使用。
3. 准备工作在使用真空成型机之前,必须先进行设备的准备工作。
首先,清理设备周围的杂物以及设备内部的废料和杂物。
然后,检查设备安全设备是否完好,各类开关是否正常,以确保设备可以正常运行。
4. 使用设备在使用真空成型机的时候,要严格按照使用说明书的规定进行操作。
在操作之前,需要将设备的各部件检查一遍是否齐全,运行是否正常,并保持操作环境干净整洁。
在启动设备之前,确保工作室内部没有异物,并将烤箱的温度调至合适的工作温度。
5. 关机与清洁在完成工作后,必须先将真空泵关闭,然后再关闭电源开关,将设备集中安放,并清洁设备周围的垃圾等残渣。
同时,清理设备内部的残留物和杂物,使设备在下一次使用前能安全、高效地工作。
二、保养要求为提升真空成型机的使用寿命,提高设备的生产效率和品质,以下是保养要求。
1. 定期保养设备在长时间的工作中,会产生一些水垢、油污等脏物,在使用过程中需要定期进行清理和保养。
对于设备定期维护需要有专业人员进行,每月至少一次对设备进行定期清理及质量检测。
2. 清洁维护清洁和维护设备操作按钮及开关的功能,在长时间的工作中,按钮及开关随着操作次数的增加可能会出现疲劳及老化等现象。
必须定期对设备进行清洁、检查及调整,并经常涂抹润滑油,以确保设备的正常功效。
真空设备操作维护保养规程
真空设备操作维护保养规程真空设备是一种常用的工业设备,广泛应用于各个领域。
为了确保设备的正常运行和延长其使用寿命,必须制定一套操作维护保养规程。
下面是一份适用于真空设备的操作维护保养规程,共计1200字以上。
一、设备操作规程1.操作前的准备(1)操作人员应通过相关培训,具备操作真空设备的基本知识,掌握设备的工作原理和操作流程。
(2)进行操作之前,应对设备进行检查,确保设备处于正常工作状态,包括检查电源、传感器以及阀门的电气连接是否良好,真空泵的油位、温度和压力是否正常等。
(3)清理操作环境,确保设备周围没有杂物和障碍物,以防操作过程中发生意外事故。
2.设备启动和关闭(1)设备启动前,应依次按照设备启动程序进行操作,如先开启真空泵,再打开阀门设置工作压力。
(2)设备关闭时,应按照正常的关闭程序进行操作,如先关闭阀门,再关闭真空泵。
3.设备运行过程中的注意事项(1)在设备运行过程中,操作人员应密切观察设备的运行状态,及时发现并处理设备运行中的异常情况,如压力波动、温度升高等。
(2)严禁随意更改设备的运行参数,如泵速、阀门开度等,必要时应事先与专业技术人员沟通。
(3)定期抽取设备运行数据,如真空度、泵速等,以便进行设备运行分析。
1.日常维护(1)定期检查设备的电源、传感器和阀门的电气连接,确保连接良好,防止松动或短路等问题影响设备正常运行。
(2)定期清理设备表面的灰尘和污垢,使用干净柔软的布进行清洁,禁止使用腐蚀性或有机溶剂清洁设备表面。
(3)注意维护设备的密封性能,如有泄露现象,应及时更换密封件。
2.润滑维护(1)定期检查真空泵的油位和油质,对于不合格的油料应及时更换。
(2)真空泵在使用前及过程中应进行润滑,可使用特殊的润滑油涂抹在润滑部位。
(3)定期清理真空泵的滤油器和空气过滤器,保证其流通通畅。
3.定期维护(1)定期进行设备的大修,包括拆卸设备、更换旧件、清洗零部件、检查设备内部磨损情况等。
(2)定期对设备进行封闭测试和真空度测试,确保设备的密封性和工作性能。
真空抽取设备操作规程及维护保养
真空抽取设备操作规程及维护保养1. 引言本操作规程旨在指导使用人员正确操作真空抽取设备并进行维护保养,以确保设备的正常运行和延长设备寿命。
2. 操作规程2.1 开机前准备- 确保设备已连接电源,并检查电源线是否完好无损。
- 检查设备的各个部件和连接管道是否安装正确,并确保紧固部件的紧固度。
- 检查真空泵的油位是否在正常范围内,必要时添加或更换真空泵油。
2.2 开机操作- 打开主控电源开关,并等待设备启动。
- 启动真空泵,并观察真空度指示是否正常。
- 根据实际需求,调整设备的真空度,并确保真空度稳定在所需范围内。
- 如果设备配有加热功能,可根据需要调节加热温度。
2.3 关机操作- 先关闭加热功率,再关闭真空泵。
- 关闭主控电源开关。
3. 维护保养3.1 日常清洁- 关机后,用干净软布擦拭设备外部,特别是操作面板和控制按钮,以保持设备的清洁和正常运行。
- 定期检查设备的各个部件和连接管道是否存在松动或磨损,必要时进行紧固或更换。
3.2 润滑维护- 按照设备使用说明书的要求进行润滑维护,确保设备各个运动部件的润滑状态良好。
3.3 定期保养- 按照设备使用说明书的要求,定期进行设备的维护保养。
- 定期更换真空泵油,并清洗真空泵的滤网。
4. 安全注意事项- 操作人员在使用设备时应穿着合适的个人防护装备,如手套、防护眼镜等。
- 禁止擅自拆卸设备的外壳或进行非法改装。
- 在操作设备时要保持专注,并避免操作失误。
- 紧急情况下,应立即关闭设备电源,并及时联系维修人员进行处理。
5. 总结本文档总结了真空抽取设备的操作规程及维护保养要点,希望通过遵守规程和正确维护保养,能够保持设备的稳定运行,确保操作人员的安全,并延长设备的使用寿命。
在操作和维护保养过程中,如果遇到任何问题,请及时联系相关人员进行咨询和处理。
自动真空控制系统安全操作及保养规程
自动真空控制系统安全操作及保养规程自动真空控制系统是在真空环境下运转的机器装置,常被应用于电子工业、航空航天、制药等领域。
由于真空系统在工作时会产生高度危险的气体或物质,人员进行维护时也会接触到危险物质,因此必须掌握正确的操作方法来保证系统的安全、正常运转。
同时,定期对系统进行检修、维护和保养也是至关重要的。
本文将在操作和保养两方面具体介绍自动真空控制系统的安全规程。
一、安全操作规程1.操作前准备工作在进行系统操作之前,应当仔细阅读相关说明书,并且对机器进行初始化设置。
特别在关键环节和检修工作中严格遵照工艺流程和操作说明。
此外,还应当做好以下准备工作:•穿好防护用具:在接触真空系统时,必须穿上防护衣、防护手套和防护鞋,以免造成身体受损或伤害。
•检查对接部分:在进行真空系统的操作之前,必须检查对接部分的密封以确保系统安全。
•确认安全控制电路:检查安全控制电路是否合格,保证电气部分的安全。
•熟悉操作流程:在进行机器操作之前,需要了解各项设备的基本操作流程以及相关参数设定,确保操作流程正确。
2.操作过程中安全措施在使用真空系统过程中,应当保证操作环境的整洁、安全,避免不安全操作行为导致发生事故。
•禁止空开试验:空开试验会给机器主机带来极大的损坏,导致机器宕机或者程序系统异常;同时可能会造成危险物质泄漏,防止空开试验即可避免任何事故的发生。
•应当避免使用滥漫有毒有害物质:操作真空系统时不要直接接触或使用有毒有害物质,避免沾染危险物质带回生活或工作区域,以免造成不必要的伤害。
•就算是空操作,也不能关闭安全设置:安全设置应当时刻启动,关闭安全设置可能造成机器运行异常或者意外发生。
3. 故障应急处置在使用真空系统过程中,可能会发生意外情况,如机器损坏、设备故障e等情况。
应急处置措施如下:•及时停止机器:在发生问题后,应立即停止机器以防止事态进一步扩大。
•采取防护措施:封堵现场有潜在危险部位或者进行泄漏物排放,确保防护区域清洁,避免对人员和设备造成伤害或污染。
真空吸粉机安全操作及保养规程
真空吸粉机安全操作及保养规程前言真空吸粉机是一种常用的输送物料设备,具有输送粉尘、颗粒等物料的特点,应用广泛。
然而,由于操作不当或保养不当,可能会影响设备的安全性能,造成严重事故。
本文将详细介绍真空吸粉机的安全操作及保养规程,以确保安全生产。
安全操作规程一、操作前准备1.在操作真空吸粉机前,需要对设备进行全面检查,并排除可能影响运行的故障。
2.检查设备各部件是否处于正常工作状态,如果发现设备有问题,应经过专业维修人员的认真检修后再进行使用。
3.对真空吸粉机进行清洁,清理杂物以确保设备运行顺畅。
4.准备好工作所需的材料、工具等。
二、操作中注意事项1.在操作真空吸粉机前,需要进行设备连接和接地,特别是电气设备的接线必须符合国家相关标准。
2.在操作真空吸粉机前,需要关闭过程中不必要的台灯、闸触、风扇、动力和电器等,并且不能擅自调节控制系统。
3.在操作真空吸粉机过程中,应注意设备运行状态,如有异常现象,应立即停止设备并进行检查,排除故障。
4.操作真空吸粉机时,不得使用手指或其他物体接触运转部件,以免发生事故。
5.在操作真空吸粉机过程中,应遵循操作规程进行操作。
三、操作结束后的清理1.当设备运行结束后,应关闭真空管道和阀门,并停止真空泵。
2.对设备进行清洁,清除粉尘和杂物,用柔软的布擦拭设备表面。
3.掉落物品时,严禁使用手去拾起,要使用专门的工具拾起。
设备保养规程一、常规保养1.对真空吸粉机设备进行操作之前,应对其进行全面检查,排除异常问题。
2.对设备进行周检查,保持设备的清洁卫生,避免设备外观、橡胶管及各种联轴器处沾有灰尘,影响设备使用寿命。
3.定期检查和清洁设备的电器线路、管路、通气孔及油箱,保持设备的良好状态。
4.定期更换设备中的润滑油,并进行润滑,保证设备的润滑系统顺畅运行。
二、季节性保养1.在贮存前,应对设备进行彻底的清洁,以免贮存期间受到灰尘和湿气的侵袭。
2.在设备未使用的情况下,应定期对设备进行打保护油及焊缝涂防锈漆处理,保持设备的稳定。
真空抽气系统操作规程及维护保养
真空抽气系统操作规程及维护保养1. 系统操作规程1.1 开机操作1. 确保真空抽气系统的所有设备均处于关闭状态。
2. 先打开主电源开关,再按照指示打开真空泵电源开关。
3. 检查真空泵的油位,确保油位在适当范围内。
4. 检查真空泵的冷却水系统,确保水流正常。
1.2 系统运行操作1. 打开真空阀门,确保系统进气口与外界隔离。
2. 打开真空泵电源开关,使其开始抽气。
3. 在系统达到所需真空程度后,关闭真空阀门,停止抽气过程。
1.3 关机操作1. 关闭真空阀门,确保系统与外界隔离。
2. 关闭真空泵电源开关。
3. 关闭主电源开关。
2. 维护保养2.1 检查真空泵油位每日工作开始之前,检查真空泵的油位是否在正常范围内。
如果油位过低,应及时添加适量的真空泵油。
2.2 清洁真空泵滤网每周至少清洁真空泵的滤网一次,以确保流体畅通。
2.3 检查真空泵冷却水系统定期检查真空泵的冷却水系统,确保冷却水正常流动。
如发现异物或堵塞,应及时清理或更换。
2.4 定期维护及保养根据真空抽气系统的使用频率和工作环境,制定定期维护保养计划,包括清洁、润滑、检修等项目。
按照计划进行维护,保证系统的稳定运行。
2.5 预防故障分析和处理方法根据实际情况,建立故障分析和处理方法。
在系统出现故障时,可以迅速定位问题并采取相应的修复措施。
3. 安全注意事项1. 在操作真空抽气系统时,注意佩戴个人防护用品,如手套、护目镜等。
2. 确保系统处于稳定状态下,不要轻易停电或关闭主电源开关,以免造成不可逆的损坏。
3. 禁止使用不符合规定的材料或工具接触系统相关部件,以免发生意外事故。
以上为真空抽气系统操作规程及维护保养的简要说明,使用人员必须按此规程操作,并定期进行维护保养,以确保系统的正常运行和使用安全。
螺杆真空泵维修保养安全操作及保养规程
螺杆真空泵维修保养安全操作及保养规程1. 引言螺杆真空泵是一种常用的工业设备,广泛应用于各个领域。
为了确保螺杆真空泵的正常运行和延长其使用寿命,正确的维修保养操作至关重要。
本文将介绍螺杆真空泵的维修保养安全操作以及保养规程,以提高工作效率和安全性。
2. 维修保养安全操作2.1 安全帽与防护眼镜在进行螺杆真空泵的维修保养工作之前,务必佩戴安全帽和防护眼镜,以防止头部和眼睛受到意外伤害。
在操作过程中,应严格遵守相关的安全操作规程。
2.2 断电与断气在进行螺杆真空泵的维修保养工作之前,必须先切断电源和气源。
确保设备彻底停止运行后,再进行维修保养操作,以避免电击和气体泄漏等危险情况的发生。
2.3 安全警告标识螺杆真空泵上应标明各个部件的名称和功能,并配有相应的安全警告标识。
在进行维修保养操作之前,务必仔细阅读这些标识,并按照标识上的说明进行操作,以确保安全。
2.4 使用正确工具在进行螺杆真空泵的维修保养工作时,务必使用正确的工具。
使用合适的工具能够更好地完成工作,并避免不必要的损坏和事故发生。
2.5 防止松动在进行螺杆真空泵的维修保养工作之前,应仔细检查所有的螺丝、螺母和紧固件,确保其牢固。
松动的螺丝和螺母可能导致设备故障和意外发生。
3. 保养规程3.1 清洁和除尘定期对螺杆真空泵进行清洁和除尘是保持其正常运行的重要步骤。
使用干净的布或气压设备清理泵体表面和过滤器,以去除灰尘、杂物和油污等。
3.2 润滑油更换螺杆真空泵的润滑油在使用过程中会逐渐降解和污染,因此定期更换润滑油是必要的。
根据设备的使用频率和工作环境,制定润滑油更换计划,并确保使用正确的润滑油。
3.3 传动部件检查和维护定期检查螺杆真空泵的传动部件,包括皮带、链条和齿轮等,确保其良好状态。
对于磨损严重或松动的传动部件,及时更换或紧固,以避免设备故障和安全隐患。
3.4 滤清器更换滤清器是螺杆真空泵中重要的组成部分,用于过滤空气中的杂质和颗粒物。
真空设备安全操作保养规程
真空设备安全操作保养规程前言真空设备是科研、工业生产中不可或缺的重要设备之一,因其具有高度真空环境来实现对物质的精细处理和分析等功能,是众多产业领域的重要装备。
然而设备的操作与保养需要遵循一定的规程,以确保设备的正常运行、维护人员的安全以及有效的使用。
本文将就此阐述真空设备的安全操作与保养规程。
真空设备安全操作规程1. 装置操作规程1.设立操作台,将设备放置在平稳的位置上,并与电源连接。
2.为真空设备提供电源之前,需先检查整个系统的电源开关和状态显示是否正常。
3.设备组装完成后,必须进行真空泵的加油和加注机油以保证其正常运行。
4.当系统需要进行热真空处理时,需先进行漏气试验,确保真空气低至5000Pa以下,避免发生意外事故。
5.当在真空环境中操作或尝试打开任何压力装置时,务必佩戴手套和眼镜等个人防护装备以避免意外。
2. 技术保护规程1.进行任何操作之前,均需了解设备完整的构造和性能,并严格遵循操作手册中给出的安全规范。
2.所有操作设备和设备之间的所有连接都需要经过检验,并确保氧化物、烟灰和其他污染物质在系统内部大量存在前已完全被清除。
3.确保设备的真空度保持在适宜的范围内,并注意保存真空泵和阀门的正确运作状况。
4.避免任何可能影响系统安全性和真空度的操作过程,例如:将加载重物放置在制氧系统中或良好运作的气压阀门关闭。
5.确保系统拥有适合的检测设备,以对任何异常情况进行及时判断和干预,例如:泄漏检测仪器、系统状态监测仪器等等。
3. 操作后的系统维护规程1.每次操作完成后,必须拔下设备断路器并退出设备,将设备表面进行清洁和消毒。
2.保持设备的通风良好,避免过度使用设备导致电机过热和进行内部零件防雾化处理。
3.确保设备连接和端口的干燥和清洁,以防止生锈和腐蚀等问题。
4.随时检查设备的确切位置,并了解那些易磨损的部件及时更换或维修,例如:真空泵、阀门、接头等等。
真空设备保养规程1.定期清洁设备内部和外部,包括排热板、真空管和接口。
真空机组操作保养规程
真空机组操作保养规程概述真空机组是广泛应用于工业生产中的重要设备,其正确的操作和定期保养对于保障其正常运行、延长使用寿命以及提高生产效率具有重要意义。
本文档旨在介绍真空机组的操作和保养规程,帮助操作人员和维修工程师正确使用并维护真空机组。
操作规程1. 初次操作前的准备工作在初次操作之前,应进行如下准备工作:•检查机组的接线是否正确,确保机组的电源正常接入。
•检查机组的输入电压是否与机组要求的电压一致。
•检查真空泵机油是否充足,并按照要求加注机油。
•检查机组电气控制柜内部的接线和元器件是否稳固牢靠,确保无异常。
2. 操作流程步骤1:打开机组电源,启动真空泵进行抽真空。
步骤2:当真空泵排气压力达到要求时,打开相应气阀门。
根据需要,逐步调整真空泵排气压力。
步骤3:上下游设备需在机组规定的时间内完成抽真空。
当真空度到达要求时,关闭相应气阀门。
步骤4:关闭真空泵,关闭机组电源,完成操作。
3. 安全操作提示•操作人员应按照操作规程严格执行操作,禁止身体部件接近或触摸设备开关。
•在操作前应检查机组内的气体和油液是否达到要求,确保操作时的安全。
•操作时应注意机组的工作状态,如出现异常情况应立即停机检查。
保养规程1. 定期更换机油真空泵的机油是保证其正常使用寿命的重要因素,因此应按照要求及时更换机油。
更换机油的具体步骤如下:•关闭真空泵的入气阀门,并排空机油,拆卸油位检查器后进行机油更换。
•更换机油时应使用干燥、清洁、无氧、无杂质的油。
2. 定期清洗机组内部为保证机组内部的清洁卫生,应定期对机组进行清洗,具体步骤如下:•关闭机组电源,拆卸机组门板和内部保护罩。
•用洗涤剂和清水清洗机组内部各个部位和管道,清洗完成后待机组自然风干或用风枪吹干,确保机组干燥,避免生锈。
3. 定期检查和维护电气系统电气系统是机组正常工作的重要保证,因此应定期对其进行检查和维护。
具体步骤如下:•检查电气系统内部的接线和元器件是否稳固牢靠、无异常、无烧损。
真空泵维修保养操作规程
目的:规范真空泵维修保养。
适用范围:W-100真空泵维修保养。
责任:操作人员执行本规程;工程部监督检查本规程的实施。
内容:
1.经常检查系统的润滑油量是否达到指示要求。
2.设备运转后,注意听声音是否正常,一旦发现声音异常应立即停车检查,排除故障后方可工作。
3.不能使用本真空泵抽取含有腐蚀性成分而且容易挥发的液体。
4.每运转8000-12000小时后,必须进行全面检修,更换易损件和其他磨损、损坏零件、
配套件。
5.若停机较长时间,要把水套内积水放尽,清除气缸腔内积水,以防锈蚀。
6. 真空泵运转3个月应换油一次。
7.每次维修保养应及时填写《设备、检修、保养记录》。
真空泵设备保养手册
(4)阻油器底部的凝水应及时排放,以免进入真空泵,损坏真空泵。
(5)真空泵停用前,关闭机组抽气阀,真空泵应继续运行20分钟,让泵内的水蒸气充分蒸发,防止泵内腐蚀.
二、真空泵维护保养
(1)必须使用真空泵制定专用真空泵油,否则会造成泵的排水性能下降,极限真空能力下降,并导致真空泵的使用寿命缩短。
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标题:真空泵维护保养操作规程
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一、真空泵起停操作
(1)在使用真空泵对机组进行抽真空前,应启动真空泵运转20分钟左右,待油温上升后,打开机组抽气阀门对机组进行抽气.及时蒸发;并定时打开,放油口放出凝水(20分钟一次).
(2)定期(每月)更换真空泵油,通过油位视镜观察油的污浊情况,并更换泵油
(3)真空泵运转时,如果泵油油面低于液位下限时,应立即补充泵油直至油面升至最高液位下限
(4)如泵长时间未启动,在正式启动真空泵前应先多次点动真空泵,避免在泵直接启动时由于负荷过大而损坏泵
三、相关文件
《真空泵日常维护保养检点记录表》
莱宝真空泵用真空计安全操作及保养规程
莱宝真空泵用真空计安全操作及保养规程1. 引言莱宝真空泵是一种常见的用于产生真空的设备,在实验室、工业生产和其他应用中广泛使用。
为了确保莱宝真空泵的正常运行和使用,正确的使用真空计是非常重要的。
本文档将介绍莱宝真空泵用真空计的安全操作及保养规程,以帮助用户正确使用和保养真空计。
2. 安全操作步骤2.1 准备工作在操作莱宝真空泵前,应先确保以下几项准备工作完成: - 确保工作区域清洁整齐,无杂物干扰; - 查看真空计的电源线和连接线是否完好无损; - 检查真空计的指示仪表是否正常工作。
2.2 连接及调整正确连接真空计是保证测量准确性的关键。
下面是连接真空计的步骤: 1. 将真空计与莱宝真空泵的空气阀连接; 2. 打开莱宝真空泵的空气阀; 3. 打开真空计的电源开关; 4. 调整真空计的指示仪表,使其指针指向零刻度。
2.3 测量真空连接完毕并调整好后,可以开始进行真空测量。
操作步骤如下: 1. 打开莱宝真空泵; 2. 观察真空计的指示仪表,记录下相应的真空读数; 3. 根据测量需要,进行相应的操作(如升高或降低真空泵的转速); 4. 持续观察真空计的指示仪表,记录下不同时间点的真空读数。
2.4 关闭和断开连接真空测量完成后,需要正确关闭设备并断开连接,操作步骤如下:1. 关闭莱宝真空泵的空气阀; 2. 关闭真空计的电源开关; 3. 拔出真空计与莱宝真空泵的连接线; 4. 关闭莱宝真空泵。
3. 真空计保养规程3.1 定期清洁为了保证真空计的准确性和稳定性,需要定期对其进行清洁。
清洁步骤如下: 1. 关闭真空计的电源开关,并拔出电源线; 2. 使用软布沾取酒精轻轻擦拭真空计的指示仪表面; 3. 将擦拭后的指示仪表面晾干,并避免暴露在阳光直射下。
3.2 防尘措施尽量减少灰尘和污染物进入真空计内部,可以采取以下措施: - 在不使用真空计时,使用防尘套或塑料袋覆盖指示仪表面; - 安装过滤器,避免灰尘进入真空计。
真空抽取设备操作规程及维护保养
真空抽取设备操作规程及维护保养1. 设备操作规程1.1 准备工作在操作前,确保以下准备工作已完成:- 检查设备是否处于正常工作状态;- 确保设备周围没有可燃物或其他危险物品;- 穿戴个人防护用品,如防护眼镜、手套等。
1.2 操作步骤按照以下步骤进行真空抽取设备的操作:1. 打开设备电源,并确保电源指示灯亮起;2. 打开设备的控制面板,设置所需的真空度和时间参数;3. 连接被抽取物体或与设备的真空管道,并确保连接牢固;4. 卸下气阀盖,打开设备的抽气阀,开始抽气过程;5. 观察设备的真空仪表,当真空度达到设定值时,关闭抽气阀;6. 等待被抽取物体的处理完成后,关闭设备电源和控制面板;7. 断开真空管道并清理设备。
1.3 操作注意事项在操作真空抽取设备时,需要注意以下事项:- 避免在高温或高压状态下进行操作;- 不要将手指、衣物或其他物体接触到真空管道或接口;- 遵守设备的使用规定,不要超过设备的额定工作压力或电流;- 定期检查设备的密封性能,如有异常及时维修。
2. 设备维护保养2.1 日常检查定期进行以下维护保养工作以保证设备的正常运行:- 清洁设备外壳及控制面板;- 检查设备的电源线、接插件是否正常;- 检查真空管路是否畅通,并清理管道中的积尘;- 检查设备的真空泵是否有异常声音或振动。
2.2 定期保养每隔一段时间,进行以下维护保养工作:- 检查设备的真空泵是否需要更换或清洗;- 检查设备的滤网是否需要清理或更换;- 检查设备的密封垫片是否松动或磨损。
2.3 不可维修问题如遇到以下问题,请立即停止使用设备,并联系维修人员进行处理:- 设备发生漏电或短路现象;- 设备无法正常启动或停止;- 设备发生严重的噪音、震动或异味。
3. 安全操作措施在操作真空抽取设备时,应遵守以下安全操作措施:- 严禁在设备运行过程中随意触碰设备部件;- 确保操作人员熟悉设备的标识和警示信息;- 严格按照操作规程进行操作,避免违规操作;- 不要将设备用于超过其设计用途。
外抽真空包装机安全操作及保养规程
外抽真空包装机安全操作及保养规程外抽真空包装机是工业、医药、农业、食品等领域经常使用的设备。
为了确保其正常的运行和使用,我们不仅需要严格按照操作规程进行操作,还需要做好日常的检查和维护工作。
本文将介绍外抽真空包装机的安全操作和保养规程。
一、安全操作1. 操作前准备在操作外抽真空包装机之前,需要检查设备是否存在异常。
具体的操作步骤如下:•检查电源线和接地线是否正常连接;•检查电机是否正常运转;•检查真空泵是否正常运转;•检查压力表和温度计是否正常。
2. 操作时注意事项在操作过程中,需要注意以下几点:•不要操作过快,操作过于急促可能会引起泄压现象;•严格按照包装要求设置真空度,过高或过低的真空度会影响包装质量;•操作过程中应保持设备干燥,防止水分进入真空泵。
操作完成后,需要将设备进行清洁和维护。
具体的操作步骤如下:•关闭电源,将电源线和接地线拔掉;•清洗设备内部的残留物和污垢;•检查压力表和温度计是否损坏;•定期更换油封和油。
二、保养规程1. 日常保养外抽真空包装机日常保养的主要内容包括:•定期清洗设备内部;•定期更换油封和油;•检查电源线和接地线是否正常连接;•检查锁紧件是否紧固。
2. 定期保养定期保养是为了保证外抽真空包装机长期的正常运行和使用,具体内容包括:•定期更换真空泵的油和过滤装置;•检查真空泵的管路、管夹和噪声;•检查电源线是否有损坏,并进行更换和修理;•检查压力表和温度计是否正确。
在使用外抽真空包装机的过程中,需要注意以下几点:•不要用刀、铁丝等硬物清洁设备内部,避免对设备造成损坏;•可以使用少量的润滑油进行润滑,但要避免过多。
•不要将液体或固体物质放入设备中,避免影响设备的正常运行;•应该每天检查包装机的部件,确保其正常运行;•定期做好设备的维修和保养,在必要的时候更换损坏的部件。
三、结论正确认识外抽真空包装机的安全操作和保养规程对于我们正确使用和维护设备具有重要的意义。
因此,我们必须严格执行操作规程,注意设备的日常检查和维护,确保设备在长期的使用中保持其正常运行和使用。
真空上料机安全操作及保养规程
真空上料机安全操作及保养规程真空上料机是一种用于加工塑料颗粒的设备,它将塑料颗粒通过真空吸入机械内部,加热和熔化后再注入模具中,制成所需的产品。
在使用真空上料机时,需要注意安全操作和保养规程,以确保设备的正常运行和操作人员的安全。
安全操作规程1. 熟悉操作步骤在使用真空上料机前,操作人员需要先仔细阅读设备操作手册,熟悉设备的操作步骤和注意事项。
在操作过程中应按照手册要求,逐步进行。
2. 确保设备处于安全状态在操作前,需要检查设备的各个部位是否处于安全状态,特别是刀具、加热器、冷却器等易热部位以及传动部位要注意检查。
若发现异常情况,需要及时停机检修和更换。
3. 确保电气设备完好在使用真空上料机前需要检查电气设备是否完好,电缆是否损坏或老化,插头接触是否良好等。
还应注意电气设备的防水和防尘问题。
4. 佩戴个人防护装备在操作过程中,需要佩戴个人防护装备,如手套、口罩、护目镜等,以避免设备在工作时产生的颗粒、热气、有害气体对身体的危害。
5. 留意设备运行状态在设备运行过程中,需要不时检查设备运行状态,如温度、压力、各个部位是否正常工作等。
如发现异常情况,需要及时停机检修。
6. 操作人员不能离开设备在设备操作过程中,操作人员不能随意离开工作岗位,必须持续关注设备运行状态。
7. 停机前必须关闭电源在停机前,操作人员必须关闭设备电源,确保设备处于安全状态。
保养规程1. 定期检查设备为确保设备的正常运行,需要定期检查设备的各个部位,包括传动部位、刀具、加热器、冷却器等,及时更换损坏零件,保持设备处于良好状态。
2. 注意设备清洁和维护在设备使用过程中,需要注意设备的清洁和维护,如润滑、擦拭、清洗零件等,以保持设备的干净和整洁。
3. 积累使用经验设备操作人员应积累使用经验,对设备的运行状态、部件性能等有一个深入了解,能在运行中尽快判断异常情况及时处理,以保障设备的正常运行。
4. 学习维修知识设备操作人员还应学习一些维修知识,如设备维修和检修,能够及时对设备进行检修和维护,延长设备使用寿命。
真空输送机真空上料机安全操作及保养规程
真空输送机真空上料机安全操作及保养规程真空输送机和真空上料机是工业生产中常见的机械设备,主要用于物料输送和上料。
为了确保这些设备的安全性能和延长使用寿命,以下是真空输送机和真空上料机的安全操作和保养规程。
安全操作规程操作前准备在使用真空输送机和真空上料机之前,必须先进行以下准备工作:1.检查设备的外观是否损坏或呈现迹象表明其已从原定位移动。
2.检查设备的安全装置是否可靠。
3.检查设备的负载能否符合其设计标准。
4.确保设备连接的管道无堵塞、无磨损且有效。
操作过程中注意事项在使用真空输送机和真空上料机的过程中,必须注意以下事项:1.操作人员必须穿戴好工作服和相关的安全防护设备,例如护眼镜、手套等。
2.避免将身体、衣物和物件接触设备运转部件和传动系统,以免造成人员或设备损伤事故。
3.禁止在设备运转时在机器上攀爬或拆卸部件。
4.注意设备运转状态,如异常声响或震动,应及时关闭设备进行检查。
5.遵守设备的使用说明书和靠近设备的警示标志。
操作结束后的处理在设备使用完毕后,必须进行以下处理:1.关闭电源,并清理设备内部的物料和堆积物。
2.对设备的运转部件进行检查和清洗,以便准备下一次使用。
3.确保所有的管道和阀门都已关闭,以免出现设备泄漏的情况。
保养规程在正常使用真空输送机和真空上料机的同时,还必须遵循以下保养规程,以确保设备的长期、可靠和优秀的工作性能:1.定期清洗和维修设备运转部件、传动系统和管道。
2.定期对设备进行润滑,确保其运转灵活和平稳。
3.在设备存放期间,应将其清洁干净,并避免暴露在腐蚀性气体和潮湿环境下。
4.定期检查设备的连接、管路和各个部件,以防车削器和磨损部件。
5.清洁和更换过滤器,以保护设备和避免污染物料。
结论真空输送机和真空上料机是重要的高效物料输送和上料设备,它们的漏洞可能会引起设备的故障和损坏。
这些保养和安全规程是确保设备安全性和使用寿命的必要步骤。
通过坚持这些规程,可以提高生产率,减少维修时间,防止不必要的伤害和损失。
真空烤箱安全操作及保养规程
真空烤箱安全操作及保养规程真空烤箱是一种高端的烘烤设备,广泛应用于电子、半导体、化工、医药等领域。
为了确保使用安全和延长使用寿命,在操作和保养时需要注意以下几点:真空烤箱的安全操作规程1. 确保供电在操作真空烤箱之前,要检查炉体和附件的电源是否已经插好。
同时,需确认电压符合设备要求,以免发生电气事故。
2. 确认使用环境在使用真空烤箱时,需要在相应的温度和湿度下进行操作。
同时避免在防尘等条件不满足的环境操作,以免影响设备正常使用。
3. 确认设备状态在开始使用前,需要确认设备状态是否正常,并视情况进行必要的维修和保养。
例如检查密封圈、清洁加热元件、更换各种易损件等。
4. 正确设置温度在使用真空烤箱时,应按照烘烤要求正确设置温度和时间,以获得最佳的烤制效果。
5. 关注真空度在进行真空烤箱操作时,要关注真空度的变化。
及时调整真空泵的工作状态,以防止操作异常,影响设备正常使用。
6. 烤箱开门方式在使用真空烤箱时,需要确保烤箱门的开启方式和保持时间正确,避免因此引起不必要的事故。
7. 关闭设备在完成操作后,需要正确关闭设备,先关闭烤箱加热,确保温度下降到安全值后再关闭真空泵和电源,避免设备过热损坏。
8. 调试设备在安装或更换设备要素时,需进行调试和验证,确保设备运行正常,避免在未经验证的情况下使用设备。
真空烤箱的保养规程1. 清洁设备在使用真空烤箱之后,应该及时清洁设备。
特别需要注意的是设备内的所有部件要清洁干净,以防止长期使用导致产生积垢。
2. 恰当存放在存放真空烤箱时,需要确保设备处于安全的环境中。
例如应该避免在潮湿、爆炸、腐蚀性气体等危险环境中存放设备。
3. 定期更换易损件对于设备的易损部件,如密封圈、四维门等,需要定期更换。
以确保设备的正常使用寿命,避免因易损件的损坏而引起的一系列问题。
4. 防止遗漏操作在操作真空烤箱时,要避免操作失误。
最好记录每次操作,以防止操作遗漏和跳过步骤。
5. 定期维护对于设备,定期维护和保养也是不可忽视的重要部分。
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起动
(1)起动前级泵,抽出扩散泵内的气体。
(2)接通冷却水(注意:急冷水套在扩散泵停机时才能通水)。
(3)接通扩散泵加热电源,对扩散泵加热60min后,当容器压力达到工艺规定压力时,
打开高真空阀门,扩散泵可以进入正常工作状态。
停机
(1)关闭高真空阀门;
(2)切断扩散泵加热其电源,停止加热。
4.7设备停止使用时,应将炉内气体抽空,长时间不用,要充入保护性气体,并把水冷
套内的循环水放掉。
4.8充入的保护性气体,纯度不应小于99.99%。
4.9机械泵、罗茨泵应定期换油加油,罗茨泵的油杯中要保持一直有油。换油时一定要把油放干净。
4.10扩散泵换油时,内部如有氧化,把扩散泵内部的氧化层处理干净,然后再换上新油。
3.3扩散泵操作规程
3.3.1性能规范
型号:KT600 600表示吸气口径;
抽气速率:≥16000L/S;
极限真空:6.5X10-5Pa;
加热功率:9KW;
装油量:6-7L(ks-3);
耗水量:≤1000L/H;
进口/出口:600/150。
3.3.2操作规范
起动前准备
(1)检查冷却水管是否畅通无阻(管路上水压表水压≤0.2~0.3MPa);
(2)检查压缩空气管路及气三联件,查看油杯中油量是否合适。及时放掉杯中残余水分。
(3)使用压缩空气清洁机械泵外部,防止灰尘过厚影响散热。
(4)以压缩空气和吸尘器清洁炉体内部。
(5)清洁观察窗玻璃。
(6)检察各电源线是否有松动、发热现象。
(7)检查循环水各阀门接口有无渗漏。
3.5.2.3下面的工作应每月一次:
4.15规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂上扩散泵油,使之与座之间形成一层油膜
防止漏气。以上各部分及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封。
4.16各部分的螺栓定期检查,如发现松动,及时拧紧。
4.17设备工作时,注意观察仪表的显示情况及各泵的声音,以便及时发现异常找出问题。
4.18设备的使用环境,在相对湿度85%以下,温度在10℃~40℃。在拆修设备时各部分不许用重锤敲击,密封面、密封槽不许划伤。
门后,用酒精摖拭门胶条,并用吸尘器清理真空室内部。)
(2)检查循环水路各接口,保证无渗漏。
(3)检查循环水路进水温度是否在5-250C。回水温度是否低于350C。进水压力为2.5kg/cm3-3.0kg/cm3
(4)检查水流量开关是否正常工作。
(5)检查压缩机管路各接口,保证无压缩空气外漏。
(6)检查气泵和储气罐、放掉内部的冷凝水。
能正常工作)。
3.5.1.3在扩散加热同时打开炉门检查炉内绝缘情况,清理炉内卫生。装工件检查炉门密封
圈,关炉门。
3.5.1.4开主抽泵、开粗抽阀门。
3.5.1.5至真空度到400 Pa时(此时罗茨泵转子为静止状态)。
3.5.1.6开前级阀。
3.5.1.7启动罗茨泵,
3.5.1.8至真空度到6.7 Pa时,关预抽阀、开前级阀、关罗茨泵,开精抽阀。
(7)设备运转时检查机械泵、罗茨泵、扩散泵有无过热和异响。
(8)在设备升温、镀膜过程中:检查设备阀门,侧壁,后壁,高阀等有无局部发热现象。
(9)检查门密封条有无伤痕。
(10)用吸尘器仔细清洁炉体内部。
(11)视污染情况更换观察窗保护片。
(12)检查机械泵油位是否正常。
(13)检查罗茨泵油杯油量,保证油杯量在1/2-1/3油杯高度即可。
(1)以压缩空气和吸尘器较为彻底的清洁炉体内部,内衬。
(2)检查罗茨泵泵油状况,如发现油质变色,変烯,乳化等情况,应立即换油。
(3)清理机械泵口过滤网。
(4)检查各靶材消耗状况。每更换一次靶材,用特斯拉计测量靶磁场强度。(当心强磁场、手机、手表等精密仪器及电气请远离!!带有心脏起搏器的人员请远离!!)。
电机:Y132L-4功率:5.5KW;
电机转速:1440转/分;
配用三角带;B/1600:4根;
冷却水消耗量:480L/H;
润滑油:1#真空机械泵油(KK-1)储存量8Kg;
口径:进气90mm排气60mm。
3.1.2操作规范
起动前的准备
(1)检查皮带的松紧程度,起动前可以松一些,起动后调节底座上的螺栓,慢慢拉紧,以减少起动力矩。
泵正常工作时,如性能突然变坏,应检查加热器是否损坏。
泵在长期工作后,性能如果下降,应拆泵检查油量及泵油氧化情况,酌情加油或换
油(扩散泵专用油),在换油时泵体及泵芯要使用无水酒精或丙酮清洗,然后在80~100℃
温度范围内烘干。并每次在装配时注意检察泵的出口管道内挡油板的紧固螺栓,确保其无
松动安全可靠。
(5)泵的轴封处不得有漏油现象。
(6)泵在运转过程中如局部升温过大,电流计读数突然发生变化,产生不规则的噪声或
其它异常现象,应立即停泵检查。
停泵
(1)停泵时,应先停罗茨泵,再停前及泵,否则会导致罗茨泵出口压力升高,负荷增大
而可能烧坏罗茨泵电机或损坏罗茨泵。或会导致前级泵倒转,前级泵泵油倒灌入管道或罗
一般情况下,泵体应保持真空状态,以免大气进入泵内造成扩散泵油的氧化。
3.4分子泵操作规程
3.4.1性能规范
型号:TYFB-1600
抽气速率:1600(L/S)
极限真空:<8×10-8/<5×10-7
电机转数:24000(rpm)
冷却水流量:1(L/min)
3.5真空镀膜机操作规程
3.5.1开停机顺序:
(2)检查各部分有无松动现象,电机转向是否同泵的要求符合。
(3)检查油箱内的油位是否在视镜的两条油标线之间。
(4)对于长期未工作的泵,起动前应间断起动电机,检查是否灵活。
(5)检查冷却水是否正常(管路上水压表水压≤0.2-0.3MPa)、润滑油是否正常。
起动
(1)打开冷却水阀。
(2)合上电源的开关,起动电机。
3.5.1.14关机
关闭真空计、关闭精抽阀。
打开放气阀。
3.5.1.17放气结束。
3.5.1.18打开箱体大门。
3.5.1.19取出工件
3.5.1.20装入工件。
3.5.1.21关闭放气阀。
3.5.1.22重复上述过程。
3.5.2设备维护
3.5.2 .1日常保养
(1)开机前,检查水、电、气是否符合要求。(开启磁控靶前,检查靶水开关,每次开炉
4.2泵不用时,应用橡皮塞把进气口塞好,以免赃物和硬质东西落入泵内。
4.3冷却水水压应保持0.1 MP~0.2 MPa之间,出水温度≤45℃。
4.4压缩空气压力在0.4Mpa~0.5 Mpa之间。
4.5每次开机前,要检查保护气的气瓶容量,以免气体充不足,更换气瓶。
4.6经常检查设备各种仪表,保证完好;按照规定对仪表进行校验。
4.19设备在工作时,操作人员不得长时间离岗。
4.20运行中的问题与对策
问题
原因
解决方法
真空管路或系统内返油
1.油蒸汽返流至真空管路或系统中
2.油蒸汽压不对
3.停泵时,油返流
4.截流阀板上的密封件损坏
5.抽气管路底部密封件腐蚀或损坏
1.清洗泵后换符合要求的油
2.清洗泵后换符合要求的油
茨泵,导致前级Βιβλιοθήκη 缺油,并有可能污染被抽环境。(2)停止本泵并关闭排气阀门。
(3)停止前级泵。
(4)关闭冷却水进水阀。
3.2.3注意事项
应经常保持使用环境清洁干净。
应经常注意各部件的润滑情况,如发现润滑油不足时,应及时补充,如发现润滑油
不清洁时,应及时更换。
润滑油应符合要求,否则达不到所要求的真空度。
4.11本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气体。
4.12设备表面及仪表表面要保持清洁,擦拭炉体内壁不允许有带有水份及沾有非真空类用油的抹布擦拭。
4.13气动系统的气动三连件的油水分离器要经常放水,油雾器内应注入真空扩散泵油。
4.14设备的整机电压要保证在350V~420 V范围内,三相要平衡。
(3)当泵底温度≤60℃关闭管道阀门。
(4)关闭前级泵,并向前级泵充气,以防返油。
(5)停止对扩散泵供水。
3.3.3注意事项
扩散泵出水温度应≤40℃,否则应立即检查处理。
如果扩散泵在正常运行中突然停电停水,应按照以下步骤处理:
(1)立即关闭高真空阀和前级阀;
(2)迅速抽出加热器;
(3)马上接通急冷水路,并向扩散泵底部淋水;
3.5.1.9至真空度到7.5×10-3Pa时开始镀膜。
3.5.1.10运行工艺流程
3.5.1.11镀膜:
开流量计按工艺要求充入气体、对工件进行离子清洗(清洗时间有不同工艺而定)。
3.5.1.12关闭离子清洗真空度恢复至本底真空(7.5×10-3Pa)。
3.5.1.13调整气体开始镀膜,(按工艺要求镀膜)。
吸入气体有腐蚀性,必须采取中和措施。
(4)检查各部分有无松动现象,较长时间不用后,应拆下旁通溢流阀,检查有无锈死。
(5)检查电机转向是否同泵体上的箭头一致。
起动
(1)起动前级泵。
(2)打开本泵的进气阀门。
(3)打开冷却水阀门,当容器压力达到工艺规定压力时,起动本泵。
(4)泵运转时应平稳,转子不得有冲击声。
(4)检查设备动力线是否有老化现象,及时更换。
大修:
视设备工作情况,每两至三年大修一次,彻底清理炉体,更换全部真空系统密封圈,
检修全套设备大修完成后的设备性能应该接近全新设备。。
4.维护保养
4.1真空系统较长时间以后,极限真空度下降,应进行对滑阀泵、罗茨泵、扩散泵进行检
修。必要时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清理洗、检修。