扩散硅压阻式压力传感器差压测量.

扩散硅压阻式压力传感器差压测量

一、实验目的：了解利用压阻式压力传感器进行差压测量的方法。

二、基本原理：压阻式压力传感器的硅膜片受到两个压力P1和P2作用时由于它们对膜片产生的应力正好相反，因此作用在压力膜片上是ΔP=P1-P2，从而可以进行差压测量。

三、需用器件与单元：压力源(已在主控箱)、压力表、压阻式压力传感器、压力传感器实验模板、流量计、三通连接导管、数显单元、直流稳压源±4V、±15V、压力气囊。

四、实验步骤：

请学员们自拟一个差压测量的方法。