扩散泵机组
扩散泵工作原理
扩散泵工作原理
扩散泵是一种用于产生真空的设备，其工作原理基于气体分子的扩散过程。
以下描述了扩散泵的工作原理：
1. 泵的内部是一个密封的空腔，其中包含一个滑动的扩散器或者扩散阀和一个辅助泵。
2. 初始时，辅助泵首先工作，将气体从泵的内部抽出。
这使得在泵内建立起一个较低的压力。
3. 当泵内的压力降低到一定程度时，打开气体进入扩散器的阀门。
气体进入扩散器后，经过一系列的扩散过程被分解成低能级的分子。
4. 分子在扩散器内与固体表面相互碰撞，使得气体分子在表面上发生吸附，形成一层分子薄膜。
5. 这些低能级的气体分子不断地在泵的内壁上吸附并扩散，最终被辅助泵抽出。
6. 辅助泵不断将气体从泵的内部排出，保持泵内的压力低于环境压力。
通过上述过程，扩散泵能够有效地将气体从高压区域扩散到低压区域，从而产生真空。
需要注意的是，由于扩散泵无法直接抽取大气压力以下的气体，因此通常需要与其他类型的真空泵配合使用，例如旋片泵或者涡旋泵。
扩散泵(diffusionpump)物理中学生百科
扩散泵（diffusionpump）物理中学生百科
扩散泵（diffusionpump）物理中学生百科
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扩散泵（diffusionpump）
扩散泵(diffusionpump)
泵中有一股高速定向喷射的蒸气流，气体扩散进入蒸气流便被带往前方，达到抽气目的的泵称为扩散泵，是获得高真空的有效抽机。
蒸气流由工作液体加热转化而来，工作液体有汞和扩散泵油两类。
泵底部为蒸发器，内贮有扩散泵油。
上部为进气口，右侧旁管为出气口，在工作时出气口处由机械泵提供前置真空，当油被加热时，产生的油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出，因喷嘴外面有机械泵提供的真空，故油蒸气流可喷出一长段距离，构成一个向出气口方向运动的射流。
射流最后碰上有冷却水冷却的器壁时，凝结为液体而流回蒸发器形成循环。
由进气口进入泵内的气体分子，一旦落入蒸气流中，便获得向下运动的动量而往下飞去。
由于射流具有高速、高密度及。
扩散泵工作原理
扩散泵工作原理扩散泵是一种常用于真空系统中的高效气体排除设备，其工作原理是利用分子扩散的方式将气体从高压区域输送到低压区域，从而实现真空抽取的目的。
在实际工程应用中，扩散泵通常与其他类型的真空泵结合使用，以提高真空度和抽取速度。
扩散泵的工作原理主要包括以下几个方面：1. 分子扩散。
扩散泵利用气体分子在真空管道中的自由运动特性，通过分子间的碰撞和扩散来实现气体的输送。
当气体分子在高压区域受到泵内部加热后，会获得较高的动能，从而在碰撞和扩散的过程中逐渐向低压区域移动。
这种分子扩散的运动方式可以有效地将气体从高压区域排除到低压区域。
2. 蒸汽冷凝。
在扩散泵内部，通常还会设置冷凝器，用于将气体分子在运动过程中产生的蒸汽冷凝成液体，从而减少气体分子的数量，提高真空度。
冷凝器通常采用冷却水或液氮进行冷却，以实现对气体的冷凝和凝结。
3. 气体抽出。
扩散泵内部还设有排气口，用于将排除的气体输送至真空系统的外部。
通过连续地排除和输送气体，扩散泵可以实现对真空系统的抽取和维持。
总体来说，扩散泵的工作原理是利用分子扩散和蒸汽冷凝的方式，通过连续排除和输送气体来实现对真空系统的抽取和维持。
在实际应用中，扩散泵通常与其他类型的真空泵（如旋片泵、离心泵等）结合使用，以实现更高效的真空抽取和维持。
需要注意的是，扩散泵在工作过程中需要保持一定的温度和压力条件，以确保分子扩散和蒸汽冷凝的正常进行。
此外，对于不同类型的气体，扩散泵的工作效果也会有所不同，因此在实际应用中需要根据气体种类和工作条件进行合理的选择和调整。
综上所述，扩散泵作为真空系统中的重要设备，其工作原理是基于分子扩散和蒸汽冷凝的方式，通过排除和输送气体来实现对真空系统的抽取和维持。
在实际应用中，需要根据具体的工作条件和气体种类进行合理选择和调整，以实现更高效的真空抽取效果。
南光TK300油扩散泵使用说明书
南光TK300油扩散泵使用说明书一、油扩散泵的开泵顺序（1）接通扩散泵的冷却水，用机械泵预抽真空，在扩散泵人口压力低于10--1Pa后，接通扩散泵加热电炉的电源，对扩散泵加热。
（2）对于K--400以下的小泵，加热45min后泵可正常工作，K--500--K--1200的大泵，需加热45--65min后才能正常工作。
因此，在使用扩散泵真空系统时，应注意安排好扩散泵的启动时间。
（3）打开扩散泵人口阀门，泵即可正常工作。
二、油扩散泵的停泵顺序（1）关闭扩散泵人口高真空阀门和真空计的电源。
（2）切断扩散泵加热电源，机械泵继续工作。
（3）再工作30min（小泵）到2h（大泵）以后，关闭扩散泵与机械泵之间的阀门，停止机械泵工作，并向机械泵内放人空气（如果机械泵入口装有电磁放气阀，在切断机械泵电源后，会因电气连锁而自动放气）。
（4）当泵的油锅温度接近50--60℃后，关闭扩散泵的冷却水。
（5）为加快扩散泵冷却，可以卸下电炉，采用喷淋水的方法冷却。
现代大型扩散泵都在油锅外壁设有急冷水管（或套），泵正常工作时不通水，切断电源时通水急冷。
三、操作注意事项（1）扩散泵内油温较高时，不允许放人大气，以防泵油氧化变质，影响正常工作。
停泵时应保持泵内处于真空状态。
（2）长期停泵时，水冷管（套）内的冷却水应放尽，并用压缩空气吹干。
（3）机械泵停止工作同时从泵入口放气，以免机械泵油流入扩散泵内。
现代扩散泵机组都设计有电磁放气阀，停泵时自动放气。
（4）扩散泵正常工作后，才可以打开人口高真空阀，停泵时先关高真空阀，以减少返流泵油，避免污染被抽容器。
（5）应确认冷却水畅通，泵内真空度大于1Pa时才能对扩散泵加热。
定期检查泵油，及时加注或更换油。
四川南光扩散泵说明书
四川南光扩散泵说明书该机用于半导体组件及光学件生产和研究是比较理想的设备，在极限真空，防止油污和缩短工作等方面都具有较好的性能，它用于单层光学薄膜和生产也是比较理想的设备.-.工作条件1.电源总功率约30KW, 220V/380V, 50HZ线制为三相四线制.2.接地电阻小于4欧，接地导线截面积大于等于10mm2 3.安装环境必须具备良好通风条件.4.水流约1. 5L/min. 5.气压:0.5MPa二主要技术性能:(-)真空控制系统1.半自动/手动旋钮置手动可按常规进行各种泵，阀的启动与停止操作，2.自动/手动旋钮置自动时通过开机，真空,取件三个按钮的动作可分别执行开机/停机，真空/中止真空，取件/取件关程序，(1)a.当按下开机钮，设备将按下列步骤运行:开机械泵，截放阀延时10秒开预阀，延时30秒开扩散泵.b.当松开开机钮，设备将按下列步骤停机:关扩散泵冷却延时1小时，关预阀延时5秒关机械泵，截放阀.(2).在执行开机程序以后a按下真空钮设备将按下列步骤运行:开低级阀，低真空信号到，关低阀延时3秒开预阀，再延时3秒开高阀，直至高真空.松开真空钮，设备将回到开机状态。
(3)a在执和行真空程序之后，当按下取件钮，关高阀并延时5秒打开放气阀. b.当松开取件钮，在真空室门已关好之后，设备将自动回到真空程序运行. (4).通过在真空程序执行后，反复使用取件钮，可达到真空，取件的连续过程，(二).工转及比较片转动系统:工转控制采用直流调速器对工件电机进行调速，转速为连续可调.比较片电机控制为点动连续转位控制.(三).烘烤系统:本系统采用三(单)相调功器(移相或过零触发)和进口数显温控仪对工件进行烘烤，温度可控可调，设定好温度后，参照温控仪说明书，采用自整定运行，自整定运行结速后进行恒温控制(第一次自整定温度会出现过冲现象，自整定运行结束后再开机，就不会出现过冲，用户可根据不同的温度要求全部进行自整定1次.)。
真空扩散泵的工作原理
真空扩散泵的工作原理
真空扩散泵是一种常用的真空设备，工作原理如下：
1. 取样阶段：在扩散泵开始工作之前，需要将待抽空的容器与环境隔绝，形成封闭的真空环境。
此阶段通过泵的阀门来实现。
2. 扩散阶段：打开泵的电源后，泵开始工作。
泵内有一个电加热器，通过加热使泵内的液体（通常是硅油）液化，形成一层薄薄的液体膜。
然后，在泵内放置一个扩散板，扩散板通常由耐高温的搪瓷制成。
靠近液体膜的一侧叫做热侧，远离液体膜的一侧叫做冷侧。
3. 扩散效应：当加热器加热后，液体膜会蒸发成气体。
气体沿着热侧上升，由于气体分子间的碰撞，会扩散到冷侧上凝结成液体。
因为冷侧的温度较低，气体会从高温区域快速扩散到低温区域。
通过这种方式，气体在泵的内部扩散，从而将容器内的气体抽除。
4. 抽排阶段：抽除的气体在泵的底部形成一个气体团，然后通过泵的出口排出。
排出的气体可以通过一系列的气体处理设备进一步处理，如冷凝、吸附等。
总结：真空扩散泵通过加热液体膜产生气体，利用气体的扩散效应将容器内的气体抽出，最终将气体排出泵外，从而实现真空环境的形成。
扩散泵工作原理
扩散泵工作原理
扩散泵是一种广泛应用于科研、工业和生产的真空泵，其工作原理基于分子扩散效应。
它通常被用来将气体从较高的压力扩散到较低的压力区域。
扩散泵由两个主要部分组成：扩散器和抽气系统。
在扩散器内，有一个热丝作为加热元件。
当扩散泵开启时，加热元件被加热到一定温度，使其发射大量热电子。
这些电子随后与气体分子发生碰撞，将气体分子加热并提高其动能。
加热元件中的气体分子在碰撞后获得足够的动能，能够克服引力和其他分子间力的作用，进而逃逸并扩散到扩散泵的较低压力区域。
这个过程类似于气体分子在热力学梯度下的自然扩散。
为了更高效地工作，扩散泵通常与抽气系统结合使用。
抽气系统可以通过机械泵或其他类型的真空泵将扩散器内的气体排出。
通过与扩散器内气体的不断扩散，抽气系统可以实现更快的真空抽取速度。
值得注意的是，扩散泵的工作原理基于气体分子的自发扩散，因此它主要适用于较低压力范围内的气体抽取。
对于高压气体，通常需要结合其他类型的真空泵以实现更好的效果。
总的来说，扩散泵的工作原理是利用加热元件加热气体分子，并通过它们的自发扩散实现气体的抽取，从而达到真空抽取的目的。
扩散泵工作原理
扩散泵工作原理
扩散泵是一种常见的真空设备，其工作原理主要依靠分子扩散的方式来实现气
体的抽取和排放。
在扩散泵中，气体分子通过扩散过程从高压区域向低压区域扩散，最终被排出系统。
下面我们将详细介绍扩散泵的工作原理。
首先，扩散泵由一个扩散泵体和一个扩散泵油组成。
扩散泵体内部有一个扩散
泵腔，腔内有一个旋转的叶轮，叶轮上有一些叶片。
当泵体内的叶轮旋转时，气体分子被叶片推向泵体的出口。
同时，扩散泵油在泵体内形成一层油膜，气体分子在扩散泵油的作用下不断扩散，最终被排出系统。
其次，扩散泵的工作原理是基于分子扩散的物理过程。
在扩散泵内部，气体分
子受到叶轮和扩散泵油的作用，不断向泵体的出口扩散。
由于扩散泵腔内压力低于外部环境压力，气体分子会不断向低压区域扩散，最终被排出系统。
这一过程是一个连续的扩散过程，直到系统内的气体完全被排出。
最后，扩散泵的工作原理还涉及到扩散泵油的作用。
扩散泵油在扩散泵内部形
成一层油膜，气体分子在油膜的作用下不断扩散，最终被排出系统。
同时，扩散泵油还能吸收气体分子中的水和杂质，保持系统内的清洁。
总的来说，扩散泵的工作原理是基于分子扩散的物理过程和扩散泵油的作用。
通过叶轮和扩散泵油的协同作用，扩散泵能够实现对气体的抽取和排放。
这种工作原理使得扩散泵在真空技术中得到广泛应用，成为真空系统中不可或缺的设备之一。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理
油扩散泵是一种用于输送液态或气态介质的泵，它通过扩散原理将介质从低压
区域输送到高压区域。
其工作原理主要包括扩散、泵吸和排出三个过程。
首先，介质在低压区域通过扩散装置进入泵内。
扩散装置通常由多孔板或多孔
管组成，通过这些多孔结构，介质能够在低压区域自由进入泵内。
在进入泵内后，介质会被吸附到泵内的工作部件上，如转子或活塞。
接下来是泵吸过程，泵内的工作部件开始运动，将吸附在其表面的介质输送至
高压区域。
泵的工作部件通常由转子、活塞或膜片等构成，它们的运动使得介质能够被连续地吸附和输送。
在泵吸过程中，泵内的压力逐渐增大，介质也随之被压缩，从而能够被输送到高压区域。
最后是排出过程，泵内的介质被输送至高压区域后，通过排出装置排出泵外。
排出装置通常由阀门或喷嘴组成，它们能够控制介质的流动方向和流速，确保介质能够被有效地输送至目标位置。
总的来说，油扩散泵的工作原理是基于扩散原理和泵的吸排过程。
通过这些过程，泵能够将介质从低压区域输送至高压区域，实现液态或气态介质的输送和压缩。
这种工作原理使得油扩散泵在化工、石油、制药等领域具有广泛的应用，为工业生产提供了重要的支持。
扩散泵
一、扩散泵原理示意图真空处理系统里的油扩散泵是借着高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的，它用于高真空区域工作，其工作压强范围是10-2～10-6pa。
油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低。
·1、油扩散泵的概述：油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，也是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽真空的目的，所以会有水蒸汽喷射泵相似的特点。
不一样的一点是扩散泵工作在高真空区域，是获得高真空的主要设备。
其工作压强范围为10-2～10-6pa。
广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
2、油扩散泵的工作原理与结构：当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷射出来后，它的速度越来越快，压力及密度慢慢降低，喷射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环利用，而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，这样就可以逐级压缩，最后被前级泵抽走。
其抽速特性曲线如图所示。
3、油扩散泵的发展历程：历史1915年，德国物理学家W.盖得发表了他研究的扩散泵报告。
1916年，美国人I.朗缪尔制成泵壁带有冷却系统的冷凝泵。
这些泵以汞蒸气为工作介质，并且可以最终获得10-5帕的真空。
1928年,英国人C.D.伯尔奇发现高沸点的石油衍生物。
1936年，C.D.希克曼等人制成人工合成油。
这两种油在室温下的饱和蒸气压都非常低，从而取代了汞作为扩散泵的工作液。
从此油扩散泵在高真空领域的工业生产和科学试验中就逐渐普遍使用，并打下了高真空技术的基础。
1960年代开始，油扩散泵又有了新的改变。
主要的改进是：①泵的材料采用放气量微小的不锈钢。
②采用饱和蒸气压很低、热稳定性好的油如聚苯醚和硅油作泵的工作液。
③改变结构，新款的油扩散泵在泵的进气口法兰不变和不过分增大泵的外形尺寸条件下，在法兰下部突出地扩大泵腔的断面，其抽气速率可增大20～40%。
扩散泵的工作原理
扩散泵的工作原理
扩散泵是一种常见的抽水机械，它利用涡轮原理将液体从低压区抽取到高压区，实现抽水功能。
扩散泵主要由叶轮、轴承座、涡轮壳、密封装置和电机等部件组成。
叶轮以旋转方式放置在涡轮壳内，外形像一个独特的“倒U”形，具有抽水能力，电机的轴上连接着叶轮，用来驱动叶轮的旋转，从而产生抽水作用。
叶轮的抽水原理是：当叶轮旋转时，液体会被吸入涡轮壳内，在叶轮的倒U型腔内流动，随着叶轮的旋转，液体在叶轮周围形成涡流，涡流的心部向叶轮中心聚集，即“汇聚”，而涡流的外部向叶轮外部分散，即“扩散”，因此液体从低压区被抽到高压区，实现了抽水作用。
在这个过程中，叶轮可以分为两个区域：叶轮心部和叶轮外部。
叶轮心部区域具有抽水能力，液体被吸入，在叶轮心部形成涡流，涡流的心部向叶轮中心聚集，并被抽到高压区。
叶轮外部区域只有扩散作用，液体在叶轮外部分散，涡流的外部向叶轮外部分散，不能实现抽水功能。
扩散泵的抽水效率受到很多因素的影响，如叶轮的形状、叶轮数量、叶轮直径、叶轮角度、涡轮壳的形状、涡轮壳内壁的粗糙度、叶轮轴承的阻尼等。
因此，在选择扩散泵时，应根据使用环境、抽水量和抽水高度等因素，选择性能较好的扩散泵，以保证抽水效率，提高工作效率。
扩散泵原理
扩散泵原理引言扩散泵是一种用于真空工艺的重要设备，它通过分子扩散的方式实现气体的抽取和排放。
本文将详细介绍扩散泵的原理以及其工作过程。
扩散泵的定义扩散泵是一种基于分子扩散运动原理工作的真空泵，它通过将气体分子从低浓度区域传递到高浓度区域，从而实现气体的抽取和排放。
扩散泵广泛应用于半导体制造、真空冶金、核工业等领域。
扩散泵的结构扩散泵通常由下列主要部分组成： 1. 泵体：承担容器和连接管道的作用，通常由不锈钢制成； 2. 加热器：用于提高泵体温度，以加快气体分子的扩散速度； 3. 砗磲：位于泵体内部，用于增大表面积以增强分子扩散效果； 4. 压缩器：用于增加泵体内部气体的压力，提高气体分子的扩散速度； 5. 冷却器：用于降低泵体温度，以防止泵体过热。
扩散泵的工作原理扩散泵的工作原理基于分子扩散运动的特性。
分子扩散是指气体分子由高浓度区域向低浓度区域的运动。
在扩散泵中，气体分子从进气口进入泵体后，会与砗磲表面发生碰撞，并因扩散效应被传递到高浓度区域。
在高浓度区域，气体分子会继续向其他方向进行扩散，最终被排出泵体。
扩散泵的工作过程扩散泵的工作过程可分为以下几个步骤： 1. 加热：泵体通过加热器加热，提高其温度，以加快气体分子的扩散速度。
2. 扩散：进入泵体的气体分子会在砗磲表面发生碰撞，并扩散到高浓度区域。
3. 排放：在高浓度区域，气体分子会继续向其他方向进行扩散，最终被从排气口排放出去。
4. 冷却：泵体在工作过程中会产生热量，冷却器用于降低泵体温度，防止泵体过热。
扩散泵的优缺点扩散泵具有以下优点： - 抽取速度快：扩散泵的分子扩散效应使得气体的抽取速度较高，可满足高真空环境下的抽取需求。
- 无油污染：扩散泵不需要使用润滑剂，因此不会产生油污染问题，适用于对气体纯净度要求较高的场合。
然而，扩散泵也存在一些缺点： - 温度限制：扩散泵需要通过加热来提高分子扩散速度，因此存在温度限制，不能处理温度过高的气体。
扩散泵原理
扩散泵原理一、扩散泵的概述扩散泵是一种常用于真空系统中的高效气体排放设备，其主要作用是将气体从高压区域输送到低压区域，从而实现真空度的提升。
扩散泵广泛应用于半导体、光学、仪器仪表等领域，其原理基于气体分子在高温下与金属表面相互碰撞而产生的扩散作用。
二、扩散泵的结构1. 扩散泵主体扩散泵主体通常由不锈钢或铝合金制成，内部设置有热阱和电加热器。
热阱位于扩散泵主体底部，其作用是收集被吸附在壁面上的杂质和水分，并通过电加热器将其蒸发掉。
2. 扩散泵转子扩散泵转子是扩散泵中最重要的部件之一，由不锈钢或镍合金制成。
转子上覆盖着许多小孔，当转子旋转时，这些小孔会与静止的固定板上的相应小孔对齐，并形成一系列漩涡，从而将气体从高压区域输送到低压区域。
3. 扩散泵冷却器扩散泵冷却器通常由水或空气冷却，其作用是降低扩散泵主体和转子的温度，从而减少气体分子在内部碰撞的机会，提高扩散泵的效率。
三、扩散泵的工作原理1. 气体分子的扩散当气体分子进入扩散泵主体后，会被吸附在内壁上，并通过热阱和电加热器蒸发掉。
在此过程中，气体分子与金属表面相互碰撞，并发生扩散作用。
这种作用类似于溶液中溶质分子向溶剂中自由移动的过程。
2. 气体分子的输送当转子旋转时，其上覆盖着的小孔会与固定板上的小孔对齐，并形成一系列漩涡。
这些漩涡将气体从高压区域带到低压区域，并通过出口管排放出去。
整个过程类似于离心式风机将空气吸入并排放出去的过程。
3. 温度的控制在扩散泵中，温度是一个非常重要的因素。
通过控制扩散泵主体和转子的温度，可以控制气体分子在内部碰撞的机会，从而提高扩散泵的效率。
通常情况下，扩散泵主体和转子会通过冷却器进行降温。
四、扩散泵的应用由于其高效、稳定、可靠等特点，扩散泵被广泛应用于半导体、光学、仪器仪表等领域。
在半导体工业中，扩散泵通常用于真空蒸镀和离子注入等工艺中；在光学领域中，扩散泵则用于真空蒸镀反射镜等设备中；在仪器仪表领域中，则用于真空测量设备和质谱仪等设备中。
扩散泵工作原理
扩散泵工作原理
扩散泵是一种常用于真空系统中的高效抽气设备，它通过扩散和抽气两个过程
来实现对气体的抽除。
在真空技术领域，扩散泵被广泛应用于半导体制造、光学镀膜、真空炉、电子显微镜等领域。
本文将介绍扩散泵的工作原理，以便更好地理解其在真空系统中的作用。
扩散泵的工作原理可以简单概括为气体分子在高速水蒸气流动的作用下，由于
碰撞和扩散而向排气口扩散并被排出真空系统。
在扩散泵内部，有一个或多个喷嘴，通过这些喷嘴将高速水蒸气喷射到扩散泵内部的扩散室中。
在扩散室中，高速水蒸气与被抽气的气体分子碰撞并扩散，最终被排出真空系统。
扩散泵的工作原理可以分为以下几个步骤：
1. 压缩机将气体压缩至一定压力，然后送入扩散泵的进气口。
2. 进入扩散泵后，气体分子与高速水蒸气发生碰撞，被扩散至扩散室内。
3. 在扩散室内，气体分子在高速水蒸气的作用下不断扩散，最终被排出真空系统。
4. 同时，扩散泵内部的排气口将排出的气体送至真空系统外部。
扩散泵的工作原理可以简单概括为利用高速水蒸气将气体分子扩散至排气口并
排出真空系统。
这种工作原理使得扩散泵在高真空和超高真空范围内具有较高的抽气速度和抽气效率。
总的来说，扩散泵的工作原理是基于高速水蒸气的扩散作用，通过将气体分子
扩散至排气口并排出真空系统来实现对气体的抽除。
这种工作原理使得扩散泵在真空技术领域中扮演着重要的角色，为各种真空设备的正常运行提供了可靠的支持。
扩散泵的工作原理
扩散泵的工作原理
扩散泵是一种常用于真空系统中的泵，其主要工作原理是利用分子扩散来实现气体分子的移动和抽取。
1. 分子扩散：气体分子在真空中以无规则的运动方式相互碰撞和传播。
分子的速度取决于其质量，速度越大，则更容易逃离并通过抽取装置。
2. 气体混合：在扩散泵中，一种高压气体（工作气体）和待抽取气体混合进入了系统。
工作气体（通常是氮气或氢气）的主要作用是传输待抽取气体，并保持泵的稳定工作。
3. 管道设计：扩散泵中的管道设计十分重要。
泵内通道的设计能够在高压气体和待抽取气体之间形成一个密封的环境。
4. 扩散效应：当混合气体进入到泵内部的扩散器中，扩散泵会创建一个梯度，即气体浓度从高到低的变化。
扩散器中一边是高压气体一边是抽取气体，扩散效应使得待抽取气体分子从高浓度（高压）区域向低浓度（低压）区域传播。
5. 抽气效果：通过扩散器中的扩散效应，待抽取气体分子逐渐由高压区域移动到低压区域，并被抽取装置抽取出真空系统。
扩散泵通常与其他类型的泵（如根风泵或机械泵）结合使用，以实现更高的抽气效果。
总的来说，扩散泵利用分子扩散效应，通过气体混合和管道设
计，将待抽取气体分子从高浓度区域移动到低浓度区域，并被其他抽取装置抽取出真空系统。
扩散泵的工作原理
扩散泵的工作原理
扩散泵是一种广泛应用于真空技术领域的设备，用于将气体从一个区域转移到另一个区域。
它的工作原理如下：
1. 汽缸和活塞系统：扩散泵的主要组成部分是一个圆筒形的汽缸，内部安装有一个活塞。
活塞通过连杆与驱动系统相连，可以往复运动。
在汽缸上有一个进气口和一个出气口。
活塞的运动会改变汽缸内的体积，实现气体的吸入和排出。
2. 差压控制系统：扩散泵内部还配备了一个差压控制系统，用于调节进出气口之间的压力差。
差压控制系统通过感测进气口和出气口之间的压力差，并根据设定值进行调节，以保持压力差在一定范围内。
3. 差压控制阀：差压控制系统中的差压控制阀是控制进出气口之间压力差的关键元件。
它能够根据差压控制系统的指令，调节进出气口之间的开启程度，从而改变气体的流动速度和压力差。
4. 分子扩散：当扩散泵启动后，活塞开始往复运动。
当活塞向外运动时，汽缸内的体积增大，导致压力下降。
此时，气体从进气口进入扩散泵，经过差压控制阀进入汽缸。
随着活塞继续运动，气体被推向出气口。
5. 凝结和扩散：由于扩散泵的操作温度较低，一些气体分子会冷凝在汽缸内壁上。
这些冷凝的气体分子会被活塞带到出气口，然后被排出泵外。
在这个过程中，扩散泵还通过分子扩散的方
式将气体从高压区域转移到低压区域。
通过以上工作原理，扩散泵能够实现将气体的压力从一个区域降低到另一个区域，从而创建和维持一个较高的真空环境。
机械泵罗茨泵扩散泵组成真空机组工作原理
机械泵罗茨泵扩散泵组成真空机组工作原理嘿，朋友！你有没有想过，在那些高科技的实验室或者工业生产中，是怎么创造出近乎真空的环境的呢？这就不得不提到由机械泵、罗茨泵和扩散泵组成的真空机组啦。
先来说说机械泵吧。
我有个朋友小王，他在一家小型工厂工作，那里就有机械泵。
机械泵啊，就像是一个勤劳的小工，总是默默在那干活。
它的工作原理有点像我们用吸管吸水。
你看啊，当我们用吸管吸水的时候，我们是在降低吸管内部的气压，这样外面的大气压就会把水压进吸管。
机械泵也是类似的道理，它通过活塞或者叶片的运动，在泵腔里不断改变空间大小，把里面的气体一点点地排出去。
这就好比把一群调皮的小气体分子一个一个地从房间里赶出去。
机械泵能把气压降低到一定程度，不过它的能力也有限，就像一个人虽然很努力，但力气总是有个限度。
那要是想要更低的气压怎么办呢？这时候就轮到罗茨泵出场啦。
我有次和搞技术的老张聊天，他就给我详细讲了罗茨泵。
罗茨泵就像是机械泵的得力助手。
它有两个互相啮合的8字形转子，这两个转子就像两个配合默契的舞者。
它们在泵腔里高速旋转，就像在玩一场旋转的游戏。
当转子转动的时候，气体就被从进气口带到出气口。
这个过程就像是在接力，把机械泵没能完全排干净的气体继续往外送。
罗茨泵的抽气速度可比机械泵快多啦，就像是从走路变成了跑步。
可是，就算是罗茨泵这么厉害，对于一些要求超级高真空度的地方，它也还不够呢。
这时候啊，扩散泵就像一个超级英雄闪亮登场了。
我曾经参观过一个大型的科研实验室，那里的扩散泵可真是让我大开眼界。
扩散泵的原理就比较复杂啦。
想象一下，你有一堆沙子，你想把它们从一个地方运到另一个地方，你用一个大风扇去吹，沙子就会被吹走。
扩散泵里呢，有加热的灯丝，它会把油加热变成油蒸汽，这些油蒸汽就像那股强大的风。
当油蒸汽高速向上运动的时候，就会把气体分子带着一起往上走，就像大风吹着沙子跑一样。
然后在上面冷却的地方，油蒸汽又变成油流回下面，而气体分子就被排出去了。
扩散泵的结构示意图和工作原理
当扩散泵油被电炉加热时，产生油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。
因喷嘴外面有机械泵提供的真空 (1~10-1Pa)，故油蒸气流可喷出一长段距离，构成一个向出气口方向运动的射流。
射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁凝结为液体流回蒸发器，即靠油的蒸发喷射凝结重复循环来实现抽气。
由进气口进入泵内的气体份子一旦落入蒸气流中便获得向下运动的动量向下飞去。
由于射流具有高流速 (约200m/s)，高的蒸气密度，且扩散泵油份子量大(300~500)，故能有效地带走气体份子。
气体份子被带往出口处再由机械泵抽走。
(1)扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，住手加热后必须保证泵工作液已彻底冷却后方可关闭冷却水。
(2)泵住手工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。
(3)被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
(4)泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。
并将冷却水套内的剩水吹净。
保存场地的室温应在10℃~40℃之间。
(5)泵在正常运行时如蓦地浮现性能变坏，应先检查加热器是否正常。
(6)泵在长期工作后，性能会逐渐变坏，应定期检修。
a. 泵油是否减少或者氧化，按相应要求加油或者更换处理。
b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醚或者丙酮进行擦洗，并置于80℃~100℃温度下烘干或者用电吹风吹干。
c. 处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
通过咨询和了解，结合我公司油扩散泵实际问题,关于扩散泵返油问题，得出如下几点：咨询了爱得华售后服务中心，他们认为扩散泵返油与如下问题有关：a、冷却水；b、机器保养；c、油质等。
扩散泵返油对抽气能力会有影响，与以前抽气能力作对照是否发生变化，前管压力是否与以前一致？如果确认这些都没有问题，则可判断没有返油。
如果返油，在泵口也可以看到有残留油污。
至于反油率，泵一辈子产出来就定了的，我们没有这个标准，也没有检测手段。
后来咨询了湘潭宏大真空设备有限公司黄总(我们的老交道)，他们也生产油扩散泵，他认为，首先检查冷却水温和流量是否正常，是否有冷阱。
扩散泵组的操作流程
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罗茨泵安装尺寸
扩散泵机组整体结构图
用途及使用说明 JKT－600高真空抽气机组.以罗茨旋片机组作为预抽，扩散泵主体及挡板均有改 进，使得在较低真空领域抽速有较大成度增加。本机组系以高真空油扩散泵为主机的 高真空抽气设备。可用来抽除真空系统内的空气和其它对泵结构材料及泵油不起化学 反应的气体，使被抽系统获得10-1 --10-4帕的低气压(高真空)环境。它可作为真空冶炼 、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、真空浸渍、太空模拟试验装置等高 科技设备的高真空获得装置，以及其它需要在10-1 --10-4帕的低气压(高真空)环境下工 作的真空系统的配套设备
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中国运载火箭研制中心第十八研究所
扩散泵机组
目录
1
扩散泵机组说明
2
机组组成部件说明
3
机组三维图 单击此处添加标题
4
2
扩散泵机组
KT600扩散泵
70的机ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ泵
300的罗茨泵
15的维持泵
扩散泵机组
KT600扩散泵
70的机械泵
300的罗茨泵
15的维持泵
扩散泵
油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵 的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几 十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广 泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系 统中。
2X系列双级旋片真空泵安装尺
寸
罗茨泵
罗茨泵
• ZJ/ZJB型罗茨真空泵是一种容积式真空泵，它利用一对8字型转子，在 泵壳中作等速反向转动而产生吸气和排气作用。ZJB型带溢流阀罗茨真 空泵是ZJ型罗茨真空泵的派生产品，抽气原理同ZJ型罗茨真空泵所不同 的是进排气口设有通道，并在通道中安装过载自动保护阀，使进.排气 口压力差始终控制在泵可靠运转的允许最高压力差值内。 • ZJ/ZJB罗茨真空泵主要特点是在较低入口压力时具有较高抽速.能耗低。 其ZJB型罗茨真空泵还配有自动过载保护装置。 • ZJ/ZJB罗茨真空泵不能单独使用，必须合理选用前级真空泵配合使用， 并安装必要的保护装置。前级真空泵可选用油封机械真空泵（旋片真 空泵，滑阀真空泵等），也可选用液环真空泵.活塞真空泵等.或无油真 空泵（螺杆式真空泵等）。配置不同类别的前级真空泵达到的极限压 力也有所不同。
扩散泵技术参数
2X系列双级旋片真空泵
• 1、真空是用以抽除特定密封容器内的气体， 使该容器获得一定真空度的基本设备，由于 现代科学技术的高度发展，真空泵的就用遍 及各个科学领域和各种企业事业单位，可供 冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印 染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、 纺织等科研机关、大专院校、工矿企业作科 研和生产与教学用。
3、真空泵可用来直接获得真空度在10-3托以下的真 空作业，以及配合其它真空设备获得真空度10-3托 以上的真空作业用。 • 4、真空泵一般在50C~400C室温及不高于90%的 相对湿度的环境内使用。 • 用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它 可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子 泵的前级泵使用。该系列广泛应用于冶金，机械， 电子，化工，石油，医药等行业的真空冶炼，真 空镀膜，真空热处理，真空干燥等工艺过程中
2X系列双级旋片真空泵
• 2、由于真空泵是用黑色金属制造，而且比 较精密，整个泵的工作都是与油联系在一起 的，所以它不适用于抽除含氧过高的、有毒 的，有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油 起化学作用的各种气体，也不可做为压缩机 和输送泵使用。如有气镇装置的泵，可抽除 一定量的可凝气体。
2X系列双级旋片真空泵
扩散泵机组整体技术参数
扩散泵机组整体示意图
扩散泵机组三维图
扩散泵机组三维图
扩散泵机组三维图
扩散泵机组三维图
扩散泵机组三维图
@Eric_wanglin
我公司专业承接机械大件加工