激光平面干涉仪说明书讲解
激光干涉仪说明书Microsoft Word 文档
前言一、本次我们主要研究：如何检测机床的螺距误差。
因此我们主要的任务在于：1.应该使用什么仪器进行测量2.怎么使用测量仪器3.怎么进行数据分析4.怎么将测量所得的数据输入对应的数控系统二、根据第一点的要求，我们选择的仪器为：Renishaw 激光器测量系统，此仪器检测的范围包括：1.线性测量2.角度测量3.平面度测量4.直线度测量5.垂直度测量6.平行度测量线性测量：是激光器最常见的一种测量。
激光器系统会比较轴位置数显上的读数位置与激光器系统测量的实际位置，以测量线性定位精度及重复性。
三、根据第二点的解释，线性测量正符合我们检测螺距误差的要求。
因此，我们此次使用的检测方法——线性测量。
总结以上我们的核心在于：如何操作Renishaw 激光器测量系统结合线性测量的方法进行检测，之后将检测得到的数据进行分析，最后将分析得到的数据存放到数控系统中。
这样做的目的在于——提高机床的精度。
第二章、基础知识2.1 什么是螺距误差？开环和半闭环数控机床的定位精度主要取决于高精度的滚珠丝杠。
但丝杠总有一定螺距误差，因此在加工过程中会造成零件的外形轮廓偏差。
由上面的原因可以得知：螺距误差是指由螺距累积误差引起的常值系统性定位误差。
2.2 为什么要检测螺距误差？根据2.1节，检测螺距误差是为了减少加工过程中造成零件的外形轮廓偏差，即提高机床的精度。
2.3 怎么检测螺距误差？（1）安装高精度位移检测装置。
（2）编制简单的程序，在整个行程中顺序定位于一些位置点上。
所选点的数目及距离则受数控系统的限制。
（3）记录运动到这些点的实际精确位置。
（4）将各点处的误差标出，形成不同指令位置处的误差表。
（5）多次测量，取平均值。
（6）将该表输入数控系统，数控系统将按此表进行补偿。
2.4 什么是增量型误差、绝对型误差？①增量型误差增量型误差是指：以被补偿轴上相邻两个补偿点间的误差差值为依据来进行补偿②绝对型误差绝对型是误差是指：以被补偿轴上各个补偿点的绝对误差值为依据来进行补偿2.5 螺距误差补偿的原理是什么？螺距误差补偿的基本原理就是将数控机床某轴上的指令位置与高精度位置测量系统所测得的实际位置相比较，计算出在数控加工全行程上的误差分布曲线，再将误差以表格的形式输入数控系统中。
激光干涉仪使用技巧讲解.doc
厨ｆ静堂鸯溅斌技术）２００７亭第弘誊第｛Ｏ麓激光干预仪使用技巧ＰｒｅｃｉｓｅＧ口洫ｔｏＶｓｉｎｅａＬａｓｅｒＩｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ魏纯（广州市计最检测技术研究院，广东广州５１００３０）瓣萎：本文谈论了激光予涉仪在使用巾的准直等技礴，用户在实质使用中增添葺芒件以及保护巾邋蓟的同舔。
燕键词：激光平涉仪；准直ｌ前言高性能激光干预仪拥有迅速、高正确丈量的长处，是校准数字机床、坐标丈量机及其余定位装置精度及线性指标最常用的标准仪器，弦者所在单位使用的是英国ＲＥＮＩＳＨＡＷ公闭生产的ＭＬｌ０激光干预仪，拥有性能稳固，使罱方便等特色。
经过较长时闯使用，作者以为丈量人员除了要考虑环境、温度、原理等影响丈量的惯例要素外，掌握一些激光干预仪的使用技巧会使丈量互作事半功倍。
２原理介绍ＭＬｌ０激光干预仪是依据光学千涉基来源理设计磊成酌。
从ＭＬｌ０激光器射出的激光束有单调频次，其标称波长隽０．６３３ｐＬＩｎ，且其长久波长稳固健（真空状态）要高于０．１ｐｐｍ。
当此光束到达偏振分光镜时，会被分为两道光束一一道反射光糯一道透射光。
这两道光射向其反光镜，而后透过分光镜反射圈去，在激秃顶内的探测器形成一道干预光束。
若光程差没有任俺变讫，探测器会在樵长性秘楣潢性于涉的两极找到稳固的信号。
若光程差的确有变化，探测器会在每一次光程改变时，在相长性和相消性干预的弼极找到改动的信号。
这些变化（援格）会被计算并用来丈量两个光程闻的差别变化。
丈量的光程就是栅格数乘以光束大概一半的波长。
值褥注意的是，激光束的波长取决于所经过敖空气折射率。
因为空气折射率会跟着温度、压力和相对湿度而变化，用来计算测蹩值的波长值可能需要加以李｝偿，以配合这魍环境参数豹改变。
实质上就丈量正确度而言，此类赔偿在进行线性位移（定位精度）丈量，特别是量程较大时，特别重要。
３激光干预仪使用技巧３．１Ｚ轴激光光路迅速准直方法用激光干预仪进行线性丈量时，不论是数字机床、仍是坐标测燮枫，ｚ轴丈量酵激光光路的礁童榻对Ｘ、Ｙ轴准直来说，要困难的多。
物理实验技术中激光干涉仪操作步骤详解
物理实验技术中激光干涉仪操作步骤详解激光干涉仪是一种常用的物理实验技术，它利用激光的干涉现象来测量光学元件的性能。
本文将详细介绍激光干涉仪的操作步骤，包括调节光路和实施测量等过程。
首先，激光干涉仪的调节光路是关键的一步。
在调节光路之前，我们需要准备好一束稳定、单色的激光器和一些基本的光学元件，例如反射镜、透镜等。
1. 校准光路：首先，将激光器稳定放置在平坦的台面上，并连接好电源。
然后，使用一块平行玻璃或反射镜将激光器的光束分成两束，使其相互平行。
这可以通过调节反射镜的角度来实现。
2. 调整波长：使用光学元件来调整激光器的波长，以匹配干涉仪所使用的光学元件。
这可以通过调节光栅或控制激光器参数等方法来实现。
3. 调整光路长度：在干涉仪中，需要调整光路的长度，使得两束光相互干涉。
这可以通过移动反射镜或调节镜子的位置来实现。
需要注意的是保持两束光的相对位置稳定，以避免干涉产生失真。
完成光路的调节后，我们可以开始实施测量。
激光干涉仪的主要测量对象包括薄膜膜层、透镜曲率、表面形貌等。
1. 薄膜测量：将待测薄膜放置在干涉仪的光路中，通过测量光的干涉条纹来确定薄膜的厚度或者折射率。
这可以通过调节光路长度或者改变薄膜的位置来实现。
2. 透镜曲率测量：将待测透镜放置在光路中，通过测量光的干涉条纹来确定透镜的曲率半径。
这可以通过调节光路长度或者改变透镜的位置来实现。
3. 表面形貌测量：通过测量光的干涉条纹来确定物体表面的形貌。
这可以通过调节光路长度、移动探测器位置或者改变样品的位置来实现。
在进行测量过程中，我们需要注意以下几点：1. 确保实验环境的稳定性，如避免外界震动和温度变化对实验的影响。
2. 实施测量时应使用合适的探测器，如光电二极管或相机。
探测器的位置应在干涉条纹中心，以保证测量的准确性。
3. 进行实验时要小心避免对光学元件的损坏，尤其是透镜和反射镜，避免触摸它们的表面。
通过以上步骤，我们可以成功地进行激光干涉仪的操作和测量。
激光干涉仪的使用教程
激光干涉仪的使用教程激光干涉仪是一种常见的光学测量装置，可以用于测量物体的长度、形状和表面的平整度等。
本文将介绍激光干涉仪的基本使用方法，帮助读者快速掌握这一技术。
一、仪器准备在使用激光干涉仪之前，我们首先需要准备好所需的仪器和材料。
激光干涉仪主要由激光发生器、光学平台、干涉装置和探测器等组成。
确认这些仪器和材料完好无损，并确保仪器的稳定性和准确性。
二、调整仪器使用激光干涉仪之前，我们需要对仪器进行调整，以确保其正常工作。
首先，将激光发生器插入电源，打开电源开关。
仪器启动后，等待一段时间，使激光充分发挥作用。
然后，通过调整光学平台和干涉装置的位置，使激光光束垂直射向目标物体。
三、设定测量参数在激光干涉仪的使用过程中，我们需要设定一些测量参数，以获得所需的测量结果。
这些参数包括光程差、相位移、干涉图的放大倍数等。
根据实际测量需要，选择合适的参数，并进行相应的设置。
四、开始测量一切准备就绪后，我们可以开始进行实际的测量工作了。
在进行测量前，确保测量环境稳定，并尽量减小外界干扰。
然后，将待测物体放置在光学平台上，并调整激光光束的位置和角度，使其能够覆盖待测物体的整个表面。
五、记录数据在进行测量过程中，我们应该及时记录测量结果和数据。
可以使用计算机或其他记录设备，将测量结果保存下来，以备后续分析和处理。
同时，应该对数据进行分析和统计，以获得更准确的测量结果。
六、数据处理在激光干涉仪的使用过程中，我们经常需要对测量数据进行处理和分析。
这包括数据的滤波、平均和曲线拟合等。
通过对数据进行处理，我们可以得到更加精确的测量结果，并获得更多有用的信息。
七、应用领域激光干涉仪具有广泛的应用领域。
它可以用于测量光学元件的表面形状、光学透明薄膜的厚度、机械零件的平整度和曲率等。
同时，激光干涉仪还可以用于光学几何测量、材料表面形貌分析和激光工艺等方面。
八、注意事项在使用激光干涉仪时，我们需要注意一些安全事项。
首先，激光光束对眼睛有一定的伤害，使用过程中应戴上适当的防护眼镜。
激光干涉仪使用手册8.24
激光干涉仪使用手册目录第一单元 激光干涉仪的应用第一节 激光干涉仪的光路第二节 激光干涉仪的基本使用方法第二单元 FANUC 0iMC系统有关螺距误差补偿的参数第一节数控系统的相关操作画面提示第二节与数控机床轴限位相关的参数的应用第三节与螺距误差补偿相关的参数的应用第三单元 检测机床螺距误差的运行程序第一节检测加工中心X轴螺距误差的运行程序第二节检测加工中心Y轴螺距误差的运行程序第三节检测加工中心Z轴螺距误差的运行程序第四节机床预热程序第五节测得反向间隙的运行程序第六节二次检测的机床运行程序第四单元 Agilent5529激光干涉仪测量零部件的组装及运用 第一节 Agilent5529激光干涉仪测量零部件介绍第二节 Agilent5529激光干涉仪测量零部件的组装第三节干涉镜和反射镜的组装及光束的调节方法第五单元 Agilent5529/5530检测软件的应用第一节 Agilent5529/5530检测软件的界面介绍第二节 Agilent5529/5530检测软件的案例第六单元 VMC650加工中心螺距误差补偿案例第一单元激光干涉仪的应用提示：因Agilent5529/5530激光干涉仪为双频检测，所以本单元节重点介绍双频检测的原理1.什么是激光干涉仪？激光干涉仪(laser interferometer)以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量.工具激光干涉仪有单频的和双频的两种。
激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。
目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。
激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
2.什么是干涉？干涉(interference)为两波重叠时组成新合成波的现象。
平面干涉仪使用说明
1 用途XQ15-GI型激光平面干涉仪主要用于精密光学平面的平面度测量，光学平板的微小楔角测量，光学材料均匀性测量。
仪器配有激光光源（波长为6328Å）对于干涉条纹可目视读取。
工作时对防震要求一般。
该仪器可应用于光学车间。
2 工作原理本仪器工作基于双光束等厚原理。
根据近代光学的研究结果,光兼有波动与微粒俩重特性。
光的干涉现象是光的波动性的特性。
波长为λ的单色光经过仪器有关的光学系统后成为平面波Mo(如图所示),经仪器的标准平面P1和被检系统P2反射为平面波M1和M。
M1﹑M即为两相干光波,重叠后即产生等后干涉条纹。
3 仪器使用说明3.1 干涉条纹的判定3.1.1用手轻轻按住器中的微调手轮，此时从视场中能看到条纹的移动。
3.1.2如要条纹间弧度外扩散，则零件的面形为高光圈；条纹的弧度内收则零件为低光圈。
3.2 测量平面度方法3.2.1 如果被测零件为一平行板，则用凡士林涂到非测试面上，防止该面的反射光波干涉。
3.2.2 把被测的零件放在工作台上，被测面朝上。
3.2.3 目视时，眼睛距观察孔约200mm左右观察，可以看到两个分开的星点，中央的一点为仪器的标准面形成的，另一点是被测零件形成的，调节工作台上的两个手轮，使两个星点重合。
3.2.4 眼睛与星点在同一直线上靠近观察孔，可以目视到细而密的干涉条纹，调节干涉仪的微动手轮，干涉条纹由密到疏直到出现3-5条为止再判断零件的高低光圈，参照标准光圈判断零件面形。
3.3 测量微小楔角方法3.3.1 把被测零件放在工作台上，被测面朝上。
3.3.2 在距离目镜200mm的地方进行观察，可以看到两个星点，把两个星点调节至重合。
3.3.3 眼睛顺着光点靠近观察孔可以看见细密的干涉条纹，与零件两个面反射后自身出的干射条纹。
3.3.4 数出零件自身引出干涉条纹有多少条，依下列公式进行计算，即为工件的楔角：β=43.5*B/Dβ表示零件的楔角，单位为秒；B表示条纹数；D表示零件直径，单位为毫米。
API激光干涉仪使用方法
API激光干涉仪使用方法
1、开机：接通电源打开电源开关，1分钟后开始检测。
（因为刚开机激光器不稳定）
2、光路调整：旋上适合的标准镜头使标准镜头的星点对准寻星窗口中间的黑点，显示器上显示完整的圆形图像。
3、透镜面形检测：调节沉座到被检透镜的适合尺寸，（建议大批量固定透镜的检测，自己加工固定的沉座）放上透镜调节高度和透镜调节钮使透镜的星点与标准镜头的星点重合，观测显示器是否出现干涉条纹，条纹越少精度越高。
干涉图像与对准系统同步，无需切换，任何人都能简单操作。
星点重合干涉条纹（判读可参考第三节）
沉座尺寸M46X1M70X1高度调节机构
高度调节结构选择加长的测试轨道来配合测量尺寸，可简便的测量出曲率半径。
4、透镜曲率半径检测：开启标尺电源开关（清零），调整图像到看清直线干涉条纹(3条到5条），凸透镜向上调节高度（凹透镜向下调节高度）到第2个星点出现的时候调节标准镜头调节旋钮，使图像出现猫眼像，标尺移动的数值就为被测透镜的曲率半径。
猫眼干涉条纹
标尺（标尺上红点按键为标尺电源开关长按标尺红点按键为关）。
激光平面干涉仪说明书讲解
一、用途激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器，主要用于精密测量光学平面度。
仪器配有激光光源（波长为632.8nm）。
对于干涉条纹可目视、测量读数。
工作时对防震要求一般。
该仪器可应用与光学车间、实验室、计量室。
如需配购相关的必要附件，可精密测量光学平面的微小楔角、光学材料折射率n的均匀性，光学镀膜面或金属块规表面的平面度，90度棱镜的直角误差及角锥棱镜单角和综合误差。
二、主要数据1. 第一标准平面（A面）,不镀膜。
工作直径：D1=φ146mm不平度小于0.02um2.第二标准平面（B面），不镀膜。
工作直径：D2=φ140mm不平度小于0.03um3.准直系统：孔径F/2.8，工作直径：D0=φ146mm焦距：f=400mm4.测微目镜：焦距f=16.7mm，放大倍数β=15X，视场角2W=40°，成像物镜：1.D=4.5 II.D=7 III.D=10F=15 f=23 f=375.工作波长：632.8nm6.干涉室尺寸：深260X宽300X190mm。
7.光源规格：激光ZN18（He-Ne）。
8.仪器的外形尺寸：长X宽X高 350X400X720mm9.仪器重量：100公斤图一第一标准平面（A面）精度照片图二第二标准平面（B面）三、工作原理本仪器工作基于双光束等厚干涉原理。
根据近代光学的研究结果，光兼有波动与颗粒两重特性。
光的干涉现象是光的波动性的特性。
因此，介绍本节内容时，仅在光的波动性的范围内讨论，例如，把“光”称为“光波”，“平行光”称为“平面光”。
波长为的单色光经过仪器有关的光学系统后成为平面波M。
（如图三所示），经仪器的标准平面P1和被检系统P2反射为平面波M1和 M2。
M1、M2即为两相干光波，重叠后即产生等厚干涉条纹。
等厚干涉原理能够产生干涉的光束，叫相干光。
相干光必须满足三个条件：1.震动方向必须一致，2.频率相等：3.光束必须相遇，且在相遇点处的相位差在整个时间内为一常量。
实验九 激光平面干涉仪实验指导书
1. 了解激光平面干涉的结构原理及装调方法；
2. 组装平面干涉仪，获取干涉图； 3. 学会从干涉图分析被测光学零件的面形误差
实验原理
CMOS
He-Ne
扩束镜
分束镜
准直镜
标准平板
待测平板
氦氖激光器发出的激光经扩束准直后，直接入射到标准平板和待测平板。 激光平面干涉仪是通过观察标准平面与被检平面之间的楔形空气层所产生 的等厚干涉条纹的变形情况来检测待测平板的面形的。
1. 本实验若不用激光而改用普通单色光（如钠光），能否进行平面平 板平面度的测量，为什么？
2. 测量平板的平行度时，可能出现不等距或弯曲的等厚条纹，试说明
此现象产生的原因？
H e 2
H
h N
2n
D e 2n
式中：n是平板折射率，e是条纹间距
其平板两面的楔角α为：
a
h D 2na平行于光学平台； e D
调整每个光学件的高度；
加入分束镜，并转角； 加入扩束镜和准直镜，用剪切干涉法获得平行光；
加入标准平板和待测平板，并使标准平板后表面和待测平板前表面的光 斑反射回扩束镜小孔； 再加入衰减器及CMOS，找到合适的接收位置后，微调空气层楔角，直 至视场里剩余3－5个条纹，保存图像，并进行数据处理计算平板的平面 度及楔角。
待测平板的平面度和局部误差
若通过CMOS接收到的等厚干涉条纹弯曲表明被测平面不平（如下图）。经 测得条纹弯曲的矢高为H，条纹间距为e，则被测平板的平面度为：
P
H e
相应的平面偏差，即凹陷或凸起的厚度为：
h
e 将标准平板两表面的反射光移出视场，观察由被测平板两表面反射产生的 等厚干涉条纹，如果被测平板的面形误差、玻璃的不均匀性都很小，则测 出的平行度即可视为是平板两表面的几何平行度，可以观察到一组平行等 距的干涉条纹。若在直径为D的平行平板上观察到N个条纹，则平板的平 行度用最大厚度Δh表示：
激光干涉仪对光操作指南讲解
激光干涉仪对光操作指南6.1 使用前的工作6.1.1 为什么要对光？对光的目的是为了让检测的光线能准确返回激光干涉仪上，让激光干涉仪得到最强的反馈信息，以便计算实际的行程数值。
6.1.2 影像线性测量精度的因素包括哪些？①、死程误差死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差，这时已采用 EC10 自动补偿功能。
在正常状况下，死程误差并不大，而且只会发生在定标后以及测量过程中的环境改变。
路径 L2的激光测量死程误差与两个光学元件间的距离有关，此时系统定标为 L1，请参阅图 1。
若干涉镜及反射镜之间没有动作，且激光束四周的环境状况有所改变，整个路径(L I + L2)的波长（空气中）都会改变，但激光测量系统只会对 L2距离进行补偿。
因此，死程测量误差会由于光束路径 L1没有获得补偿而产生。
图 1 - 死程误差不过，若当设定定标时固定和移动镜组彼此邻接，死程误差就可忽略不计。
如下图 2 所示。
图 2 - 死程误差可不计时的正确设置如果可能，定标激光器时使镜组互相靠近。
若定标激光器时镜组彼此相隔不到 10 mm，则正常状况下的死程误差就可忽略。
机床几何显示当移动镜组位于轴的零点位置，这两个镜组彼此分得最开，此时可用预置功能来避免与定标激光干涉镜系统有关的潜在死程误差。
②、余弦误差激光束路径与运动轴之间存在的任何未准直都会造成测得的距离和实际的运动距离之间有差异，如图 1 所示。
图 1 - 余弦误差.此未准直误差通常被称为余弦误差。
此误差的大小与激光束和运动轴间的未准直角度有关，如图 1 中的。
当激光测量系统与运动轴未准直时，余弦误差会使得测量的距离比实际距离要短。
随着角度未准直的增加，误差也跟着显著增加，如下表所示：角度( mm/metre) 角度（弧分）误差( ppm)0.451.001.403.204.50 10.001.533.434.8710.8715.3935.390.10.51.05.010.050.0要使余弦误差达到最小，测量激光束必须准直，并与运动轴平行。
XL-80激光干涉仪系统 说明书
XL-80激光干涉仪系统机床及坐标测量机按照国际标准验证机床和坐标测量机的精品工具研究及计量供校准和研究实验室使用的可溯源性测量运动系统独特动态性能，实现高速、高分辨率检测Renishaw设计、制造和提供激光干涉仪系统已有二十多年的历史。
其生产的ML10激光干涉仪系统已经成为使用精度及可靠性的标准。
新型XL-80激光干涉仪系统在便携性、系统精度及动态测量性能方面获得显著提高。
其使用更快捷、方便，且保留了纯粹干涉测量系统的优点，该系统结合了成熟的技术及丰富的经验，使得Renishaw激光系统成为全球用户的首选系统。
XL-80保留了Renishaw产品在日常使用中、在紧要之处展现出高精度、可靠性和耐用性等重要优点。
更轻巧的激光测量及校准2X L激光测量系统的性能提升，更广泛地适合各类客户的测量选择。
本系统尺寸及重量显著小于已有系统，便携性更强，使用更方便，以便贵公司领先于同行。
XL-80激光系统X L -80激光系统可以产生极其稳定的激光光束，采用的波长可溯源至国家和国际标准。
激光稳频精度为1年内±0.05 p p m ，1小时内 ±0.02 ppm 。
这种优异的性能是通过动态热控制技术将激光管长度变化控制在纳米范围内而完成的。
在整个环境范围内，即0 - 40 °C （32 - 104 °F ）及650 - 1150 mbar ，保证±0.5 ppm 的线性测量精度。
读数以50 kHZ 频率读取，最高线性测量速度可达 4 m/s ，即使在最高速度下线性分辨率仍可达1 nm 。
由于XL 系统的所有测量项目（不仅仅是线性测量）均采用激光干涉原理，您可以充分信赖所有的测量精度。
该新型系统的基础组件是一个轻型激光头 (XL-80) 和一个独立的补偿单元系统 (XC-80)XL80和XC80可经由USB 直接与计算机连接，无需单独的接口。
激光系统的标准配置还具有一个辅助模拟信号输出，正交输出为工厂设定选项。
激光平面干涉仪资料
• (2).仪器光路图及光学零部件
仪器光路图
光学零部件
• (3)、机械结构：
箱体 1 联系各部件、导 轨 2 借助螺钉 3 固定光 源，压圈 4 固定接收器 件。门可卸下去不用。 底面 7 下有微调机构， 借助于手轮 8 调节干涉 条纹。凹型台有平行槽， 借助于插入工作台。工 作台上有调节手轮，可 粗调干涉条纹。（参考 图七）
粗糙度
误差大 于λ/2, 用δ2表示——精 度稍低一点
（ δ2）
11－4、激光球面干涉仪
一.常用的三种系统
1.反射面作标准面 入瞳（无穷远 •当球心或球顶与L 或焦点） 的焦点F’重合时， 两出瞳重合，干涉 条纹宽度无穷大。
P(标准平面）
被测凸（或凹） 球面
L（调焦镜） A
B
F’
R1
R2
•两次出现条纹宽 度无穷大，球面沿
• (2) 如 M2是一半径很大的球面波，则可能得到圆 弧形的干涉条纹（图五a）。
• (3) 如 M2 是一半径不是很大的球面波，则可能得 到一系列圆环形的干涉条纹（图五b）。
• (4) 如 M2 是柱面的波形，则可能得到一系列直线 的平行的，但间距不等的干涉条纹，也可能得到
弯曲的，但不是圆弧状的干涉条纹（图六a）。
• 1.主要数据、
• 1.第一标准平面（ A 面），不镀膜。 工作直径： D1＝Ф146mm 不平度小于 0 .02μm(λ/30）
• 2 、第二标准平面（ B 面），不镀 膜。 工作直径： D2＝Ф140mm 不平度小于 0 . 03μm(λ/20）
• 3 、准直系统：孔径 F / 2 . 8 ， 工作直径： D0 ＝Ф146mm 焦距：f’=400mm 。
二、PG15 —J4 型激光平面干涉仪
激光干涉仪检测与调整过程讲解
激光干涉仪检测与调整过程讲解激光干涉仪是一种常用的光学测量工具，可以用于测量非常小的距离和角度变化。
它通常由两个关键组件组成：稳定的激光源和一个高质量的干涉仪。
在本文中，我们将介绍激光干涉仪的工作原理、使用方法和调整过程。
激光干涉仪的工作原理激光干涉仪的设计基于激光干涉原理，该原理是将激光束分为两个光束，分别通过被测物体的两个侧面，然后将两束光重新合成。
当光束互相干涉时，它们会产生间隔的明暗条纹，这些条纹的间隔可以被用于测量小的长度变化。
在实践中，激光干涉仪使用的激光源通常是由半导体光源提供的，这种光源在可见光范围内有非常狭窄的频谱分布。
可以使用反射镜和分束器将光分为两束。
在光路上分别安装一个光栅使得干涉仪可以使用逆反射干涉，提高测量的精度。
使用激光干涉仪进行测量在进行测量时，需将两束光线分别传输给要被测量的物体的两个侧面。
当两束光线重新合并时，它们会形成明暗相间的条纹图案，这是干涉产生的结果。
通过测量条纹的间隔，我们可以轻松地计算出被测物体的位移变化。
激光干涉仪可用于测量非常小的长度、位移和角度变化，其度量精度可以达到亚微米级别。
此外，通过使用高质量的干涉仪，我们可以将其用于高精密表面形貌测量。
调整激光干涉仪如果干涉仪的调试不当，会导致干涉条纹模糊或者严重扭曲的情况，降低干涉仪的度量精度。
因此，在使用激光干涉仪进行测量之前，必须对其进行调整。
以下是调整激光干涉仪的步骤：1.调整激光源：确保激光源光束的宽度和强度足够稳定。
可以将激光传输到墙上的标定留置板来检查光束的准直性和焦点。
2.双色干涉圈合并：在数字式激光干涉仪中，需要将蓝色和红色光线重合在一个干涉圈内。
使用向一侧旋转/切向板识别同步点，其中图案由蓝色和红色光线表示。
提示：每次转动方向8分钟。
3.气象因素：排除湿度、温度固定输出、地面震动等因素的影响。
工作时确保放在一个平稳的场所，切不可震动。
4.探头选择：一般选其低灵敏度的测头。
不完全平整的表面则需要高灵敏度的探头。
XL-30 激光干涉仪基本操作说明
XL-30 激光干涉仪基本操作说明1、安装环境补偿单元：（1）取出补偿单元，将材料温度传感器和环境温度传感器连接到补偿单元；（2）将材料温度传感器放置到被测机床的工作台或导轨上，注意远离电机、排风扇等部位，将环境温度传感器放置到被测机床工作台或激光光路附近，利用安装磁力吸板，将环境补偿单元放置到激光光路附近。
2、安装激光头：（1）取出三脚架，根据被测机床的高度，将三脚架调至适当的高度；（2）将激光头安装到三脚架上，将水平调节、俯仰、扭摆等调节旋钮调至中间位置；（3）将激光头调节与被测机床基本垂直或平行，用水平泡调整激光头至水平；（4）连接匹配的电源至激光头；（5）打开激光头电源开关，激光头预热。
3、安装测量镜组：（1）根据需要测量的项目，用相应的镜组；（2）根据需要测量的轴线，如X、Y、Z等，将安装组件和镜组进行相应的联结；（3）根据测量内容，将镜组安装到被测机床上，安装镜组的位置要特别注意，移动镜组必须要安装到被测机床被测轴线的行程的极限位置，以保证即使在被测机床被测轴线全行程范围内移动时，镜组之间、镜组于被测机床不会产生碰撞，保护镜组的安全。
4、调光：（1）口诀：近调镜组，远调激光；（2）上述步骤完成后，测量光和参考光不一定重合，也不一定会回到激光头的接受孔内，所以需要微小调整镜组的位置和激光头左右、俯仰、扭摆的位置，保证测量光和参考光基本重合，同时都回到激光头接受孔内；（3）镜组位置调整利用机床的移动或直接将镜组移动，激光头的调整利用激光头（云台）的相应调整旋钮进行；（4）调整光路后，保证在被测机床被测轴的全行程范围内，回到激光头接受孔的激光强度足够。
5、激光头、补偿单元和电脑连接：（1）用随机专用USB数据线将激光头、补偿单元和电脑连接上；（2）打开相应的测量软件，确认激光头和补偿单元是否正确连接；6、测量设置:（1）上述步骤完成并无误后，根据测量要求，进行软件设置；、（2）线性测量时首先要设置物体膨胀效应补偿系数，根据被测机床的基体材料和位置控制方式，输入相应的系数；（3）根据测量的具体项目和要求，设置测量参数等内容。
双频激光干涉使用仪操作说明
双频激光干涉仪使用操作说明一、操作步骤1.系统的相互连接（如图1所示）a.通过PCM20接口，用通讯电缆将IBM thinkPad笔记本电脑与ML10 激光干涉仪连接。
b.通过PCM20接口，用通讯电缆将IBM thinkPad笔记本电脑与EC10 环境补偿单元连接，并将空气及材料温度传感器放置在机床适当位置。
c.用通讯电缆将IBM thinkPad笔记本电脑与HP1180c打印机连接。
d.将PC10、ML10、EC10分别接上电源线，再接到电源插板上。
e.通过稳压电源，将总电源线接到220V接地电源上。
2.激光的预热闭合激光干涉仪开关，使激光预热大约15～20分钟，等激光指示灯出现绿色后，表明激光已稳定。
3.测量软件的启动a.打开笔记本电脑，启动“Renishaw Laser10”测量软件b.双击“线性测长”进入“Renishaw Laser10 Capture”测量子软件。
4.光学镜的安装（如图1所示）a.将ML10激光干涉仪固装在测量三脚架上。
b.将反射镜用夹紧块、安装杆、磁性表座固定在机床运动部件上。
c.将反射镜和分光镜组合组成干涉镜；将干涉镜用夹紧块、安装杆、磁性表座固定在机床不可运动部件或其它固定部件上。
图1 用于测量定位的典型系统设置。
5.激光器、干涉镜及反射镜的调整①.线性干涉镜及反射镜的定位a.放置三脚架及激光器，使其垂直指向测量镜组。
利用机架作为瞄准线，使激光器大略与运动轴准直。
b.旋转光闸，以便激光器发出图2中所示的直径变小的光束。
光束的直径越小，越容易看出光路是否准直。
c.移动机床，使线性反射镜靠近激光器，并将一个光靶置于前端，白点在上。
平移激光器或机床，直到光束击中光靶上的白点,如图3所示。
此时线性干涉镜不应置于激光器及线性反射镜之间。
图2 图3d.取下光靶，并检查从反射镜返回的激光束是否击中 ML10 光闸上的光靶中心。
如果没有，则平移激光器或机床，直到激光束击中光靶的中心，如图4所示。
激光干涉仪的使用方法和技巧
激光干涉仪的使用方法和技巧激光干涉仪（Laser Interferometer）是一种常用于测量物体长度和表面形貌等精密测量的仪器。
本文将介绍激光干涉仪的基本原理、使用方法和技巧，以帮助读者更好地应用激光干涉仪进行精密测量。
一、激光干涉仪的基本原理激光干涉仪基于干涉现象进行测量。
激光光源发出的单色光通过分束板分成两束光，然后分别经过两个光路，最后再次汇聚到一起。
当两束光的相位差为整数倍的波长时，两束光相互叠加干涉，形成明暗交替的干涉条纹。
通过测量干涉条纹的特征，可以计算出被测物体的长度、形状等信息。
二、激光干涉仪的使用方法1. 准备工作在使用激光干涉仪之前，需要确保仪器处于良好的工作状态。
首先，检查激光光源是否正常工作，确保光束的稳定性和质量。
其次，校准激光干涉仪的光路，确保两束光在汇聚时能够产生明确的干涉条纹。
2. 调整测量位置将激光干涉仪放置在待测物体的旁边或上方，并使用调节装置将光束对准物体表面。
确保光束垂直于物体表面，以获得准确的测量结果。
3. 观察干涉条纹打开激光干涉仪的显示屏或调节装置上的干涉条纹显示功能。
观察干涉条纹的形态和变化，根据实际测量需求调整光路或物体位置，使干涉条纹清晰可辨。
4. 实施测量根据所需测量的参数，选择合适的测量模式和功能。
根据干涉条纹的特征，采集测量数据，并使用仪器自带的软件或计算工具进行数据处理和分析。
三、激光干涉仪的使用技巧1. 注意环境条件激光干涉仪对环境条件相对敏感，尤其是光线和振动。
在测量过程中，尽量避免光线的干扰，选取较为安静的环境。
如果必要，可以使用隔离罩或振动吸收装置来降低外界环境对测量的影响。
2. 规避反射干扰激光干涉仪对光线的反射比较敏感，测量时应注意避免光线被反射到其他表面上，产生干涉干扰。
可以通过调整光源角度、使用吸光材料等方式减少反射干扰。
3. 熟悉仪器功能熟悉激光干涉仪的各种功能和测量模式，合理选择并设置相应的参数。
根据不同测量对象和要求，调整仪器的测量范围、采样率、干涉条纹的对比度等，以获得最佳的测量结果。
数字激光干涉仪使用说明
1.0目的及适用范围1.1目的:为了更好地让员工使用数字激光干涉仪测量晶体的波前畸变、平行度、平面度、均匀性。
1.2适用范围：本说明适用于数字激光干涉仪的使用。
2.0 术语波前畸变平行度平面度3.0 内容的：3.1仪器用途：晶体波面测试（波前畸变）、激光棒测试、角度测试（平行差）3.2环境要求：激光干涉仪工作环境必须在20℃±2℃范围内，以免影响检验及测量精度。
对抗震要求较高，必须放置在有防震垫的工作台上。
3.3工作原理：由激光器发射出来的氦氖激光光束通过通过准直系统再经过参照镜，光束投射到被测物的两个通光面上，这两个面会有光反射回激光干涉仪形成干涉图案，再通过一个分光器后被CCD相机记录。
4.0 仪器使用方法4.1 开机打开电源前必须确认各部位电源线以连接好，按下干涉仪控制电源，两个指示灯亮（电源指示灯、稳频指示灯），面板指示灯开始来回摆动，这是激光器在预热（大约需要十五分钟左右），然后打开显示器和主机的电源。
4.2 程序启动4.2.1 双击桌面上的“移像干涉（psi ）’’图标4.2.2 点击开始后输入用户名、密码，若未予留用户名，可直接确认 4.2.3 程序启动后出现如下主界面：此时，移动鼠标点击第一行第五个图标（文件夹），建一个数据文件子目录，在D 盘(或E 盘)建立文件夹，便于测试结果和资料的储存。
建好文件夹后点击第一行“干涉图采样”图标后，第二行“采集图像”窗口就被激活，出现界面如下图4.2.4 实时显示 点击“实时显示”，显示器上出现动态图像。
在此阶段如果不出现干涉条纹可以按下调整/测试切换健显示出调光路图象。
调整干涉仪上下左右两个调整螺杆使干涉的两个面的光点位于十字分划中心并重合。
4.3 测试4.3.1待测元件放置将工件放置在两维调整平台上调平 4.3.2 调整切换开关，回到测试（干涉图）光路，调整左右与上下两个调整螺杆，使得视场中看到的条纹少于六条（三至四条最好） 4.3.3 参数设置单击界面左上角的“参数设置”图标，此时将弹出以下界面。
激光干涉仪使用方法
激光干涉仪使用方法
激光干涉仪是一种常用的测试和测量仪器，通常用于检测光学元件的平整度、光波长、薄膜厚度等。
下面是激光干涉仪的基本使用方法：
1. 准备工作：确保激光干涉仪及相关设备的电源和连接线正常。
检查仪器的对准状态，并打开激光器的电源。
2. 注意安全：激光干涉仪使用激光器产生一束高能的激光光束，因此在操作之前应注意安全，佩戴适当的防护眼镜，确保视线不直接暴露于激光光束中。
3. 对准仪器：将被测物或样品放置在激光光束路径上，并通过调整仪器的参数和位置，使得光束能够正确穿过被测物或样品。
确保光束垂直于被测物或样品表面，并调整焦距以使光束聚焦。
4. 参数设置：根据被测物或样品的特性，选择合适的激光波长和功率等参数。
通过调整仪器上的参数控制面板，设置激光器的工作参数。
5. 干涉图像的获取：打开干涉仪的显示屏或连接到计算机上的软件，观察干涉图像。
根据显示屏上的干涉图案，调整仪器的参数，使得干涉图案达到最优状态。
6. 测量结果的分析：根据干涉图像的特征，可以进行各种参数的测量和分析。
例如，可以测量出被测物或样品的表面平整度、薄膜厚度等。
根据需要，可以使
用仪器上的测量功能或将数据传输到计算机上进行进一步分析处理。
7. 关闭仪器：在使用完毕后，先关闭激光器的电源，然后关闭仪器的电源。
注意安全，确保无人在仪器附近时再进行关闭操作。
以上是激光干涉仪的基本使用方法，具体使用步骤和参数设置可能因不同型号的仪器而略有差异，因此在操作之前最好参考仪器的使用说明书或向厂家咨询。
同时，在使用激光干涉仪时要格外小心，避免对眼睛和皮肤造成伤害。
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一、用途激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器，主要用于精密测量光学平面度。
仪器配有激光光源（波长为632.8nm）。
对于干涉条纹可目视、测量读数。
工作时对防震要求一般。
该仪器可应用与光学车间、实验室、计量室。
如需配购相关的必要附件，可精密测量光学平面的微小楔角、光学材料折射率n的均匀性，光学镀膜面或金属块规表面的平面度，90度棱镜的直角误差及角锥棱镜单角和综合误差。
二、主要数据1. 第一标准平面（A面）,不镀膜。
工作直径：D1=φ146mm不平度小于0.02um2.第二标准平面（B面），不镀膜。
工作直径：D2=φ140mm不平度小于0.03um3.准直系统：孔径F/2.8，工作直径：D0=φ146mm焦距：f=400mm4.测微目镜：焦距f=16.7mm，放大倍数β=15X，视场角2W=40°，成像物镜：1.D=4.5 II.D=7 III.D=10F=15 f=23 f=375.工作波长：632.8nm6.干涉室尺寸：深260X宽300X190mm。
7.光源规格：激光ZN18（He-Ne）。
8.仪器的外形尺寸：长X宽X高 350X400X720mm9.仪器重量：100公斤图一第一标准平面（A面）精度照片图二第二标准平面（B面）三、工作原理本仪器工作基于双光束等厚干涉原理。
根据近代光学的研究结果，光兼有波动与颗粒两重特性。
光的干涉现象是光的波动性的特性。
因此，介绍本节内容时，仅在光的波动性的范围内讨论，例如，把“光”称为“光波”，“平行光”称为“平面光”。
波长为的单色光经过仪器有关的光学系统后成为平面波M。
（如图三所示），经仪器的标准平面P1和被检系统P2反射为平面波M1和 M2。
M1、M2即为两相干光波，重叠后即产生等厚干涉条纹。
等厚干涉原理能够产生干涉的光束，叫相干光。
相干光必须满足三个条件：1.震动方向必须一致，2.频率相等：3.光束必须相遇，且在相遇点处的相位差在整个时间内为一常量。
如图三（3）基准面P1，被测面为P2.当平行光束是S-S射到基准面P1上时，其中一部分反射为S′-S′，另一部分折射为B-F，进入基准面和被测面之间的空气层内，经被测零件的上表面P1反射之后，沿方向S′-S′射出。
两束光在C点处相遇，其光程差为：=(BF+FCn′-EC.n （1）式中n′和n——分别表示玻璃和空气的折射率。
由图三（3）可得：BF=FC= (2式中 h——空气层的厚度；i和i′——分别为入射角和折射角由△BEC和△BCF可行EC=BCsin i （3）BC=2h tg i′ （4）将公式(4代入（3）后，再和（2）一起代入（1）得：因为n sin i=n′sin i′,所以空气的折射率n=1，故=2 h cos i′由于光线在被测零的表面上反射，其位相将发生/2的突变，故光程差应该用下式来表示：（5）为了讨论方便起见，将公式（5）写成如下的形式：当式中的m为整数时，m即为干涉级数。
由于这时相干光的初始相位差φ=0，所以m即为干涉条纹的条纹数，亦即通常所说的光圈数。
由公式（5）可以看出：光程差的大小仅仅与空气层的厚度和光线的折射角有关。
相干光束以相同的倾角射入空气层，由于空气厚度的变化，所呈现的亮暗相间的干涉条纹是对空气层上等厚度点的轨迹，这类干涉就称为等厚干涉。
见图三（2）由于仪器的标准平面P1具有很高的精度，因此可以认为：经P1反射后的波面M1与M0完全相同。
假使被检系统P2没有误差，因此也可以认为：经P2反射后的波面M2与M0完全相同，即与M1完全相同。
如果M1、M2之间存在楔角,则两波面叠加相干时，得到平行的、直线的、等间距的一系列干涉条纹，相邻两条纹的间隔——即条纹宽度B由下决定：B= (以弧线计 (6)式 B= (以秒计算………(7当B=632.8nm时（He-Ne激光输出波长）时，B=130.528/（mm） (8由（6）（7）（8）式可知：愈大，B愈小，条纹愈密，窄（图四a）愈小，B愈大，条纹愈疏，宽（图四b）=0，B=，干涉场为一片颜色（图四c）如果被检系统P2存在缺陷，则反射波面M2将产生对M1的某些偏离，此时将产生与下述不同的干涉条纹。
图四如M2是一半径很大的球面波，则可能得到圆弧的干涉条纹(图五a。
如M2是一半径不是很大的球面波，则可能得到一系列圆环形的干涉条纹（图五b）如M2是柱面的波形，则可能那个得到一系列直线的平行的，但间距不等的干涉条纹也可能得到弯曲的，但不是圆弧状的干涉条纹（图六a）如果M2是一个不规则的波面，则得到相应不规则的干涉条纹（图六a）因此，我们得到的干涉图正确地表现力经被检系统反射形成的波面的全部误差信息，对这些条纹进行正确地解释或计算，可以测得被检系统的误差。
对于被检平面，常用N、△N来表示其平面性精度。
图五图六四、仪器结构如图七所示，以检测光学平面为例。
a 光学结构：由组合星点G1发出的单色光经棱镜G2后，投向主镜表面折射为平行光后，射向主镜下表面（A面）及被测光学平面，A面和被测光学平面反射回来的光重叠相干后，经棱镜G2反射，进入接收件。
星点可由激光管G5、棱镜G6、光源强度调节发散镜G7组成。
接收件可以由人眼G10.成象物镜G15和测微目镜G11，或由分光棱镜G12，可动小孔G13和摄像头G14组成的摄像系统。
b 仪器结构：箱体1联系各部件、导轨2借助螺钉3固定光源，压圈4固定接收器件。
门可卸下去不用。
底面7下有微调机构，借助与手轮8调节干涉条纹，凹型台有平行槽，借助于插入工作台，工作台上有调节手轮，可粗调干涉条纹。
图七仪器结构五、使用说明5-1激光光源的使用：本仪器附有=632.8nm的He-Ne激光光源（图八）。
本仪器选用ZN18激光管（图九），安装激光管时，取下激光光源后罩，松开两个附有弹簧片的黄铜螺丝，把激光管放入凹圆弧有机玻璃座，须注意：1. 激光管的输出端须安放在光源部件的上方，即有两调节螺丝的一端，市场上供应的激光管有正极性输出与负极型输出，究竟何极为输出端参见所购激光管的说明书。
2. 激光管座用带有弹簧片的黄铜螺丝压紧后，松紧适且，切忌压得太紧。
3. 插入相应电极插座。
其后把激光电源安放在三角座2上，用螺钉3固定，然后接通电源，点亮激光管。
4. 旋动调节螺丝25、26使激光束射在发散镜上。
此时在观察孔观察整个视场，调节至整个视场内均匀地充满红光为止。
5. 如发现视场内有杂乱的光环，那是发散镜外表上沾有灰尘衍射而成的缘故，只需用干净的干纺绸擦拭发散镜或用气球吹发射镜表面即可。
6. 本仪器激光光源附有亮度调节圈22，转动22即可调到你认为合适的亮度。
7. 激光管长期不用，同样会终止使用寿命，故备管不宜过多。
5-2目视头的使用、测微头的使用：1.目视头40借助与螺钉41固定在圈3上，即为工作状态，此时，仪器标准面A的反射象点位于目视接目框的中央。
2.测微头42，借助螺钉43，固定目视头的接目框上，本仪器附有三种规格的测微器（图十），其成像物镜分别为：F15、F23、F37三种，测微器目镜均匀为15X测微目镜，三种规格的测微器使用范围见下表一。
3.借助与测微目镜的鼓轮与可移动分划板，可测得干涉条纹的宽度、弯曲度，根据国家“光圈识别”标准，可测得光圈数N、△N等数据。
表一规格焦距（mm）放大倍率（β）适用被测系统口径F15150.56φ90-φ150F23230.86φ50-φ105F3737 1.39φ60以下图图九激光管图十目视、测微目镜与成像物镜5-3门的使用本仪器工作室装有保温与防气流使用的门。
门的拆卸是十分方便的，在车间工作的往往不要门，此时可拆去不用（图十二）。
门的开启借助于白色长柄10，向下按后向外拉，门即开启。
把门推上，即弹簧舌头自动把门卡紧。
图十二门开启状态5-4底座部分的使用底座6内具有凹形的承物框7，框侧为两相对成排的凹形槽，借助于插入各种工作台。
凹形承物框7下有调节机构，借助于手轮8，可方便地调节承物框的倾斜，从而可根据测量目的完成所需的调节。
须注意：在一般情况下，尽量使承物框的底面与底座门框下边平行。
因底座上的调节机构适合精密微调，工作台附有必要的粗调机构，一般情况下，在门关闭后，使用调节手轮8。
5-5工作台的使用工作台(图十三可插入不同高度的凹槽内。
图十三工作台图十四激光电源箱工作台具有两个调节螺钉，借助与此可调节干涉条纹，并附有四叉的升降调节器，叉球自右向左侧工作台下降。
工作台的微量升降在某些测量中是必需的。
工作台上方具有直径为φ170mm的载物台，用与承放被测件。
六、测量光学平面的调节方法6-1测量光学件的平面度如果被测件是一平行板，建议在非被检面涂上凡士林油，防止该面的反射光不怕干扰，例如产生絮乱背景条纹，影响条纹的对比度。
把被检件K放在工作台84上（图十五a），被检面朝上，选择合适高度的凹槽把工作台插入。
人眼距离观察孔200mm左右观察，可见到两个分开的星点，中央的一点为仪器标准面A形成的，另一点是被检面形成的，调节工作台上的两个手轮，两个星点逐渐重合，此时眼睛顺着星点靠近观察孔，可见到细而密的干涉条纹，继续调节手轮，干涉条纹由密到疏，直到你认为需要的条纹数量与方向（图十五b）如果被检件须恒温，则可关上门，在外面借助手轮8调节干涉条纹。
干涉条纹的解释与定量须照国家标准“光圈标准”。
6-2光学平板微小楔角的直接干涉法（图十六）光学平板的两个面反射后自身引成干涉条纹，如果光学平板两个面的夹角为β，平板材料折射率为n，则两个相干波面的夹角为=2.n.β (9结合（8）式，可得B=65.264/n. β （10）当n=1.5时B=43.5/β (11或β=43.5/B （12）下表三列出光学平板（n=1.5）楔角β对应的条纹宽度值：b图十五测量光学平面平面度图十六光学平板微小楔角的直接干涉法表三β（秒）β（mm）β（秒）β（mm）β（秒）β（mm）0.4 108.75 2.5 17.4 9 4.80.5 87 3 14.5 10 4.40.6 72.5 4 10.9 11 3.90.8 54.4 5 8.7 12 3.61 43.5 6 7.3 15 2.91.5 29 7 6.2 202.22 21.8 8 5.4 25 1.7图例中测得B=29 故β=1.5秒七、使用中的几点说明在干涉测量中光学玻璃受热变形是产生光学表面光圈变化的一个重要因素，因此在使用中对温度的稳定性要求是很高的，温度不稳定直接影响测量精度的可靠性。
7-1温度1.恒温时间被检工件装在放入仪器的干涉室前，由于工件是以外界进入工作室的，要有一个恒温时间，我们一般放24小时以上，然后再放入干涉箱内，等温6个小时以上，使平晶面形达到应有的真实状态，根据JJB28-80国家标准：平晶在检定前放置在温度为20°±5°的检定室内不少于下列表四内规定时间：表四平晶直径（mm）恒温时间（小时）平晶直径（mm）恒温时间（小时）45 10 120 20 60 16 150 30 80 18在检定平面度前，根据尺寸大小应放置在工作点不少于下表五规定的时间：表五平晶直径（mm）时间（分）45~60 3080~100 60150 120检定时室温应稳定，温度变化应不超过表六规定：表六平晶直径（mm）在24小时内温度变化℃在1小时内温度变化℃45～60 2.5 0.580～100 1.5 0.2150 1 0.1如果要测量高精度的平晶，我们一般是在检定时间内（六小时），不允许有0.5℃的温差变化，在仪器周围也不允许有0.5℃的温度梯度差异。