TLM测量计算方法来评价欧姆接触

TLM测量计算方法

张进城

测量步骤：

1、利用四探针测量不同间距相邻金属焊点（L1

2、L2

3、L3

4、L4

5、

L56等）的电阻（R12、R23、R34、R45、R56等）；

2、以L为横坐标（单位：µm）和R为纵坐标（单位：Ω）画线，对

。由此可得其进行线性拟合，纵坐标截距为2R C，斜率为W

R

sh

R C；

3、测量焊点1－3间电阻R13，可得R e13=(R12+R23-R13)/2；也可测量

2－4间电阻R24，可得R e24=(R23+R34-R24)/2；也可测量3－5间电阻R35，可得R e35=(R34+R45-R35)/2；等等；对R e13、R e24、R e35等求

其平均值得到R e ；

4、 计算公式，其中，W 、S 单位均为µm ；

（1）特征接触电阻（specific contact resistance ）

()28

2102cm R R S W R e C C c Ω×−⋅⋅=−ρ

（2）传输电阻R t

mm W R R C t Ω×⋅=−310

（3）半导体材料方块电阻：

R sh ＝（R-L 线性拟合斜率）×W Ω/□

（4）金属接触下方半导体材料的方块电阻： ()S

R R W R e C sk −⋅=2 Ω/□