1.6 回旋共振及常见半导体的能带结构 -1
半导体物理学第一章2
四元 Ga1 x Inx P 1 y As y :作激光器,λ=1.3~1.6μm 光纤通信多用λ=1.5μm 常用光纤的频率适用范围有三个传输窗口。 850nm、1310nm、1550nm是三个波长。 衰耗在0.6dB/KM、0.36dB/KM、0.20dB/KM。
1.8Ⅱ-Ⅵ族公合物半导体的能带结构
qB * 由c * 知,必须有 mn 与B值相对应,共振时满足: mn qB1 qB2 c * * mn1 mn 2 * m 只要测出吸收峰处的B值就可以确定 n 的值。
* m 而且有几个 n ,就有几个吸收峰。
③ 为确保测量准确性,应用高纯样品,且低温环境。
样品纯度高,则减少了杂质对晶格势场的干扰(杂 质散射)。低温(液He~4k)下,减少了晶格散射 对电子运动轨迹的影响。 有时用光照射样品,将电子激发到导带,Βιβλιοθήκη 供较 多的自由电子,有利于观察吸收峰。
能量0点选在 Ev 0 0
②价带有三条,两条在k=0处简并,第三条处于低能 状态
h2 k 2 重空穴带 Ev k 2m0 Ev 0 0
h 2 k 2 2 p 2k 2 轻空穴带 Ev k 2m0 3Eg
E [111] Eg [111] 简并 重空穴 轻空穴 分裂带
第1章 半导体中的电子状态
• 1.1 半导体的晶格结构和结合性质 1.2 半导体中的电子状态和能带 1.3 半导体中电子的运动 有效质量 1.4 本征半导体的导电机构 空穴 1.5 回旋共振 1.6 硅和锗的能带结构 1.7 Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的能带结构 1.8 Ⅱ-Ⅵ族公合物半导体的能带结构 1.9 SI1-xGex合金的能带 1.10 宽禁带半导体材料
图1-27 InSb的能带结构
第一章 半导体中的电子状态
1 a f m
这正是牛顿第二定律的形式。 如果将晶体中的电子看成是质量为
m 的粒子,
则电子在晶体中的运动满足牛顿第二定律 ——在外力作用下,电子的加速度与电子所受的外 力成正比,与电子的有效质量成反比。
三、电子的加速度
引入有效质量这一概念的意义在于:
有效质量概括了晶体内部势场对电子的作用,使得 在解决晶体或半导体中电子在外力作用下的运动规律时, 可以不涉及到内部势场对电子的作用,而直接按照牛顿 第二定律由外力求出电子的加速度。
在能带底部: mn*>0
在能带顶部: mn*<0
二、半导体中电子的平均速度
可以证明,对于晶体中的电子:
1 dE v h dk
1 h2k 2 将 E( k ) 带入上式,得到 2 m* n
hk v mn
自由电子:
hk v m0
半导体中电子v-k关系也与自由电子v-k关系形式相同。
二、半导体中电子的平均速度
小结
自由电子和晶体中电子的E-k,v-k和m-k关系:
小结
半导体中的电子 自由电子
1h k E( k ) * 2 mn
2
2
1 h2k 2 E (k ) 2 m0
hk v mn
hk v m0
f m a
有效质量
f m0 a
1.3 本征半导体的导电机构、空穴
本征半导体的导电机构、空穴
一、能量
引入有效质量后,半导体中电子与自由电子的E(k)~k关系相似。 半导体中的电子 自由电子
1 h2k 2 E( k ) 2 m* n
1 1 d 2E 2 h dk 2 mn
1 h 2k 2 E (k ) 2 m0
《半导体物理学》课程辅导教案
《半导体物理学》课程辅导教案关于教案的几点说明:教案的基本内容:包括课程的课程重点,课程难点,基本概念,基本要求,参考资料,思考题和自测题,教学进度及学时分配.教材:采用高等学校工科电子类(电子信息类)规划教材《半导体物理学》,由刘思科,朱秉升,罗晋生等编写.本教材多次获奖,如全国高等学校优秀教材奖,电子类专业优秀教材特等奖,普通高等学校教材全国特等奖.参考资料(书目)叶良修(北大)《半导体物理学》刘文明(吉大)《半导体物理学》顾祖毅(清华)《半导体物理学》格罗夫(美)A.S.Grove《半导体器件物理与工艺》王家骅(南开)《半导体器件物理》施敏(Sze.S.M美)《半导体器件物理》施敏(Sze.S.M美)《现代半导体器件物理》目录第一章半导体中的电子状态§1.1 晶体结构预备知识,半导体晶体结构§1.2 半导体中的电子状态§1.3 电子在周期场中的运动——能带论§1.4 半导体中电子(在外力下)的运动,有效质量,空穴§1.5 半导体的导电机构§1.6 回旋共振§1.7 硅和锗的能带结构§1.8 化合物半导体的能带结构第二章半导体中杂质和缺陷能级§2.1 硅,锗晶体中的杂质能级§2.2 化合物半导体中的杂质能级§2.3 半导体中的缺陷能级(defect levels)第三章半导体中热平衡载流子的统计分布§3.1 载流子的统计分布函数及能量状态密度§3.2 导带电子浓度和价带空穴浓度§3.3 本征半导体的载流子浓度§3.4 杂质半导体的载流子浓度§3.5 一般情况下地载流子统计分布§3.6 简并半导体第四章半导体的导电性§4.1 载流子的漂移运动,迁移率§4.2 载流子的散射§4.3 迁移率与杂质浓度和温度的关系§4.4 电阻率及其与杂质浓度的关系§4.6 强电场效应,热载流子§4.7 耿氏效应,多能谷散射第五章非平衡载流子§5.1 非平衡载流子的注入§5.2 非平衡载流子的复合和寿命§5.3 准费米能级§5.4 复合理论§5.5 陷阱效应§5.6 载流子的扩散运动§5.7 载流子的漂移运动,爱因斯坦关系§5.8 连续性方程及其应用第六章p–n结§6.1 p–n结及其能带图§6.2 p–n结电流电压特性§6.3 p–n结电容§6.4 p–n结击穿§6.5(*) p–n结隧道效应第一章半导体中的电子状态(光14学时微14学时)§1.1 晶体结构预备知识半导体晶体结构◆本节内容:1.晶体结构的描述(有关的名词)格点:空间(一维或多维)点阵中的点(结点)晶列:通过任意;两格点所作的(晶列上有一系列格点)晶向:在坐标系中晶列的方向(确定晶向的方法待定)用晶向指数表示;如[110].晶面:通过格点作的平面.一组平行的晶面是等效的,其中任意两晶面上的格点排列是相同的,且面间距相等.晶面用晶面指数(密勒指数)表示,如(111),(100)……反映晶体周期性的重复单元,有两种选取方法:在固体物理学中——选取周期最小的重复单元,即原胞.在晶体学中——由对称性取选最小的重复单元,即晶胞(单胞)基矢:确定原胞(晶胞)大小的矢量.原胞(晶胞)以基矢为周期排列,因此,基矢的大小又成为晶格常数.晶轴:以(布拉菲)原胞(或晶胞)的基矢为坐标轴——晶轴格矢:在固体物理学中,选某一格点为原点O,任一格点A的格矢=++,,,为晶轴上的投影,取整数,,,为晶轴上的单位矢量.在结晶学中(用的较多),选某一格点为原点O,任一格点A的格矢=++,,,为对应晶轴上的投影,取有理数,,,为晶轴上的单位矢量.晶列指数及晶向:格矢在相应晶轴上投影的称作晶列指数,并用以表示晶向,即格矢所在的晶列方向.固体物理学中,表示为[ ],投影为负值时,l的数字上部冠负号.等效晶向用表示.晶面:通过格点作的平面,用晶面指数表示.晶面指数:表示晶面的一组数.晶向与晶面的关系:在正交坐标系中,晶面指数与晶面指数相同时,晶向垂直于晶面.2.几种晶格结构结晶学晶胞:简立方:立方体的八个顶角各有一个原子.体心立方:简立方的中心加进一个原子.面心立方:简立方的六个面的中心各有一个原子.金刚石结构:同种原子构成的两个面心立方沿体对角线相对位移体对角线的套构而成.每个晶胞含原子数:8(顶角)+6(面心)+4(体心)=8个如果只考虑晶格的周期性,可用固体物理学原胞表示:简立方原胞:与晶胞相同,含一个原子.体心立方原胞:为棱长a的简立方,含一个原子.面心立方原胞:为棱长a的菱立方,由面心立方体对角线的;两个原子和六个面心原子构成,含一个原子.金刚石结构原胞:为棱长a的菱立方,由体对角线的两个原子和六个面心原子构成棱立方,其内包含一个距顶角体对角线的原子,因此,原胞共含有2个原子.3.半导体硅,锗的晶体结构(金刚石型结构)4.闪锌矿型结构◆课程重点:半导体硅,锗的晶体结构(金刚石型结构)及其特点;半导体的闪锌矿型结构及其特点.◆课程难点:1.描述晶体的周期性可用原胞和晶胞,要把原胞和晶胞区分开.在固体物理学中,只强调晶格的周期性,其最小重复单元为原胞,例如金刚石型结构的原胞为棱长a的菱立方,含有两个原子;在结晶学中除强调晶格的周期性外,还要强调原子分布的对称性,例如同为金刚石型结构,其晶胞为棱长为a的正立方体,含有8个原子.2.闪锌矿型结构的Ⅲ-Ⅴ族化合物和金刚石型结构一样,都是由两个面心立方晶格套构而成,称这种晶格为双原子复式格子.如果选取只反映晶格周期性的原胞时,则每个原胞中只包含两个原子,一个是Ⅲ族原子,另一个是Ⅴ族原子.◆基本概念:原胞和晶胞都是用来描述晶体中晶格周期性的最小重复单元,但二者有所不同.在固体物理学中,原胞只强调晶格的周期性;而在结晶学中,晶胞还要强调晶格中原子分布的的对称性.◆基本要求:记住晶向与晶面的关系;熟悉金刚石型结构与闪锌矿型结构晶胞原子的空间立体分布及硅,锗,砷化镓晶体结构特点,晶格常数,原子密度数量级(个原子/立方厘米).§1.2半导体中的电子状态◆本节内容:1 原子中的电子状态1.1玻耳的氢原子理论1.2玻耳氢原子理论的意义1.3氢原子能级公式及玻耳氢原子轨道半径1.4索末菲对玻耳理论的发展1.5量子力学对半经典理论的修正1.6原子能级的简并度2 晶体中的电子状态2.1电子共有化运动2.2电子共有化运动使能级分裂为能带3 半导体硅,锗晶体的能带3.1硅,锗原子的电子结构3.2硅,锗晶体能带的形成3.3半导体(硅,锗)的能带特点◆课程重点:1.氢原子能级公式=-,氢原子第一玻耳轨道半径=,这两个公式还可用于类氢原子(今后用到)量子力学认为微观粒子(如电子)的运动须用波函数来描述,经典意义上的轨道实质上是电子出现几率最大的地方.电子的状态可用四个量子数表示.晶体形成能带的原因是由于电子共有化运动半导体(硅,锗)能带的特点:存在轨道杂化,失去能级与能带的对应关系.杂化后能带重新分开为上能带和下能带,上能带称为导带,下能带称为价带低温下,价带填满电子,导带全空,高温下价带中的一部分电子跃迁到导带,使晶体呈现弱导电性. 导带与价带间的能隙(Energy gap)称为禁带(forbidden band).禁带宽度取决于晶体种类,晶体结构及温度.当原子数很大时,导带,价带内能级密度很大,可以认为能级准连续◆课程难点:原子能级的简并度为(2l+1),若记入自旋,简并度为2(2l+1);注意一点,原子是不能简并的.◆基本概念:电子共有化运动:原子组成晶体后,由于原子壳层的交叠,电子不再局限在某一个原子上,可以由一个原子转移到另一个原子上去,因而,电子将可以在整个晶体中运动,这种运动称为电子的共有化运动.但须注意,因为各原子中相似壳层上的电子才有相同的能量,电子只能在相似壳层中转移.◆基本要求:掌握氢原子能级公式和氢原子轨道半径公式;掌握能带形成的原因及电子共有化运动的特点;掌握硅,锗能带的特点.§1.3 电子在周期场中的运动——能带论◆本节内容:1.自由电子的运动电子在周期场中的运动能带理论的应用◆课程重点:熟悉晶体中电子的运动与孤立原子的电子和自由电子的运动有何不同:孤立原子中的电子是在该原子的核和其它电子的势场中运动,自由电子是在恒定为零的势场中运动,而晶体中的电子是在严格周期性重复排列的原子间运动,单电子近似认为,晶体中的某一个电子是在周期性排列且固定不动的原子核的势场以及其它大量电子的平均势场中运动,这个势场也是周期性变化的,而且它的周期与晶格周期相同.自由电子的运动状态:对于波矢为k的运动状态,自由电子的能量E,动量p,速度v均有确定的数值.因此,波矢k可用以描述自由电子的运动状态,不同的k值标志自由电子的不同状态,自由电子的E 和k的关系曲线,呈抛物线形状.由于波矢k的连续变化,自由电子的能量是连续能谱,从零到无限大的所有能量值都是允许的.晶体中的电子运动服从布洛赫定理:晶体中的电子是以调幅平面波在晶体中传播.这个波函数称为布洛赫波函数.求解薛定谔方程,得到电子在周期场中运动时其能量不连续,形成一系列允带和禁带.一个允带对应的K值范围称为布里渊区.用能带理论解释导带,半导体,绝缘体的导电性.◆课程难点:布洛赫波函数的意义:晶体中的电子在周期性势场中运动的波函数与自由电子的波函数形式相似,代表一个波长为1/k而在k方向上传播的平面波,不过这个波的振幅(x)随x作周期性的变化,其变化周期与晶格周期相同.所以常说晶体中的电子是以一个被调幅的平面波在晶体中传播.显然,若令(x)为常数,则在周期性势场中运动的电子的波函数就完全变为自由电子的波函数了.其次,根据波函数的意义,在空间某一点找到电子的几率与波函数在该点的强度(即||=)成比例.对于自由电子,||=A,即在空间各点波函数的强度相等,故在空间各点找到电子的几率相同,这反映了电子在空间中的自由运动,而对于晶体中的电子,||=|(x)(x)|,但(x)是与晶格同周期的函数,在晶体中波函数的强度也随晶格周期性变化,所以在晶体中各点找到该电子的几率也具周期性变化的性质.这反映了电子不再完全局限在某一个原子上,而是可以从晶胞中某一点自由地运动到其它晶胞内的对应点,因而电子可以在整个晶体中运动,这种运动成为电子在晶体内的共有化运动.组成晶体的原子的外层电子共有化运动较强,其行为与自由电子相似,常称为准自由电子.而内层电子的共有化运动较弱,其行为与孤立原子中的电子相似.最后,布洛赫波函数中的波矢k与自由电子波函数的一样,它描述晶体中电子的共有化运动状态,不同的k的标志着不同的共有化运动状态.金刚石结构的第一布里渊区是一个十四面体,(见讲义图1-11),要注意图中特殊点的位置.◆基本概念及名词术语:能带产生的原因:定性理论(物理概念):晶体中原子之间的相互作用,使能级分裂形成能带.定量理论(量子力学计算):电子在周期场中运动,其能量不连续形成能带.能带(energy band)包括允带和禁带.允带(allowed band):允许电子能量存在的能量范围.禁带(forbidden band):不允许电子存在的能量范围.允带又分为空带,满带,导带,价带.空带(empty band):不被电子占据的允带.满带(filled band):允带中的能量状态(能级)均被电子占据.导带(conduction band):电子未占满的允带(有部分电子.)价带(valence band):被价电子占据的允带(低温下通常被价电子占满).用能带理论解释导体,半导体,绝缘体的导电性:固体按其导电性分为导体,半导体,绝缘体,其机理可以根据电子填充能带的情况来说明.固体能够导电,是固体中的电子在外场的作用下定向运动的结果.由于电场力对电子的加速作用,使电子的运动速度和能量都发生了变化.换言之,即电子与外电场间发生能量交换.从能带论来看,电子的能量变化,就是电子从一个能级跃迁到另一个能级上去.对于满带,其中的能级已被电子所占满,在外电场作用下,满带中的电子并不形成电流,对导电没有贡献,通常原子中的内层电子都是占据满带中的能级,因而内层电子对导电没有贡献.对于被电子部分占满的能带,在外电场作用下,电子可从外电场中吸收能量跃迁到未被电子占据的的能级去,起导电作用,常称这种能带为导带.金属中,由于组成金属的原子中的价电子占据的能带是部分占满的,所以金属是良好的导电体. 半导体和绝缘体的能带类似,即下面是已被价电子占满的满带(其下面还有为内层电子占满的若干满带),亦称价带,中间为禁带,上面是空带.因此,在外电场作用下并不导电,但是这只是绝对温度为零时的情况.当外界条件发生变化时,例如温度升高或有光照时,满带中有少量电子可能被激发到上面的看到中去,使能带底部附近有了少量电子,因而在外电场作用下,这些电子将参与导电;同时,满带中由于少了一些电子,在满带顶部附近出现了一些空的量子状态,满带变成了部分占满的能带,在外电场作用下,仍留在满带中的电子也能够起导电作用,满带电子的这种导电作用等效于把这些空的量子状态看作带正电荷的准粒子的导电作用,常称这些空的量子状态为空穴.所以在半导体中导带的电子和价带的空穴参与导电,这是与金属导体的最大差别.绝缘体的禁带宽度很大,激发电子需要很大的能量,在通常温度下,能激发到导带中的电子很少,所以导电性很差.半导体禁带宽度比较小,数量级在1eV左右,在通常温度下已有不少电子被激发到导带中去,所以具有一定的导电能力,这是绝缘体和半导体的主要区别.室温下,金刚石的禁带宽度为6~7eV,它是绝缘体;硅为1.12eV,锗为0.67eV,砷化镓为1.43eV,所以它们都是半导体.共价键理论:共价键理论能够比较简单,直观,较好地解释晶体的某些性质.⑴共价键理论主要有三点:晶体的化学键是共价键,如Si,Ge.共价键上的电子处于束缚态,不能参与导电.处于束缚态的价电子从外界得到能量,有可能挣脱束缚成为自由电子,参与导电.⑵共价键理论应用解释半导体掺杂的敏感性例:掺入替位式五价元素,可提供导电电子;掺入替位式三价元素,可提供导电空穴.解释半导体的热敏性,光敏性等.⑶两者理论的比较(能带理论与共价键理论的对应关系)能带理论共价键理论价带中电子共价键上的电子导带中电子挣脱共价键的电子(变为自由电子)禁带宽度键上电子挣脱键束缚所需的能量定量理论定性理论(4)本征激发:共价键上的电子激发成为准自由电子,亦即价带电子吸收能量被激发到导带成为导带电子的过程,称为本征激发.这一概念今后经常用到.§1.4 半导体中电子(在外力下)的运动,有效质量,空穴◆本节内容:导带中E(k)与k的关系价带顶附近电子的运动有效质量的意义◆课程重点:掌握半导体中求E(k)与k的关系的方法:晶体中电子的运动状态要比自由电子复杂得多,要得到它的E(k)表达式很困难.但在半导体中起作用地是位于导带底或价带顶附近的电子.因此,可采用级数展开的方法研究带底或带顶E(k)关系.电子有效质量=/(一维情况),注意,在能带底是正值,在能带顶是负值.电子的速度为v=,注意v可以是正值,也可以是负值,这取决于能量对波矢的变化率.引入电子有效质量后,半导体中电子所受的外力与加速度的关系具有牛顿第二定律的形式,即a=f/.可见只是以有效质量代换了电子惯性质量.空穴的概念:在牛顿第二定律中要求有效质量为正值,但价带顶电子的有效质量为负值.这在描述价带顶电子的加速度遇到困难.为了解决这一问题,引入空穴的概念.价带中不被电子占据的空状态价带顶附近空穴有效质量>0数值上与该处的电子有效质量相同,即=->0 ,空穴带电荷+q(共价键上少一个电子,破坏局部电中性,显正电).③空穴的能量坐标与电子的相反,分布服从能量最小原理.有效质量的意义:在经典牛顿第二定律中a=,式中f是外合力,是惯性质量.但半导体中电子在外力作用下,描述电子运动规律的方程中出现的是有效质量,而不是电子的惯性质量.这是因为外力f并不是电子受力的总和,半导体中的电子即使在没有外加电场作用时,它也要受到半导体内部原子及其它电子的势场作用.当电子在外力作用下运动时,它一方面受到外电场力f的作用,同时还和半导体内部原子,电子相互作用着,电子的加速度应该是半导体内部势场和外电场作用的综合效果.但是,要找出内部势场的具体形式并且求得加速度遇到一定的困难,引进有效质量后可使问题变得简单,直接把外力f和电子的加速度联系起来,而内部势场的作用则由有效质量加以概括.因此,引进有效质量的意义在于它概括了半导体内部势场的作用,使得在解决半导体中电子在外力作用下的运动运动规律时,可以不涉及到半导体内部势场的作用.特别是可以直接由实验测定,因而可以很方便地解决电子的运动规律.在能带底部附近,E/d>0,电子的有效质量是正值;在能带顶附近,E/d<0,电子的有效质量是负值,这是因为概括了半导体内部的势场作用.有效质量与能量函数对于k的二次微商成反比,对宽窄不同的各个能带,E(k)随k的变化情况不同,能带越窄,二次微商越小,有效质量越大.内层电子的能带窄,有效质量大;外层电子的能带宽,有效质量小.因而,外层电子,在外力的作用下可以获得较大的加速度.半导体中电子的准动量v=hk.◆课程难点:引入有效质量后,电子的运动可用牛顿第二定律描述,a=.注意,这是一个经典力学方程,f是外合力.半导体中的电子除了外力作用外,还受到半导体内部原子及其它电子势场力的作用,这种作用隐含在有效质量中,这就使得在解决半导体中电子在外力作用下的运动规律时,可以不涉及半导体内部势场的作用.◆基本概念:半导体中电子的准动量:经典意义上的动量是惯性质量与速度的乘积,即v .根据讲义式(1-1)和式(1-6),对于自由电子v=hk,这是自由电子的真实动量,而在半导体中hk=v;有效质量与惯性质量有质的区别,前者隐含了晶格势场的作用(虽然有质量的量纲).因为v与v具有相同的形式,因此称v为准动量.◆基本要求:掌握有效质量的意义及计算公式,掌握速度的计算方法,正确理解半导体中电子的加速度与外力及有效质量的关系,正确理解准动量及其计算方法,准动量的变化量应为 .§1.5 半导体的导电机构◆本节内容:导电条件:有外加电压,有载流子载流子产生的途径导电机构(电子导电,空穴导电)◆课程重点:满带中的电子不导电:电子可以在晶体中作共有化运动,但是,这些电子能否导电,还必须考虑电子填充能带的情况,不能只看单个电子的运动.研究发现,如果一个能带中所有的状态都被电子占满,那么,即使有外加电场,晶体中也没有电流,即满带电子不导电.只有虽包含电子但并未填满的能带才有一定的导电性,即不满的能带中的电子才可以导电.绝对温度为零时,纯净半导体的价带被价电子填满,导带是空的.在一定的温度下,价带顶部附近有少量电子被激发到导带底部附近,在外电场作用下,导带中电子便参与导电.因为这些电子在导带底部附近,所以,它们的有效质量是正的.同时,价带缺少了一些电子后也呈不满的状态,因而价带电子也表现出具有导电的特性,它们的导电作用常用空穴导电来描写.本征半导体的导电机构:对本征半导体,导带中出现多少电子,价带中就对应出现多少空穴,导带上电子参与导电,价带上空穴也参与导电,这就是本征半导体的导电机构.这一点是半导体同金属的最大差异,金属中只有电子一种荷载电流的粒子(称为载流子),而半导体中有电子和空穴两种载流子.正是由于这两种载流子的作用,使半导体表现出许多奇异的特性,可用来制造形形色色的器件.◆课程难点:价带电子导电通常用空穴导电来描述.实践证明,这样做是时分方便的.但是,如何理解空穴导电设想价带中一个电子被激发到价带,此时价带为不满带,价带中电子便可导电.设电子电流密度密度为J,则J=价带(k状态空出)电子总电流可以用下述方法计算出J的值.设想以一个电子填充到空的k状态,这个电子的电流等于电子电荷-q乘以k状态电子的速度v(k),即k状态电子电流=(-q)v(k)填入这个电子后,价带又被填满,总电流应为零,即J+(-q)v(k)=0因而得到J=(+q)v(k)这就是说,当价带k状态空出时,价带电子的总电流,就如同一个正电荷的粒子以k状态电子速度v(k)运动时所产生的电流.因此,通常把价带中空着的状态看成是带正电的粒子,称为空穴.引进这样一个假象的粒子――空穴后,便可以很简便地描述价带(未填满)的电流.◆基本概念:载流子:晶体中荷载电流(或传导电流)的粒子.金属中为电子,半导体中有两种载流子即电子和空穴.◆基本要求:掌握半导体的导电机构,正确理解空穴的导电机理.§1.6 回旋共振◆本节内容:k空间等能面回旋共振◆课程重点: 利用回旋共振实验测量有效质量.◆课程难点:回旋共振原理及条件.◆基本概念:回旋共振实验的目的是测量电子的有效质量,以便采用理论与实验相结合的方法推出半导体的能带结构.为能观测出明显的共振吸收峰,就要求样品纯度要高,而且实验一般在低温下进行,交变电磁场的频率在微波甚至在红外光的范围.实验中常是固定交变电磁场的频率,改变磁感应强度以观测吸收现象.磁感应强度约为零点几T.等能面的形状与有效质量密切相关,对于球形等能面,有效质量各向同性,即只有一个有效质量;对于椭球等能面,有效质量各向异性,即在不同的波矢方向对应不同的有效质量(可参考下节内容).◆基本要求:掌握等能面的研究方法:不同的半导体材料,其能带结构不同,而且往往是各向异性的,即沿不同的波矢方向,E~k关系不同.E~k关系可用等能面表示,因此要掌握等能面的研究方法.掌握回旋共振实验原理及实验条件.§1.7 硅和锗的能带结构◆本节内容:硅和锗的导带结构硅和锗的价带结构◆课程重点:回旋共振的实验发现,硅,锗电子有效质量各向异性,说明其等能面各向异性.通过分析,硅有六个椭球等能面,分别分布在晶向的六个等效晶轴上,电子主要分布在这六个椭球的中心(极值)附近.仅从回旋共振的实验还不能决定导带极值(椭球中心)的确定位置.通过施主电子自旋共振实验得出,硅的导带极值位于方向的布里渊区边界的0.85倍处.n型锗的实验指出,锗的导电极小值位于方向的布里渊区边界上共有八个.极值附近等能面为沿方。
半导体的晶体结构和结合性质
硅原子 Si(Silicon)
Ⅳ族,原子序数14,原子量28.086,14个核外电子,
核外电子分布:1s22s22p63s23p2, 4个价电子组态3s23p2
价电子
硅晶体结构 顶角原子 电子 中心原子 顶角原子
顶角原子
顶角原子
正四面体结构单元 金刚石型结构
金刚石型结构晶格点阵
第一章
1.1 1.2
半导体中的电子状态
半导体的晶格结构和结合性质 半导体中的电子状态和能带
1.3
1.4 1.5 1.6 1.7
半导体中电子的运动、有效质量
本征半导体的导电机构、空穴 回旋共振 硅和锗的能带结构 Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的能带结构
1.8
Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体的能带结构
1.1 半导体的晶格结构和结合性质
Ⅴ
Ⅴ ⅢLeabharlann Ⅲ ⅤⅢⅢ
Ⅴ
Ⅴ
正四面体结构单元
Ⅲ族、Ⅴ族原子各贡献一个价电子形成SP3杂化轨道共价键,但Ⅴ族原
子具有较Ⅲ原子强的电负性,共有电子云更多地分布给Ⅴ族原子, Ⅴ族原
子因而带有负电。Ⅲ族原子分配的电子云少一些而带正电。正负电荷之间产 生库仑作用。原子间结合力中共价键占优势,同时存在离子键成分,称为混
金刚石型结构原胞
2、锗晶体结构
锗原子Ge Ⅳ族,原子序数32,原子量72.59,32个核外电子, 电子组态1s22s22p63s23p63d104s24p2 4个价电子组态4s24p2。 锗晶体结构 结构单元为正四面体,正四面体构成金刚石型结构, 晶格由两套不等价面心立方格子沿体对角线套构而成
A
Ⅵ Ⅵ
A
A A
A
(001)面
半导体材料及其基本能带结构
半导体的基本能带结构
一. 半导体材料
5. 半导体材料的应用
信息处理与存储
信息感测
通信、雷达
显示
半导体照明
半导体的基本能带结构
太阳能电池、热电转换
一. 半导体材料
半导体的 性质与用途
电子运动 的多样化
半导体的 能带结构
能带工程
能带裁剪 杂质工程 应变工程 缺陷工程
……
半导体基本能带结构
为浮力不同。换个方向思考,将球落底
所受的力只想成重力,不去计算浮力问
题,可想成两个容器中球的质量不同,
才造成落地时间不同。
水
油
同理,自由电子与晶体中电子所受的力场不同,所以能量不 同,但晶体中的力场不易得知,故换个想法,将晶体中质量 修正为有效质量,则可不直接处理力场的问题,因此自由电 子的相关公式皆可使用。
超高速、低功耗、低噪音器件和电路,光电子器件和光电集成 增大晶体直径(4~6 inch) 、提高材料的电学和光学微区均匀性 超晶格、量子阱材料
❖ 第三代半导体,宽禁带半导体(以GaN,SiC,ZnO,金
刚石等为代表)
高频大功率、耐高温、抗辐照半导体微电子器件和电路
❖ 新型半导体,以稀磁半导体,低维半导体等为代表
迁的概率要小得多
半导体的基本能带结构
二. 半导体的带隙
3. 半导体的带隙
电子-空穴对复合发光
半导体的基本能带结构
二. 半导体的带隙
Tips
带隙是半导体重要的物理参数
导电性 器件耐压 工作温度 发光 光吸收
带隙的确定、直接带隙与间接带隙
5.1 半导体及其基本能带结构
一. 引言——半导体 二. 半导体的带隙 三. 带边有效质量
半导体物理课件:第一章 半导体中的电子状态
14
1.1 半导体的晶格结构和结合性质
4. 闪锌矿结构和混合键
与金刚石结构的区别
▪ 共价键具有一定的极性 (两类原子的电负性不 同),因此晶体不同晶面 的性质不同。
▪ 不同双原子复式晶格。
常见闪锌矿结构半导体材料 ▪ Ⅲ-Ⅴ族化合物 ▪ 部分Ⅱ-Ⅵ族化合物,如硒化汞,碲化汞等半金属材料。
2024/1/4
量子力学认为微观粒子(如电子)的运动须用波 函数来描述,经典意义上的轨道实质上是电子出 现几率最大的地方。电子的状态可用四个量子数 表示。 (主量子数、角量子数、磁量子数、自旋量子数)
▪ 能级存在简并
2024/1/4
19
1.2 半导体中的电子状态和能带
▪ 电子共有化运动
原子中的电子在原子核的势场和其它电子的作用 下,分列在不同的能级上,形成所谓电子壳层 不同支壳层的电子分别用 1s;2s,2p;3s,3p,3d;4s…等符号表示,每一壳层对 应于确定的能量。
29
1.2 半导体中的电子状态和能带
▪ 金刚石结构的第一布里渊区是一个十四面体。
2024/1/4
30
1.2 半导体中的电子状态和能带
3. 导体、半导体、绝缘体的能带
能带产生的原因:
▪ 定性理论(物理概念):晶体中原子之间的相 互作用,使能级分裂形成能带。
▪ 定量理论(量子力学计算):电子在周期场中 运动,其能量不连续形成能带。
•结果每个二度简并的能级都分裂为二个彼此相距 很近的能级;两个原子靠得越近,分裂得越厉害。
2024/1/4
22
1.2 半导体中的电子状态和能带
▪ 内壳层的电子,轨道交叠少,共有化运动弱,可忽略 ▪ 外层的价电子,轨道交叠多,共有化运动强,能级分
半导体能带结构
半导体能带结构
半导体能带结构是指半导体材料中电子能级的分布情况。
半导体材料具有两个
能带,分别是价带和导带。
价带是最高填充电子能级的能带,而导带是较高的未填充电子能级的能带。
在晶体中,能带结构是由周期性的离子势场产生的。
通过经典物理学和量子力
学的研究,我们了解到半导体能带结构的基本特征。
半导体的价带中的电子是紧密排列的,处于低能态。
而导带中的电子具有更高
的能量,能够自由移动。
如果能带之间的能量差很大,例如在绝缘体中,电子无法轻易从价带跃迁到导带,因此几乎没有导电性能。
但在半导体中,导带和价带之间的能量差较小,因此电子可以通过吸收能量或热激发从价带跃迁到导带,形成电流,这就是半导体的导电特性。
半导体的能带结构也决定了其光学和电学性质。
当电子从价带跃迁到导带时,
会产生或吸收特定能量的光子,使得半导体具有各种颜色的发光能力。
此外,半导体中存在着空穴,即电子离开的空位,它们也可以在能带结构中移动,并参与电导。
值得注意的是,半导体材料的能带结构可以通过掺杂和应力等方法进行调控。
通过引入特定的杂质,可以改变能带结构,增加或减少导电性能。
这种调制能带结构的方法使得半导体技术在电子学和光电子学等领域有了广泛的应用。
例如,半导体器件如晶体管、光伏电池和发光二极管等都是基于半导体能带结构的原理设计和工作的。
总结来说,半导体能带结构是半导体材料中电子能级的分布情况,决定了半导
体的导电、光学和电学性质。
通过调控能带结构,我们能够实现对半导体材料性能的控制和优化,进而推动半导体技术的发展。
半导体物理第一章
➢ 化学键:构成晶体的结合力 共价键:由同种晶体构成的元素半导体,其原子间无负电 性差,它们通过共用两个自旋相反而配对的价电 子结合在一起。
半导体物理第一章
7
➢ 金刚石型结构特点: 每个原子周围都有四个最近邻的原子,组成一个正四面
体结构。这四个原子分别处在正四面体的顶角上,任一顶角 上的原子和中心原子各贡献一个价电子为该两个原子所共 有,组成四个共价键,它们之间具有相同的夹角(键角) 109°28′。
z
z
B
C
A D
y
x
Hale Waihona Puke 半导体物理第一章x5
➢面心立方晶格:除了八个角落的原子外,另外还有六个原子在 六个面的中心。在此结构中,每个原子有12个最邻近原子。 很多元素具有面心立方结构,包括铝(aluminum)、铜(copper) 、金(gold)及铂(platinum)。
z
半导体物理第一章
6
1.1 半导体的晶体结构和结合性质
此位移四分之一空间对角线长度套构而成。每个原子被四个 异族原子所包围。例如,如果角顶上和面心上的原子是Ⅲ族 原子,则晶胞内部四个原子就是Ⅴ族原子,反之亦然。角顶 上八个原子和面心上六个原子可以认为共有四个原子而隶属 于某个晶胞,因而每一晶胞中有四 个Ⅲ族原子和四个Ⅴ族原子,共有 八个原子。它们也是依靠共价键结 合,但有一定的离子键成分。
➢ 晶格常数 Si:a=5.65754Å Ge:a=5.43089Å
半导体物理第一章
9
1.1.2 闪锌矿型结构和混合键(GaAs)
➢ 化学键:共价键+离子键
➢ 闪锌矿型结构特点: 与金刚石型结构类似,不同的是该结构由两类不同的
半导体的能带结构(PPT课件)
48
证明截距的倒数之比为整数之比
已知一族晶面必包含所有的格点 ,因此在三个基矢 末端的格点必分别落在该族的不同的晶面上。
设a1 、 a2、a3的末端上的格点分别在离原点的距离为 h1d、h2d、h3d的晶面上,其中h1、h2、h3都是整数, 三个晶面分别有
可以证明 :h1、h2、h3三个数互质,称它们为该晶面族 的面指数,记以( h1h2h3)。
即把晶面在座标轴上的截距的倒数的比简约为互质的整 数比,所得的互质整数就是面指数。
几何意义:在基矢的两端各有一个晶面通过,且这两个
晶面为同族晶面,在二者之间存在hn个晶面,所以最靠
近原点的晶面(=1)在坐标轴上的截距为a1/h1、a2/h2、
a1•n=h1d ,
a2•n=h2d ,
a3•n=h3d
n是这一族晶面公共法线的单位矢量,于是
a1cos(a1,n)=h1d
a2cos(a2,n)=h2d
a3cos(a3,n)=h3d
49
cos(a1,n): cos(a2,n) :cos(a3,n)=h1:h2:h3 结论: 晶面族的法线与三个基矢的夹角的余弦之比等 于三个整数之比。
• 晶体的基元中包含两种或两种以上原子,每个基 元中,相应的同种原子各构成和结点相同网格---子晶格(或亚晶格)。
• 复式格子(或晶体格子)是由所有相同结构子晶 格相互位移套构形成。
20
二、晶格的实例
1. 简单立方晶格 2. 体心立方晶格 3. 原子球最紧密排列的两种方式
晶体格子(简称晶格):晶体中原子排列的具体形 式。
46
2. 密勒指数( 晶面方向的表示方法)
《半导体物理》PPT课件
半导体物理 Semiconductor Physics
若B沿[1 1 1]方向, 则与上述六个<100>
方2向的方2 向 余2弦相1/等3:
对于每个旋转椭球来
讲:
mn*
mt mt ml
mt 2 mt 2 ml 2
mt
3ml 2mt ml
大小相等,对应的回旋频率大小相同,因此只有一个吸收峰
半导体物理 Semiconductor Physics
上式代表的等能面不再是球面(只有当 C为零时是球面),而是扭曲的球面, 重空穴带的扭曲比轻空穴带的扭曲更为 显著。
半导体物理 Semiconductor Physics
两个带下面的第三个能带,由于自旋-轨道 耦合作用,使能量降低了Δ,与以上两个能 带分开,具有球形等能面。其能量表示式
半导体物理 Semiconductor Physics
在Si中,其它能 谷比<100>谷高 的多
半导体物理 Semiconductor Physics
硅和锗的价带结构
半导体物理 Semiconductor Physics
硅锗的价带结构是比较复杂的。价带 顶位于k=0。在价带顶附近有三个带, 其中两个最高的带在k=0处简并,分别 对应于重空穴带和轻空穴带(曲率较 大的为轻空穴带),下面还有一个带, 是由于自旋-轨道耦合分裂出来的。
半导体物理 Semiconductor Physics
若B沿[1 0 0]方向,则:
对于[1 0 0] 轴上的两个 椭球来讲,其
2 2 0 2 1
mn*
mt mt ml
mt 2 mt 2 ml 2
mt
半导体物理 Semiconductor Physics
1.6 回旋共振及常见半导体的能带结构 -1
1.6 回旋共振及常见半导体的能带结构1. k 空间的等能面22()(0)2nkE k E m *=+ 导带底E C 在k=0处,导带底附近一维情况: 2222()(0)()2x y z nE k E k k k m →*-=++ 三维情况:当E (k )一定时,对应于多组不同的(k x , k y , k z ),将这些不同的(k x , k y , k z )连接起来构成一个封闭面,其上能值均相等,称为等能面。
等能面为球面载流子的有效质量是各向同性时,等能面为球面1) 能带极值在k =02222y x z ()(0)()2xyzk kk E k E m m m ***=+++ 椭球等能面设导带极小值Ec 位于k=0处,取椭球主轴为坐标系,则导带底附近能带可表示为:有效质量是各向异性时,等能面为椭球面。
0222*11=⎪⎪⎭⎫⎝⎛∂∂=k x x k E m 0222*11=⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛∂∂=k y y k Em 0222*11=⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛∂∂=k y y k Em ***,,zy x m m m 分别代表沿椭球三个主轴的有效质量:旋转椭球等能面tyxm m m ==**lm m =*z坐标原点置于旋转椭球中心,并使k z 轴与旋转椭球长轴重合。
横向有效质量;2222()(0)()2x y zt lk k k E k E m m +=++ 则等能面可表示为:纵向有效质量;y x k k ,沿 轴的有效质量相等:沿轴的有效质量:z k2) 能带极值不在k =022220000()()()()()[]2y y x x z z x y zk k k k k k E k E k m m m ***---=+++ 等能面,往往为椭球或旋转椭球,表达式为:因晶体具有某种对称性,K 空间的能量极值点将不止一个,等能面也不止一个。
能带结构有效质量回旋共振实验①②2. 回旋共振*±=mqB c ω 将一块半导体样品置于均匀恒定的磁场中,则导带电子和价带空穴绕磁场作螺旋运动,可得到转动角频率:当时,引起共振吸收再施加一个交变电磁场,其电分量在垂直于磁场的平面内。
能带结构
,从而得到
导带底的能带结构。
Ec
0,0
0.85 X
001方向
k
硅的导带底
§ 6-6 硅和锗的能带结构
第六章
半导体中的电子状态
根据锗的回旋共振实验结果,同样可以推导得到锗的导带极小值位
于
111
方向上布里渊区边界处
E k
Ec
0,0
锗的导带底
§ 6-6 硅和锗的能带结构
§ 6-6
硅和锗的能带结构
第六章
半导体中的电子状态
价带极值均位于 k 0
平均序数较低的四种化合物: AlSb,AlAs,GaP,AlP 导带极小值位于<1 0 0>方向 平均序数较高的五种化合物: 为间接禁带
InSb,InAs,GaAs,GaSb,InP
导带极小值位于 k 0
为直接禁带
导带电子有效质量大致随平均原子序数的增加而减小
§6-7 Ⅲ-Ⅳ族化合物半导体的能带结构
第六章
半导体中的电子状态
1.InSb能带结构
直接禁带,极值均近似位于 导带底附近
*
k 0
m n 很小 随E( k )增加,m*n 迅速增加
分布呈非抛物线型 价带中 重空穴中心略偏 k 0 各向异性 轻空穴中心位于 k 0 各向同性
也可以观察到两个吸收峰
0 1 0
100
110
4
B 沿任意方向 cos 2有3种可能值
能观察到三个吸收峰
§ 6-6
硅和锗的能带结构
第六章
半导体中的电子状态
根据试验测得的有效质量,可计算得到半导体硅的横向
质量和纵向质量
第一章能带理论
激 发 后:
空的量子态( 空穴)
价带电子
激 发 前:
导带电子
空穴 将价带电子的导电作用等效为带正电荷的准粒子的导电作用。
空穴的主要特征: A、荷正电:+q; B、空穴浓度表示为p(电子浓度表示为n); C、EP=-En D、mP*=-mn*
1.导体的能带
三、 导体、绝缘体和半导体的能带
2.绝缘体和半导体的能带
6#C电子组态是:1s22s22p2
2p
2s
1s
(1)满带中的电子不导电 I(k)=-I(-k) 即是说,+k态和-k态的电子电流互相抵消。 (2)对部分填充的能带,将产生宏观电流。
Eg
电子能量
Ec
自旋量子数 ms:±1/2,产生能级精细结构
2.晶体中的电子
(1)电子的共有化运动
在晶体中,电子由一个原子转移到相邻的原子去,因而,电子将可以在整个晶体中运动。
2p
2p
2p
2p
3s
3s
3s
3s
●
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
电子共有化运动示意图
(2)能级分裂
a. s 能级
设有A、B两个原子
孤立时, 波函数(描述微观粒子的状态)为A和B,不重叠.
第一章 半导体中的电子状态
半导体的晶格结构和结合性质 半导体中电子状态和能带 半导体中电子的运动和有效质量 半导体中载流子的产生及导电机构 半导体的能带结构
1、金刚石型结构和共价键
化学键: 构成晶体的结合力. 共价键: 由同种晶体组成的元素半导体,其 原子间无电负性差,它们通过共用 一对自旋相反而配对的价电子结 合在一起.
1.6 硅和锗的能带结构(雨课堂课件)
认识能带结构的意义 能带结构决定了晶体的多种性质,如电学性质和光学性质。
直接带隙
间接带隙
间接带隙半导体中电子跃迁时,极大的几 率将能量释放给晶格,转化为声子,变成 热能释放掉。而直接带隙中的电子跃迁前 后只有能量变化,而无位置变化,于是便 有更大的几率将能量以光子的形式释放出 来。因此在制备光学器件中,通常选用直 接带隙半导体,而不是间接带隙半导体。
硅和锗导带等能面示意图
图1-26 硅和锗的能带结构
2.硅和锗的价带结构(间接带隙半导体)
(1) 在考虑自旋-轨道耦合时,价带的E(k)~k关系如下:
E k
h2 2m0
Ak2
B2k 4
C2
k
2 x
k
2 y
k
2 y
k
2 z
k
2 z
k
2 x
1/ 2
(1-64)
Ek h2 Ak2
提交
单选题 1分
n型硅的回旋共振实验时,磁场沿[111]方向时能 观察到 ( ) 个吸收峰。
A1 B2 C3 D4
提交
单选题 1分
n型硅的回旋共振实验时,磁场沿[100]方向时能 观察到 ( ) 个吸收峰。
A1 B2 C3 D4
提交
单选题 1分
n型硅的回旋共振实验时,磁场沿[110]方向时能 观察到 ( ) 个吸收峰。
方向的夹角余弦为
cos ki 1 ,i 1,2,3
3 ki2 3
cos2 1 ,sin2 2
3
3
代入(1-58) mn* mt
ml
mt sin2 ml cos2
mn* mt
3ml 2mt ml
(1-59)
讨论:mn*
第三章7.8补充-回旋共振要点
① 若B沿[111]方向,即立方晶格体对角线方向,其与kx、 ky、kz夹角相同,即cosθ=(1/3)1/2:
m mt
ml mt sin 2θ ml cos2θ
kz
θ
m mt
3ml 2mt ml
ky kx
由ω=ωc=qB/m*,可知由于m*只有一个值,改变B 只能观察到一个吸收峰。
0 0
半导体的能带极值点不一定在k=0处,沿不同k方 向E(k)~k关系也不同,即有效质量m*各向异性。 设导带底极值点在k0处,极值为Ec,在晶体中选择 适当的三个坐标轴,沿着 kx,ky,kz 轴的导带底有 效质量分别为mx*,my*,mz*,用泰勒级数在极值 k0附近展开,略去高次项得:
0
k x k0x 1 * 2m x E Ec 2m y E Ec 2mz E Ec
2 y k0y 2
k
kz k0z 2
2
kz
2
kz
E2
E3
2
k0
E1
ky
Ec
kx
ky
等能面为椭球面,这种半导体具有各向异性。 表明沿不同方向,有效质量取值不同。
kx
B
测得两个不同的m*值,改变B可观察到两个吸收峰。
不引入新坐标 k1、k2、k3,通过坐标平移解释磁 场入射方向不同时出现为数不等的吸收峰,也即 有多个有效质量的问题。
[001] ② B沿[110]方向 ● kz [010]
●
kz
●
[100]
-
-
ky● kx
●
[010]
ky
[100]●
半导体物理学 概念 考点
1.单电子近似:假设每个电子是在周期性排列且固定不动的原子核势场及其他电子的平均势场中运动。
2.电子的共有化运动:原子组成晶体后,由于电子壳层的交叠,电子不再完全局限在某一个原子上,可以由一个原子转移到相邻的原子上去,因而,电子将可以在整个晶体中运动,称为电子的共有化运动。
3.电子在晶体内的共有化运动:电子可以从晶胞中某一点自由地运动到其他晶胞内的对应点,因而电子可以在整个晶体中运动,称为……(电子在晶体各元胞对应点出现的几率相同)4.有效质量:并不代表真正的质量,而是代表能带中电子受外力时,外力与加速度的一个比例系数5.空穴-----是一种准粒子,代表半导体近满带(价带)中的少量空态,相当于具有正的电子电荷和正的有效质量的粒子,描述了近满带中大量电子的运动行为。
6.回旋共振----半导体中的电子在恒定磁场中受洛仑兹力作用将作回旋运动,此时在半导体上再加垂直于磁场的交变磁场,当交变磁场的频率等于电子的回旋频率时,发生强烈的共振吸收现象,称为回旋共振。
7.直接带隙半导体:导带最小值(导带底)和满带最大值在k空间中同一位置。
电子要跃迁到导带上产生导电的电子和空穴(形成半满能带)只需要吸收能量。
8.间接带隙半导体:导带最小值(导带底)和满带最大值在k空间中不同位置。
形成半满能带不只需要吸收能量,还要改变动量。
9.施主杂质:特点:未电离时是中性的,称为束缚态或中性态,电离后成为正电中心,称为离化态。
作用:在纯净半导体中掺入施主杂质,杂质电离后,导带中的导电电子增多,增强了半导体的导电能力。
N型V族。
10.受主杂质:特点:未电离时是中性的,称为束缚态或中性态,电离后成为负电中心,称为受主离化态。
作用:在纯净半导体中掺入受主杂质,杂质电离后,使价带中的导电空穴增多,增强了半导体的导电能力。
P型III族。
11.深能级杂质:(重金属杂质)作用:主要是产生复合中心,减短非平衡(少数)载流子寿命;特点:一是不容易电离,对载流子浓度影响不大。
第二章 半导体的能带结构 王俊1st
E = hv = hω
其中, h 是普朗克常数,ω = 2π v 是角频率。
2.3 薛定谔方程
薛定谔方程
含时薛定谔方程的启发式导引,建立于几个假设:
(3) 1924年,路易·德布罗意提出德布罗意假说,说明所有的粒子都具有波的性质, 可以用一个波函数 Ψ 来表达。粒子的动量 p 与伴随的波函数的波长 λ 有关:
h = h 2π = hk p= λ 2π λ
其中,k = 2π
v v λ 是波数。用矢量表达,p = hk 。
2.1 引言
黑体辐射与能量量子化
1900年,Max Planck 为了改进由威廉·维恩提出的 维恩公式给出一个能够成功描述整个实验曲线的公式:
8π hv3 w (ν , T ) dv = c3
1 e
hv kT
−1
黑体吸收或发射辐射的能量必须是不连续的,即量 子化的。 辐射能量的最小单元为 E=hν(ν是频率),即普 朗克的能量量子化假说,其中 h 就是著名的Planck常数 ,最新数值为6.626×10-34 J.s 这一重要事件后来被认为是量子革命的开端,Planck为此获1918年诺贝尔物理学奖 德国物理学家 Max Planck
发射电子的速度。
2.1 引言
光电效应与光量子化
爱因斯坦光电效应方程:
hv − φ = Ek max
Albert Einstein
第2章 半导体的能带结构
2.1 引言 2.2 物质的波粒二象性 2.3 薛定谔方程 2.4 电子的连续能态与分立能态 2.5 晶体的能带 2.6 半导体的能带结构
2. 2 物质的波粒二象性
德国物理学家 Wilhelm Wien
2.1 引言
黑体辐射与能量量子化
半导体物理课件回旋共振
m*x
d vx dt
qB(vy
vz )
0
m*y
d vy dt
q B(vz
vx
)
0
m*z
d vz dt
qB(vx
vy )
0
• 电子作周期运动:解为 vx vx ' e jct
vy vy ' e jct
• 代入方程有:
vz vz ' e jct
i
cvx
'
qB mx'
vy
m*xm*y m*z
此时在垂直于磁场方向加上频率为 的交 变电场,当 = c时,交变电场的能量 将被电子共振吸收,可以观测到吸收峰。
➢回旋共振法的实验要求
实际晶体中的电子是被不断散射的,为了得到清 晰的吸收峰,要求电子有较长的平均自由运动 时间,因此:高纯样品、低温测试(液氦)
• 试验时,通常固定交变电磁场频率,交变电磁 场的频率很高(微波、红外光范围),改变磁 感应强度以观测吸收现象。
而半导体的导电性来源于导带底的电子和价带顶的空穴,也就 是说半导体的导电性是同导带的底部、价带的顶部的E-k 关系 密切相关的。
因此,对于研究半导体的导电性而言,通常关心的是价带顶和 导带底的能带结构,即带边的E-k 关系。
• 由于晶体的各向异性,E(k)-k关系沿不同k方向不一 定相同。即,不同k方向,电子有效质量不同。
v|| v cos
• 运动轨迹为一螺旋线。若回旋频率为ωc, 则
v rc a v2 / r
• 若等能面为球面,根据 a f
c
qB mn*
mn*
,可得
我们利用回旋共振实验来测定许多半导体材料导带 底和价带顶附近的有效质量。
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1.6 回旋共振及
常见半导体的能带结构
1. k 空间的等能面
22
()(0)2n
k
E k E m *
=+ 导带底E C 在k=0处,导带底附近
一维情况: 2
222
()(0)()2x y z n
E k E k k k m →
*
-=++ 三维情况:
当E (k )一定时,对应于多组不同的(k x , k y , k z ),将这些不同的(k x , k y , k z )连接起来构成一个封闭面,其上能值均相等,称为等能面。
等能面为球面
载流子的有效质量是各向同性时,等能面为球面
1) 能带极值在k =0
2222
y x z ()(0)()
2x
y
z
k k
k E k E m m m ***=+++ 椭球等能面
设导带极小值Ec 位于k=0处,取椭球主轴为坐标系,则导带底附近能带可表示为:
有效质量是各向异性时,等能面为椭球面。
0
222*11=⎪⎪⎭⎫
⎝⎛∂∂=k x x k E m 0
222*11=⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛∂∂=k y y k E
m 0
222*11=⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛∂∂=k y y k E
m ***
,,z
y x m m m 分别代表沿椭球三个主轴的有效质量:
旋转椭球等能面
t
y
x
m m m ==**
l
m m =*z
坐标原点置于旋转椭球中心,并使k z 轴与旋转椭球长轴重合。
横向有效质量;2222()(0)()
2x y z
t l
k k k E k E m m +=++ 则等能面可表示为:
纵向有效质量;
y x k k ,沿 轴的有效质量相等:
沿
轴的有效质量:z k
2) 能带极值不在k =0
22220
000()()()()()[]2y y x x z z x y z
k k k k k k E k E k m m m ***
---=+++ 等能面,往往为椭球或旋转椭球,表达式为:
因晶体具有某种对称性,K 空间的能量极值点将
不止一个,等能面也不止一个。
能带结构
有效质量
回旋共振实验
①②
2. 回旋共振
*
±=m
qB c ω 将一块半导体样品置于均匀恒定的磁场中,则导带电子和价带空穴绕磁场作螺旋运动,可得到转动角频率:
当
时,引起共振吸收再施加一个交变电磁场,其电分量在垂直于磁场的平面内。
c r ωω=Ø如何确定 ?
c ω1) 基本原理
n 等能面是球面时(能带极值在k =0处),有效质量各向同性,只能观察到一个吸收峰,且其位置与磁场的方向无关。
n 等能面为椭球面时(能带极值不在k =0处),吸收峰的数量与磁场的方向有关。
B γβα,,B k j i B )(γβα++=k j i ,,设
相对于椭球主轴的方向余弦分别为 , 分别为沿主轴方向的单位矢量,则:2
2
2
γ
βα*******++=
z
y
x
z
y
x
n
m m m m
m m m 其中
*
=n
c m qB
ω可解得电子的回旋共振频率:
由于晶体的对称性,晶体在k 空间将具有N 个等价的椭球等能面;当磁场的方向变化时,磁场与这N 个等价椭球的相对取向也会发生变
化,从而引起吸收峰的数目随之改变。
可以根据回旋共振实验,确定晶体能带极值的位置。
2)回旋共振实验与能带结构
Ge的导带极小值(能谷)位于[111]方向及其等价方向上。
共有8个等价极值点(8个等价的旋转椭球面),在简约布里渊区内共有四个有效等价椭球面(或4
个有效等价能谷)。
根据回旋共振实验确定Ge的导带极值:
根据回旋共振实验确定Si的导带极值:
Si的导带极小值在[100]方向及其对
称方向上,共有六个等价能谷。
1) IV 族元素半导体——Ge 、Si
Ø间接禁带(带隙)半导体Ø多能谷
,
3. 常见半导体的能带结构
GaAs 的价带顶和导带底都位于k=0
处,为直接禁带(带隙)半导体。
2) III-V 族化合物半导体的能带结构
GaAs (砷化镓)
导带极小值位于k=0处,等能面是球面;
在[111]方向,[100]方向还有极小值。
砷化镓的价带也包含一个重空穴带V 1,
一个轻空穴带V 2,一个由于自旋-轨道
耦合分裂出来的能带V 3。
① 四族元素混合晶体
Ge 1-x Si x
混合晶体的禁带宽度,晶格常数随
x 变化。
3) 混合晶体的能带结构
Ø混合晶体的重要性质——
混合晶体的能带结构随合金成分(即混晶比x )的变化而连续改变。
III-V 族化合物混合晶体
三元——GaAs1-x P x
在室温下,
当x<0.49时,混合晶体是类GaAs的;
当x>0.49时,混合晶体是类GaP 的。
发光器件
GaAs1-x P x发光二极管
x=0.38~0.40时,E g=1.84~1.94 eV
电-空复合发出 640 ~ 680 nm 红光
一般把E g ≧2.3 eV 的半导体材料归类为宽禁带半导体材料。
宽禁带半导体具有导热率高,介电常数低,电子漂移饱和速度高等特点:
Ø高频,大功率,高温,强辐射和高集成度的电子器件;Ø蓝光、绿光、紫外光的发光器件和光探测器件。
SiC ,金刚石,II 族氧化物,II 族硫化物,III 族氧化物,III 族氮化物及其合金等。
4) 宽禁带半导体。