无尘车间培训教材 ppt课件
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《无尘车间培训》课件
无尘车间的使用和管理
无尘车间的使用说明
指导使用人员正确使用无尘车间 设备和操作工艺，以确保产品质 和污染控 制措施，以保持无尘环境。
管理和维护无尘车间的标 准和规范
说明无尘车间管理和维护的标准 和规范，以确保符合相关行业要 求。
结束语
1 总结无尘车间培训的
《无尘车间培训》PPT课 件
无尘车间培训是为了向大家介绍无尘车间的背景、原则、建造过程、设备维 护和使用管理。通过本课件，您将深入了解无尘车间的各个方面。
介绍无尘车间
• 什么是无尘车间 • 无尘车间的背景和优势 • 无尘车间的应用领域
无尘车间的设计原则
无尘车间的设计原则
了解无尘车间的基本设计原则和要求，确保设计满足无尘环境的标准。
空气动力学的基本原理
探讨空气动力学的基本原理，如空气循环、过滤和排放。
空气过滤器的种类及其选择
介绍不同类型的空气过滤器及其在无尘车间设计中的选择和应用。
无尘车间的建造过程
1
无尘车间的施工流程
解释无尘车间建造的流程，包括准备、施工、安装和验收等关键步骤。
2
无尘车间的装修和材料选择
讨论无尘车间的装修和材料选择，以确保符合无尘环境的要求。
3
常见的施工问题和解决方案
列举常见的施工问题，并提供相应的解决方案和应对策略。
无尘车间的设备维护
1 设备维护的重要性
强调维护无尘车间设备的重要性，以确保其正常运行和长期使用。
2 设备维护的注意事项
提供设备维护时需要注意的事项，如定期保养、清洁和更换部件等。
3 设备维护的常见故障及其解决方案
介绍设备维护过程中常见的故障及其解决方案，以提供故障排除的指导。
重点内容
净化厂房无尘室净化车间净化工程培训教材工程培训PPT教案
净化间常见形式之六
特点： 1、双技术下夹层；FFU+CLEAN BOOTH+SMIF方式 2、设备主体与辅助设备垂直放置 3、作业层是大开间、增加设备布局变 化的灵 活性
深圳市中净环球净化科技有限公司
第28页/共49页
净化系统基本流程图
初水
化
中高
效喷
学
效效
过淋
过
过过
滤
滤
滤滤
人 身 净 化
超
中
高
效
237
102
35
8
10000 2370 1020
352
83
100000 23700 10200 3520
832
29
1000000 237000 102000 35200 8320
293
352000 83200 2930
3520000 832000 29300
35200000 8320000 293000
按照气流组织 单向流、非单向流
按技术下夹层 无下技术夹层、单技术夹层、双技术夹层 按空气搬送风机的布置 完全分散（ＦＦＵ）、相对集中（ＦＭＵ）、高度集中 按照设备布局方式 港湾式、大开间式（FFU+CLEAN BOOTH+SMIF）
深圳市中净环球净化科技有限公司
第22页/共49页
净化间常见形式之一
≥0.5μ;η≥99.99 ≥0.5μ;η≥99.99 ≤220
钠焰法效率
高效C
≥0.5μ;η≥99.999 ≥0.5μ;η≥99.999 ≤250
钠焰法效率
高效D
≥0.1μ;η≥99.999 ≥0.1μ;η≥99.999 ≤280
计数效率
《无尘车间培训教材》课件
详细描述
在电子行业，无尘车间主要用于集成电路、 平板显示器、太阳能电池等产品的生产和制 造；在医药行业，无尘车间主要用于药品生 产、手术室、实验室等场合，以确保生产过 程和实验结果的准确性；在精密机械行业， 无尘车间主要用于高精度零件的加工和制造
，如光学零件、航空航天零件等。
无尘车间的环境要求
总结词
车间布局
根据生产工艺流程和安全、环保 等要求，合理规划车间的布局， 确保人流、物流的顺畅。
设备选型
根据生产需求，选择适合的设备 型号和规格，确保设备的性能和 稳定性。
空气净化系统设计
空气过滤方案
根据车间的空气质量要求，选择合适 的空气过滤器，如HEPA、ULPA等， 确保空气的洁净度。
气流组织
设计合理的气流组织形式，如乱流、 层流等，确保空气的均匀流动和洁净 度。
考核标准与方式
闭卷考试
针对理论知识的测试。
实操评估
在模拟无尘车间环境中，对学员的操作和维护技 能进行评估。
综合评价
结合学员的学习态度、安全意识等进行综合评价 。
培训效果评估与改进
评估方法 通过考核成绩评估学员的学习效果。
通过学员反馈了解培训的优缺点。
培训效果评估与改进
通过实际工作表现评估培训效果。 改进措施
人员与物流管理
人员进出管理
制定严格的人员进出管理制度，控制人员数量和进出频次，减少污染源的进入 。
物流管理
合理规划物流路线，确保物料、半成品、成品的传递过程中减少对空气的污染 。
03
无尘车间的操作与维护
操作规程与注意事项
操作规程
在无尘车间内操作时，需遵循一定的规程，包括进入车间的着装要求、设备操作 步骤、安全操作规程等。
《无尘车间培训教材》课件
• 对空气中的微生物进行 定期检测，及时进行清 洁和消毒。
静电控制
• 生产设备需要装备静电 消散装置，避免静电干 扰对产品质量的影响。
• 减轻操作人员和生产设 备产生静电的条件，避 免静电的累积。
• 及时更换和维护静电消 散装置，确保其运行稳 定和可靠。
结尾：问题答疑
本节将对无尘车间的相关问题进行答疑解惑。如遇到其他问题可咨询工作人员。
《无尘车间培训教材》 PPT课件
本课程将深入介绍无尘车间，为学员带来丰富的知识和实践操作体验。
车间概述
1 车间定义
无尘车间是通过严格的环境控制和人员行为规范，实现对生产过程无尘污染的控制。
2 车间特点
无尘车间具有温度、湿度和洁净度等各项参数高度可控，能够确保生产过程的稳定性和 一致性。
3 车间应用
关键参数控制要点
温度和湿度
• 车间温度和湿度需要保 持在一定范围内，避免 空气中的尘埃和微生物
• 扩减少散生。产工艺中的水分， 减轻湿度对生产的影响。
• 提高对温度和湿度的监 测频率，及时调整环境 参数。
空气洁净度
• 车间需要装备高效的空 气过滤器，减少空气中 的微生物和颗粒物。
• 提高车间内通风系统的 效率，保持新风的流通 和更替。
生产流程图与说明
1
步骤1 - 准备工作
对车间进行清洁消毒，准备生产所需材料和设备。
2
步骤2 - 生产操作
依照生产工艺要求，进行生产操作和参数控制。
3
步骤3 - 产品检测
对生产过程进行抽样检测，确保产品的质量符合要求。
4
步骤4 - 清理整理
对车间进行清理整理，准备下一轮生产工作。
清洁操作规范
操作区域
静电控制
• 生产设备需要装备静电 消散装置，避免静电干 扰对产品质量的影响。
• 减轻操作人员和生产设 备产生静电的条件，避 免静电的累积。
• 及时更换和维护静电消 散装置，确保其运行稳 定和可靠。
结尾：问题答疑
本节将对无尘车间的相关问题进行答疑解惑。如遇到其他问题可咨询工作人员。
《无尘车间培训教材》 PPT课件
本课程将深入介绍无尘车间，为学员带来丰富的知识和实践操作体验。
车间概述
1 车间定义
无尘车间是通过严格的环境控制和人员行为规范，实现对生产过程无尘污染的控制。
2 车间特点
无尘车间具有温度、湿度和洁净度等各项参数高度可控，能够确保生产过程的稳定性和 一致性。
3 车间应用
关键参数控制要点
温度和湿度
• 车间温度和湿度需要保 持在一定范围内，避免 空气中的尘埃和微生物
• 扩减少散生。产工艺中的水分， 减轻湿度对生产的影响。
• 提高对温度和湿度的监 测频率，及时调整环境 参数。
空气洁净度
• 车间需要装备高效的空 气过滤器，减少空气中 的微生物和颗粒物。
• 提高车间内通风系统的 效率，保持新风的流通 和更替。
生产流程图与说明
1
步骤1 - 准备工作
对车间进行清洁消毒，准备生产所需材料和设备。
2
步骤2 - 生产操作
依照生产工艺要求，进行生产操作和参数控制。
3
步骤3 - 产品检测
对生产过程进行抽样检测，确保产品的质量符合要求。
4
步骤4 - 清理整理
对车间进行清理整理，准备下一轮生产工作。
清洁操作规范
操作区域
洁净车间安全技术知识培训课件(PPT)
3、若干洁净车间都通过风管彼此串通，当火灾发 生时，特别是火势初起未被发现而又继续送风的 情况下，风管成为烟火迅速外窜、殃及其余车间 的重要通道；
4、室内装修了一些高分子合成材料，这些 材料在燃烧时产生浓烟、散发毒气，有的 燃烧速度极快；
5、某些生产过程中使用易燃易爆物质，火 灾危险性特高；
6、禁止吸烟和使用明火。如确实需要动明 火，要经过批准，事先做好防范措施；
7、严格遵守操作规程，注意力集中，不盲 目作业，不违章使用危险化学品；
8、在开启易燃易爆的液体容器时，使用铜 制或其他专用工具，避免产生火花；
9、洁净车间一定要注意通风，防止有毒有害物质 在空气中集聚，避免遇火花时爆炸；
17、可燃气体报警装置和事故排风装置应联 锁；
18、通讯联络要有对讲机、闭路电视。 19、机房、站房、生产区应设火灾报警探测
器，宜设手动火灾报警探测器； 20、消防值班室或控制室（洁净车间外）应
设置消防专用的电话总机
21、消防控制设备及线路连接可靠，进行消防联 动控制；
22、洁净车间易燃、易爆气体的储存、使用
1、一切试剂药品要有标签； 2、启用易挥发试剂瓶盖时，不可使瓶口朝着自己
或他人； 3、化学品使用时一定用专用容器盛装，不能用可
乐瓶、矿泉水瓶等饮料瓶盛装； 4、以气味鉴别试剂时，应将试剂瓶远离鼻子。以
手轻轻扇动，稍闻气味即可，严禁以鼻子接近瓶 口鉴别；
5、倾倒化学试剂时，标签要正对手心，瓶 盖要反立桌子上，避免污染标签和试剂；
6、严禁试剂入口，不得用嘴进行任何化学 操作，严禁食具与仪器相互代用，做完实 验后，要仔细洗手；
7、某些有毒气体和蒸气，如氮的氧化物、 氯、硫化氢等，必须在抽风柜内进行操作 处理，头部不得伸进抽风柜内；
4、室内装修了一些高分子合成材料，这些 材料在燃烧时产生浓烟、散发毒气，有的 燃烧速度极快；
5、某些生产过程中使用易燃易爆物质，火 灾危险性特高；
6、禁止吸烟和使用明火。如确实需要动明 火，要经过批准，事先做好防范措施；
7、严格遵守操作规程，注意力集中，不盲 目作业，不违章使用危险化学品；
8、在开启易燃易爆的液体容器时，使用铜 制或其他专用工具，避免产生火花；
9、洁净车间一定要注意通风，防止有毒有害物质 在空气中集聚，避免遇火花时爆炸；
17、可燃气体报警装置和事故排风装置应联 锁；
18、通讯联络要有对讲机、闭路电视。 19、机房、站房、生产区应设火灾报警探测
器，宜设手动火灾报警探测器； 20、消防值班室或控制室（洁净车间外）应
设置消防专用的电话总机
21、消防控制设备及线路连接可靠，进行消防联 动控制；
22、洁净车间易燃、易爆气体的储存、使用
1、一切试剂药品要有标签； 2、启用易挥发试剂瓶盖时，不可使瓶口朝着自己
或他人； 3、化学品使用时一定用专用容器盛装，不能用可
乐瓶、矿泉水瓶等饮料瓶盛装； 4、以气味鉴别试剂时，应将试剂瓶远离鼻子。以
手轻轻扇动，稍闻气味即可，严禁以鼻子接近瓶 口鉴别；
5、倾倒化学试剂时，标签要正对手心，瓶 盖要反立桌子上，避免污染标签和试剂；
6、严禁试剂入口，不得用嘴进行任何化学 操作，严禁食具与仪器相互代用，做完实 验后，要仔细洗手；
7、某些有毒气体和蒸气，如氮的氧化物、 氯、硫化氢等，必须在抽风柜内进行操作 处理，头部不得伸进抽风柜内；
无尘室管理培训课件(ppt 40张)
1
目录
无尘室管理规范图示
产线发现的问题 无尘室带入物品规范
11 C, Suchun Industrial Square, Suzhou Industrial Park, Suzhou 215126, China Tel: +86 512 8765 6622 Fax: +86 512 87656633 Email: info@ Web:
10
要点：化妆与指甲油的挥发与 脱落物是污染源。
要点：注意产品上部可能的动 作带来的影响。
禁止浓妆及涂指甲油，这是洁净 的大敌。
打开料盒盖，手和腕部要避免在 产品的正上方，应从侧面打开。 11
11 C, Suchun Industrial Square, Suzhou Industrial Park, Suzhou 215126, China Tel: +86 512 8765 6622 Fax: +86 512 87656633 Email: info@ Web:
要点：关注与产品直接接触物 品是否会受污染。
产品料盒不能直接放在地板上。
禁止在净化间内大量堆放净化纸， 大量堆积产生尘埃。
11 C, Suchun Industrial Square, Suzhou Industrial Park, Suzhou 215126, China Tel: +86 512 8765 6622 Fax: +86 512 87656633 Email: info@ Web:
4
要点：透明胶袋尽量不用，粘 的地方会变脏。
减少使用透明胶带。使用后的透明 胶带成为灰尘源，应该不用.
禁止使用有破损的料盒、纸张夹等 。破损部位是发尘源。 5
相关主题
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FFU
垂直单方向流方式
层流式空气气流运动成一均匀直线形，空气过
滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回
风，此型式适用于洁净室等级需求较高之环境
使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其
型式可分为二种：
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹
出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向
排出室外，一般在下流侧污染较严重。
超高效空气过滤器 ：在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm 粒子的捕集效率在
99.999%以上及气流阻力在280Pa 以下的空气过滤器。
PPT课件
4
洁净度等级标准
国家标准GB50073-2001
式中 ：Cn—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3)。
Cn 是以四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数。
等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此
型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予
以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质。
洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.
维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自
动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至
100,000级。
优点：构造简单、系统建造成本低，洁
净室扩充比较容易
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间
飘浮不易排出，易污染制程产品。另外
若系统停止运转再激活，欲需达到设定
要求之洁净度，往往须耗时相当长一段
时间。
PPT课件
9
适用洁净等级 1,000-100,000级
乱流式典型结构形式
PPT课件
10
2.层流式
100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔
离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省
能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。
药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级
10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的
洁净度等级提高为10~1000级以上。
但目前半导体行业中普遍采用的均为千级（6级）或万级（7级）， 只有局部区域的高自动化作业才要求百级（5级）甚至更高。
PPT课件
6
感性认知
一般微粒粒径对比
0.3μm 微尘粒径
肉眼可视 (5μm)
人类头发 (15μm)
PPT课件
7
感性认知
一般自然界气体等级 外大气层
1,000
大气层
10,000
田园地带 街市区
100,000
工业地带
1,000,000
10,000,0(按形式）
1.乱流式
非单方向流方式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气
过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室
两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非
直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状
态。此型式适用于洁净室等级1,000-
四、洁净室人员管理
1、洁净室最主要的污染源 发尘源及量
人的污染--发菌量
2、洁净室人员管理规定
PPT课件
2
洁净室之定义
洁净室(Clean Room),也称为无尘室。 洁净室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、
细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力、 气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计需 求范围内，而给予特别设计的房间。亦即不论外面空气条 件如何变化，其室内均能具有维持所设定的洁净度、温湿 度及压力等生产所需环境因素性能的特性。
气闸室：设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置 的缓冲间。
风淋室：气闸室的一种，通过安装风机、过滤网及控制系统等对入室人员进 行周身吹扫通道，它是减少外来污染的有效途径之一。
洁净工作服 ：为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的 洁净服装。
高效空气过滤器 HEPA ：在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm 粒子的捕集 效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa 以下的空气过滤器。
因此，洁净室是保证诸如医药、半导体、太阳能电池 板等对环境要求较高之行业进行批量生产所必备之条件要
求。
PPT课件
3
相关术语
悬浮微粒 ：一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，其粒径尺寸范围约在 0.1～5μm 之间。
洁净度 ：用以表征单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少，是区 分空间洁净程度的标准。
花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻
烦。
PPT课件
11
适用洁净等级 1-100级
层流式典型结构形式
PPT课件
12
3.复合式
混流方式
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可
提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过
滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度
PPT课件
13
适用洁净等级 10-100000级并装
复合式典型结构形式
PPT课件
14
洁净室设计基础
气流组织型式及换气次数
空气洁净度
100级
10000级
100000级 大于100000 级
气流流型 垂直单向流 水平单向流 非单向流
无尘车间培训教材
PPT课件
1
一、洁净室基础知识
1.洁净室定义 2.相关术语 3.洁净等级标准 4.感性认知
二、洁净室设计简介
1、洁净室分类（形式） 2、洁净室设计基础
气流组织型式及换气次数 滤网过滤流程 送风量及FFU数量计算 滤网寿命 温湿度控制
正压
摘要
三、洁净室管控手段
1.监测采样 2.制定监测表
优点：构造简单，运转后短时间内即可达到要
求，稳定运转。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩
充。
(2)垂直层流式：空气由上往下吹，可得较高之
洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可
快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳
定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天
N—洁净度等级，数字不超出9，洁净度等级整数之间的中间
数可以按0.1 为最小允许递增量。
D—要PP求T的课粒件径(μm)。 0.1—常数，其量纲为μm。
5
美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
1m3=35.3ft3。
对照我国标准及美国标准可以看出，我国的3级标准与美国的1级标 准相当。从而可以看出随着半导体行业从um量级向nm量级发展的过程 中，洁净室等级要求也越来越高。
垂直单方向流方式
层流式空气气流运动成一均匀直线形，空气过
滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回
风，此型式适用于洁净室等级需求较高之环境
使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其
型式可分为二种：
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹
出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向
排出室外，一般在下流侧污染较严重。
超高效空气过滤器 ：在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm 粒子的捕集效率在
99.999%以上及气流阻力在280Pa 以下的空气过滤器。
PPT课件
4
洁净度等级标准
国家标准GB50073-2001
式中 ：Cn—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3)。
Cn 是以四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数。
等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此
型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予
以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质。
洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.
维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自
动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至
100,000级。
优点：构造简单、系统建造成本低，洁
净室扩充比较容易
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间
飘浮不易排出，易污染制程产品。另外
若系统停止运转再激活，欲需达到设定
要求之洁净度，往往须耗时相当长一段
时间。
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适用洁净等级 1,000-100,000级
乱流式典型结构形式
PPT课件
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2.层流式
100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔
离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省
能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。
药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级
10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的
洁净度等级提高为10~1000级以上。
但目前半导体行业中普遍采用的均为千级（6级）或万级（7级）， 只有局部区域的高自动化作业才要求百级（5级）甚至更高。
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感性认知
一般微粒粒径对比
0.3μm 微尘粒径
肉眼可视 (5μm)
人类头发 (15μm)
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感性认知
一般自然界气体等级 外大气层
1,000
大气层
10,000
田园地带 街市区
100,000
工业地带
1,000,000
10,000,0(按形式）
1.乱流式
非单方向流方式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气
过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室
两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非
直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状
态。此型式适用于洁净室等级1,000-
四、洁净室人员管理
1、洁净室最主要的污染源 发尘源及量
人的污染--发菌量
2、洁净室人员管理规定
PPT课件
2
洁净室之定义
洁净室(Clean Room),也称为无尘室。 洁净室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、
细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力、 气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计需 求范围内，而给予特别设计的房间。亦即不论外面空气条 件如何变化，其室内均能具有维持所设定的洁净度、温湿 度及压力等生产所需环境因素性能的特性。
气闸室：设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置 的缓冲间。
风淋室：气闸室的一种，通过安装风机、过滤网及控制系统等对入室人员进 行周身吹扫通道，它是减少外来污染的有效途径之一。
洁净工作服 ：为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的 洁净服装。
高效空气过滤器 HEPA ：在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm 粒子的捕集 效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa 以下的空气过滤器。
因此，洁净室是保证诸如医药、半导体、太阳能电池 板等对环境要求较高之行业进行批量生产所必备之条件要
求。
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相关术语
悬浮微粒 ：一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，其粒径尺寸范围约在 0.1～5μm 之间。
洁净度 ：用以表征单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少，是区 分空间洁净程度的标准。
花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻
烦。
PPT课件
11
适用洁净等级 1-100级
层流式典型结构形式
PPT课件
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3.复合式
混流方式
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可
提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过
滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度
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适用洁净等级 10-100000级并装
复合式典型结构形式
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洁净室设计基础
气流组织型式及换气次数
空气洁净度
100级
10000级
100000级 大于100000 级
气流流型 垂直单向流 水平单向流 非单向流
无尘车间培训教材
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一、洁净室基础知识
1.洁净室定义 2.相关术语 3.洁净等级标准 4.感性认知
二、洁净室设计简介
1、洁净室分类（形式） 2、洁净室设计基础
气流组织型式及换气次数 滤网过滤流程 送风量及FFU数量计算 滤网寿命 温湿度控制
正压
摘要
三、洁净室管控手段
1.监测采样 2.制定监测表
优点：构造简单，运转后短时间内即可达到要
求，稳定运转。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩
充。
(2)垂直层流式：空气由上往下吹，可得较高之
洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可
快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳
定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天
N—洁净度等级，数字不超出9，洁净度等级整数之间的中间
数可以按0.1 为最小允许递增量。
D—要PP求T的课粒件径(μm)。 0.1—常数，其量纲为μm。
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美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
1m3=35.3ft3。
对照我国标准及美国标准可以看出，我国的3级标准与美国的1级标 准相当。从而可以看出随着半导体行业从um量级向nm量级发展的过程 中，洁净室等级要求也越来越高。