无尘洁净室尘埃粒子检测标准操作规程
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洁净室尘埃粒子检测标准操作规程
1.目的:阐述洁净室(区)中悬浮粒子的测试方法,用以规范员工的检测操作。
2.范围:适用于公司内部生产洁净区尘埃粒子检测工作
3.责任:生产车间、生产部、质量管理部、
QC检验室主任、检验员。
4.测依据:
5.内容:
5.1仪器:光散射粒子计数器和滤膜显微镜。
光散射粒子计数器用于粒径》0.5卩m;滤膜显微镜用于粒径》5卩m勺悬浮
粒子的计数。使用光散射粒子计数器时应严格按照仪器说明书操作。
5.2测定标准
5.3测试方法
5.3.1仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行校正。
5.3.2采样管口置采样点采样时,在确认计数稳定后方可开始连续读数。
5.3.4采样管必须干净、严禁渗漏。
5.3.5采样管的长度应根据仪器的允许长度,除另有规定外,长度不大于
1.5m。
5.3.6计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下,以免产生测量误差。
5.3.7必须按照仪器的检定周期,定期对仪器作检定,以保证测试数据的可靠性。
5.4测试规则
5.4.1 测试条件
5.4.1.1温度和湿度:洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应,温度控制在18〜26 C,相对湿度控制在45〜65%之间为宜。
541.2压差:空气洁净度不同的洁净室(区)之间的压差应》5Pa,空
气洁净度级别要求等高的洁净室(区)对相邻的空气洁净度级别低的洁净室(区)一般要求呈相对正压。
5.4.2测试状态:有静态测试和动态测试。
5.4.2.1静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态,测试人员不得多于2 人。尘埃粒子数必须符合规定。
5.4.2.2动态测试时已处于正常生产状态,所产生粒子不影响最终产品的
作业,可允许超出标准,但当操作完成10分钟后,粒子水平必须恢复到以洁净
区尘粒最大允许数范围之内,应定期监控动态条件下的洁净状况。
5.4.2.3测试报告中应标明测试时所采用的状态。
5.4.3测试时间:对单向流,测试应在净化空调系统正常运行时间不少于30分钟后开始。
5.4.4悬浮粒子计数
5.4.4.1采样点数目及其布置
5.4.4.1.1采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。
5.4.4.1.2采样点布置要求均匀,避免采样点在某局部区域过于稀疏。
5.4.4.1.3采样点一般在工作台面上0.2m 高度的平面上均匀布置。
5.4.4.2采样点的限定:对于任何小洁净室或局部空气净化区域,采样点的数目不得少于
2 个,总采样次数不得少于5 次。每个采样点采样次数可以多于1 次,但不同采样点的采样次数可以不同
5.443 采样量:
最小米样量
5.4.4.4采样注意事项
5.4.4.4.1在确认洁净室(区)送风和压差达到要求后方可进行采样。
5.4.4.4.2对于单向流,计数器采样管口朝向应正对气流方向,对于非单向流,采样口宜向上。
5.4.4.4.3布置采样点时,应避开回风口。
5.4.4.4.4采样时,测试人员应在采样口的下风侧。
5.4.4.4.5悬浮粒子浓度的采样数据应按下述步骤作统计计算。
5.5结果计算
C i+C+ --- +C N
5.5.1采样点的平均粒子浓度\= ----------------
N
式中:
A--某一采样点的平均粒子浓度,粒/m3;
Ci--某一采样点的粒子浓度(=1 , 2, --- , N,粒/m3;
N--某一采样点上的采样次数,次。
A I+A+---+A L
5.5.2平均值的均值M= --------------
L
式中
M平均值的均值,即洁净室(区)的平均粒子浓度,粒m3;
Ai ――某一采样点的平均粒子浓度(=1,2,---,L), 粒/m3;
L――某一洁净室(区)内的总采样点数,个。
5.5.3标准误差SE= (A M)2 (A2 M)2(代M)2
\ L(L 1)
式中
SE平均值的标准误差,粒mL
5.5.4 置信上限
UCL=M+K SE
式中:UCL――平均值均值的958置信上限,粒/m3;
t ——958置信上限的t分布系数。
95% 置信上限的t分布系数
注:当采样点多于9点时,不需要计算UCL。
5.6 结果评定:判断悬浮粒子洁净度级别应依据下述二个条件。
5.6.1每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限,即
Ai W级别界限。
5.6.2全部采样点的粒子浓度平均值的均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限,即UCLC级别界限。
5.7当连续三次样品测试结果超过警戒指标,或单位样品的结果特别高时,应着手采取措施。
5.8用标有页码记录本记录洁净室悬浮粒子测试实验,内容包括:部门、试状态、测试时间、标准、测试结果、结果计算、结果评定等所有记