三氯氢硅的生产工艺与技术路线的选择

三氯氢硅的生产工艺与技术路线的选择

三氯氢硅的生产原理及催化反应机理

生产原理

三氯氢硅是通过高纯氯化氢气体与金属级单体硅(质量分数%～%)在一定温度、压力条件下反应制备的。反应方程式如下：……

催化反应机理……

三氯氢硅的生产原料选择

以四氯化硅为原料(还原法)……

以硅粉为原料(直接法、硅氢氯化法)……

工业硅粉

（1）硅粉的性质

……

（2）硅粉的选择

硅粉的规格对反应与产品质量有很大影响。选择硅粉时主要考虑以下2点。

……

（3）硅粉精制

三氯氢硅生产工艺流程……

氯化氢的制备

（1）氯化氢的性质

（2）氯化氢合成条件

（3）氯化氢合成工艺

三氯氢硅合成

该工序是整个三氯氢硅生产中最重要的部分。

……

气固分离

……

合成气冷凝

……

精馏提纯

近年来，三氯氢硅的提纯技术发展很快，但由于精馏法工艺简单、操作方便，所以目前工业生产中主要用精馏法。

……

废气处理

……

三氯氢硅制备及精制工艺进展

硅氢氯化法

SiCl4-H2还原法

三氯氢硅的精制

三氯氢硅生产工艺比较

三氯氢硅质量指标

目前我国三氯氢硅没有国家统一标准。征求意见稿中：工业三氯氢硅分为Ⅰ、Ⅱ两型，Ⅰ型工业三氯氢硅产品用于生产多晶硅，Ⅱ型工业三氯氢硅产品用于生产硅烷偶联剂的单体。本标准适用于由硅粉和氯化氢为原料经提纯后生产的工业三氯氢硅。该产品主要用于生产多晶硅和硅烷偶联剂等。

表三氯氢硅质量指标表

详细内容参见六鉴网(发布《三氯氢硅技术与市场调研报告》。