油扩散泵的工作原理与结构
扩散泵的结构示意图和工作原理
扩散泵的结构示意图和工作原理当扩散泵油被电炉加热时，产生油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。
因喷嘴外面有机械泵提供的真空（1~10-1Pa），故油蒸气流可喷出一长段距离，构成一个向出气口方向运动的射流。
射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁凝结为液体流回蒸发器，即靠油的蒸发喷射凝结重复循环来实现抽气。
由进气口进入泵内的气体分子一旦落入蒸气流中便获得向下运动的动量向下飞去。
由于射流具有高流速（约200m/s），高的蒸气密度，且扩散泵油分子量大（300～500），故能有效地带走气体分子。
气体分子被带往出口处再由机械泵抽走。
油扩散泵故障处理（1）扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
（2）泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。
（3）被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
（4）泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。
并将冷却水套内的剩水吹净。
保存场地的室温应在10℃～40℃之间。
（5）泵在正常运行时如突然出现性能变坏，应先检查加热器是否正常。
（6）泵在长期工作后，性能会逐渐变坏，应定期检修。
a. 泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。
b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗，并置于80℃～100℃温度下烘干或用电吹风吹干。
c. 处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
关于扩散泵返油问题通过咨询和了解，结合我公司油扩散泵实际问题,关于扩散泵返油问题，得出如下几点：咨询了爱得华售后服务中心，他们认为扩散泵返油与如下问题有关：a、冷却水；b、机器保养；c、油质等。
扩散泵返油对抽气能力会有影响，与以前抽气能力作对比是否发生变化，前管压力是否与以前一致？如果确认这些都没有问题，则可判断没有返油。
如果返油，在泵口也可以看到有残留油污。
至于反油率，泵一生产出来就定了的，我们没有这个标准，也没有检测手段。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理引言：油扩散泵是一种常用的工业泵，广泛应用于石油、化工、制药等行业。
它的主要作用是将液体从低压区域抽送到高压区域，实现物质的输送。
油扩散泵的工作原理是通过油膜的扩散来实现液体的压力增加，这种原理有着较高的效率和可靠性。
本文将详细介绍油扩散泵的工作原理。
一、油扩散泵的基本结构油扩散泵通常由泵体、泵腔、压力传感器和控制系统等部分组成。
泵体通常采用高强度材料制成，以保证泵的密封性和耐腐蚀性。
泵腔是液体流通的主要空间，它由进口管道、出口管道和液体流动通道组成。
压力传感器用于监测泵的工作压力，以便实时调节泵的工作状态。
控制系统负责整个泵的工作过程的自动控制。
二、油扩散泵的工作原理油扩散泵的工作原理基于油膜的扩散效应。
具体来说，当泵启动时，泵腔内的液体经过进口管道进入泵腔，并在泵腔内形成液体膜。
随着液体的流动，液体膜逐渐减薄，从而形成了一个液体膜梯度。
在液体膜梯度的作用下，液体分子将向低压区域扩散，从而增加了压力。
同时，液体膜的减薄还会增大液体分子之间的相互作用力，使得液体分子更加紧密地排列在一起，从而进一步增加了压力。
三、油扩散泵的工作过程油扩散泵的工作过程可以分为吸液过程和压液过程。
在吸液过程中，液体通过进口管道进入泵腔，随后在液体流动的作用下，液体膜逐渐形成，从而实现了液体的吸取。
在压液过程中，液体膜梯度的形成使液体分子向低压区域扩散，进一步增加了压力。
同时，在液体分子之间的相互作用力的作用下，液体分子紧密排列，使得压力进一步增加。
控制系统会根据压力传感器的反馈信号，自动调节泵的工作状态，以保证泵的稳定工作。
四、油扩散泵的优点油扩散泵具有以下优点：1. 高效节能：油扩散泵采用油膜扩散的原理，工作效率高，能耗低。
k600t油扩散泵说明书
1. 主要用途1. 1 K-600T油扩散泵是用来获得10ˉ2～10ˉ5帕高真空的主要真空获得设备,它和阀门、水冷挡板、管道、机械泵等真空元件一起组成高真空抽气系统，如采用液氮等冷却装置，并加烘烤等措施，可获得超高真空。
1. 2 高真空油扩散泵抽气系统被广泛地应用在电子工业、机械工业、冶金工业、原子能工业和空间模拟等领域。
2. 工作原理简介原理是用室温下饱和蒸汽压很低的扩散泵油或硅油经油锅加热蒸发成蒸汽，经导流管、喷嘴形成高速蒸汽射流作为工作介质，靠扩散和携带完成抽气过程的一种高真空获得设备。
图1、工作原理示意图2. 2 如图1所示在油扩散泵前级配置一个抽气量相当的机械泵,使扩散泵内达到1帕的真空状态通电加热,使泵工作液体蒸发并沿导流管定向流动经喷嘴高速喷出,被抽气体靠扩散和携带作用被蒸汽射流带到泵壁,油蒸汽冷凝后返回油锅, 气体被逐级压缩，最后被喷射级蒸汽射流携带到前级，被前级泵抽走。
3. 性能特点3. 1 抽气速率高,可以制造每秒钟数百升到数万升的各种型号泵。
3. 2 对惰性气体(氦、氖、氩)和氢气也有较大的抽气能力。
3. 3 结构简单,无机械传动部分,寿命长,容易操作和维护保养。
3. 4 极限压力低,用KS-2或KS-3扩散泵油作为工作液可低于7×10ˉ5帕,采用硅油作为工作液可得到更低的极限压力。
4. 油扩散泵的维护与保养4. 1 油扩散泵安装时应垂直放置,使泵内泵芯部件处于正常工作状态。
各橡胶密封处应密封可靠。
4. 2 油扩散泵加热前必须保证冷却水畅通,泵内处于1帕真空状态下方可加热。
4. 3 油扩散泵停止工作时,泵内应避免放入大气,以延长泵油寿命并减少泵油的吸气量,特别应防止泵刚停止工作尚未冷却就放入大气,以免泵油氧化。
4. 4 油扩散泵长期存放,量好抽成低真空,以防泵油污染和各零件腐蚀,并应吹净冷却水管和水套内的剩水。
4. 5 被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的室温状态下的气体。
油扩散泵
三 结构原理
油扩散泵的主要部件有泵体、冷却帽、喷嘴、 油扩散泵的主要部件有泵体、冷却帽、喷嘴、 蒸汽流导管和加热器构成
（一）油扩散泵的喷嘴结构
1 伞形喷嘴
2 喷射喷嘴 （排气口处，得到 超音速气流， 根据伯努利方 程可知此处压 力很低）
（二 ） 油扩散泵的分馏装置
采用分馏装置的作用： 采用分馏装置的作用：消除扩散泵油 中挥发性较高的轻馏分对泵的性能产 生不良影响的重要手段。 生不良影响的重要手段。
油扩散泵工作原理 四 油扩散泵工作原理
扩散泵油被泵外电炉加热产生油蒸气 油蒸气沿蒸气导管上升到管顶 油蒸气经伞形喷嘴向下喷出产生射流
接机 械泵
气体分子与射流中油分子碰撞 发生动量交换 气体分子与射流一起向下运动 油蒸汽与水冷的泵壁相遇而冷却回流 气体分子则被带到排气口附近被抽走
抽气示意图
五 油扩散泵的返流
油扩散泵
一 概述 二 油扩散泵特点 三 结构原理 四 油扩散泵的返流
扩散泵外形图
一 概述
油扩散真空泵是用来获得高真空和超高真空 的主要设备，广泛用于电子工业、化学工业、 的主要设备，广泛用于电子工业、化学工业、真 空冶炼等高科技领域。 空冶炼等高科技领域。 油扩散泵的工作压力范围10 ａ，其极 油扩散泵的工作压力范围10-1－10-６Pａ，其极 限压力是10 Pa。 限压力是10-8Pa。 油扩散泵一定要在压力低于4ห้องสมุดไป่ตู้Pa 40Pa的时候才能 油扩散泵一定要在压力低于40Pa的时候才能 开油扩散泵，分子泵则要低于1Pa才能启动。 1Pa才能启动 开油扩散泵，分子泵则要低于1Pa才能启动。 表示方法： 括号里面代表口径mm 表示方法：K-（） 注：括号里面代表口径mm
1 凝结于顶喷嘴表面上的油膜的再蒸发； 2 泵壁上凝结油膜的再蒸发和爬移； 3 喷嘴内喷出的高速油蒸汽流碰到泵壁后的 散射； 4 油蒸汽由喷嘴喷出后，由于油蒸汽分子的 热运动、碰撞、反弹，包括泵油爆沸产生 的飞溅和压力起伏引起的泵油分子直接向 高真空侧返流
油扩散泵的工作原理与结构
1．概述油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的，故有如水蒸汽喷射泵相似的特点。
不同点是扩散泵工作在高真空区域，其工作压强范围为10-2～10-6pa。
广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油及原子能等工业部门中。
2．油扩散泵的工作原理与结构图3是扩散泵的结构示意图。
当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用，而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，以达到逐级压缩，最后被前级泵抽走。
其抽速特性曲线如图4所示。
3．扩散泵的性能计算(1)扩散泵的抽速S 的计算[1](4)式中ω——蒸汽射流的平均速度R(L)、R(O)——分别表示泵筒与喷咀帽的直径a——蒸汽射流与泵壁的夹角D——气体在射流中的扩散系数(2)扩散泵每级最大压缩比(P2／P1)max的计算(5)式中ω、D——意义同(4)L——蒸汽射流长度(3)蒸汽射流流谱的计算扩散泵各级蒸汽射流的工作压强范围为10-2～l0-6Pa，在这样宽的领域里，蒸汽流从连续流向滑流、过渡流、分子流过渡。
用一种理论解决上述各种流态中的问题是很困难的。
通常，在连续流领域里，可用气体动力学理论去处理，在分子流领域里，可用分子流理论去处理。
然而，处理两种流态之间的问题也是很困难的。
为此，在处理蒸汽流问题之前，必须弄清楚所要处理的蒸汽流是属于那种流态。
M．Wutz建议用特征碰撞数Z大于10作为应用气体动力学的判据[2]。
(6)式中C——油蒸汽分子的平均热运动速度(cm／s)l——蒸汽流中混合物分子的平均自由程，因射流中蒸汽分子密度n d》n g(混合物中空气分子密度)，所以l可看成是蒸汽分子的平均自由程(cm)L——蒸汽射流的长度(cm)V——蒸汽射流的平均速度(cm／s)工作蒸汽在喷咀内的流动，可用一维定常等熵流的公式去计算，而工作蒸汽在喷咀外的流动比较复杂，往往是膨胀波、微压缩波和激波共存的复杂流场。
K-600T油扩散泵说明书
1. 主要用途1. 1 K-600T油扩散泵是用来获得10ˉ2～10ˉ5帕高真空的主要真空获得设备,它和阀门、水冷挡板、管道、机械泵等真空元件一起组成高真空抽气系统，如采用液氮等冷却装置，并加烘烤等措施，可获得超高真空。
1. 2 高真空油扩散泵抽气系统被广泛地应用在电子工业、机械工业、冶金工业、原子能工业和空间模拟等领域。
2. 工作原理简介原理是用室温下饱和蒸汽压很低的扩散泵油或硅油经油锅加热蒸发成蒸汽，经导流管、喷嘴形成高速蒸汽射流作为工作介质，靠扩散和携带完成抽气过程的一种高真空获得设备。
图1、工作原理示意图2. 2 如图1所示在油扩散泵前级配置一个抽气量相当的机械泵,使扩散泵内达到1帕的真空状态通电加热,使泵工作液体蒸发并沿导流管定向流动经喷嘴高速喷出,被抽气体靠扩散和携带作用被蒸汽射流带到泵壁,油蒸汽冷凝后返回油锅, 气体被逐级压缩，最后被喷射级蒸汽射流携带到前级，被前级泵抽走。
3. 性能特点3. 1 抽气速率高,可以制造每秒钟数百升到数万升的各种型号泵。
3. 2 对惰性气体(氦、氖、氩)和氢气也有较大的抽气能力。
3. 3 结构简单,无机械传动部分,寿命长,容易操作和维护保养。
3. 4 极限压力低,用KS-2或KS-3扩散泵油作为工作液可低于7×10ˉ5帕,采用硅油作为工作液可得到更低的极限压力。
4. 油扩散泵的维护与保养4. 1 油扩散泵安装时应垂直放置,使泵内泵芯部件处于正常工作状态。
各橡胶密封处应密封可靠。
4. 2 油扩散泵加热前必须保证冷却水畅通,泵内处于1帕真空状态下方可加热。
4. 3 油扩散泵停止工作时,泵内应避免放入大气,以延长泵油寿命并减少泵油的吸气量,特别应防止泵刚停止工作尚未冷却就放入大气,以免泵油氧化。
4. 4 油扩散泵长期存放,量好抽成低真空,以防泵油污染和各零件腐蚀,并应吹净冷却水管和水套内的剩水。
4. 5 被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的室温状态下的气体。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理
油扩散泵是一种用于输送液体或气体的机械设备，主要利用机械作用将液体或气体从低压区域输送到高压区域。
具体而言，油扩散泵的工作原理如下：
1. 首先，油扩散泵将被输送的液体或气体吸入泵体内部。
这通常通过泵体内的一个吸入阀门实现。
吸入阀门会打开并允许流体进入泵体。
2. 当吸入阀门关闭后，泵体开始进行压缩。
这会导致泵体内的压力增加，从而推动液体或气体通过泵体的排出阀门。
3. 排出阀门打开后，压缩后的液体或气体会被推送出泵体，并通过管道输送到目标区域。
通常，泵体内会有一个压力调节阀，用于控制输出压力。
4. 一旦液体或气体被排出泵体，压缩力会减小，泵体内的压力也会下降。
此时，重复上述步骤，使得液体或气体连续地从低压区域输送到高压区域。
总的来说，油扩散泵通过吸入、压缩和排出的过程，实现了液体或气体的输送。
根据具体的工作条件和需求，油扩散泵的结构和工作原理会有所差异，但核心的工作原理大体相似。
扩散泵工作原理
扩散泵工作原理
扩散泵是一种常见的真空设备，其工作原理主要依靠分子扩散的方式来实现气
体的抽取和排放。
在扩散泵中，气体分子通过扩散过程从高压区域向低压区域扩散，最终被排出系统。
下面我们将详细介绍扩散泵的工作原理。
首先，扩散泵由一个扩散泵体和一个扩散泵油组成。
扩散泵体内部有一个扩散
泵腔，腔内有一个旋转的叶轮，叶轮上有一些叶片。
当泵体内的叶轮旋转时，气体分子被叶片推向泵体的出口。
同时，扩散泵油在泵体内形成一层油膜，气体分子在扩散泵油的作用下不断扩散，最终被排出系统。
其次，扩散泵的工作原理是基于分子扩散的物理过程。
在扩散泵内部，气体分
子受到叶轮和扩散泵油的作用，不断向泵体的出口扩散。
由于扩散泵腔内压力低于外部环境压力，气体分子会不断向低压区域扩散，最终被排出系统。
这一过程是一个连续的扩散过程，直到系统内的气体完全被排出。
最后，扩散泵的工作原理还涉及到扩散泵油的作用。
扩散泵油在扩散泵内部形
成一层油膜，气体分子在油膜的作用下不断扩散，最终被排出系统。
同时，扩散泵油还能吸收气体分子中的水和杂质，保持系统内的清洁。
总的来说，扩散泵的工作原理是基于分子扩散的物理过程和扩散泵油的作用。
通过叶轮和扩散泵油的协同作用，扩散泵能够实现对气体的抽取和排放。
这种工作原理使得扩散泵在真空技术中得到广泛应用，成为真空系统中不可或缺的设备之一。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理
油扩散泵是一种用于输送液态或气态介质的泵，它通过扩散原理将介质从低压
区域输送到高压区域。
其工作原理主要包括扩散、泵吸和排出三个过程。
首先，介质在低压区域通过扩散装置进入泵内。
扩散装置通常由多孔板或多孔
管组成，通过这些多孔结构，介质能够在低压区域自由进入泵内。
在进入泵内后，介质会被吸附到泵内的工作部件上，如转子或活塞。
接下来是泵吸过程，泵内的工作部件开始运动，将吸附在其表面的介质输送至
高压区域。
泵的工作部件通常由转子、活塞或膜片等构成，它们的运动使得介质能够被连续地吸附和输送。
在泵吸过程中，泵内的压力逐渐增大，介质也随之被压缩，从而能够被输送到高压区域。
最后是排出过程，泵内的介质被输送至高压区域后，通过排出装置排出泵外。
排出装置通常由阀门或喷嘴组成，它们能够控制介质的流动方向和流速，确保介质能够被有效地输送至目标位置。
总的来说，油扩散泵的工作原理是基于扩散原理和泵的吸排过程。
通过这些过程，泵能够将介质从低压区域输送至高压区域，实现液态或气态介质的输送和压缩。
这种工作原理使得油扩散泵在化工、石油、制药等领域具有广泛的应用，为工业生产提供了重要的支持。
扩散泵
一、扩散泵原理示意图真空处理系统里的油扩散泵是借着高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的，它用于高真空区域工作，其工作压强范围是10-2～10-6pa。
油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低。
·1、油扩散泵的概述：油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，也是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽真空的目的，所以会有水蒸汽喷射泵相似的特点。
不一样的一点是扩散泵工作在高真空区域，是获得高真空的主要设备。
其工作压强范围为10-2～10-6pa。
广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
2、油扩散泵的工作原理与结构：当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷射出来后，它的速度越来越快，压力及密度慢慢降低，喷射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环利用，而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，这样就可以逐级压缩，最后被前级泵抽走。
其抽速特性曲线如图所示。
3、油扩散泵的发展历程：历史1915年，德国物理学家W.盖得发表了他研究的扩散泵报告。
1916年，美国人I.朗缪尔制成泵壁带有冷却系统的冷凝泵。
这些泵以汞蒸气为工作介质，并且可以最终获得10-5帕的真空。
1928年,英国人C.D.伯尔奇发现高沸点的石油衍生物。
1936年，C.D.希克曼等人制成人工合成油。
这两种油在室温下的饱和蒸气压都非常低，从而取代了汞作为扩散泵的工作液。
从此油扩散泵在高真空领域的工业生产和科学试验中就逐渐普遍使用，并打下了高真空技术的基础。
1960年代开始，油扩散泵又有了新的改变。
主要的改进是：①泵的材料采用放气量微小的不锈钢。
②采用饱和蒸气压很低、热稳定性好的油如聚苯醚和硅油作泵的工作液。
③改变结构，新款的油扩散泵在泵的进气口法兰不变和不过分增大泵的外形尺寸条件下，在法兰下部突出地扩大泵腔的断面，其抽气速率可增大20～40%。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理
油扩散泵是一种常用于润滑系统中的泵。
其工作原理基于压力差和流体动力学。
油扩散泵通常由泵体、驱动装置和控制系统组成。
当泵体中的润滑油被泵入泵腔时，驱动装置通过驱动轴或齿轮将动力传递给泵腔，使其产生旋转。
当泵腔旋转时，离心力将润滑油推向泵腔的周围。
随着润滑油在泵腔内的推动，泵腔的体积逐渐减小，从而产生负压。
负压会使得泵腔外的润滑油通过进油管道流入泵腔内。
同时，泵腔旋转的惯性力也会将泵腔内的润滑油继续推向泵腔的外侧。
推动和惯性力的作用下，润滑油会在泵体内形成循环运动，不断扩散到润滑系统中的其他部分。
控制系统通常用于监测和调整泵的运行状态。
例如，当润滑油的流量过大或过小时，控制系统可以自动调节驱动装置的转速，以确保润滑油的供应适当。
综上所述，油扩散泵通过泵腔旋转产生负压和离心力，利用润滑油的流体动力学原理将油扩散至整个润滑系统中的各个部分。
这样可以有效地实现对润滑系统的润滑和冷却。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理引言：油扩散泵是一种常见的工业设备，主要用于将液体或气体中的油分子扩散开来，以实现泵送或抽取的目的。
本文将详细介绍油扩散泵的工作原理，包括其构造、工作流程和应用场景等方面的内容。
一、油扩散泵的构造油扩散泵主要由真空室、油蒸汽发生器、冷凝器、油过滤器、油泵和控制系统等部件组成。
其中，真空室是整个系统的核心部分，起到扩散真空作用的关键。
油蒸汽发生器利用加热装置将液态油转化为蒸汽状，冷凝器则将蒸汽冷凝为液态油，以保证系统的正常运行。
油过滤器用于除去杂质，保持油的纯净度。
油泵则负责将液态油送入系统，以维持其正常工作。
二、油扩散泵的工作流程1. 开始工作时，首先启动油泵，将液态油送入真空室。
2. 液态油经过油蒸汽发生器中的加热装置，被加热转化为蒸汽状态。
3. 蒸汽进入真空室后，与空气或其他气体中的油分子进行扩散反应，使油分子逐渐分散到更大的范围内。
4. 分散的油分子被吸附在真空室的壁面上或被其他部件捕获。
5. 经过一段时间的工作，蒸汽中的油分子会逐渐减少，减小真空室中油分子的浓度。
6. 为了保持系统的正常运行，需定期清理或更换油蒸汽发生器中的油，确保油的纯度和质量。
三、油扩散泵的应用场景油扩散泵广泛应用于真空冶炼、电镀、医疗设备、半导体制造等领域。
具体而言，它在真空冶炼中用于抽取高纯金属的含气体，以保证产品质量。
在电镀行业，常用于将有毒气体如铜蒸汽抽取。
在医疗设备中，油扩散泵常用于真空干燥、真空冷冻、真空包装等。
同时，油扩散泵的高效、稳定性能使其成为半导体制造过程中的重要设备。
结论：油扩散泵利用油蒸汽发生、扩散和吸附的工作原理，有效实现了液体或气体中的油分子的分散和抽取。
它的工作流程清晰简单，能够在各种应用场景下发挥重要作用。
随着工业技术的不断发展，油扩散泵将继续得到更广泛的应用和改进。
金属油扩散泵工作原理
金属油扩散泵工作原理
1.金属油扩散泵的结构主要由泵头、泵座、阀体和阀芯组成。
泵头是金属泵的核心部件，它的形状像一个倒扣的漏斗，口径略
大于扩散管口径，使气体和扩散管直接接触。
扩散管是一种特殊
的空心圆筒式管道，其管壁上开有许多小孔，在流体通过时可使
气体和液体直接接触。
2.阀体是泵头与泵座之间的连接部件。
它是一个中空的圆筒，内装阀芯，阀芯上开有小孔。
当气体通过时，在扩散管内壁形成
真空并推动阀芯向外移动，当阀芯到达出口时与进口连通，而气
体则由小孔流出。
3.在泵座内装有一个单向阀，它的作用是防止气体倒流和防
止油从泵座侧面流出。
在金属油扩散泵中还装有一个精密机械弹
簧式安全阀，它可以防止在工作过程中由于油压变化或温度变化
而引起的油从扩散管中倒流。
4.金属油扩散泵一般可在-10~50℃范围内正常工作。
在工作
过程中若温度变化超过允许范围时，将引起油从泵座侧面流出。
—— 1 —1 —。
油扩散真空泵工作原理
油扩散真空泵工作原理
油扩散真空泵是一种用于创造极高真空度的泵，广泛应用于电子、化工、材料加工、航天等领域。
那么，油扩散真空泵的工作原理是什么呢？
首先，油扩散真空泵的基本结构包括泵体、油气分离器、扩散器、冷却系统和控制系统等组成部分。
当泵启动后，泵体内置的转子开始转动，将空气和少量的水汽等气体抽入泵内。
接着，刚刚被抽入的气体会先经过一道油气分离器的处理。
这个器件主要的功能就是将空气中含有的一部分油蒸汽分离出来，并将其引到油池里。
这样，就避免了部分油进入到下一个扩散器内并污染了真空室。
随后，气体进入到扩散器中，扩散器是这个泵的关键组件之一。
它是一个大口径、圆筒形的器件，内部涂有特殊的涂层材料，成百上千个大小不一的小孔穿孔在涂层表面。
这里涂层的作用是将气体中带有的介质蒸气和气体分子分离开来。
在扩散过程中，涂层内部的油蒸汽与气体发生了反应，并将气体分子加速扩散到涂层的另一端。
在这个过程中，泵会给涂层进行冷却以避免过热。
最后，气体在扩散器内部扩散减压成分子束，并被导入到真空室中。
由于扩散过程，气体的压强有所降低，再经过油池等其他组件的处理，气体总体压强可以降低到 10 -3Pa以下，达到了制造高真空的标准要求。
总之，油扩散真空泵的工作原理是一个以油气分离器和扩散器为中心的系统，在几个不同的步骤中将气体压强不断降低以实现高真空度的创造。
而辅助的冷却系统和控制系统则保证了泵的正常运转以及泵性能的优化。
扩散泵的结构示意图和工作原理
扩散泵的结构示意图和工作原理————————————————————————————————作者: ————————————————————————————————日期:扩散泵的结构示意图和工作原理当扩散泵油被电炉加热时,产生油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。
因喷嘴外面有机械泵提供的真空(1～1０－1Pa)，故油蒸气流可喷出一长段距离，构成一个向出气口方向运动的射流。
射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁凝结为液体流回蒸发器,即靠油的蒸发喷射凝结重复循环来实现抽气。
由进气口进入泵内的气体分子一旦落入蒸气流中便获得向下运动的动量向下飞去。
由于射流具有高流速(约20０m/ｓ），高的蒸气密度，且扩散泵油分子量大(300~50０），故能有效地带走气体分子。
气体分子被带往出口处再由机械泵抽走。
油扩散泵故障处理（1)扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
(2)泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。
ﻫ(3）被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
ﻫ(4)泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。
并将冷却水套内的剩水吹净。
保存场地的室温应在10℃~40℃之间。
ﻫ(5）泵在正常运行时如突然出现性能变坏，应先检查加热器是否正常。
(6)泵在长期工作后,性能会逐渐变坏,应定期检修。
ﻫa. 泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。
ﻫﻫb．零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗,并置于８0℃~1０0℃温度下烘干或用电吹风吹干。
c. 处理完后，按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
关于扩散泵返油问题通过咨询和了解，结合我公司油扩散泵实际问题，关于扩散泵返油问题,得出如下几点:咨询了爱得华售后服务中心,他们认为扩散泵返油与如下问题有关：a、冷却水；b、机器保养；c、油质等。
扩散泵返油对抽气能力会有影响,与以前抽气能力作对比是否发生变化，前管压力是否与以前一致?如果确认这些都没有问题,则可判断没有返油。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理一、引言油扩散泵是一种常用的真空泵，主要用于高真空系统中的抽气和漏气检测。
其工作原理基于油分子在高温下蒸发并扩散到低压区域，从而形成真空。
二、油扩散泵的结构1. 泵体：通常由不锈钢制成，内部光滑无缝。
2. 油箱：位于泵体底部，用于存放工作介质（液态矿物油）。
3. 加热器：位于油箱下方，用于加热工作介质并提高其蒸发速率。
4. 气密性密封件：用于保证泵体内外的气密性。
5. 油雾分离器：位于排气口处，用于分离排出的油雾和气体。
6. 冷却器：位于排气口处，用于冷却排出的气体并凝固其中的油雾。
7. 电机及传动装置：用于驱动泵体旋转。
三、油扩散泵的工作原理1. 初始状态当油扩散泵处于初始状态时，加热器和冷却器均关闭。
此时，泵体内部的压力与外界相等，油箱中的液态矿物油处于静止状态。
2. 启动过程当电机启动时，传动装置会带动泵体旋转。
在泵体旋转的同时，加热器也开始工作，将油箱中的液态矿物油加热至高温状态。
高温下，液态矿物油开始蒸发并扩散到低压区域。
3. 扩散过程随着液态矿物油的蒸发和扩散，泵体内部的气体分子被逐渐排出。
由于扩散速度与气体分子数密切相关，因此在真空度较高的情况下，扩散速度会更快。
4. 排气过程当泵体内部的气体被排出后，它们会通过排气口进入冷却器。
在冷却器中，气体被冷却并凝固其中的油雾。
凝固后的油雾会落入油雾分离器中，并返回到油箱中重新循环使用。
5. 停止过程当需要停止油扩散泵时，加热器和电机会停止工作，泵体逐渐停止旋转。
此时，油箱中的液态矿物油会回流到泵体内部，泵体内部的压力也会逐渐恢复至初始状态。
四、总结油扩散泵是一种基于油分子扩散原理的真空泵。
其工作原理简单明了，但需要注意保持加热器和冷却器的合理使用，以确保油扩散泵在长期运行中能够稳定高效地工作。
油增压泵与油扩散泵
油增压泵(一)油增压泵结构与工作原理油增压泵和扩散泵一样都做成多级的。
利用伞形喷嘴和喷射喷嘴组成泵的导流系统。
从外观上看油增压泵和油扩散泵相似，只是内部导流系统稍有差别。
( )油增压泵的抽气原理也和油扩散泵扣似。
用加热器加热油锅中的油，油受热沸腾，变成油蒸气沿导流管上升从喷口喷出，喷出的油蒸气夹带着泵入口处的气体打到泵体冷却壁上，油燕气被冷凝为油滴流回油锅内，气体则被下一级喷嘴抽走，直至送到被机械泵排到大气中。
(二)油增压泵与油扩散泵的区别(1)油增压泵工作范围在0.133322-13.3322Pa之间，而油扩散泵的工作范围在1.33322一13.3322 Pa之间。
油增压泵在0.13332 Pa以下低真空时工作性能最好，而油扩散泵是在0.133322Pa以上高真空时工作性能最佳。
(2)油增压泵是通过油蒸气与气体分子间的粘滞作用来使气体分子向下运动的，而扩散泵抽出气体则是通过气体分子扩散到蒸气流中，被高速油燕气分子碰撞，使得气体分子具有向下运动的速度。
(3)油增压泵在低真空工作时，要求油蒸气的密度大，气流速度大，一般可达音速的三倍，这样就需要大量的油蒸气供给喷口，故装油最和加热功率均需要很大，而扩散泵在高真空范围内工作时，要求油蒸气的密度小，速度也比增压泵小，因此装油MT和加热功率均小。
例如:4500L/s的油增压泵的加热功率为25kW,装油量为20L。
而5000L/，的油扩散泵的加热功率为7kW,装油量为3-5L.(4)油增压泵所使用的油与扩散泵油也是不同的，增压泵油比扩散泵油在正常沸腾沮度下抗分解，抗氧化能力高，甚至在应用时与大气接触对其性能也没有影响。
而其常温下的饱和蒸气压比扩散泵油高，约为1.33322 x 10-3Pa。
(5)由于油的性能、加热功率、装油量与扩散泵不同，所以油增压泵的性能与扩散泵也就不同。
它的最大出口压强比扩散泵高，扩散泵的最大出口压强约为13.3322-66.6610Pa，油增压泵的最大出口压强为133.322~1333.322Pa。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理概述油扩散泵是一种常用的设备，用于将液体或气体扩散到更大空间。
它具有高效、可靠的特点，在很多行业得到广泛应用。
本文将详细介绍油扩散泵的工作原理。
工作原理油扩散泵的工作原理涉及到两个主要过程：油蒸发和扩散。
1. 油蒸发油扩散泵中的工作液体通常是一种易挥发的油。
在泵内加热工作液体，使其达到沸点，液体开始蒸发。
蒸发的液体经过一系列构造精密的通道，形成气体状态。
2. 扩散蒸发的气体在泵内被抽出，并通过泵的排气口排出。
在油扩散泵内部，有一个扩散器。
扩散器通常由许多小孔组成，形成一个环形的结构。
蒸发的气体从扩散器的小孔中释放出来，进入到扩散器的真空空间中。
在这个过程中，气体会因浓度差异而扩散。
即使在非常低的气体压力下，气体分子也会朝着低浓度的方向扩散。
工作流程了解油扩散泵的工作流程有助于更好地理解其工作原理。
1. 启动首先，油扩散泵需要通过加热使工作液体达到蒸发温度。
启动过程中，通过控制加热功率来控制工作液体的蒸发速率。
一般来说，启动时加热功率会较高，以加快蒸发速度。
2. 吸气当工作液体开始蒸发，泵内的压力开始下降。
此时，泵会吸入外部的气体，将其排出泵外。
泵在吸气过程中需要保持一定的真空度，以获得更高的抽气效率。
3. 扩散蒸发的气体经过泵内的扩散器，向环形的扩散空间进行扩散。
扩散过程中，气体会逐渐从高浓度区域向低浓度区域扩散。
4. 排气扩散后的气体进入排气管道，在泵外被排出。
排气的速度取决于泵的抽气速度和气体的浓度。
优缺点油扩散泵具有一些独特的优势和限制。
优点•高效：油扩散泵在低压力范围内具有较高的抽气速度和较好的抽气效果。
•可靠：油扩散泵结构简单，维护方便，使用寿命长。
•稳定性好：油扩散泵适用于大部分气体和蒸气，工作稳定可靠。
缺点•污染：油扩散泵在工作过程中需要使用润滑油，可能会导致气体被污染。
因此，在一些对气体纯度要求较高的应用中，需要慎重选择。
•高成本：与其他气体泵相比，油扩散泵的成本较高。
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1．概述
油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的，故有如水蒸汽喷射泵相似的特点。
不同点是扩散泵工作在高真空区域，其工作压强范围为10-2～10-6pa。
广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油及原子能等工业部门中。
2．油扩散泵的工作原理与结构
图3是扩散泵的结构示意图。
当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用，而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，以达到逐级压缩，最后被前级泵抽走。
其抽速特性曲线如图4所示。
3．扩散泵的性能计算
(1)扩散泵的抽速S 的计算[1]
(4)
式中ω——蒸汽射流的平均速度
R(L)、R(O)——分别表示泵筒与喷咀帽的直径
a——蒸汽射流与泵壁的夹角
D——气体在射流中的扩散系数
(2)扩散泵每级最大压缩比(P2／P1)max的计算
(5)
式中ω、D——意义同(4)
L——蒸汽射流长度
(3)蒸汽射流流谱的计算
扩散泵各级蒸汽射流的工作压强范围为10-2～l0-6Pa，在这样宽的领域里，蒸汽流从连续流向滑流、过渡流、分子流过渡。
用一种理论解决上述各种流态中的问题是很困难的。
通常，在连续流领域里，可用气体动力学理论去处理，在分子流领域里，可用分子流理论去处理。
然而，处理两种流态之间的问题也是很困难的。
为此，在处理蒸汽流问题之前，必须弄清楚所要处理的蒸汽流是属于那种流态。
M．Wutz建议用特征碰撞数Z大于10作为应用气体动力学的判据[2]。
(6)
式中C——油蒸汽分子的平均热运动速度(cm／s)
l——蒸汽流中混合物分子的平均自由程，因射流中蒸汽分子密度n d》n g(混合物中空气分子密度)，所以l可看成是蒸汽分子的平均自由程(cm)
L——蒸汽射流的长度(cm)
V——蒸汽射流的平均速度(cm／s)
工作蒸汽在喷咀内的流动，可用一维定常等熵流的公式去计算，而工作蒸汽在喷咀外的流动比较复杂，往往是膨胀波、微压缩波和激波共存的复杂流场。
关于膨胀波的流场，可用下边的普朗特——迈耶流公式求解。
对左伸膨胀波系，其计算公式为：
（7）
对于右伸膨胀波系，其计算公式为：
（8）
上二式中θ——气流方向角
λ——速度系数
K——气体绝热指数
C1，C2——积分常数
关于激波流场中的气流参数，由下面诸公式计算。
（9）
式中λ1——激波前的速度系数
λ2x——激波后的速度系数在x轴上的分量
λ2y——激波后的速度系数在y轴上的分量
K——气体绝热指数
(10)
(11)
(12)
上三式中P1、ρ1、T1及P2、ρ2、T2分别表示波前波后的压力，密度及温度
M1——波前气流马赫数
β——激波角
K——气体绝热指数。
根据膨胀波及激波流场中的诸计算式，可绘出扩散泵中各级射流流谱(如图3中的I级喷咀流谱)。
显然，喷咀系统的几何形状、级间距离及压缩比等对流谱和泵的性能有很大影响。
为了确定较佳的喷咀形状、级间距离及压缩比，应绘出多种工况下的流谱，选出其中一组较佳数据为设计方案。
究竟选择那种流谱为最佳方案，应考虑下述原则：
(1)各级射流不重叠。
(2)应保证第一级射流充分膨胀。
(3)保证第一级射流有足够的长度，并且与泵壁的夹角应尽量小，以利于提高何氏系数。
同样，第一喷咀上的挡油帽位置也应根据第一级射流流谱来确定，即挡油帽的轴向安装位置应保证挡住第一级射流流线中垂直泵壁以上的分量。