PVD真空镀膜简介
PVD真空镀膜简介
PVD真空镀膜简介1. PVD的含义—PVD是英文Physical Vapor Deposition的缩写，中文意思是“物理气相沉积”，是指在真空条件下，用物理的方法使材料沉积在被镀工件上的薄膜制备技术。
2. PVD镀膜和PVD镀膜机—PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类，真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜。
对应于PVD技术的三个分类，相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机这三种。
近十多年来，真空离子镀膜技术的发展是最快的，它已经成为当今最先进的表面处理方式之一。
我们通常所说的PVD镀膜，指的就是真空离子镀膜；通常所说的PVD镀膜机，指的也就是真空离子镀膜机。
3. PVD镀膜技术的原理—PVD镀膜（离子镀膜）技术，其具体原理是在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。
4. PVD镀膜膜层的特点—采用PVD镀膜技术镀出的膜层，具有高硬度、高耐磨性（低摩擦系数）、很好的耐腐蚀性和化学稳定性等特点，膜层的寿命更长；同时膜层能够大幅度提高工件的外观装饰性能。
5. PVD镀膜能够镀出的膜层种类—PVD镀膜技术是一种能够真正获得微米级镀层且无污染的环保型表面处理方法，它能够制备各种单一金属膜（如铝、钛、锆、铬等),氮化物膜（TiN、ZrN、CrN、TiAlN）和碳化物膜（TiC、TiCN),以及氧化物膜（如TiO等)。
6. PVD镀膜膜层的厚度—PVD镀膜膜层的厚度为微米级，厚度较薄，一般为0.3μm ～5μm，其中装饰镀膜膜层的厚度一般为0.3μm ～1μm ，因此可以在几乎不影响工件原来尺寸的情况下提高工件表面的各种物理性能和化学性能，镀后不须再加工。
7. PVD镀膜能够镀出的膜层的颜色种类—PVD镀膜目前能够做出的膜层的颜色有深金黄色，浅金黄色，咖啡色，古铜色，灰色，黑色，灰黑色，七彩色等。
PVD镀膜工艺简介ppt课件
3.辉光放电的定义 辉光放电是指在稀薄气体中，两个电极之间加上电压 时产生的一种气体放电现象。
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直流溅射：适用于金属材料
射频溅射：是适用于各种 金属和非金属材料的一种 溅射沉积方法
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4.真空溅射镀膜的优缺 点
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三、真空离子镀膜
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1.真空离子镀膜的定 义
在真空条件下，利用气体放电使气体或蒸发物质离化，在 气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时，把蒸发物或其反 应物蒸镀在基片上。
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PVD镀膜工艺简介
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一、PVD的定义及分 类
二、真空蒸发镀膜
三、真空溅射镀膜
四、真空离子镀膜
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一、PVD的定义及分 类
1.PVD的定义
物理气相沉积是一种物理气相反应生长法。沉积过程是在真空 或低气压气体放电条件下，即在低温等离子体中进行的。涂层的物 质源是固态物质，经过“蒸发或溅射”后，在零件表面生成与基材 性能完全不同的新的固体物质涂层。
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1.真空的定义
泛指低于一个大气压的气体状态。与普通大气压状态相比，分子密度较为稀 从而气体分子和气体分子、气体分子和器壁之间的碰撞几率要低一些。
2.真空蒸发镀膜的定 义
真空蒸发镀膜是在真空条件下，用蒸发器加热蒸发物质使之汽化，蒸发粒子
直接射向基片并在基片上沉积形成固态薄膜的技术。
括热蒸发和EB蒸发（电子束蒸发）
离子镀把辉光放电、等离子体技术与真空蒸发镀膜技术结 合在一起
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2.真空离子镀膜的原 理
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3.真空离子镀膜的特 点
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真空蒸镀、溅射镀膜和离子镀的比 较
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Thank you!
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pvd电镀工艺
pvd电镀工艺PVD电镀工艺是指物理化学气相沉积工艺（英文全称PhysicalVaporDeposition），它是在真空状态下，以物体表面为反应器，以低能量的离子、电子、原子流实现对金属、非金属物质表面的沉积，从而形成膜层。
该工艺是能够在低温、短时间内实现沉积，可以获得具有极高质量的涂层，关键技术在于真空环境和物质离子源选择。
PVD电镀用途PVD电镀技术主要用于涂层金属和非金属，如涂层钛合金、钴合金，也可以用于涂层非金属如碳等等，目的是增加涂层的耐磨性和耐腐蚀性，而且它可以获得低厚度的涂层。
PVD电镀优势PVD电镀是一种技术，具有节能、环保、持久耐用的特点。
它的沉积速度高，有较强的抗腐蚀性，对大多数金属和非金属具有极好的生物相容性，耐磨性能好，沉积后不会变形，耐高温解法材料，可用于高精度表面涂层及薄膜制备。
PVD电镀原理PVD电镀原理是在真空环境中，以电位较低能量的离子、原子等电子流，向待涂层物料表面沉积，实现涂层。
PVD电镀中，待涂层物料表面涂层前，使用无机物质或以合成无机物质为基础的合成气体，利用热沉积作用，在待涂层物料表面沉积涂层。
PVD电镀技术发展随着工业发展，PVD技术不断改进，PVD电镀技术已经发展到结构微观尺度，具有分离控制、降低破坏和改善耐久性的技术特点。
传统的PVD电镀技术虽然可实现涂层，但是仍然存在一定的缺陷，如涂层的质量不稳定，涂层的形貌不稳定，涂层的厚度不均匀，涂层的分子结构不稳定等等。
总结PVD电镀工艺是一种物理化学气相沉积工艺，可以实现涂层金属和非金属，它具有节能、环保、持久耐用的特点，传统的PVD电镀技术也由于不断的发展，具有分离控制、降低破坏和改善耐久性的技术特点。
但是仍然存在一定的缺陷，如涂层的质量不稳定，涂层的形貌不稳定，涂层的厚度不均匀，涂层的分子结构不稳定等等。
PVD真空镀膜
抗腐蝕和氧化性﹕不退色，不易划傷
通用性﹕產品主要的表面裝飾
良好的可塑性﹕可彎曲90度以上，不易斷裂
或脫皮及表面擦傷
耐抗性﹕硬度系數超過80RC
耐久性﹕表面拋光可維持20年以上
經濟性﹕節約（減少）了一般鍍銅（金）板所需清洁
磨光的時間和花費，使用一 塊軟布和玻璃
清洁劑就可以了
抗破坏性﹕筆跡和圖跡易消除
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PVD主要生產設備PVD真空爐 NhomakorabeaPVD真空爐
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挂具
進爐
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PVD真空鍍膜的制程
電漿拋光來料檢驗
上料
電漿拋光 布輪手拋光
制程檢驗(IPQC)
進爐(真空鍍)
物料上挂
制程檢驗(IPQC)
進爐烘乾
超聲波清洗
IPQC
表面純化處理
水洗 加膠(電泳)
水洗
進爐烘乾
交貨
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PVD真空鍍膜的特性
特點:
外觀﹕純金屬膜，凝重而華麗的金屬光澤
環境适應性﹕防止有害物質的放射 6
PVD真空鍍膜用途
PVD鍍膜技術的本意就是為了提高產品的耐磨耐蝕 性能，因此鍍膜產品更能迎合門面，門窗，五金，室 內外裝飾的要求。鍍膜產品經久耐用，它結合了銅及 金的豪華以及不鏽鋼易于保持的优點，且不易剝落， 褪色，氧化，掉色，鍍膜后的產品能用于成形，鑽孔， 切割而不斷裂，剝落。PVD鍍膜產品能運用于五金﹕幕 牆，電梯，柱子包層等等，鍍色后的不鏽鋼產品相比 于黃銅和黃金大大的減少了保養時間及成本，只需用 柔軟的布就可能達到保養目的。
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PVD鍍膜（鍍鈦）顏色系列
鈦/鋯物理汽化鍍膜是在一真空容器內在不 鏽鋼表面形成各顏色薄膜層， 這層膜有很好的 導電及潤滑能力，顏色多种， 由淺至深為黃銅， 金色，玖瑰金，紫銅，煙灰， 黑色等。 在發 絲，NO.4，鏡面，壓花，蝕刻板等基礎上均可 鍍色.
PVD真空镀膜技术在材料表面改性中的应用
PVD真空镀膜技术在材料表面改性中的应用在物质科学领域，表面工程和表面技术一直是研究的重点领域。
材料在不同环境下，受到各种物理、化学、生物等因素的影响，不但会导致表面的化学物质的变化，而且会影响其力学性能、物理性质以及其他性质。
表面工程技术就是基于改变材料表面内部结构和成分来改变表面性质和特性，以适应各种应用需求的工程技术。
PVD真空镀膜技术，即物理气相沉积技术 (Physical Vapor Deposition)，是目前常用的一种表面处理技术，其基本原理是利用高真空条件下，将金属或非金属薄膜沉积到基体表面的过程。
这种技术具有无污染、无毒、无害、低成本和高效等优点，在多个领域得到了广泛的应用。
PVD真空镀膜技术的基本工艺流程包括：材料表面清洗、预处理、真空抽空、薄膜成核、沉积、薄膜成长和表面处理等步骤。
不同材料的表面处理需求不同，可以通过更换不同的沉积源、沉积条件和表面处理工艺，实现不同的表面改性。
PVD真空镀膜技术在材料表面改性中的应用较为广泛，在以下几个方面有很好的应用表现：1.提高材料表面硬度和耐磨性PVD真空镀膜技术可以利用金属、合金或化合物等薄膜进行镀膜处理，从而提高材料表面硬度和耐磨性。
金属薄膜在物理碰撞过程中不容易脱落，使表面不易刮伤和损坏；像氮化铬、硬质合金等陶瓷类涂层，则可以在表面形成一层高硬度的陶瓷保护层，从而提高了工件表面的耐磨性和硬度。
2.提高材料表面的耐腐蚀性通过PVD真空镀膜技术，我们可以在材料表面形成氧化铝、氧化锆、丝光不锈钢等高功能涂层，以增强材料表面的耐腐蚀性，并提高材料的化学稳定性。
3.提升材料表面的导电性和热导率在电子材料、光电器件等领域，要求材料表面具有较好的导电性和热导率。
PVD真空镀膜技术可以在材料表面形成一系列的金属、导体或半导体涂层，从而提高材料的导电性和热导率，符合其选择用途。
4.提高材料表面光学透过率和反射率在光学和电子器件领域，我们需要将材料表面的透过率和反射率提高到最佳状态，常采用PVD真空镀膜技术来实现。
PVD镀膜工艺简介
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二、真空溅射镀膜
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1.真空溅射镀膜的定义
给靶材施加高电压（形成等离子状态），使正荷电气体离子撞击靶材、金属 原子飞弹，而在样品表面形成金属皮膜的方法。
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2.磁控溅射镀膜的定义
电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的 氩离子和电子，电子飞向基片，氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量 的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜。
爱是什么？ 一个精灵坐在碧绿的枝叶间沉思。 风儿若有若无。 一只鸟儿飞过来，停在枝上，望着远处将要成熟的稻田。 精灵取出一束黄澄澄的稻谷问道：“你爱这稻谷吗？” “爱。” “为什么？” “它驱赶我的饥饿。” 鸟儿啄完稻谷，轻轻梳理着光润的羽毛。 “现在你爱这稻谷吗？”精灵又取出一束黄澄澄的稻谷。 鸟儿抬头望着远处的一湾泉水回答：“现在我爱那一湾泉水，我有点渴了。” 精灵摘下一片树叶，里面盛了一汪泉水。 鸟儿喝完泉水，准备振翅飞去。 “请再回答我一个问题，”精灵伸出指尖，鸟儿停在上面。 “你要去做什么更重要的事吗？我这里又稻谷也有泉水。” “我要去那片开着风信子的山谷，去看那朵风信子。” “为什么？它能驱赶你的饥饿？” “不能。” “它能滋润你的干渴？” “不能。”爱是什么？ 一个精灵坐在碧绿的枝叶间沉思。 风儿若有若无。 一只鸟儿飞过来，停在枝上，望着远处将要成熟的稻田。 精灵取出一束黄澄澄的稻谷问道：“你爱这稻谷吗？” “爱。” “为什么？” “它驱赶我的饥饿。” 鸟儿啄完稻谷，轻轻梳理着光润的羽毛。 “现在你爱这稻谷吗？”精灵又取出一束黄澄澄的稻谷。 鸟儿抬头望着远处的一湾泉水回答：“现在我爱那一湾泉水，我有点渴了。” 精灵摘下一片树叶，里面盛了一汪泉水。 鸟儿喝完泉水，准备振翅飞去。 “请再回答我一个问题，”精灵伸出指尖，鸟儿停在上面。 “你要去做什么更重要的事吗？我这里又稻谷也有泉水。” “我要去那片开着风信子的山谷，去看那朵风信子。” “为什么？它能驱赶你的饥饿？” “不能。” “它能滋润你的干渴？” “不能。”
pvd真空渐变镀膜
pvd真空渐变镀膜摘要：1.PVD真空渐变镀膜简介2.PVD真空渐变镀膜的工艺原理3.PVD真空渐变镀膜的应用领域4.PVD真空渐变镀膜的优势与特点5.我国在PVD真空渐变镀膜技术的发展现状6.未来PVD真空渐变镀膜的发展趋势与展望正文：一、PVD真空渐变镀膜简介PVD（物理气相沉积）真空渐变镀膜是一种先进的表面处理技术，通过在真空环境下，将靶材表面物质转化为气相并沉积在基材表面，形成具有一定厚度和成分梯度的薄膜。
这种薄膜具有优异的性能，广泛应用于各个领域。
二、PVD真空渐变镀膜的工艺原理PVD真空渐变镀膜工艺的基本原理是在真空腔体内，通过高速氩离子轰击靶材，使靶材表面物质蒸发并进入真空腔体。
这些气相粒子在基材表面凝结，形成薄膜。
由于氩离子的能量传递，使得薄膜的成分和厚度沿径向呈梯度分布。
三、PVD真空渐变镀膜的应用领域PVD真空渐变镀膜技术在许多领域具有广泛的应用，如电子、光学、建筑、汽车、航空航天等。
在电子产品中，PVD薄膜可作为防腐、抗氧化、抗磨损、电磁屏蔽等功能层；在建筑领域，PVD薄膜可用于玻璃、金属材料的表面修饰，提高其美观性和实用性；在汽车工业中，PVD薄膜可作为抗磨损、抗腐蚀、抗紫外线等涂层，提高零部件的使用寿命。
四、PVD真空渐变镀膜的优势与特点PVD真空渐变镀膜具有以下优势和特点：1.薄膜性能优异，具有良好的耐腐蚀、抗氧化、抗磨损等性能。
2.薄膜厚度可精确控制，成分呈梯度分布，具有优异的涂层均匀性。
3.工艺过程环保，无污染排放。
4.适用于各种基材，应用范围广泛。
五、我国在PVD真空渐变镀膜技术的发展现状近年来，我国PVD真空渐变镀膜技术取得了显著的发展，不仅在科研领域取得了突破，而且在产业化方面也取得了丰硕的成果。
我国已成功研发出具有自主知识产权的PVD设备，并广泛应用于工业生产领域。
此外，我国在PVD 薄膜材料、工艺研发和产业化方面与国际先进水平保持同步。
六、未来PVD真空渐变镀膜的发展趋势与展望随着科技的不断进步和市场需求的增长，PVD真空渐变镀膜技术将迎来更广泛的应用和发展。
PVD镀膜工艺简介
生物医疗
用于制造具有生物相容性和耐 腐蚀性能的医疗器械和人工关
节等。
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PVD镀膜工艺流程
前处理
清洗
去除工件表面的污垢、油脂和杂 质，确保工件清洁，以便进行后 续镀膜。
干燥
将清洗后的工件进行干燥处理， 以去除残留的水分，避免对镀膜 效果产生影响。
真空镀膜
蒸发源选择
根据需要镀制的膜层材料，选择相应 的蒸发源，如电子束蒸发、激光脉冲 蒸发等。
PVD镀膜工艺简介
目 录
• PVD镀膜技术概述 • PVD镀膜工艺流程 • PVD镀膜材料 • PVD镀膜工艺的特点与优势 • PVD镀膜工艺的应用实例
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PVD镀膜技术概述
PVD镀膜技术的定义
物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，简称PVD）是一 种表面处理技术，利用物理方法将固体材料转化为气态原子或 分子，并将其沉积在基材表面形成薄膜。
类金刚石镀膜
具有极高的硬度和优良的 耐磨性，常用于机械零件、 光学元件、医疗器械等领 域的表面处理。
碳化物镀膜
具有高硬度、高耐磨性等 特点，常用于切削工具、 模具等领域的表面处理。
复合镀膜材料
氧化铝/氮化钛镀膜
氧化锆/类金刚石镀膜
具有高硬度、优良的耐磨性和耐腐蚀 性等特点，广泛用于切削工具、刀具 等领域的表面处理。
适用范围广
PVD镀膜工艺适用于各种金属材料， 如不锈钢、钛、铝、钴等，也可应用 于陶瓷、玻璃等非金属材料。
优良的结合力
PVD镀膜层与基材之间具有优良的结 合力，不易剥落，提高了产品的可靠 性和安全性。
长寿命
PVD镀膜层具有较长的使用寿命，可 大幅减少维修和更换的频率，降低生 产成本。
PVD（真空）镀膜
PVD（真空）镀膜PVD是英文Physical Vapor Deposition（物理气相沉积）的缩写，是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。
PVD技术的发展PVD技术出现于二十世纪七十年代末，制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、很好的耐磨性和化学稳定性等优点。
最初在高速钢刀具领域的成功应用引起了世界各国制造业的高度重视，人们在开发高性能、高可靠性涂层设备的同时，也在硬质合金、陶瓷类刀具中进行了更加深入的涂层应用研究。
与 CVD工艺相比，PVD工艺处理温度低，在600℃以下时对刀具材料的抗弯强度无影响；薄膜内部应力状态为压应力，更适于对硬质合金精密复杂刀具的涂层；PVD工艺对环境无不利影响，符合现代绿色制造的发展方向。
目前PVD涂层技术已普遍应用于硬质合金立铣刀、钻头、阶梯钻、油孔钻、铰刀、丝锥、可转位铣刀片、异形刀具、焊接刀具等的涂层处理。
睡前喝一物，绝经还能回潮，女人圈内传...广告PVD技术不仅提高了薄膜与刀具基体材料的结合强度，涂层成分也由第一代的TiN发展为TiC、TiCN、ZrN、CrN、MoS2、TiAlN、TiAlCN、TiN-AlN、CNx、DLC和ta－C等多元复合涂层。
展开剩余68%真空手套箱金属件PVD装饰膜镀制工艺,主要为在装饰产品设计。
例如大型板材管材、家具装饰品上镀保护膜，真空手套箱设备手套箱后的产品能够展现出雍容华贵、光彩夺目等各种各样的美丽效果，并且膜层耐磨损不褪色。
1.装饰件材料(底材)(1)金属。
不锈钢、钢基合金、锌基合金等。
(2)玻璃、陶瓷。
(3)塑料。
ABS、PVC、PC、SHEET、尼龙、水晶等。
(4)柔性材料。
涤纶膜、PC、纸张、布、泡沫塑料、钢带等。
2.装饰膜种类(1)金属基材装饰膜层：TiN、ZrN、TiC、CrNx、TiCN、CrCN、Ti02、Al等。
PVD真空镀膜简介
PVD真空镀膜简介PVD真空镀膜（Physical Vapor Deposition）是一种通过高真空条件下，将固态材料蒸发、溅射或离子束照射等方式沉积到基材表面形成功能薄膜的工艺技术。
PVD镀膜技术具有优异的性能和广泛的应用领域，被广泛应用于光学薄膜、装饰薄膜、耐磨薄膜、防腐蚀薄膜和导电薄膜等领域。
PVD真空镀膜技术主要分为蒸发镀膜、溅射镀膜和离子束沉积等几种方式。
蒸发镀膜是将固态材料加热到一定温度，使其蒸发成气体，然后沉积在基材表面形成薄膜。
溅射镀膜是将固态目标材料置于高真空室中，利用离子束轰击目标表面，使其材料释放出来，并沉积在基材上。
离子束沉积则是利用离子束轰击固态材料，产生的离子和中性粒子在基材上形成薄膜。
PVD镀膜技术具有许多重要优势。
首先，PVD薄膜具有极高的附着力，因为在真空环境下，薄膜材料可以直接与基材表面发生物理化学反应，形成致密的结构。
其次，PVD技术可以在低温下进行，减少了对基材的热损伤，特别适用于易受热的塑料和有机材料。
此外，PVD薄膜具有良好的化学稳定性、机械硬度和耐磨性，能够有效提高基材的耐腐蚀性、硬度和耐磨性。
另外，PVD镀膜技术还可以控制膜层的成分和结构，可以产生金属薄膜、合金薄膜、氮化物薄膜、硼化物薄膜等多种高性能薄膜。
PVD真空镀膜技术在许多领域中得到广泛应用。
在光学领域，它可以用于制备高反射膜、透明导电膜、滤光膜等。
在电子领域，PVD技术可以制备导电薄膜用于集成电路、光伏电池和显示器件等。
在汽车和航空航天领域，PVD薄膜可以用于制备具有高耐磨性和耐腐蚀性的装饰膜。
在工具领域，PVD技术可以制备高硬度、高耐磨的刀具涂层和模具涂层等。
在材料领域，PVD薄膜可以制备各种功能性薄膜，如防刮伤膜、防指纹膜、防眩光膜等。
然而，PVD镀膜技术也存在一些问题。
首先，设备和工艺的成本相对较高，需要投入较大的资金和技术支持。
其次，PVD薄膜的厚度较薄，通常在几纳米到几十微米之间，因此只能应用于薄层镀膜。
真空镀膜(PVD 技术)
真空镀膜（PVD 技术）1. 真空涂层技术的发展真空涂层技术起步时间不长，国际上在上世纪六十年代才出现将CVD（化学气相沉积）技术应用于硬质合金刀具上。
由于该技术需在高温下进行（工艺温度高于1000ºC），涂层种类单一，局限性很大，起初并未得到推广。
到了上世纪七十年代末，开始出现PVD（物理气相沉积）技术，之后在短短的二、三十年间PVD 涂层技术得到迅猛发展，究其原因：（1）其在真空密封的腔体内成膜，几乎无任何环境污染问题，有利于环保；（2）其能得到光亮、华贵的表面，在颜色上，成熟的有七彩色、银色、透明色、金黄色、黑色、以及由金黄色到黑色之间的任何一种颜色，能够满足装饰性的各种需要；（3）可以轻松得到其他方法难以获得的高硬度、高耐磨性的陶瓷涂层、复合涂层，应用在工装、模具上面，可以使寿命成倍提高，较好地实现了低成本、高收益的效果；（4）此外，PVD 涂层技术具有低温、高能两个特点，几乎可以在任何基材上成膜，因此，应用范围十分广阔，其发展神速也就不足为奇。
真空涂层技术发展到了今天还出现了PCVD（物理化学气相沉积）、MT-CVD （中温化学气相沉积）等新技术，各种涂层设备、各种涂层工艺层出不穷。
目前较为成熟的PVD 方法主要有多弧镀与磁控溅射镀两种方式。
多弧镀设备结构简单，容易操作。
多弧镀的不足之处是，在用传统的DC 电源做低温涂层条件下，当涂层厚度达到0.3 um 时，沉积率与反射率接近，成膜变得非常困难。
而且，薄膜表面开始变朦。
多弧镀另一个不足之处是，由于金属是熔后蒸发，因此沉积颗粒较大，致密度低，耐磨性比磁控溅射法成膜差。
可见，多弧镀膜与磁控溅射法镀膜各有优劣，为了尽可能地发挥它们各自的优越性，实现互补，将多弧技术与磁控技术合而为一的涂层机应运而生。
在工艺上出现了多弧镀打底，然后利用磁控溅射法增厚涂层，最后再利用多弧镀达到最终稳定的表面涂层颜色的新方法。
2. 技术原理PVD (Physical Vapor Deposition) 即物理气相沉积，分为：真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。
pvd真空镀膜的基本过程和原理
pvd真空镀膜的基本过程和原理
PVD（Physical Vapor Deposition）真空镀膜是一种广泛应用于
表面改性和涂层制备的技术。
它的基本过程包括：蒸发、传输、凝结和沉积。
1. 蒸发：通过热源加热，将固态材料（通常为金属）转变为蒸汽。
这可以通过电阻加热、电子束蒸发或弧光蒸发等方式实现。
2. 传输：蒸汽经过真空环境中的传输装置，将蒸汽输送到待镀物体的位置。
传输装置可以是磁控溅射、跳线或电子束扫描等。
3. 凝结：蒸汽在传输过程中会遇到冷凝体，使其凝结成液体或固体。
这可以通过冷凝器、冷却板等装置实现。
4. 沉积：凝结的液体或固体沉积在待镀物体表面，形成薄膜。
这可以通过靶材或者源材料布置在待镀物上方，经过特定的装置使薄膜在待镀物体上均匀沉积。
PVD真空镀膜的原理是通过控制材料的蒸发、传输和凝结过程，将固态材料转化为气态蒸汽并沉积在待镀物表面，形成均匀的薄膜。
真空环境可以避免与空气中的杂质发生反应，提高薄膜质量。
此外，由于采用物理手段制备薄膜，所以通常具有较高的附着力和耐磨性。
PVD真空镀膜广泛应用于金属薄膜、陶瓷薄膜和多层膜等领域，用于改善材料的光学、电学、机械和化学性能等。
pvd真空镀膜原理
pvd真空镀膜原理
PVD真空镀膜原理是基于物理气相沉积（PVD）技术的一个镀膜过程。
在该过程中，通过将材料加热到高温，并在低压下蒸发，形成薄膜并沉积在物体表面。
本文将详细阐述PVD真空镀膜原理及其应用。
一、准备工作
首先，需要将所需材料加入到熔融或固态加热器中，并将试件放置在沉积室内。
在开始蒸发前，需要将原料加热到一定温度，以使其变为蒸汽。
同时，要保证沉积室内的低压状态，使蒸发出的原料可以被吸附在试件表面。
二、蒸发过程
在低压状态下，原料加热器的温度升高，形成蒸汽。
蒸汽会沉积在试件表面，形成一个薄膜。
原料进入室内后首先经过气体介质，达到前室与后室间相对稳定的负压状态，然后通过中介层传递到材料表面，沉积在表面上形成膜层。
三、膜层形成
蒸发速率和失踪速率是影响膜层形成的两个主要因素。
如果蒸发速率比失踪速率快，就会在试件表面形成薄膜。
如果失踪速率比蒸发速率快，试件表面就不会形成薄膜。
因此，需要准确控制压力和温度，以保证形成均匀和质量稳定的薄膜。
四、应用
PVD真空镀膜技术广泛应用于表面处理、防腐蚀、电子器件等领域。
例如，在电子器件领域中，可以使用该技术制造光阴极、太阳能电池、LED、半导体器件等。
在航空、汽车、医疗等领域中，也可以使用它来提高材料的耐磨性、抗腐蚀性等性能。
总之，PVD真空镀膜技术是一种高效、环保和可靠的表面处理技术。
通过准确控制蒸发速率和失踪速率，可以形成具有高质量和均匀性的薄膜，大大提高了材料的性能和实用性。
PVD涂层介绍
PVD涂层介绍PVD涂层介绍0001、什么是PVDPVD是英文Physical Vapor Deposition的缩写，中文意思是“物理气相沉积”，是指在真空条件下，用物理的方法使材料沉积在被镀工件上的薄膜制备技术。
PVD镀膜技术的应用主要分为装饰镀和工具镀：①装饰镀的目的主要是为了改善工件的外观装饰性能和色泽，同时使工件更耐磨耐腐蚀延长其使用寿命，这方面主要应用五金行业的各个领域，如门窗五金、锁具、卫浴五金等行业。
②工具镀的目的主要是为了提高工件的表面硬度和耐磨性，降低表面的摩擦系数，提高工件的使用寿命，这方面主要应用在各种切削刀具（如车刀、铣刀、钻头、锯片）等产品中。
2、PVD镀膜的具体原理离子镀膜（PVD镀膜）技术，其原理是在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质电离，在电场的作用下，使被蒸发物质或其反应产物沉积在工件上。
3、PVD镀膜能够镀出如下的膜层种类PVD镀膜技术是一种能够真正获得微米级镀层且无污染的环保型表面处理方法，它能够制备各种单一金属膜（如铝、钛、锆、铬等）、氮化物膜（TiN[钛金]、ZrN〔锆金〕、CrN、TiAlN）和碳化物膜（TiC、TiCN），以及氧化物膜（如TiO等）。
4、PVD镀膜膜层的厚度PVD镀膜膜层的厚度为微米级，厚度较薄，一般为0.1μm～5μm，其中装饰镀膜膜层的厚度一般为0.1μm~1μm，因此可以在几乎不影响工件原来尺寸的情况下提高工件表面的各种物理性能和化学性能，并能够维持工件尺寸基本不变，镀后不须再加工。
5、PVD镀膜能够镀出膜层的颜色有如下多种目前能够做出的膜层的颜色有深金黄色，浅金黄色，咖啡色，古铜色，灰色，黑色，灰黑色，七彩色等。
通过控制镀膜过程中的相关参数，可以控制镀出的颜色。
6、涂层的特性①硬度涂层带来的高表面硬度是提高刀具寿命的最佳方式之一。
一般而言，材料或表面的硬度越高，刀具的寿命越长。
pvd镀膜原理
pvd镀膜原理PVD镀膜原理。
PVD（Physical Vapor Deposition）是一种常用的表面处理技术，通过物理方法将固体材料蒸发或溅射到基材表面，形成一层薄膜。
PVD镀膜技术主要包括蒸发镀膜和溅射镀膜两种方式，其原理是利用真空环境下的物理过程进行薄膜沉积。
本文将详细介绍PVD镀膜的原理及其相关知识。
PVD镀膜的原理主要包括蒸发镀膜和溅射镀膜两个过程。
蒸发镀膜是指将固体材料加热至其蒸发温度，使其形成蒸汽，然后沉积在基材表面形成薄膜。
而溅射镀膜是通过在真空环境下，利用离子轰击的方式将固体材料溅射到基材表面，形成薄膜。
这两种方式都是在真空环境下进行的，以确保薄膜的纯净度和附着力。
在PVD镀膜过程中，首先需要将基材放置在真空室内，并抽取空气，使其达到一定的真空度。
然后，根据所需的薄膜材料，选择相应的固体材料作为靶材，通过加热或离子轰击的方式，将其蒸发或溅射到基材表面。
在此过程中，薄膜材料以原子或分子的形式沉积在基材表面，形成均匀致密的薄膜。
PVD镀膜技术具有许多优点。
首先，由于是在真空环境下进行的，因此可以避免氧化、碳化等污染物质对薄膜质量的影响，保证薄膜的纯净度。
其次，PVD薄膜具有较高的附着力和硬度，能够有效提高基材的耐磨、耐腐蚀等性能。
此外，PVD镀膜还可以实现对基材表面的精确加工，形成不同颜色、不同功能的薄膜，满足不同工业领域的需求。
除了上述优点外，PVD镀膜技术还具有较高的成膜速度和较低的成本，适用于各种材料的表面处理。
因此，在航空航天、汽车制造、电子器件等领域都有着广泛的应用。
同时，随着科技的不断发展，PVD镀膜技术也在不断创新，如磁控溅射、弧离子镀等新工艺的出现，使得PVD镀膜技术更加多样化和高效化。
总的来说，PVD镀膜技术是一种高效、环保、多功能的表面处理技术，其原理简单清晰，应用广泛。
随着材料科学和工艺技术的不断进步，PVD镀膜技术必将在未来的材料表面处理领域发挥更加重要的作用。
PVD镀膜工艺简介.ppt
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2.真空离子镀膜的原理
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3.真空离子镀膜的特点
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真空蒸镀、溅射镀膜和离子镀的比较
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Thank you!
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PVD镀膜工艺简介
一、PVD的定义及分类 二、真空蒸发镀膜 三、真空溅射镀膜 四、真空离子镀膜
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一、PVD的定义及分类
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1.PVD的定义
物理气相沉积是一种物理气相反应生长法。沉积过程是在真空或低 气压气体放电条件下，即在低温等离子体中进行的。涂层的物质源是固 态物质，经过“蒸发或溅射”后，在零件表面生成与基材性能完全不同 的新的固体物质涂层。
1.真空的定义
泛指低于一个大气压的气体状态。与普通大气压状态相比，分子密度较为稀薄， 从而气体分子和气体分子、气体分子和器壁之间的碰撞几率要低一些。
2.真空蒸发镀膜的定义
真空蒸发镀膜是在真空条件下，用蒸发器加热蒸发物质使之汽化，蒸发粒子流 直接射向基片并在基片上沉积形成固态薄膜的技术。
括热蒸发和EB蒸发（电子束蒸发）
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2.PVD的基本过程
? 从原料中发射粒子（经过蒸发、升华、溅射和分解等过程）； ? 粒子输运到基片（粒子之间发生碰撞，产生离化、复合、反应， 能量的交换和运动方向的变化）； ? 粒子在基片上凝结、成核、长大和成膜。
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3.PVD的分类
真空蒸发镀膜 真空溅射镀膜 真空离子镀膜
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二、真空蒸发镀膜
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二、真空溅射镀膜
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1.真空溅射镀膜的定义
给靶材施加高电压（形成等离子状态），使正荷电气体离子撞击靶材、金属 原子飞弹，而在样品表面形成金属皮膜的方法。
PVD(Sputter)介绍
PVD（Sputter）介绍
3、Sputter Coating成膜过程：溅射过程 是以动量传递的离子轰击为基础的动力学过 程。具有高能量的入射离子与靶原子产生碰 撞，通过能量传递，使靶原子获得一定动能 之后脱离靶材表面飞溅出来。 从溅射靶中出来的沉积粒子入射基体表 面之后，在基体表面上形成吸附原子后，它 便失去了在表面法线方向的动能，只具有与 表面水平方向相平行运动的动能。依靠这种 动能，吸附原子在表面上作不同方向的表面 扩散运动.在表面扩散过程中，单个吸附原子 间相互碰撞形成原子对之后才能产生凝结。 经过吸附、凝结、表面扩散迁移、碰撞结合 形成稳定晶核。然后再通过吸附使晶核长大 成小岛，岛长大后互相联结聚结，最后形成 连续状薄膜。
PVD（Sputter）介绍
2、电浆放电系统种类：电浆放电系统可分为以下几种— —热电阻式、电子束式、直流溅射、射频溅射、离子溅射、 镭射剥镀、分子束磊晶系统、冷阴极电弧电浆沉积； 3、溅镀的模型：图2中的母球代表被电离后的气体分子， 而红色各球则代表将被溅镀之靶材（Si、ITO&Ti等），图3则 代表溅镀后被溅射出的原子、分子等的运动情形；即当被加 速的离子与表面撞击后，通过能量与动量转移过程（如图4）， 低能离子碰撞靶时，不能从固体表面直接溅射出原子，而是 把动量转移给被碰撞的原子，引起晶格点阵上原子的链锁式 碰撞。这种碰撞将沿着晶体点阵的各个方向进行。同时，碰 撞因在原子最紧密排列的点阵方向上最为有效，结果晶体表 面的原子从邻近原子那里得到愈来愈大的能量，如果这个能 量大于原子的结合能，原子就从固体表面从各个方向溅射出 来；
PVD（Sputter）介绍
PVD（Sputter）介绍
1:PVD:即物理气相沉积(Physicql Vapor Deposition)的简称,包括真空蒸发镀膜,溅 射镀膜,离子束和离子助,外延膜沉积技术 等四大类. 2:PECVD:即等离子增强化学气相沉积 (Plasma-Enhanced Chmical vapor Deposition),其他还有LPCVD ,MOCVD, 等. APCVD
pvd真空镀膜
PVD真空镀膜简介PVD（Physical Vapor Deposition）真空镀膜是一种常用的表面涂层技术，通过在真空环境中将固体材料转变成蒸汽或离子态，将其沉积在基材表面上进行涂层。
PVD镀膜技术具有高附着力、优异的质量性能、较长的使用寿命等优点，被广泛应用于自动化设备、汽车、电子器件、建筑装饰等领域。
工艺过程PVD真空镀膜的工艺过程包括蒸发、溅射、离子镀等步骤。
1.蒸发：在真空腔室中加热固体材料，使其转变成蒸汽状态。
蒸发材料通常为金属或合金，如铝、铜、钛等。
这些金属材料通常具有较高的沉积速率和较好的光学性能。
2.溅射：通过电弧或磁控溅射等方法将固体材料的离子或原子从靶材表面释放，进而沉积到基材表面上。
溅射技术可以实现材料的复杂合金结构涂层，具有较高的镀膜均匀性和较好的附着力。
3.离子镀：利用离子源将离子束引导到基材表面，在表面形成均匀的离子沉积层。
离子镀技术可用于增强涂层材料的致密性和硬度，提高涂层的耐磨性和抗腐蚀性能。
应用领域PVD真空镀膜技术在多个行业和领域得到广泛应用。
以下是一些常见的应用领域：汽车PVD镀膜广泛应用于汽车行业，主要用于改善汽车外观和提高其耐腐蚀性能。
常见的应用包括车轮、车门把手、排气管等，通过PVD镀膜技术使其表面具有金属光泽、抗刮擦和抗腐蚀等特性。
建筑装饰PVD镀膜技术在建筑装饰领域被广泛应用于不锈钢表面处理，使其呈现出不同颜色和纹理，提高装饰效果和耐腐蚀性能。
常见的应用包括不锈钢门、窗户、护栏等。
电子器件PVD镀膜技术在电子器件领域被广泛应用于制作涂层薄膜和改善器件性能。
常见的应用包括显示屏保护膜、光学镜片、太阳能电池板等。
其他PVD镀膜技术还可应用于其他领域，如机械零件、医疗设备、航空航天等。
通过PVD镀膜技术改善材料的表面性能，提高其耐磨性、耐高温性、抗腐蚀性等。
优势和挑战PVD真空镀膜技术具有以下优势：1.高附着力：PVD涂层与基材表面结合紧密，具有较高的附着力，不易剥落或脱落。
镀 真空镀 PVD真空镀膜
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PVD主要生产设备
PVD真空炉
PVD真空炉
3
挂具
进炉
4
PVD真空镀膜的பைடு நூலகம்程
电浆抛光来料检验
上料
电浆抛光
布轮手抛光
制程检验(IPQC)
进炉(真空镀)
物料上挂
制程检验(IPQC)
进炉烘干
超声波清洗
IPQC
表面纯化处理
水洗
加胶(电泳)
水洗
进炉烘干
交货
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PVD真空镀膜的特性
特点: • 外观﹕纯金属膜，凝重而华丽的金属光泽 • 抗腐蚀和氧化性﹕不退色，不易划伤 • 通用性﹕产品主要的表面装饰 • 良好的可塑性﹕可弯曲90度以上，不易断裂 或脱皮及表面擦伤 • 耐抗性﹕硬度系数超过80RC • 耐久性﹕表面抛光可维持20年以上 • 经济性﹕节约（减少）了一般镀铜（金）板所需清洁 磨光的时间和花费，使用一 块软布和玻璃 清洁剂就可以了 • 抗破坏性﹕笔迹和图迹易消除 • 环境适应性﹕防止有害物质的放射
PVD真空镀膜 PVD真空镀膜
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PVD反应原理
PVD镀膜（镀钛/锆镀膜）（也叫钛/锆物理蒸汽沉降）， 就是在一个真空容器内，将需要镀膜的材料置于真空 炉内，然后慢慢加热至一定温度，钛块就会以电弧的 形式汽化，钛块与氮气混和形成一薄膜。膜的正极附 被于材料的负极，慢慢在被镀膜材料的表面形成了一 层薄膜。通过调节温度，混合气，钛块，便可以调配 出许多种性能优异的镀膜色彩。镀膜后的色彩丰富， 在各种产品尤其是不锈钢产品表面形成钛/锆膜层能在 室外环境下经年不褪色。
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PVD镀膜（镀钛）颜色系列
钛/锆物理汽化镀膜是在一真空容器内在不 锈钢表面形成各颜色薄膜层， 这层膜有很好的 导电及润滑能力，颜色多种， 由浅至深为黄铜， 金色，玖瑰金，紫铜，烟灰， 黑色等。 在发 丝，NO.4，镜面，压花，蚀刻板等基础上均可 镀色.
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PVD真空镀膜简介
1. PVD的含义—PVD是英文Physical Vapor Deposition的缩写，中文意思是“物理气相沉积”，是指在真空条件下，用物理的方法使材料沉积在被镀工件上的薄膜制备技术。
2. PVD镀膜和PVD镀膜机—PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类，真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜。
对应于PVD技术的三个分类，相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机这三种。
近十多年来，真空离子镀膜技术的发展是最快的，它已经成为当今最先进的表面处理方式之一。
我们通常所说的PVD镀膜，指的就是真空离子镀膜；通常所说的PVD镀膜机，指的也就是真空离子镀膜机。
3. PVD镀膜技术的原理—PVD镀膜（离子镀膜）技术，其具体原理是在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。
4. PVD镀膜膜层的特点—采用PVD镀膜技术镀出的膜层，具有高硬度、高耐磨性（低摩擦系数）、很好的耐腐蚀性和化学稳定性等特点，膜层的寿命更长；同时膜层能够大幅度提高工件的外观装饰性能。
5. PVD镀膜能够镀出的膜层种类—PVD镀膜技术是一种能够真正获得微米级镀层且无污染的环保型表面处理方法，它能够制备各种单一金属膜（如铝、钛、锆、铬等),氮化物膜（TiN、ZrN、CrN、TiAlN）和碳化物膜（TiC、TiCN),以及氧化物膜（如TiO等)。
6. PVD镀膜膜层的厚度—PVD镀膜膜层的厚度为微米级，厚度较薄，一般为0.3μm ～5μm，其中装饰镀膜膜层的厚度一般为0.3μm ～1μm ，因此可以在几乎不影响工件原来尺寸的情况下提高工件表面的各种物理性能和化学性能，镀后不须再加工。
7. PVD镀膜能够镀出的膜层的颜色种类—PVD镀膜目前能够做出的膜层的颜色有深金黄色，浅金黄色，咖啡色，古铜色，灰色，黑色，灰黑色，七彩色等。
通过控制镀膜过程中的相关参数，可以控制镀出的颜色；镀膜结束后可以用相关的仪器对颜色进行测量，使颜色得以量化，以确定镀出的颜色是否满足要求。
8. PVD镀膜与传统化学电镀（水电镀）的异同—
PVD镀膜与传统的化学电镀的相同点是，两者都属于表面处理的范畴，都是通过一定的方式使一种材料覆盖在另一种材料的表面。
两者的不同点是：PVD镀膜膜层与工件表面的结合力更大，膜层的硬度更高，耐磨性和耐腐蚀性更好，膜层的性能也更稳定；PVD镀膜不会产生有毒或有污染的物质。
9. PVD镀膜技术目前主要应用的行业—PVD镀膜技术的应用主要分为两大类：装饰镀膜和工具镀膜。
装饰镀的目的主要是为了改善工件的外观装饰性能和色泽同时使工件更耐磨耐腐蚀延长其使用寿命；这方面主要应用五金行业的各个领域，如门窗五金、锁具、卫浴五金等行业。
工具镀的目的主要是为了提高工件的表面硬度和耐磨性，降低表面的摩擦系数，提高工件的使用寿命；这方面主要应用在各种刀剪、车削刀具（如车刀、刨刀、铣刀、钻头等等）、各种五金工具（如螺丝刀、钳子等）、各种模具等产品中。
10. PVD镀膜（离子镀膜）技术的主要特点和优势—和真空蒸发镀膜真空溅射镀膜相比较，PVD离子镀膜具有如下优点：1 ．膜层与工件表面的结合力强，更加持久和耐磨2 ．离子的绕射性能好，能够镀形状复杂的工件3 ．膜层沉积速率快，生产效率高4 ．可镀膜层种类广泛 5 ．膜层性能稳定、安全性高（获得FDA认证，可植入人体）
真空蒸发镀膜真空溅射镀膜真空离子镀膜三种镀膜方式的比较
PVD 镀膜( 离子镀膜) 技术和设备常见问题解答
Q1: 请问什么是PVD？
A1: PVD是英文Physical Vapor Deposition的缩写，中文意思是“物理气相沉积”，是指在真空条件下，用物理的方法使材料沉积在被镀工件上的薄膜制备技术。
Q2: 请问什么是PVD镀膜？什么是PVD镀膜机？
A2: PVD(物理气相沉积)技术主要分为三类，真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。
相对于PVD 技术的三个分类，相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机。
近十多年来，真空离子镀技术的发展是最快的，它已经成为了当代最先进的表面处理方法之一。
我们通常所说的PVD镀膜，指的就是真空离子镀膜；通常所说的PVD镀膜机，指的也就是真空离子镀膜机。
Q3: 请问PVD镀膜的具体原理是什么？
A3: 离子镀膜（PVD镀膜）技术，其原理是在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质电离，在电场的作用下，使被蒸发物质或其反应产物沉积在工件上。
Q4: 请问PVD镀膜与传统的化学电镀（水电镀）相比有何优点？
A4: PVD镀膜与传统的化学电镀的相同点是，两者都属于表面处理的范畴，都是通过一定的方式使一种材料覆盖在另一种材料的表面。
两者的不同点是：PVD镀膜膜层与工件表面的结合力更大，膜层的硬度更高，耐磨性和耐腐蚀性更好，膜层的性能也更稳定；PVD镀膜可以镀的膜层的种类更为广泛，可以镀出的各种膜层的颜色也更多更漂亮；PVD镀膜不会产生有毒或有污染的物质。
Q5: 请问PVD镀膜能否代替化学电镀？
A5: 在现阶段，PVD镀膜是不能取代化学电镀的，并且除了在不锈钢材料表面可直接进行PVD镀膜外，在很多其他材料（如锌合金、铜、铁等）的工件上进行PVD镀膜前，都需要先对它们进行化学电镀Cr(铬)。
PVD镀膜主要应用在一些比较高档的五金制品上，对那些价格较低的五金制品通常也只是进行化学电镀而不做PVD镀膜。
Q6: 请问采用PVD镀膜技术镀出的膜层有什么特点？
A6: 采用PVD镀膜技术镀出的膜层，具有高硬度、高耐磨性（低摩擦系数）、很好的耐腐蚀性和化学稳定性等特点，膜层的寿命更长；同时膜层能够大幅度提高工件的外观装饰性能。
Q7: 请问PVD能在镀在什么基材上？
A7: PVD膜层能直接镀在不锈钢以及硬质合金上，对锌合金、铜、铁等压铸件应先进行化学电镀铬，然后才适合镀PVD。