高架地板孔板布置方案

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高架地板孔板布置方案-CAL-FENGHAI-(2020YEAR-YICAI)_JINGBIAN

关于高架地板孔板布置方案

关于高架地板孔板布置方案,我们一般分以下几步来考虑高架地板布置

1. CFD计算

要求业主提供生产机台的相关参数(如外形尺寸、自带FFU参数等),以得到更符合未来实际运转的气流状况。

模型建立主要包括建筑尺寸、回风道分布以及生产设备模型等。边界条件主要包括FFU参数、孔板特性及障碍物等定。

通过研究各区之气流偏移状况,分区调整地板阻力特性以形成洁净房所需要之垂直单向流

在施工之前预见未来可能发生的局部气流偏移、紊流甚至交叉污染等不良现象,并采取相应的预防措施。

2. 二次调整方案

洁净室大环境气流偏移

根据高架地板厂商通風壓損曲線资料,计算维持高架地板通风压差在5PA左右的各种不同开孔率高架地板的通风量,高架地板开孔率一般为17%,

25%,50%三种,可以以17%开孔率为基数来计算,然后1块50%或2块

25%相当与3块17%的通风量;

Example :

17%开孔率 , 压差在5PA , 地板面風速s ,通風量h

25%开孔率 , 压差在5PA , 地板面風速s ,通風量h

50%开孔率 , 压差在5PA , 地板面風速s ,通風量1,620m3/h

然后计算出一个FFU相当于几块17%的高架地板几块,一般我们按照1200*1200 FFU相当于4块17%高架地板来计算,计算出需要多少17%高

架地板;

Example :

ISO 6級區域可採17%,25%,50%三种任意互換

ISO 5級區域採17%或25%+Damper

ISO 3級以上區域採17%

根据下夹层气流方向会使得距回风夹道距离不一样产生的壓力梯度,下夹层各区的压力状况不一樣,影响每块高架地板的通风量跟理想状况不一样,根据

分析计算来选择靠近回风道区域的孔板安装一些调风风阀。

微环境气流偏移

根据独立基台的面积占用多少17%的高架来用25%和50%孔板来补充;

在ROBOT(自动机械手臂设备)区域,因其内部洁净等级要求高达Class 10,一般建议该区域满布孔板以避免紊流产生

Example : ISO 3級以上區域採17%

对于STOCKER 区域由于其设备侧壁上安装了FFU,会抽车间内FFU风量,所以高架地板孔板布置要减掉STOCKER侧壁上安装的FFU风量;

在Stocker设备底座下方即使是满布17%孔板有时也不能满足其气流控制需求,可改為25%+Damper进行强制通风,以得到较好的垂直气流单向流

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