扩散炉常见故障整合祥解
扩散工艺常见质量问题及分析
扩散工艺常见质量问题及分析一、硅片表面不良1、表面合金点。
形成表面合金点的主要原因是表面浓度过高。
（1）预淀积时携带源的气体流量过大。
如CVD预淀积时源的浓度过高，液态源预淀积时通源的气体流量过大或在通气时发生气体流量过冲；（2）源温过高，使扩散源的蒸气压过大；（3）源的纯度不高，含有杂质或水份；（4）预淀积时扩散温度过高，时间太长；为了改善高浓度扩散的表面，常在浓度较高的预淀积气氛中加一点氯气，防止合金点产生。
2、表面黑点或白雾。
这是扩散工艺中经常出现的表面问题。
一般在显微镜下观察是密布的小黑点，在聚光灯下看是或浓或淡的白雾。
产生的原因主要有：（1）硅片表面清洗不良，有残留的酸性水汽；（2）纯水或化学试剂过滤孔径过大，使纯水或化学试剂中含有大量的悬浮小颗粒（肉眼观察不到）；（3）预淀积气氛中含有水分；（4）扩散N2中含有水分；（5）硅片在扩散前暴露在空气中时间过长，表面吸附酸性气氛；3、表面凸起物。
主要是由较大粒径的颗粒污染经过高温处理后形成的。
如灰尘、头屑、纤维等落在硅片表面，或石英管内的粉尘、硅屑等在进出舟时溅到硅片表面。
表面凸起物一般在日光灯下用肉眼可以看到。
4、表面氧化层颜色不一致。
通常是用CVD预淀积时氧化层厚度不均匀；有时也可能是扩散时气体管路泄漏引起气氛紊乱；气体还有杂质，使扩散过程中生长的氧化层不均匀，造成氧化层表面发花；5、硅片表面滑移线或硅片弯曲。
这是硅片在高温下的热应力引起的，一般是由进出舟速度过快，硅片间隔太小，石英舟开槽不合适等引起的。
6、硅片表面划伤，边缘缺损，或硅片开裂等，通常是由操作不当造成的。
也有石英舟制作不良（放片子的槽不在同一平面上或槽开的太窄，卡片子）的因素。
二、漏电流大漏电流大在集成电路失效的诸因素中通常占据第一位。
造成集成电路漏电流大的原因很多，几乎涉及到所有的工序。
主要有：（1）表面沾污（主要是重金属离子和碱金属离子）引起的表面漏电；（2）Si－SiO2界面的正电荷，如钠离子、氧空位，界面态等引起的表面沟道效应，在p型区形成反型层或耗尽层，造成电路漏电流偏大；（3）氧化层的缺陷（如针孔等）破坏了氧化层在杂质扩散时的掩蔽作用和氧化层在电路中的绝缘作用而导致漏电；（4）硅片（包括外延层）的缺陷引起杂质扩散时产生管道击穿；（5）隔离再扩散深度和浓度不够，造成隔离岛间漏电流大（严重时为穿通）；（6）基区扩散前有残留氧化膜或基区扩散浓度偏低，在发射区扩散后表现为基区宽度小，集电极－发射极间反向击穿电压低，漏电流大；（7）发射区扩散表面浓度太低，引起表面复合电流；（8）引线孔光刻套偏和侧向腐蚀量过大后，由AL布线引起的短路漏电流；（9）AL合金温度过高或时间过长，引起浅结器件发射结穿通；减少或控制集成电路的漏电流，需要在整个制造过程中全面、综合地管理，防止有可能导致漏电的各个因素的产生。
光伏资料—扩散常见问题汇总
2.2 电阻偏小的分析解决；
采用与电阻偏大调整方法相反即可。
3、炉口扩散不到\不均匀
3.1、扩散不到的分析解决： 3.1.1 大氮流量过小：表现 整片发白。 分析 大氮一方面作为平衡气体平衡管内气流，另一方面为 携带气体将源携带到炉口，大氮流量过小不足以将源 携带到炉口。 处理 增加大氮流量。 3.1.2 炉口抽风过大：表现 整片发白。
处理 减小抽风。
3.3.4 温度偏差大：分析 各温区间温度设定偏差大，或设定值与实际
值偏差大。
处理 调整各温区温度使平稳变化或重新拉恒温。
4、不常见异常
4.1电池效率不稳定 ：表现 电池效率忽高忽低，设备维护时最
易发生。
分析 扩散间或扩散管被污染。 处理 加强扩散间工艺卫生，清洗扩散管 及石英制品。
分析 尾气抽风是将废气排出；抽风过大时，源来不及与硅
片反应就被抽掉，造成炉口片子扩散不到。 处理 减小尾气抽风。
3.1.3
炉门没关紧：分析 有源被抽风抽走。
处理 由设备人员将炉门重新定位，确保石
英门和石英管口很好贴合。
3.2、扩散不均匀（不均匀度超出范围） 3.2.1 气流不均匀：分析 气流不均匀造成气流不畅，导致整片淀积不均匀； 处理 加匀流板、调整气流配比。 3.2.2 片间距： 分析 片间距小，可使气流不顺畅，在整片淀积的不均匀。 处理 在满足产量的情况下，可以使用片间距大的石英舟。 3.2.3 抽风过大： 表现 靠近抽风管后处明显比其他地方白。 分析 抽风过大，靠抽风口处的源量比其他处相对少。
2.1.2 源量不够：分析 扩散小氮流量小或恒温箱温度低于设定值(20
度) ， 处理 增大小氮流量或从新设定恒温箱温度。
2.1.3 源损失：分析 使用没有做过饱和的石英制品，造成部分源量被
扩散常见问题及解决方法
受控状态编制审核批准生效日期版本号修订号文件编号发放号2010-08-11B1JN/JL30301-4-2010扩散常见问题及解决办法1.做气密性测试时，气密性总是达不到要求？石英门没有装好,或者尾气回收瓶漏气，检查尾气瓶是否接触紧密，校正石英门位置。
2.扩散万级间温度很高？空调温度设定值高、冷却水没有开、热排没有开、石英管隔热套安装不严。
3.POCL3恒温箱突然断电？检查线路、更换新的恒温箱。
4.R2D上下料时出现碎片问题？根据报警信息查找出问题的部位，然后调节（手柄）至合适的位置并保存、home复位、查看是否有碎片、关闭软件并重启、关闭电源并重新启动操作软件。
5.扩散过程中出现撞舟问题？调节lift放在碳化硅桨上的位置、调节传动的路线、调节石英管在扩散炉炉体中的位置。
6.扩散后方块电阻高？增加通源时间、增加POCL3的量、增加温度、实际温度达不到需要校温。
7.扩散后硅片表面发蓝或有烧焦？发蓝时因为硅片表面有水：增加制绒的风刀温度、降低制绒滚轮的速度、降低扩散千级间的空气湿度、减少制绒后硅片在扩散千级间的存放时间。
8.进出舟时出现报警而使工艺跳步？根据报警信息看什么原因造成的，根据实际情况选择继续运行工艺或者用取舟程序把石英舟从管里取出来。
9.如果R2D在运行过程中出现连接超时（LP out truck timeout）怎么办？检查传感器是否正常工作，重新调整一下位置。
10.R2D运行时，位置走不到位或者软件运行十分缓慢？在R2D不工作时，把软件进行重启，然后复位就行了。
11.工艺运行过程中，如果氮气补偿过小？调节尾瓶处的开关，使之达到工艺要求。
12.桨中途停止怎么办？查看报警信息，如果是在出料时不动，桨停留在20位置上，查看舟的位置是否正确，然后点Start，重新开始。
如在其他位置不动，查看传动装置是否松动，电机是否工作。
13.门关不严怎么办？检查门是否被挡板档住，检查电机是否完好，sensor是否松动，重新做校准。
扩散炉常见故障整合
检查Paddle TC接头是否接触不良
检查paddle TC是否损坏 检查CPU模块错误指示灯是亮起 在手动情况下确认各个电机和Sense是否正常 检查各个电机到DMC的电缆是否损坏
7
在制程中卡桨
检查电机是否损坏 检查传动部分是否工作正常(丝杆和轴承) 检查电机到DMC的电缆是否接触不良或断裂
qx01主断路器断开1检查线路接点有无短路重新合上r12继电器不工作2更换同型号的继电器更换同型号的5a熔断器芯4上电按扭开关接触不良检查线路重新接线温控器上显示0000热电偶开路换新热电偶或重新热电偶及导线补偿导线与温控器接触不良系统显示超温报警并自动切断加热电源更换同型号的可控硅触发板炉体不升温不能自动进出上下舟1面板上的急停按扭处于按下位置松开急停按扭2极限限位开关没复位或损坏检查平移行程开关及上下光电开关3驱动器与计算机通讯不上检查或更换同型号电机炉门不能自动开关1进气压力不够压力报警检查线路或更换同型号的继电器5电磁阀或汽缸故障检查气路或更换气管无流量显示检查线路或更换同型号流量计tempress扩散炉tube尾气压力偏高检查尾气管是否被偏磷酸堵塞检查尾气压力控制器是否损坏或需要重新校正检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否关闭tube尾气压力偏低检查炉管是否存在缺口或裂口检查炉门是否关闭不良检查炉门是否被偏磷酸腐蚀或磨损检查进入炉管的氮气气管或接头是否漏气检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否调大各气路流量异常检查气路阀的气路气管或接头是否漏气检查气路阀气是否损坏检查气路流量计是否工作正常部分制程中paddletc温度偏高或偏低检查随温度升高加热区的输入功率是否正常如果有波动可让工艺做profiling检查spiketc是否与炉管接触良好全制程中paddletc温度较高或显示1499度检查paddletc接头是否接触不良检查paddletc是否损坏dmc通迅错误检查cpu模块错误指示灯是亮起在手动情况下确认各个电机和sense是否正常检查各个电机到dmc的电缆是否损坏检查电机是否损坏检查传动部分是否工作正常丝杆和轴承检查电机到dmc的电缆是否接触不良或断裂炉管无法升温检查温度控制器是否警报r2d机械手在自动或home中不移动检查控制y轴的保险丝是否烧断10r2d机械手在自动无法从桨上取舟检查工艺制程是否完成在r2d屏幕中检查输入输出通迅是否正常检查r2d机械手的触点开关是否工作正常检查shuttle上的触点开关是否工作正常11机械手在自动中无法从shuttle上取舟在r2d机械手屏幕中检查炉管的状态必要时清除检查r2d机械手的触点开关是否工作正常在r2d屏幕中检查输入输出通迅是否正常furnacespikefurnacespikefanfan如果压力低于当前设定值首先重新检测所有接口各路阀门以及炉门情
扩散炉常见故障及维护讲解
48所扩散炉
1 按下进舟按钮时,将不移动 1 警报灯这,显示ER.01 2 警报灯这,显示ER.03
3 警报灯这,显示ER.19（温度过升）
4 警报灯这,显示ER.20（空烧异常）
检查将是否后退太多导致限位触点压下 48所恒温槽 检查温度传感器是否断线,异常 检查恒温槽电压是否异常 检查加热丝是否断线 检查循环泵是否卡死 检查冷却器是否损坏 检查水位是否不够（适当水位是从顶部往下约3MM） 检查浮动开关是否卡死或损坏
Baratron
氮气的节流阀
保压设定
当炉管清洗并且安装完成后,重新对DMC初使化,在初使化完成后,需要对炉管的密封性进 行检测. 选择TEST程序,设置当前氮气流量为6SLM, 将排气压力设置为5Pa, 在炉门完全关闭后, 运行该程序.
这时,炉内压力会逐渐 升高，并且维持在5Pa． 如果压力无法保持稳定 或低于当前设定值，表 示炉管密封性不好，需 要重新检测所有接口， 各路阀门以及炉门情况．
也可以将当前氮气流量 为6SLM, 将排气压力设 置为5Pa,运行程序,压 力应该不低于80Ｐa
炉门的调整
如果压力低于当前设定值，首先重新检测所有接口，各路阀门以及炉门情况．在确认无 误后，这时就需要我们调整 SoftContact Loader Door.
调整 SoftContact Loader Door的目的是使用手柄将门完全打开、关闭的位置确认下来. 并且重新调整Sensor的位置,确保门可以完全关闭,没有间隙.
炉门拉紧信号：
０１１００
炉门拉紧和关闭信号：０１１１０
Loader位置的校正是依靠炉门打开和炉门关闭信号，在重新调整炉门时，我们要确保当
炉门关闭时（关闭信号感应到位），电机有足够的拉力将炉门拉紧．
扩散异常分析
扩散异常分析方案1、方阻异常偏大a、炉管维护后若试片方阻较大，查看历史记录是否大饱和，饱和时P源瓶阀门是否打开，若异常，则再次运行大饱和程序；若正常，则查看拉温是否拉好，若未拉好，让设备再次拉温；若正常，则查看温度流量曲线是否正常，若均正常，则可以增加扩散温度后继续试片。
b、正常生产后，若该批方阻整体异常偏大，查看P源液位是否低于警戒液位，请直接更换。
如果磷源没有问题，查看程序有无运行错误；查看注入管处连接器是否脱落；查看温度曲线、气体流量曲线、恒温箱温度和恒温箱水位是否异常。
在更换磷源后发现生产的硅片方块电阻偏大，可先检查是否为磷源瓶进出气阀未打开，进出气口是否被堵，石英瓶身与阀套接口处是否有密封不严现象。
c、若炉口方阻异常偏大，可能为炉门密封不严所致，请设备调节炉门密封即可。
d、若整炉异常偏大，可能加热器因设备报警(如断偶、超温等)而关闭，请设备维修后开启加热开关即可。
2、方阻整体异常偏小a、查看恒温箱温度是否过高，恒温箱水位是否过低所致，根据以上问题做出相应调整；b、查看程序是否运行错误；c、可能出现由于生产人员的误操作导致的异常，DF1炉由于出炉装置经常被切换为手动模式，硅片在工艺结束后放置在炉内过长时间也有可能导致电阻偏低；d、询问硅片是否为二次扩散片；e、观察温度曲线，是否为温度波动；观察流量曲线，是否为工艺气体流量出现波动或者流量曲线异常；3、方阻极差异常偏大a、若炉口极差异常偏大，可能炉门密封不严所致(r\如密封圈碳化，石英炉门以及炉管错位等)；若正常，则检查尾气管是否堵塞，疏通尾气管；查看炉口均流板是否缺损或所放置位置不佳，更换均流板或调节位置；b、若炉尾极差异常偏大，查看尾气管是否堵塞；查看炉尾均流板是否缺损，若缺损则更换均流板；查看桨是否对中，若未对中则调节桨的对中；查看排风管是否掉落；查看注入管是否水平；查看拉温是否拉好；查看气路的密封性，根据以上问题可请设备做出相应调整。
扩散温度引起的一些问题
OFF转成ON, 就可以自整 定
外热电偶
自整定外偶时 需打到本地模 式
长按位移键
OFF转成ON, 就可以自整 定
跟内偶一样分两次整定
谢谢﹗
PID口诀
• 参数整定找最佳，从小到大顺序查，先是 比例后积分，最后再把微分加，曲线振荡 很频繁，比例度盘要放大，曲线漂浮绕大 湾，比例度盘往小扳，曲线偏离回复慢， 积分时间往下降，曲线波动周期长，积分 时间再加长，曲线振荡频率快，先把微分 降下来，动差大来波动慢，微分时间应加 长，理想曲线两个波，前高后低4比1。
通讯参数设置方法
• 边按SET键,边按移位键. • ADD1通讯1的设备地址 ，1～5 • BPS1通讯1的通信速度、（19.2） • BIF1通讯1的数据位构成 .(8o1) 8数 据位，无奇偶，1个停止位。 • 参数设好后需断电一次。
手动⁄自动
本地⁄远程
启动⁄停止
设置键
位移键
通讯设置 按set键+位移键
• 炉口方阻偏低: : • 1：检查温控表P值是否太小。 • 2：检查全速升温电流是否太大。
炉尾方阻偏高或偏低
• 炉尾方阻偏高 • 1：先检查是不是炉管尾部的 保温不好，如果不好需用保温棉包好。 • 2：查看历史记录里温度有没 有达到设定值。需要检查温控表的P值是不 是太小、全速升温电流是不是太小。可以 适当加大P值，加大电流。
上下键可以打开和关闭
在全速升温时测电流。控制在±85A，
电流不能超过100A，这样会对 加热点和卢丝都有影响。
用小螺丝刀顺时针调加大电流 逆时针减小电流
加大电流
如果调的时候不起作用，可以换 块触发板试下。
减小电流
自整定时不能5个 点同时整定，先整 定1.3.5点后整定 2.4点。分两次整 定
扩散工艺培训以及常见异常分析处理20151122
1.3 扩散方式
替位式扩散
这种杂质原子或离子大小与Si原子大小差别不大，它沿着硅晶体内 晶格空位跳跃前进扩散，杂质原子扩散时占据晶格格点的正常位置，不 改变原来硅材料的晶体结构。
硼、磷、砷等是此种方式。
杂质原子 Si原子
晶格空位
1.3 扩散方式
填隙式扩散 这种杂质原子大小与Si原子大小差别较大，杂质原子进入硅晶体
原因
1.炉门没关紧，有源被抽风抽走。
2.携带气体大氮量太小，不能将源带到管前。 3.管口抽风太大。 偏高。1.扩散温度偏低。 2.源量不够，不能足够掺杂。 3.源温较低于设置20度。 4.石英管饱和不够。 偏低。 1.扩散温度偏高。
2.源温较高于20度。
扩散温度不均匀
扩散气流不均匀，单片上源沉积不均匀。
1.1 扩散的基本概念
扩散系统：
扩散物质、扩散介质
扩散的概念：
当物质内有梯度（化学位、浓度、应力梯度 等）存在时，由于物质的热运动而导致质点的定 向迁移过程。
扩散是一种传质过程 扩散的本质是质点的热运动
1.2 扩散的基本特点
不同物态下质点的迁移方式 气（液）体中： 对流、扩散
固体中 ：扩散
注：对流（convection）：流体各部分之间发生相对位移，依靠冷热流体互相 掺混和移动所引起的热量传递方式。
液态磷源扩散工艺
1.5 PN结的形成
扩散炉维修手册(M5111-4W、UM系列高温扩散、氧化系统).
中国电子科技集团公司第四十八研究所M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统维修手册中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年6月中国电子科技集团公司第四十八研究所目录1．设备型号涵义 (1)1.1型号的组成 (1)1.2各代号涵义 (1)2．电气图纸的代号规定 (2)2.1电气制图代号定义 (2)2.2元器件编号规定······················2.3电气接线编号规定····················2.4电气转接端口定义····················2.5计算机转接端口定义···················3．故障判别与维修······················3.1温度控制系统·······················3.1.1温控仪上显示oooo····················3.1.2炉子不能升温······················3.1.3面板上的超温指示灯亮··················3.1.4炉温失控························3.1.5面板上的短路指示灯亮··················3.2自动推拉舟系统······················3.2.1不能自动进出舟·····················3.2.2不能自动停舟······················3.3气体流量控制系统····················3.3.1气动阀不能受控打开···················3.3.2触摸屏上无气体流量显示·················3.3.3气体流量总是显示最大值·················3.3.4气体流量显示值波动大··················3.4 H/O合成氧化系统····················3.4.1火不能点燃·······················3.4.2系统误报警·······················I （3）（3）（3）（7）（11）（11）（11）（11）（12）（12）（13）（13）（13）（14）（14）（14）（14）（15）（15）（16）（16）（16）中国电子科技集团公司第四十八研究所1．设备型号涵义1.1 型号的组成按照部颁标准，我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成：M 5 1 11 — 4 W / UM型 48所）类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）1.2 各代号涵义1300℃3〞硅片工艺4〞硅片工艺6〞硅片工艺8〞硅片工艺1中国电子科技集团公司第四十八研究所2．电气图纸的代号规定2.1电气制图代号定义按照国家电气制图标准，我所常用电气图纸器件代号如下：代号ABCEFGHJKLMNPQRSTUVWXYZ 代号意义计算机及板卡、步进电机驱动器、印制电路板、带触发电路的可控硅模块、氢气报警器、湿度计、冷阱、触摸显示器薄膜规、热电偶、接近开关、光电开关电容加热器、扩散泵、照明灯熔断器开关电源、直流电源指示灯、报警器温控仪固态继电器、交流接触器、交流继电器、直流继电器、延时继电器三相总进线，分为：L1、L2、L3 真空泵、轴流风机、净化风机零线质量流量控制器、水压开关、水流开关、电接点压力表、真空计、记录仪、电流表、电压表、检测器件断路器、空气开关电阻、电位器、热敏电阻、压敏电阻按钮开关、旋钮开关、急停开关、行程开关、液位开关、接近开关变压器、调压器、电压互感器、电流互感器旋转编码器、变频器、整流器晶体管、晶闸管、可控硅模块、发光二极管、规管、光敏管导线、电缆接线排、端子排、连接片（XB）、电缆封端、接线板、普通插头座、航空插头座（头可采用XP、座可采用XS）电磁阀、电磁离合器、气动阀滤波器2中国电子科技集团公司第四十八研究所2.2元器件编号规定* * * * *如电控柜中下层第5号插头座编号为：X1205 ；净化台照明开关的编号为：S20052.3电气接线编号规定* * * **连接线序号，零线号从001～099 ；其他线号从101～999 。
焚烧炉各个部件常见故障分析
焚烧炉各个部件常见故障分析1. 引言焚烧炉是一种用于处理废物、产生热能的设备。
然而，由于长时间的运行和高温环境，焚烧炉的各个部件都存在着一定的故障风险。
理解和识别这些常见故障，对于保障焚烧炉的安全运行和延长其使用寿命至关重要。
本文将分析焚烧炉常见部件的故障情况，并提供解决方案。
2. 燃烧室故障燃烧室是焚烧炉的核心部件，经常面临以下故障：2.1 燃烧不完全燃烧不完全主要有两种原因：供氧不足和燃料质量差。
供氧不足会导致燃料燃烧不充分，产生大量的烟尘和有害气体。
解决方案可以是增加空气进气量或改进进气口的结构，以提高供氧效果。
对于燃料质量差的情况，可以考虑更换高质量的燃料。
2.2 燃烧温度异常燃烧温度异常常常表现为过高或过低。
过高的温度会导致设备过热，增加零部件的磨损和故障风险。
过低的温度则会影响燃烧效果。
解决方案可以是调整燃料供给量、改善燃烧控制系统，或检查和维护热交换器。
3. 排烟系统故障排烟系统负责排除焚烧过程中产生的烟尘和有害气体，常见故障包括：3.1 排烟不畅排烟不畅主要是由于排烟道堵塞或烟尘积聚导致。
堵塞可能是由于烟尘沉降、积存或堆积引起的。
解决方案可以是定期清理排烟道，注意烟尘的收集和处理。
3.2 排烟温度异常排烟温度异常可能是由于排烟系统故障、燃烧不完全或炉内压力异常等原因。
排烟温度过高可能是由于除尘设备故障或烟气中有害物质过多所致。
解决方案可以是检查排烟系统的密封性，及时维修或更换不良设备。
4. 循环风机故障循环风机负责将燃烧产生的烟气循环到燃烧室中继续燃烧，常见故障包括：4.1 风机轴承故障风机轴承故障可能是由于长时间运转、高温环境或使用不当而引起的。
解决方案可以是定期加注润滑油、及时更换磨损的轴承。
4.2 风机过载风机过载可能是由于空气流量过大或风机负荷过重所致。
解决方案可以是调整风机运行参数，使其工作在正常范围内。
5. 结论焚烧炉各个部件常见故障的分析有助于我们更好地维护和管理焚烧炉设备。
扩散常见异常处理
检查是否需要更换磷源
否
是
更换磷源
正常
运行下一管观察方阻是否正常
不 正 常
无需调节
进行DLV调试
产生的片子处理方法：该组片子单独下传，观察效率情况。
工艺控制点异常
1.扩散方阻超出上限 运行记录检查方法如下：
图1：在工艺电脑上选 择上图软件，并打开， 弹出图2对话框
图2：点击红圈中按钮 弹出图3对话框
工艺控制点 检查分析
外围动力情 况检查
• 整理检查各Tube热排、废排点检数据，并作出折线图。 • 收集整理扩散车间洁净度点检情况，分别作出大/小颗粒折线图。 • 对比效率折线图，查看效率波动时间点与外围动力波动时间点是否存在关系。
物料更换情 况
• 与外围动力沟通，统计外围气体（N2、O2）更换日期。 • 整理各Tube三氯氧磷更换时间节点。 • 对比效率折线图，查看气体及POCl3更换时间与效率波动是否存在直接关系。
LWX02工艺
名称 平均方阻 炉管均匀性 单点异常 标准 75±15Ω /□ ≤13% 75±20Ω /□
扩散外围条件标准
名称 废排 热排 标准 0.8-1.0mbar 0.8-1.2mbar
工艺控制点异常
1.扩散方阻超出上限 情况1：某一炉管整体方阻或某一温区接近上限或超出上限5Ω/♢以内。 解决方法：首先检查运行记录是否有报警，若无报警按如下步骤进行。
产生的片子处理方法：将均匀性严重异常温区的片子拿出，其余片子单独下传， 观察效率情况。
效率异常
电池车间出现整体效率异常，扩散工序排查方法：
• 测试分析扩散后少子寿命，对比正常时期/正常线别的少子寿命，检查是否存在异常。 • 整理检查各Tube方阻、均匀性。 • 做出各个Tube的SPC折线图（方阻、均匀性）是否存在异常。 • 查看效率异常前后SPC是否存在异常。
德国扩散炉故障处理
德国扩散炉故障处理Centrotherm德国扩散炉一．故障分析与排除1.1 Process exhaust suction high alarm level 工艺废气抽风超出上限报警（上限值3mbar）。
解决措施：(1)查看气源柜顶部排废传感器有无问题,拔出进气管道,屏幕显示流量是否变化，无变化说明传感器坏,需检修。
(2)如流量显示正常,测量其管道内抽风是否正常，有异常通知外围动力设施调节流量。
1.2 Process exhaust suction low alarm level 工艺废气抽风超出下限报警（上限值0.3mbar）。
解决措施：(1)查看气源柜顶部排废传感器有无问题,拔出进气管道,屏幕显示流量是否变化，无变化说明传感器坏,需检修。
(2)如流量显示正常,测量其管道内抽风是否正常，有异常通知外围动力设施调节流量。
1.3 Excess temp heating zone high alarm level 该加热区域温度过高,上限抱警（上限值1100度）。
解决措施：(1) 检查该区域的温度设定值显示值是否正常。
(2) 重新设定加热温度(要求设定值和显示值差值在200以下)。
(3) 检修加热系统。
1.4 Gas pocl3-out of 1 st tolerance 气体三氯氧磷源温度超出规定的公差值（3度）。
解决措施：（1）查看设备操作软件上，源温设定值和显示值，计算之间的差值，检查源温控制器设定的公差报警值是否在允许范围之中。
（2）检查三氯氧磷源瓶中的测温器在指定的位置，传感器测温正常。
（3）检查装源瓶载体盖子是否紧闭，关闭正常。
（4）检查源温控制器和设备主机是否通信（REMOTE灯亮）。
（5）检修恒温槽整体。
1.5 Handing stop 手动停止。
解决措施：（1）设备报警灯红色报警显示，设备打在手动状态（手动按钮启动）。
（2）检查设备装载区的的平移柜门是否打开。
（3）检查柜门关闭的位置传感器是否动作，调整紧固。
Tempress扩散炉报警信息中文翻译及处理方法
将程序中Wait for temperature 这一步的温度调整到比第一温区的设定温度低2度。
2. 某一温区温度始终升不上去
将gain的设定由原来的100%，增加到120%-150%（视情况而定）
模拟输出(Analog Output)：以下几个：
Nr. MNEMONIC Condition Statement
1 N2 大氮的流量
3 O2-LOW 干氧的流量
6 *EXHAUST 尾气压力值
7 N2 POCL3 小氮的流量
8 TEMPPOCL3 设定源温
* 模拟输出信号主要是用来控制和设定一些流量计和源温的参数等。
15 *START ON YES
16 *LOADINH OFF YES
* 数字输入主要是一些设备当前的状态信息，DPC通过他们来判断程序是否正确运行。
数字输出（Digital Output）：共有16个，但只有7个是有效的，分别为：
Nr. MNEMONIC Condition Statement
根据x的数值来判断是由哪个因素引起的
1-presss N2 2-pressair 4-rearexh 7-temp scr 8- overheat 9-fanswtch 10-tempocl 11-levelpocl
8. analog outputs（x）
1-N2 3-O2 7-POCl3 12- POClVLV 14- Finnorm 15-Finannd 16- RDY2LD
* 数字输出主要是控制一些气体阀门的开关，若他们关闭则无相应气体流入。
模拟输入(Analog Input)：共有8个，但只有两个有作用。
Centrotherm扩散炉Teach模式操作和Slider故障处理
如果Tube的状态是Ready的情况下,转下页讲述: 如果Tube的状态是NOT Ready的情况请看下图:
NOT Ready有两种情况: 1:炉管正在运行工艺.状态正常 2:炉管不在工艺,但系统误认为在工艺. (需要对管子进行复位,恢复正常状态).
先用Servce-Recovery-Hangling进 行
Centrotherm扩散炉Teach模式操作和Slider故障处理 制作人：华重庆 2008.03.17
Teach模式-Arm菜单使用 2
首先单击进入:Manual
接着单击Teach 然后会弹出对话筐单击OK 通常情况下我们只需用 Arm菜单进行操作复位 ,其余菜单禁止操作,单击 进入Arm菜单.
如果桨的状态是Occupied,但是实际桨上却没有 舟,遇到这种情况,我们需要调整感应器位置,直至 状态为Free后运行正常.
需要调整的 感应器
调整前 Occupied状态
调整后 Free状态
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ Slider小车-无法进出报警
8
出现的报警信息.
感应器正常状态, 确认后恢复生产.
检查感应器发 现异常报警.
然后单击进入 Lift菜单
确认机械臂在中间位 置,上下运动的过程中 避免与桨碰撞.
机械臂快速上下运动
机械臂慢速上下运动
打开Lift菜单后操作均 无传感器保护,通常禁 用,切记.
Slider小车-上料时无法上舟到桨(一) 6
首先我们查看Tube(炉管)的状态: NOT Ready表示Tube并没有准备好,或正在工艺,无法进舟. Ready表示Tube已经准备好,可以进舟了.
检查护栏是否被踢 入警戒线内,导致 感应器报警.
有人误入警戒 线内也会报警.
扩散常见问题解决方法
方法同上
Tempress扩散过程中问题解决方案
问题
原因
解决方法
方阻在源一侧低，炉口处高
1.炉门与炉管的密封性不好
2.尾部排气严重
3.假片数量太少
1.调整炉门密封性
2.减少尾部排气气流
3.使用更多的假片
单片（交叉）方块电阻均匀性差
氧化发蓝：去PSG工序，反面扩散。
色斑等由硅片表面问题引起的玷污：去PSG后从新制绒。
偏磷酸：去PSG后，重新制绒。
1.调整扩散气流量，加匀流板。
2.调整扩散片与片之间距离。
扩后硅片上有色斑
甩干机扩散前硅片没甩干
调整甩干机设备及工艺条件
扩散过程中偏磷酸滴落
长时间扩散后对扩散管定期进行HF浸泡清洗
环境湿度过大
增大除湿机功率
效率忽高忽低
扩散间或石英管被污染，特别是在生产线被改造时最明显。
清洗石英管及石英制品，加强扩散间工艺卫生，强化TCA。
边缘处方阻低，中心高
1.假片被污染
2.校准硅片不是最好的（可能被磨光）
3.硅片在炉管中的位置太高
4.桨比硅片和炉管温度低
1.使用新的假片
2.使用好的校准硅片，而不是磨光
3.使用低脚的舟
4.在升温步后插入稳定温度步骤
方阻均匀性不连续
1.炉管和舟没有饱和
2.假片被污染
3.校准硅片不是最好的（可能被磨光）
48所扩散过程中问题解决方案
问题
原因
解决方法
扩散不到
1.炉门没关紧，有源被抽风抽走。
2.携带气体大氮量太少，不能将源带到管前。
3.管口抽风太大。
1.由设备人员将炉门重新定位，确保石英门和石英管口很好贴合。
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在R2D机械手屏幕中检查炉管的状态(必要时清除) 检查R2D机械手的触点开关是否工作正常 在R2D屏幕中检查输入输出通迅是否正常
Furnace Spike
Fan
炉门的调整
如果压力低于当前设定值，首先重新检测所有接口，各路阀门以及炉门情况．在确认无 误后，这时就需要我们调整 SoftContact Loader Door.
Tempress扩散炉
1
TUBE尾气压力偏高
检查尾气管是否被偏磷酸堵塞 检查尾气压力控制器是否损坏或需要重新校正 检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否关闭
2
TUBE尾气压力偏低
检查炉管是否存在缺口或裂口
检查炉门是否关闭不良 检查炉门是否被偏磷酸腐蚀或磨损 检查进入炉管的氮气气管或接头是否漏气 检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否调大
调整 SoftContact Loader Door的目的是使用手柄将门完全打开、关闭的位置确认下来. 并且重新调整Sensor的位置,确保门可以完全关闭,没有间隙. 在每次重新安装炉管后,我们无法确保炉管的安装位置完全不变.在安装完成后,CPU模块 内存清除后的校正并不能确认当前炉管的位置是否改变,而是仅仅使用Sensor的位置来确 认当前位置.在这种情况下,有可能所有的Sensor都有完全感应到，但是炉门却没有完全 闭合． 炉门Sensors状态如下： 炉门打开信号： ００１０１ 炉门拉紧信号： ０１１００ 炉门拉紧和关闭信号：０１１１０ Loader位置的校正是依靠炉门打开和炉门关闭信号，在重新调整炉门时，我们要确保当 炉门关闭时（关闭信号感应到位），电机有足够的拉力将炉门拉紧．
8Байду номын сангаас
炉管无法升温
检查温度控制器是否警报
9
10
R2D机械手在自动或Home中不移动
R2D机械手在自动无法从桨上取舟
检查控制Y轴的保险丝是否烧断
检查工艺制程是否完成 在R2D屏幕中检查输入输出通迅是否正常 检查R2D机械手的触点开关是否工作正常 检查Shuttle上的触点开关是否工作正常
11
机械手在自动中无法从Shuttle上取舟
3 触发板上保险烧坏
4 炉体加热丝断 5 可控硅开路 6 触发板触发电源故障
3 更换同型号保险0.25A
4 更换炉体 5 更换同型号可控硅 6 检查来自源柜的+15V电源
捷佳伟创扩散炉
1面板上的急停按扭处于按下位置 2极限，限位开关没复位或损坏 不能自动进出上下舟 3驱动器与计算机通讯不上 4 驱动器本身显示报警状态 5 平移，上下步进电机故障 1进气压力不够，压力报警 2 PLC与计算机通讯故障 炉门不能自动开关 3 PLC无输出 4 PLC有输出但继电器没工作 5电磁阀或汽缸故障 6 气路故障 1 减压阀，手动阀没打开 无流量显示 2 电磁阀没打开 3 流量计与计算机通讯故障 1 松开急停按扭 2 检查平移行程开关及上下光电开关 3 检查通讯线路 4 检查或更换同型号驱动器 5 检查或更换同型号电机 1 调节气压，消除报警 2 检查通讯线路 3 检查PLC及相关线路 4 检查线路或更换同型号的继电器 5 检查或更换同型号的电磁阀或汽缸 6 检查气路或更换气管 1 打开相应的阀门 2 在计算机上打开相应的电磁阀 3 检查线路或更换同型号流量计
1
按下进舟按钮时,桨不移动
2、 无法开机或黑屏
3
无法加热
1、加热开关未开； 2、热电偶短路断路保护，检查热电偶有无断路短路，并 重新连接或更换； 3、加热端子烧坏，无法加热，重新更换加热端子； 4、加热功率触发板损坏，无法加热，更换触发板；
1、流量计故障，可上下调换检查； 2、压缩空气过低，气动阀无法动作，调整压缩空气大小； 3、气动阀损坏无法动作，更换气动阀； 4、工控机812板元件损坏，更换812板； 5、检查单向阀是否装反； 6、24V直流电源损坏，无法提供电源控制电磁阀；
调整 SoftContact Loader Door的主要工具：手柄、远程控制盒、内六角
2 热电偶与补偿导线接触不良
3 补偿导线与温控器接触不良 1 热电偶开路
换新热电偶或重新热电偶及导线
1 接好热电偶 2 换同型号的可控硅 3 重新设置保护温度 4 更换同型号的可控硅触发板 1 检查按扭接线或更换 2 更换100A保险
系统显示超温报警并自动切 2 可控硅烧坏短路 断加热电源 3 温度保护值低于工艺温度值 4 可控硅触发板坏 1 前面板加热开关按扭失控 2 可控硅输入保险烧坏 炉体不升温
DMC通迅错误
检查Paddle TC接头是否接触不良
检查paddle TC是否损坏 检查CPU模块错误指示灯是亮起 在手动情况下确认各个电机和Sense是否正常 检查各个电机到DMC的电缆是否损坏
7
在制程中卡桨
检查电机是否损坏 检查传动部分是否工作正常(丝杆和轴承) 检查电机到DMC的电缆是否接触不良或断裂
扩散炉常见故障及维护
48所扩散炉
1、桨速度未设置（300MM/MIN、500MM/MIN）； 2、马达驱动器损坏，无法进桨； 3、桨马达损坏或皮带断裂，无法运转； 4、桨传动丝杠两端轴承卡死无法运行； 5、工控机726板损坏，无法传输信号； 1、触摸屏损坏，无显示； 2、机台未上电，工控机未上电； 3、工控机电源损坏；
4
气体流量异常
5
恒温槽温度异常
1、恒温槽内液位低于顶部以下5CM；恒温槽内加入纯水 至顶部以下3CM处； 2、恒温槽循环泵卡死，无法进行水循环；更换循环泵； 3、恒温槽制冷片损坏，更换制冷片；
捷佳伟创扩散炉
1 QX01主断路器断开 按上电开关不上电 2 R12继电器不工作 3 F01熔断器芯熔断 4上电按扭开关接触不良 1 热电偶开路 温控器上显示0000 1检查线路接点有无短路，重新合上 2更换同型号的继电器 3 更换同型号的5A熔断器芯 4 检查线路，重新接线
3
各气路流量异常
检查气路阀的气路气管或接头是否漏气 检查气路阀气是否损坏 检查气路流量计是否工作正常
4
部分制程中Paddle TC温度偏高或偏低
检查随温度升高，加热区的输入功率是否正常，如果 有波动，可让工艺做profiling 检查Spike TC是否与炉管接触良好
5
6
全制程中Paddle TC温度较高或显示1499度