光纤干涉仪光路搭建
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合系统需求。
电控滑台
伺服电机 交流伺服电机的控制精度由电机轴后端的旋转编码器保证。 对于带标准2000线编码器的电机而言，由于驱动器内部采用了四倍频技 术，其脉冲当量为360° /8000=0.045° 。
对于带17位编码器的电机而言，驱动器每接收131072个脉冲电机转一
圈，即其脉冲当量为360° /131072=0.0027466° ，是步距角为1.8° 的步进 电机的脉冲当量的1/655。分析知伺服电机较步进电机分辨率更高，适
电控滑台
步进电机
电控滑台
伺服电机 交流伺服电机的控制精度由电机轴后端的旋转编码器保证。 对于带标准2000线编码器的电机而言，由于驱动器内部采用了四倍频技 术，其脉冲当量为360° /8000=0.045° 。
对于带17位编码器的电机而言，驱动器每接收131072个脉冲电机转一
圈，即其脉冲当量为360° /131072=0.0027466° ，是步距角为1.8° 的步进 电机的脉冲当量的1/655。分析知伺服电机较步进电机分辨率更高，适
光纤干涉仪光路搭建
2014.12.09
ຫໍສະໝຸດ Baidu
马赫曾德尔干涉仪
光纤准直器 测试光 隔离器 隔离器 参考光
PD
VOA
PD
数据采集
计算机
电控滑台
步进电机
分辨率 丝杠导程 360 驱动器细分数 步进电机步进角
例如：丝杠导程4mm，电机步距角1.8 ° ，驱动器设置20细 分
分辨率 4 0.001 mm 360 20 1.8
合系统需求。