高效和超高效过滤器的检测

高效和超高效过滤器的检测

同济大学暖通空调及燃气研究所 周斌 沈晋明 朱辉 通过讨论目前国内检测方法中存在的一些问题，对国内外HEPA/ULPA过滤器测试的主

要标准进行了比较，介绍了EN1822标准的测试理念与测试方法。本文对气溶胶、计数器和探头移动性的选择进行了分析，确定本课题的实验设备和实验形式。对滤料测试台和过滤器测试台的流程与步骤进行了介绍，同时为了确保实验结果的精确度，着重提出了几点注意事项，并结合国情，提出MPPS法在国内的发展前景，而且指出测试成本将成为HEPA过滤器尤其是ULPA过滤器成本的主要部分。

高效过滤器 超高效过滤器 效率测试 检漏 最易穿透粒径

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高效/超高效空气过滤器（以下简称HEP A/ULP A）在微电子、航空、制药业、医疗、生物、食品和核工业等洁净空间有着广泛的应用，是实现洁净空间最关键的末端产品。为了保证产品质量与环境控制，各国均制定了严格的检测标准。目前，HEP A/ULP A的性能检测方法成为我国净化行业讨论的热点之一。

我国20世纪50年代末防化部门为了检验滤毒罐及滤料，开始从苏联引进了油雾法，到60年代初，为了适应集体防护器材和原子能工程空气过滤器发展的要求，防化部门对油雾法进行了改进，使之用于过滤器及其滤料的检测。1963年，当时的预防医学院劳卫所与哈建工学院联合研究并制成了滤料的钠焰法测试装置，1965年，清华大学核研院研制成功国内第一台高效过滤器钠焰法实验台[1]。70年代特别是改革开放以后空气过滤器得到极大发展与应用，鉴于这两种试验方法的技术相对成熟，在我国使用得相当普遍，在80年代制定国标GB6165时规定把油雾法和钠焰法均作为我国高效空气过滤器与滤料标准的测试方法。但随着微电子的飞速发展，生产环境要求控制的粒径越来越小。尘埃浓度控制越来越低，甚至空气过滤器检测用的试验尘钠盐与油雾本身也对芯片构成污染。为此，对空气过滤器性能检测试验尘提出了新的要求，迫切需要发展新的检测方法。

80年代曾有倾向采用的DOP法，但考虑到用加热发生气溶胶方法易使DOP附着于过滤器表面，而且发生装置庞大；另外DOP气溶胶有致癌作用【3】。根据同济大学医学院微核试验结果显示，DOP能引起染色体丢失或断裂等染色体畸变，其对后代的潜在危害性可能更为严重。尽管国际上对于DOP是否致癌到目前仍争论不休，但对DOP存在潜在的致癌危险，已开始采取相应的措施，用DOS替代并限制DOP的使用范围。

德国标准DIN24183率先提出了最容易穿透粒径（Most Penetrating Particle Size，简称MPPS）的概念，并采用最容易穿透粒径来检测效率的方法。认为不同的滤料和不同的滤速最容易穿透微粒的粒径是不同的，因此起先应该在额定风量下，由粒径和效率关系曲线上找出该过滤器的最容易穿透粒径，然后以此微粒粒径再测试其效率或用于扫描检漏。可以说最容易穿透粒径的检测法是目前最严格的试验方法。因此欧洲标准化协会颁布了EN1822标准“高效空气过滤器（HEP A和ULP A）”，采用最容易穿透粒径效率替代其它测试方法。

根据EN1822，过滤器的测试可以分为以下几种：

·厂家测试－MPPS的确定－泄漏测试－过滤器全效率测试

·现场测试－泄漏测试－过滤器全效率测试

许多芯片生产商如Intel公司要求过滤器供应商在2002年7月供应的空气过滤器必须具有EN1822的证书。

HEP A/ULP A的性能主要取决于滤料，本文拟以EN1822先进的测试理念与测试方法，

结合国情，研发国内检测方法与仪器。

2 测试滤料和过滤器效率时，涉及到试验用的气溶胶物性，气溶胶分散度以及检测方法。如单分散相或多分散相气溶胶，气溶胶产生的方法和粒子计数方法（分别为总计数法和含粒径的分析方法）。由于总计数法不提供粒径大小的信息（需要再利用微分迁移率分级器（DMA ）把所需要粒径的粒子分离出来），为此，EN1822将单分散气溶胶试验方法视为标准方法。采用单分散气溶胶进行测试时，既可以使用光学粒子计数器（如激光粒子计数器），

也可以使用凝结核计数器。使用凝结核计数器（CNC ）时，工作不正常的气溶胶发生器有可能产生一些小粒子，使CNC 认为其为正常粒子，以至于在确定局部效率时造成相当大的误差[11]。为此，本实验采用激光粒子计数器。通过比较NaCl 、邻苯二甲酸二辛酯（DOP ）、石蜡油、矿物油、玉米油、癸二酸二辛酯（DOS ）以及聚苯乙烯乳胶球（PSL ）等的特性，考

虑到PSL 气溶胶对于室内空气中的颗粒物更具有代表性，它的单分散性很好，不可燃，对人体无伤害，本课题滤料试验台采用PSL 气溶胶。

在进行过滤器的全效率测试时，有两种方法：①使用固定采样探头的测量方法；②下游使用可移动的探头测量方法，即扫描法。由于在检漏过程中也要用到扫描法，

所以建议将扫

描法用作过滤器的全效率检测，这样可以节省投资。 1.2 滤料测试台及实验步骤

图例说明

1过滤器，2调压阀，3电磁阀， 4喷雾器，

5中和器，6计算机，

7针形阀，8滤料夹，9压差计， 10稀释器，11激光粒子计数器，

12绝对压力、温度和相对湿度测量仪，

13浮子流量计，14真空泵

下面介绍滤料试验步骤：

（1）准备工作 通过调节变频器来调节真空泵的转速，使浮子流量计的流量符合要求，即滤料的滤速变化不超过额定滤速的±2％，且保持稳定。在关闭气溶胶发生器的情况下，测试滤料上游试验空气的洁净度以及试验空气的压力、温度和相对湿度是否达到要求。安装好滤料（净面积为100cm 2

圆形），测量滤料下游粒子浓度，即粒子计数器的零计数率（ZCR ）。 （2）操作步骤 图

图1 滤料测试台流程图

①压降测量：在额定滤速、关闭气溶胶发生器的情况下，至少用5张滤料进行测试，然后根据各测量结果计算算术平均值，作为该种滤料的压降值。 ②MPPS 的确定：在要实验的粒径范围内（要求包括MPPS 粒径）至少测6个近似对数等距的粒径点，在滤料的上下游分别测量气溶胶浓度和粒径分布。同样用至少5张滤料进行测试。 （3）结果整理 考虑到粒子计数的统计方法（测量的不确定度和低浓度粒子测量的质量等），对效率曲线上每个测点，都应根据测试值计算粒子平均计数效率和95％置信区间内下限的平均效率。与最低效率所对应的粒径称作MPPS ，同时将最低效率值一起记录。 1.3 过滤器试验台及实验步骤 图例说明 1预过滤器，2变频风机，3加热器， 4气溶胶入口段，5气溶胶发生器， 6压力、温度和相对湿度测量仪， 7上游混合段，8上游采样点 9稀释器，10上游粒子计数器， 11保护气体，12被试过滤器， 13下游采样点，14探头移动系统， 15流量测量仪，16下游粒子计数器， 17计算机，18气溶胶检测系统， 19压差测量仪 下面介绍过滤器试验步骤： （1）准备工作 准备工作同滤料测试，此外，要设定探头移动速度、探头移动路线、探头离过滤器出风口的距离以及采样流量。 （2）操作步骤 ①压降测量：在额定风量、关闭气溶胶发生器的情况下，测定过滤器的压降值（初阻力）。 ②渗漏检测：启动气溶胶发生器，调整其工作参数，检查气溶胶的粒子浓度和粒径分布，使其质量中径与MPPS 的偏差小于10％；安装好过滤器后，上游由专门的计数器连续测量，按设定程序移动探头，记录好局部粒子浓度等于或大于渗漏极限值的位置坐标，然后将探头返回到该坐标点，重新测量粒子浓度。若仍超过，则判定该过滤器渗漏，否则无渗漏。 ③全效率测量：将渗漏检测过程中所有粒子数相加，然后分别根据下列公式：

u

u s u D u N t V N k c ⋅⋅××=

,,&＝采样时间采样流量上游粒子数稀释比上游粒子平均浓度 d

d s d d N t V N c ⋅×=,,&＝采样时间采样流量粒子总数下游粒子平均浓度 得出上下游粒子平均浓度u N c ,、d N c ,，从而可以得到过滤器平均MPPS

效率，考虑到统计

图2 过滤器测试台流程图