S4800扫描电镜(SEM)操作手册
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• 请勿用扫描电镜观察磁性样品，磁性样品有可能 给电镜造成严重伤害。
• 如您的样品带有磁性或操作过程中遇到意外情况， 请垂询技术员彭开武/郭延军
（ Tel: 82545516 ）。
启动操作程序PC－SEM 加载样品
加高压及条件设定 调节电子光学系统
观察样品 记录图像 图像处理 SEM数据管理器 取出样品 刻录光盘 结束操作
1、加速电压的选择
从电子光学的角度讲，随着加速电压的 升高，电镜的分辨率也提高，但是电压越高，电 子束在样品中扩散范围就越大，同时放电和辐照 损伤现象也越严重。因此要根据样品的种类及所 要得到的信息，适当地选择加速电压。对于导电 性好的样品，可以选择较高的加速电压；相反， 对于导电性较差的样品，则应选择较低的加速电 压。
3）将样品架插入样品室
插入样品之前需要确认：
(a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lock开关的灯不 亮）
(b)加速电压处于OFF状态
（1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气；
（2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打 开；
（3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮 处于UNLOCK状态；
倾转注意：
a)千万不要超过允许的倾转范围，为了安全起见， 不要倾转到极限，应留有一定的余量（至少1 °）
b)如果进行了倾转操作，当结束操作后使样品台回 到交换位置时，一定要先把T调回到0，然后再调Z 到8mm。
We are at your service!
可编辑
光栅旋转
Raster Rotation——R. Rotation(360°连续)
正方向倾转
正方向倾转
样品台（俯视）
显示器
样品台以其平面内的一个特定方向的直径为轴 做倾转，是手动的。
样品台倾转Tilt——T
倾转范围与样品台尺寸及高度z有关 最大倾转范围：-5°~70° 倾转操作之前必须计算当前条件下允许倾转的范围 Tilt/Z calculation: 设定样品台尺寸(加高压前设定） Priority Z:计算在给定的高度Z下样品台可以倾转 的范围 Priority T:计算在给定的倾转角度T下高度Z的允 许范围 倾转操作：手动调节
样品台
样品台以通过其表面中心的法线为轴做平面内 旋转，是靠马达驱动的（自动）。
Eucentric：当选中时，表示样品台旋转后，观察区域仍然保 持在当前位置。
• Abs：绝对角度 正值0~360° • Rel：相对角度（始终以当前位置为0）
可以输入正值0~360 °(顺时针)
负值0~-360 °(逆时针)
（9）按顺时针方向旋转交换棒至UNLOCK位置，卸 下样品，然后将交换棒完全拉出；
（10）按CLOSE键，气阀关闭。
3、加高压及条件设定
1）捕捉并保存
可以在任一种扫描模式（TV，FAST，SLOW）下记录图像，
每一种模式又包括几种条件，可以在拍照前具体设定。设定好
后，先点击所需要的扫描模式，然后按CAPTURE键。捕捉只是 指将图像暂时保存在Captured Image 中，选中需要保存的图 像，然后点击SAVE按钮，会出现一个对话框，可以设定图片被
采用慢扫描的方式能够提高图像的信噪比，从而提高图像的 质量，因此通常采用慢扫描方式记录图像。但是扫描速度越慢， 样品的放电现象越显著。所以，如果样品放电现象比较严重， 不能采用慢扫描方式记录图像，这时可以采用多次快速扫描叠 加的方式记录图像，同样可以提高信噪比。但是对于漂移明显 的样品无法采用这种技术。对于既放电又漂移的样品，采用单 次快速扫描的方式反而可以获得最高质量的图像。
（4）用一只手拿着交换棒的旋钮，另一只手将样品 插入交换棒中；
（5）按逆时针方向旋转交换棒的旋钮到LOCK状态， 然后将交换棒完全拉Fra Baidu bibliotek；
（6）关闭交换室，按EVAC键，交换室抽真空；
（7）峰鸣器响后，按OPEN键，打开样品室与交换 室之间的门（气阀）；
（8）峰鸣器响后，一边探视里面，一边将样品架 充分地插入样品台的槽中（交换棒推到底）；
保存的位置及文件名称、类型等信息。可以选中所有的图片进 行全部保存。
可编辑
1）点击加速电压显示部分的OFF键，关闭加速电压 2）确认样品台没有处于锁定状态，使样品台位置回到交换位置，
操作顺序：先手动调整T（0）和Z（8mm）, 然后点击HOME,使 X,Y,R回到交换位置。 3）按交换室操作部分的OPEN键，峰鸣器响后，交换室与样品室之 间的气阀被打开 4）确认交换棒处于UNLOCK状态，完全推入交换棒，按逆时针方向 旋转交换棒的旋钮锁住样品架（LOCK） 5）把样品交换棒完全拉出，按CLOSE键，关闭气阀 6）按AIR键，使交换室放气 7）峰鸣器响后，打开交换室，轻轻推出交换棒，按顺时针方向 UNLOCK样品架，将样品架取下 8）将交换棒完全拉出，关闭交换室，按EVAC键，使交换室抽真空
Hitachi S-4800 型扫描电镜 简易操作指南
国家纳米科学中心纳米检测实验室
S－4800 扫描电镜剖面图
二次电子成像分辨率 1.0nm@15KV
放大倍数 加速电压 样品台 样品最大尺寸
20～800000 0.1～30kV 三轴马达台 100mm
• 扫描电镜及其附属设备中有高压电、低温、高温、 高压气流等危险因素，因此不正确的使用有可能 造成人身伤亡。请您正确操作仪器，不要打开仪 器的面板或试图接触培训过程中未允许您操作的 部分，即使您对自己的操作很有信心。未获得授 权的用户请勿操作电镜。
• 如您的样品带有磁性或操作过程中遇到意外情况， 请垂询技术员彭开武/郭延军
（ Tel: 82545516 ）。
启动操作程序PC－SEM 加载样品
加高压及条件设定 调节电子光学系统
观察样品 记录图像 图像处理 SEM数据管理器 取出样品 刻录光盘 结束操作
1、加速电压的选择
从电子光学的角度讲，随着加速电压的 升高，电镜的分辨率也提高，但是电压越高，电 子束在样品中扩散范围就越大，同时放电和辐照 损伤现象也越严重。因此要根据样品的种类及所 要得到的信息，适当地选择加速电压。对于导电 性好的样品，可以选择较高的加速电压；相反， 对于导电性较差的样品，则应选择较低的加速电 压。
3）将样品架插入样品室
插入样品之前需要确认：
(a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lock开关的灯不 亮）
(b)加速电压处于OFF状态
（1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气；
（2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打 开；
（3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮 处于UNLOCK状态；
倾转注意：
a)千万不要超过允许的倾转范围，为了安全起见， 不要倾转到极限，应留有一定的余量（至少1 °）
b)如果进行了倾转操作，当结束操作后使样品台回 到交换位置时，一定要先把T调回到0，然后再调Z 到8mm。
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Raster Rotation——R. Rotation(360°连续)
正方向倾转
正方向倾转
样品台（俯视）
显示器
样品台以其平面内的一个特定方向的直径为轴 做倾转，是手动的。
样品台倾转Tilt——T
倾转范围与样品台尺寸及高度z有关 最大倾转范围：-5°~70° 倾转操作之前必须计算当前条件下允许倾转的范围 Tilt/Z calculation: 设定样品台尺寸(加高压前设定） Priority Z:计算在给定的高度Z下样品台可以倾转 的范围 Priority T:计算在给定的倾转角度T下高度Z的允 许范围 倾转操作：手动调节
样品台
样品台以通过其表面中心的法线为轴做平面内 旋转，是靠马达驱动的（自动）。
Eucentric：当选中时，表示样品台旋转后，观察区域仍然保 持在当前位置。
• Abs：绝对角度 正值0~360° • Rel：相对角度（始终以当前位置为0）
可以输入正值0~360 °(顺时针)
负值0~-360 °(逆时针)
（9）按顺时针方向旋转交换棒至UNLOCK位置，卸 下样品，然后将交换棒完全拉出；
（10）按CLOSE键，气阀关闭。
3、加高压及条件设定
1）捕捉并保存
可以在任一种扫描模式（TV，FAST，SLOW）下记录图像，
每一种模式又包括几种条件，可以在拍照前具体设定。设定好
后，先点击所需要的扫描模式，然后按CAPTURE键。捕捉只是 指将图像暂时保存在Captured Image 中，选中需要保存的图 像，然后点击SAVE按钮，会出现一个对话框，可以设定图片被
采用慢扫描的方式能够提高图像的信噪比，从而提高图像的 质量，因此通常采用慢扫描方式记录图像。但是扫描速度越慢， 样品的放电现象越显著。所以，如果样品放电现象比较严重， 不能采用慢扫描方式记录图像，这时可以采用多次快速扫描叠 加的方式记录图像，同样可以提高信噪比。但是对于漂移明显 的样品无法采用这种技术。对于既放电又漂移的样品，采用单 次快速扫描的方式反而可以获得最高质量的图像。
（4）用一只手拿着交换棒的旋钮，另一只手将样品 插入交换棒中；
（5）按逆时针方向旋转交换棒的旋钮到LOCK状态， 然后将交换棒完全拉Fra Baidu bibliotek；
（6）关闭交换室，按EVAC键，交换室抽真空；
（7）峰鸣器响后，按OPEN键，打开样品室与交换 室之间的门（气阀）；
（8）峰鸣器响后，一边探视里面，一边将样品架 充分地插入样品台的槽中（交换棒推到底）；
保存的位置及文件名称、类型等信息。可以选中所有的图片进 行全部保存。
可编辑
1）点击加速电压显示部分的OFF键，关闭加速电压 2）确认样品台没有处于锁定状态，使样品台位置回到交换位置，
操作顺序：先手动调整T（0）和Z（8mm）, 然后点击HOME,使 X,Y,R回到交换位置。 3）按交换室操作部分的OPEN键，峰鸣器响后，交换室与样品室之 间的气阀被打开 4）确认交换棒处于UNLOCK状态，完全推入交换棒，按逆时针方向 旋转交换棒的旋钮锁住样品架（LOCK） 5）把样品交换棒完全拉出，按CLOSE键，关闭气阀 6）按AIR键，使交换室放气 7）峰鸣器响后，打开交换室，轻轻推出交换棒，按顺时针方向 UNLOCK样品架，将样品架取下 8）将交换棒完全拉出，关闭交换室，按EVAC键，使交换室抽真空
Hitachi S-4800 型扫描电镜 简易操作指南
国家纳米科学中心纳米检测实验室
S－4800 扫描电镜剖面图
二次电子成像分辨率 1.0nm@15KV
放大倍数 加速电压 样品台 样品最大尺寸
20～800000 0.1～30kV 三轴马达台 100mm
• 扫描电镜及其附属设备中有高压电、低温、高温、 高压气流等危险因素，因此不正确的使用有可能 造成人身伤亡。请您正确操作仪器，不要打开仪 器的面板或试图接触培训过程中未允许您操作的 部分，即使您对自己的操作很有信心。未获得授 权的用户请勿操作电镜。