Dho3l型高浓度臭氧水溶液产生设备
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Ｄｈ ３型 高浓度 臭氧水溶液产生设备 ｏＩ
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摘
要 ： 着超 大规 模 集成 电路 的发 展 ， 浓度 臭氧 水 溶液产 生设备 成 为硅 片清洗 的关键设 备 因 随 高
此 大连 海事 大学环境 工程研 究所研 制 成功 国 内首 台 ｄ ｏ １系列 高浓度 臭氧 水溶 液设 备 ．它 的臭氧 ｈ３
水 浓 度 达 到 ２ ￣ ３ ／ 该 设 备 采 用 强 电场 电 离放 电 方 法 ， ０２ Ｈ２ 电 离 成 高 浓 度 氧 活性 粒 ０ ０ｍｇＬ。 将 和 ０
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的 技 术 先 进 性 及 性 能 指 标
关键 词 ： 臭氧水 溶 液 ； 臭氧 浓度 ； 片清 洗 ： 硅 性价 比
中图分 类 号 ： ０ Ｘ５ ５ 文 献标 识码 ： Ａ 文 章编 号 ： ０ ４４ ０ （０ ０ １—０ ３０ １ ０ —５ ７２ １）２０ １ —３
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摘
要 ： 着超 大规 模 集成 电路 的发 展 ， 浓度 臭氧 水 溶液产 生设备 成 为硅 片清洗 的关键设 备 因 随 高
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水 浓 度 达 到 ２ ￣ ３ ／ 该 设 备 采 用 强 电场 电 离放 电 方 法 ， ０２ Ｈ２ 电 离 成 高 浓 度 氧 活性 粒 ０ ０ｍｇＬ。 将 和 ０
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的 技 术 先 进 性 及 性 能 指 标
关键 词 ： 臭氧水 溶 液 ； 臭氧 浓度 ； 片清 洗 ： 硅 性价 比
中图分 类 号 ： ０ Ｘ５ ５ 文 献标 识码 ： Ａ 文 章编 号 ： ０ ４４ ０ （０ ０ １—０ ３０ １ ０ —５ ７２ １）２０ １ —３
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