设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范
可靠性、有效性、可维护性和安全系统性(RAMS)
1目的为确保产品在使用寿命周期内的可靠性、有效性、可维护性和安全性(以下简称RAMS ), 建立执行可靠性分析的典型方法,更好地满足顾客要求,保证顾客满意,特制定本程序。
2适用范围适用于本集团产品的设计、开发、试验、使用全过程RAMS的策划和控制。
3定义RAMS:可靠性、有效性、可维护性和安全性。
R―― Reliability可靠性:产品在规定的条件下和规定的时间内,完成规定功能的能力。
可靠性的概率度量亦称可靠度。
A―― Availability有效性:是指产品在特定条件下能够令人满意地发挥功能的概率。
M ------ Mai ntain ability 可维护性:是指产品在规定的条件下和规定的时间内,按规定的程序和方法进行维修时,保持或恢复到规定状态的能力。
维修性的概率度量亦称维修度。
S―― Safety安全性:是指保证产品能够可靠地完成其规定功能,同时保证操作和维护人员的人身安全。
FME(C)A : Failure Mode and Effect(Criticality)Analysis 故障模式和影响(危险)分析。
MTBF平均故障间隔时间:指可修复产品(部件)的连续发生故障的平均时间。
MTTR平均修复时间:指检修员修理和测试机组,使之恢复到正常服务中的平均故障维修时间。
数据库:为解决特定的任务,以一定的组织方式存储在一起的相关的数据的集合。
4职责4.1销售公司负责获取顾客RAMS要求并传递至相关部门;组织对顾客进行产品正确使用和维护的培训;负责产品交付后RAMS数据的收集和反馈。
4.2技术研究院各技术职能部门负责确定RAMS目标,确定对所用元器件、材料、工艺的可靠性要求,进行可靠性分配和预测,负责建立RAMS数据库。
4.3工程技术部负责确定能保证实现设计可靠性的工艺方法。
4.4采购部负责将相关资料和外包(外协)配件的RAMS要求传递给供方,并督促供方实现这些要求。
4.5制造部负责严格按产品图样、工艺文件组织生产。
设备可靠性、有效性和可维护性测试规范.docx
设备可靠性、有效性和可维护性测试规范1.目的1.1这份文献通过供应测试半导体制造设备在制造环境中的三性(牢靠性、有效性、可维护性)的标准,为设备的使用者和供应商之间的沟通建立了一个通用基础。
2. 范围2.1这份文献定义了设备的6种基本状态。
它包括了设备的任何时间全部可能的状态。
设备的状态由其功能状况打算,而不管操作者是谁。
在这里所做的对设备牢靠性的测试强调的是对正在使用中的设备的突然中断,而不是对设备的全部时间。
2.2本文献第三节(设备状态)定义了如何对设备时间分类。
第六节(三性测试)定义了测试设备状态的公式。
第七节(不确定测试)另外给出方法用来评估所得数据的统计意义。
2.3有效的应用这份规范需要设备的工作遵循它的周期及或时间。
自动监测设备状态是标准SEMIE58中的内容, 并不在本规范中。
设备使用者与供应商之间清楚有效的沟通将持续提高设备的工作状况。
2.4在这份规范中的三性的指数可以直接运用于整个设备的非成套工具和子系统水平级。
三性指数可以适用于子系统水平(例如过程模块)的多路径组工具。
达到基本压力,芯片传输没有异常、气流正常、等离子区燃烧、来源达到特定压力。
)c校正运行:在转变后为确认设备按规定正常运作而建立的单元流程和评估。
5.8.3转变化学材料及消耗品-指计划外的为补充半导体流程中的原材料时打断生产运行。
它包括转变气瓶、酸、目标、来源等等以及任何与转变相关的充、洗、清洁。
但不包括在得到化学材料、消耗品补给之前的延误时间。
5. 8. 4不合规范的输入-由于不合规范的输入或错误输入而造成一些问题使设备不能正常运行的时间。
这些输入包括:c辅助工具(例弯曲的密封盒或芯片运输器、错误的数据解释或输入)C产品(例逆流的流程或产品问题,弯曲的芯片,受污染的芯片,弯曲的铅框)C测试数据(例未经校正的计量工具,误读的图表,错误的数据解释或输入)C消耗品及化学材料(例如受污染的酸,有渗漏的焊接,衰变的光阻,品质低劣的铸造物)5.8.4. 1任何由于以上各项造成的停工时间包括在不含规范的输入之停工时间范围内。
设备的可靠性评估
设备的可靠性评估一、引言可靠性评估是指对设备在特定环境下的性能进行定量分析和评价,以确定设备在给定时间内正常运行的概率。
本文将对设备的可靠性评估进行详细描述,包括评估的目的、方法、指标和步骤等内容。
二、评估目的设备的可靠性评估旨在评估设备在特定环境下的可靠性水平,为设备的维修保养、更新升级以及制定运维计划提供科学依据。
通过评估可靠性,可以提前发现设备存在的潜在问题,降低设备故障率,提高设备的可用性和可维护性,进而提升设备的工作效率和生产能力。
三、评估方法1. 数据收集:收集设备的运行数据、故障数据、维修记录等相关信息。
可以通过设备运行日志、维修报告、故障统计表等方式获取数据。
2. 故障率计算:根据收集到的数据,计算设备的故障率。
故障率可以通过以下公式计算:故障率 = 设备故障次数 / 设备运行时间3. 可用性计算:根据设备的故障率和修复时间,计算设备的可用性。
可用性可以通过以下公式计算:可用性 = 平均无故障时间 / (平均无故障时间 + 平均修复时间)4. 统计分析:通过统计分析设备的故障模式、故障原因、故障频率等指标,找出设备存在的问题和改进的方向。
5. 可靠性预测:根据设备的历史数据和统计模型,预测设备的未来可靠性水平。
常用的可靠性预测方法有故障模式与效应分析(FMEA)、故障树分析(FTA)等。
四、评估指标1. 故障率:设备在单位时间内发生故障的次数。
2. 可用性:设备在单位时间内正常运行的概率。
3. 平均无故障时间(MTBF):设备在连续运行一段时间内的平均无故障时间。
4. 平均修复时间(MTTR):设备发生故障后修复的平均时间。
5. 故障模式:设备发生故障的类型和形式。
6. 故障原因:导致设备故障的根本原因。
五、评估步骤1. 确定评估范围:确定需要评估的设备范围和评估的时间段。
2. 数据收集:收集设备的相关数据,包括运行数据、故障数据、维修记录等。
3. 故障率计算:根据收集到的数据,计算设备的故障率。
电子公司QE可靠度测试规范
电子公司QE可靠度测试规范电子公司QE可靠度测试规范在电子产品设计和制造中,可靠性是一个非常重要的指标。
一款优秀的产品需要经过严密的测试,以确保它在使用中不会出现故障或损坏。
为了保证产品可靠性测试的规范化、科学化和有效性,电子公司QE可靠度测试规范应运而生。
一、产品可靠性的定义及重要性产品可靠性是指在特定的使用条件下,产品在规定时间内能够保持正常运行的能力。
这是一个很复杂的概念,它涉及到产品设计、材料、环境、工作条件等多个因素。
在实际应用中,产品的可靠性是产品质量和安全的重要指标。
对于电子产品制造企业而言,保证产品的可靠性是非常重要的。
因为电子产品通常都是作为各种应用领域的关键技术组成部分,如果它们没法正常工作,就可能导致很严重的后果,例如数据丢失、系统宕机等。
另外,维修成本也会变得异常高昂,甚至有时候维修费用可能比产品本身的价值还高。
因此,企业需要建立一套科学的、完整的品质保证管理体系,以保证产品的稳定性和可靠性。
二、电子公司QE可靠度测试的定义及目的所谓电子公司QE可靠度测试,指的是在产品设计、开发、生产等方面,对电子产品进行的可靠性测试和评估。
此类测试的目的是确保产品在设计要求、质量标准、客户需求等各个方面都符合要求。
通过对产品进行严格的测试,可以发现各种可能出现的问题,并进行相应的改进,从而提高产品的可靠性。
同时,通过对产品进行质量测试,可以确保企业的生产过程准确、高效,以及遵循相关的销售和市场行为规定。
三、电子公司QE可靠度测试规范的重要性电子公司QE可靠度测试规范是以标准化作为目标的测试规范体系,是一种重要的管理手段。
制定和执行这些规范的目的,是为了建立标准的测试流程和规范的测试标准。
这能够帮助企业在产品设计、生产、测试等方面实现标准化、规范化。
同时,这些标准可以帮助企业管理者了解相关的市场等行业标准,以确保产品质量符合行业标准,完善公司的质量保证标准。
另外,执行电子公司QE可靠度测试规范可以有效提高企业的生产效率,减少产品质量问题的数量,在市场竞争日渐激烈的情况下,能够优势竞争。
设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范
设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范1. 引言设备可靠性、有效性和可维护性是评估和测试设备性能的重要指标。
在现代技术和工程领域,这些指标对于确保设备的正常运行以及用户满意度至关重要。
本文将讨论设备可靠性、有效性和可维护性的定义,并提供测试规范以确保设备的高质量和可靠性。
2. 设备可靠性定义设备可靠性是指设备在特定时间内正常运行的能力。
可靠性依赖于设备的设计、制造和维护。
设备可靠性是一个统计概念,通常使用故障率来衡量。
常见的可靠性指标包括平均无故障时间(MTBF)和失效率(FIT)。
MTBF是指设备连续工作的平均时间,FIT是指设备在连续运行一百万小时内出现故障的数量。
3. 设备有效性定义设备有效性是指设备在执行其预定功能时的效率和性能。
有效性与设备的设计和功能紧密相关。
一个有效的设备能够以高性能、低能耗的方式完成预定的任务。
常用的设备有效性指标包括吞吐量、响应时间和资源利用率。
吞吐量是设备在一定时间内处理的请求数量,响应时间是设备处理请求所花费的时间,资源利用率是设备在执行任务时所使用的资源的百分比。
4. 设备可维护性定义设备可维护性是指设备在出现故障时进行修复、保养或更换所需的时间和资源。
设备的可维护性直接影响设备的可靠性和有效性。
可维护性良好的设备能够快速修复,减少停机时间,提高设备的可靠性。
常见的设备可维护性指标包括平均维修时间(MTTR)和平均修复时间(MRT)。
MTTR是设备从故障发生到恢复正常工作所需的平均时间,MRT是设备从故障发生到完全修复所需的平均时间。
5. 设备可靠性、有效性和可维护性的测试规范为了确保设备具有高可靠性、有效性和可维护性,以下是一些常见的测试规范:5.1 可靠性测试规范•进行长时间连续运行测试,记录设备的MTBF和FIT。
•通过加速寿命测试,模拟设备在其设计寿命内所经历的环境和使用条件。
•进行故障分析和故障树分析,以确定设备的故障原因和潜在故障模式。
•进行可靠性地理位置测试,测试设备在不同的物理环境下的可靠性。
实验室设施设备的监测、检测和维护制度(4篇)
实验室设施设备的监测、检测和维护制度实验室设施设备是科研实验和技术活动的重要基础,对实验室工作的开展和实验结果的准确性具有重要影响。
为确保实验室设施设备的正常运行,保证实验室工作的顺利进行,必须建立一套完善的监测、检测和维护制度。
本文将详细介绍实验室设施设备的监测、检测和维护制度的内容和要求。
一、监测制度1. 设备运行监测实验室设施设备的运行监测是指对设备的正常运行状态进行定期监测和记录。
监测包括设备的启动、运行、停机和维修等环节,对设备的工作状态、运行参数和故障信息等进行记录和分析。
监测可以通过手工记录、设备传感器、远程监控等方式进行。
2. 设备安全监测实验室设施设备的安全监测是指对设备的安全性能进行检测和评估。
监测内容包括设备的接地情况、电气安全、防爆性能、压力容器安全性等方面。
通过定期检测和评估,及时发现存在的安全隐患并采取相应的措施进行修复,确保设备的安全运行。
二、检测制度1. 设备完好性检测实验室设施设备的完好性检测是指对设备的各项功能和性能进行定期检测和评估。
检测内容包括设备的机械结构、电气接线、气体管道、控制系统等方面。
通过检测和评估,及时发现设备存在的故障、损坏或性能下降的问题,进行维修和更换,确保设备的正常运行。
2. 设备精度检测实验室设施设备的精度检测是指对设备的测量准确度进行定期检测和校准。
检测内容包括设备的测量范围、精度、稳定性等方面。
通过检测和校准,确保设备的测量结果准确可靠,提高实验数据的可信度和可重复性。
三、维护制度1. 定期保养实验室设施设备的定期保养是指对设备进行常规的清洁和保养工作。
保养内容包括设备的清洁、润滑、紧固等方面。
定期保养可以延长设备的使用寿命,提高设备的可靠性和稳定性。
2. 预防性维修实验室设施设备的预防性维修是指对设备进行定期检修和更换关键零部件的工作。
维修内容包括设备的关键部件的检修和更换,预防设备发生故障和损坏,提高设备的可靠性和稳定性。
3. 故障维修实验室设施设备的故障维修是指对设备发生故障后进行修复和恢复正常工作的工作。
软件测试中的可测试性与可维护性
软件测试中的可测试性与可维护性在软件开发过程中,软件测试是确保软件产品质量的重要环节。
而软件测试中的可测试性和可维护性则是影响测试效果和测试成本的重要因素。
本文将从理解可测试性和可维护性的概念开始,并通过实际案例探讨如何提高软件测试的可测试性和可维护性。
一、可测试性概述可测试性是指软件系统在进行测试时,为测试活动提供便利和支持的程度。
它包括测试环境的搭建、测试数据的准备、测试用例的设计和测试结果的可追踪等方面。
一个具有良好可测试性的软件系统可以提高测试的效率和准确性。
提高软件测试的可测试性需要从多个方面入手。
首先,需要建立一个合适的测试环境,包括硬件设备和软件工具的准备。
其次,需要准备充足的测试数据,覆盖不同的测试场景和边界条件。
此外,还需要设计合理有效的测试用例,以确保测试的全面性和有效性。
最后,测试结果的追踪和分析也是提高可测试性的关键步骤。
二、可维护性概述可维护性是指软件系统在修改和维护过程中的易理解性、易修改性和易测试性。
它是软件开发过程中质量管理的重要指标之一,对于提高软件系统的可靠性和可扩展性至关重要。
实现软件测试的可维护性需要采取一系列的措施。
首先,需要编写清晰、简洁且易于理解的代码,减少代码的冗余和复杂度。
其次,需要建立良好的文档和注释,方便后续的维护工作。
此外,还需要定期进行代码评审和重构,提高代码的可读性和可维护性。
最后,测试用例的设计和维护也是保证软件系统可维护性的重要环节。
三、案例分析以某在线电商平台为例,探讨如何提高软件测试的可测试性和可维护性。
1. 提高可测试性:(1)搭建完善的测试环境,包括虚拟化技术的应用,方便进行不同环境的测试。
(2)设计合理的测试数据生成工具,自动化生成大量符合各种场景的测试数据。
(3)采用模块化的测试框架,便于测试用例的复用和管理。
(4)使用测试管理工具,对测试用例的执行和结果进行跟踪和分析。
2. 提高可维护性:(1)编写规范清晰的代码,注重代码的可读性和可理解性。
可靠性、有效性 、可维护性和安全性(RAMS)
1 目得为确保产品在使用寿命周期内得可靠性、有效性、可维护性与安全性(以下简称RAMS),建立执行可靠性分析得典型方法,更好地满足顾客要求,保证顾客满意,特制定本程序。
2 适用范围适用于本集团产品得设计、开发、试验、使用全过程RAMS得策划与控制。
3 定义RAMS:可靠性、有效性、可维护性与安全性。
R—-Reliability可靠性:产品在规定得条件下与规定得时间内,完成规定功能得能力。
可靠性得概率度量亦称可靠度。
A——Availability有效性:就是指产品在特定条件下能够令人满意地发挥功能得概率。
M——Maintainability可维护性:就是指产品在规定得条件下与规定得时间内,按规定得程序与方法进行维修时,保持或恢复到规定状态得能力.维修性得概率度量亦称维修度.S——Safety安全性:就是指保证产品能够可靠地完成其规定功能,同时保证操作与维护人员得人身安全。
FME(C)A:Failure Mode andEffect(Criticality)Analysis 故障模式与影响(危险)分析。
MTBF平均故障间隔时间:指可修复产品(部件)得连续发生故障得平均时间。
MTTR平均修复时间:指检修员修理与测试机组,使之恢复到正常服务中得平均故障维修时间。
数据库:为解决特定得任务,以一定得组织方式存储在一起得相关得数据得集合。
4 职责4、1 销售公司负责获取顾客RAMS要求并传递至相关部门;组织对顾客进行产品正确使用与维护得培训;负责产品交付后RAMS数据得收集与反馈。
4、2 技术研究院各技术职能部门负责确定RAMS目标,确定对所用元器件、材料、工艺得可靠性要求,进行可靠性分配与预测,负责建立RAMS数据库.4、3工程技术部负责确定能保证实现设计可靠性得工艺方法。
4、4采购部负责将相关资料与外包(外协)配件得RAMS要求传递给供方,并督促供方实现这些要求.4、5制造部负责严格按产品图样、工艺文件组织生产。
实验室测试质量保证规定确保实验室测试过程中的准确性和结果可靠性
实验室测试质量保证规定确保实验室测试过程中的准确性和结果可靠性实验室测试是科学研究和工程实践中至关重要的一环,准确性和可靠性是保证实验结果有效性的关键。
为了确保实验室测试过程中的准确性和结果可靠性,制定和遵守一系列质量保证规定是至关重要的。
本文将介绍一些常见的实验室测试质量保证规定,并说明其在确保实验室测试质量方面的重要性。
一、实验室设备校准和维护保养实验室测试所使用的设备是实验结果准确性和可靠性的基础。
因此,确保实验室设备的准确性和正常运行是非常重要的。
为了做到这一点,实验室应建立设备校准和维护保养的规范制度,以确保设备始终处于良好状态。
首先,实验室应定期对测试设备进行校准,以验证其准确性。
校准的频率应根据设备类型和使用情况进行调整。
其次,实验室应制定相应的设备维护保养计划,并确保设备维修人员按照计划进行维护保养工作。
此外,实验室还应提供设备使用说明,告知实验人员正确使用和保养设备的方法。
二、样品标识和管理实验室测试中,样品的标识和管理是确保实验结果准确性和可靠性的重要环节。
合理的样品标识和管理可以避免样品混淆或丢失,确保实验员对样品的追踪和管理。
为了实现样品标识和管理的要求,实验室应建立一套完善的样品管理制度。
首先,每个样品应按照一定的标识方法进行标记,包括样品编号、标签、记录等。
其次,实验室应建立样品登记和交接记录,记录样品的来源、去向、保存条件等信息。
此外,实验室还应制定相应的样品保存时间和处理方法,以避免样品过期或受损对实验结果造成影响。
三、实验室测试方法和流程规定实验室测试方法和流程的规定对于实验结果的准确性和可靠性非常重要。
规范的测试方法和流程可以确保实验员按照统一的标准进行测试,降低实验误差和不确定度。
为了确保实验室测试方法和流程的准确性和可靠性,实验室应制定和保持一套标准的测试方法和流程规定。
这包括实验室测试的步骤、操作要求、数据记录和处理方法等。
同时,实验室还应对实验人员进行培训,确保他们掌握并按照规定的方法和流程进行测试。
检测仪器校验管理规范
检测仪器校验管理规范一、引言检测仪器的准确性和可靠性对于各行业的质量控制和产品安全至关重要。
为确保检测仪器的可靠性和准确性,制定一套科学、规范的检测仪器校验管理规范是必要的。
本文旨在提供一套全面、系统的检测仪器校验管理规范,以确保仪器校验的有效性和可追溯性。
二、适合范围本规范适合于各类检测仪器的校验管理,包括但不限于计量仪器、分析仪器、测试仪器等。
三、术语和定义1. 检测仪器:指用于测量、分析、测试、判定或者监测物理量、化学量或者生物量的设备或者装置。
2. 校验:指通过与已知准确度的标准进行比较,确认检测仪器的准确性和可靠性。
3. 校验管理:指对检测仪器校验活动进行计划、组织、实施、监督和评估的过程。
4. 校验标准:指用于校验检测仪器的准确度和可靠性的标准、规范、方法和程序。
5. 校验结果:指校验活动的测量数据和评估报告。
四、校验管理流程1. 校验计划制定(1)根据检测仪器的类型、用途和重要性确定校验周期。
(2)制定校验计划,包括校验项目、频率、方法和责任人。
(3)确保校验计划的合理性和可行性。
2. 校验标准准备(1)采集和整理适合的校验标准,包括国家标准、行业标准和厂家标准。
(2)根据检测仪器的特点和要求,选择合适的校验标准。
(3)确保校验标准的准确性和可靠性。
3. 校验仪器准备(1)选择适合的校验仪器,确保其准确度和可靠性。
(2)校验仪器的选择应符合校验标准的要求。
(3)校验仪器的校准和维护应按照像关规定进行。
4. 校验活动执行(1)按照校验计划和校验标准,进行校验活动。
(2)确保校验环境符合要求,避免干扰因素对校验结果的影响。
(3)校验过程中应记录相关数据和观察结果,以备后续分析和评估。
5. 校验结果评估(1)对校验结果进行数据分析和评估,判断检测仪器的准确性和可靠性。
(2)根据评估结果,确定是否需要进行仪器调整、修理或者更换。
(3)对校验结果进行记录和归档,以备日后追溯和参考。
6. 校验管理评估(1)定期对校验管理活动进行评估,包括校验计划的执行情况、校验标准的更新和校验仪器的维护情况等。
设备的可靠性评估
设备的可靠性评估一、引言设备的可靠性评估是指对设备在特定环境下的正常运行能力进行评估和分析,以确定设备的可靠性水平。
可靠性评估是工程领域中非常重要的一项工作,它直接关系到设备的运行安全性、经济性和可维护性。
本文将详细介绍设备的可靠性评估的标准格式及相关内容。
二、设备可靠性评估的标准格式设备的可靠性评估通常包括以下几个方面的内容:设备的运行时间、故障时间、故障次数、故障率、维修时间、维修次数、维修率等。
下面将对每个方面进行详细说明。
1. 设备的运行时间设备的运行时间是指设备在特定时间段内正常运行的时间,通常以小时为单位进行统计。
运行时间可以通过设备的运行记录、生产记录或者设备监控系统获得。
在可靠性评估中,需要统计设备的总运行时间以及运行时间的分布情况,以便进行后续的分析。
2. 故障时间故障时间是指设备在运行过程中由于故障而停止工作的时间,通常以小时为单位进行统计。
故障时间可以通过设备的故障记录、维修记录或者设备监控系统获得。
在可靠性评估中,需要统计设备的总故障时间以及故障时间的分布情况,以便进行后续的分析。
3. 故障次数故障次数是指设备在特定时间段内发生故障的次数。
故障次数可以通过设备的故障记录、维修记录或者设备监控系统获得。
在可靠性评估中,需要统计设备的总故障次数以及故障次数的分布情况,以便进行后续的分析。
4. 故障率故障率是指设备在特定时间段内发生故障的频率,通常以每单位时间内的故障次数来表示。
故障率可以通过设备的故障记录、维修记录或者设备监控系统获得。
在可靠性评估中,需要统计设备的故障率以及故障率的分布情况,以便进行后续的分析。
5. 维修时间维修时间是指设备在发生故障后进行维修的时间,通常以小时为单位进行统计。
维修时间可以通过设备的维修记录或者设备监控系统获得。
在可靠性评估中,需要统计设备的总维修时间以及维修时间的分布情况,以便进行后续的分析。
6. 维修次数维修次数是指设备在特定时间段内进行维修的次数。
设备可靠性有效性和可维护性的定义和测试规范
设备可靠性有效性和可维护性的定义和测试规范设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范一、设备可靠性的定义设备可靠性指的是设备在规定的条件下和规定的时间内,完成规定功能的能力。
简单来说,就是设备在使用过程中不出故障、稳定运行的程度。
可靠性是设备质量的重要特性之一,它直接关系到设备的使用寿命、安全性以及用户的满意度。
一个可靠的设备应该能够在预期的工作环境中,经受住各种应力和干扰,如温度、湿度、振动、电磁干扰等,并且在规定的时间内保持正常的工作状态。
例如,一台汽车发动机,如果能够在正常的保养和使用条件下,行驶数十万甚至上百万公里而无需大修,就可以被认为是具有较高可靠性的。
二、设备有效性的定义设备有效性,又称设备利用率或设备工作效率,是指设备在实际运行过程中,实际产出与理论最大产出的比值。
它反映了设备在单位时间内能够产生的有效成果的能力。
例如,一台数控机床,如果在一天的工作时间内,能够加工出预定数量的合格零件,并且没有因为故障、调整等原因而浪费过多的时间,那么这台机床就具有较高的有效性。
有效性不仅取决于设备本身的性能,还受到操作人员的技能水平、生产计划的合理性、原材料的供应等多种因素的影响。
三、设备可维护性的定义设备可维护性是指设备在发生故障或性能下降时,能够被迅速、方便、经济地修复或维护,恢复到正常工作状态的能力。
一个具有良好可维护性的设备,应该具备易于诊断故障、易于拆卸和更换零部件、维修工具和备件易于获取、维修手册清晰易懂等特点。
例如,一款智能手机,如果其电池可以方便地更换,软件系统能够通过简单的操作进行升级和修复,那么它就具有较好的可维护性。
四、设备可靠性的测试规范1、环境应力测试将设备置于各种极端的环境条件下,如高温、低温、高湿度、低气压等,观察设备是否能够正常工作。
通过这种测试,可以发现设备在不同环境下的可靠性问题。
2、寿命测试对设备进行长时间的连续运行测试,以模拟设备在实际使用中的寿命情况。
设备可靠性管理考核细则范文
设备可靠性管理考核细则范文设备可靠性是企业生产经营过程中十分重要的一个方面,直接关系到企业的生产能力和产品质量。
为了保证设备的可靠性和稳定性,需要制定一套考核细则,对设备的维护保养、故障处理、更新改进等方面进行评估和考核。
下面是一份设备可靠性管理考核细则的范文,供参考。
一、设备维护保养考核1.每个设备都应有专人负责维护保养工作,并做好相关记录,包括维护保养的时间、内容以及维护保养的效果等。
2.设备维护保养工作应按照规定的维护保养周期进行,不得延误或跳过维护保养工作。
3.设备维护保养工作应严格按照设备制造商提供的维护保养要求进行,并定期进行设备巡检,发现问题及时解决。
4.设备维护保养工作的标准和流程应清晰明确,并进行培训,确保操作人员掌握正确的维护保养方法和技巧。
二、设备故障处理考核1.设备故障应立即上报,详细记录故障现象、发生时间、处理过程和结果等,并做好故障分析,制定相应的改进措施。
2.设备故障应优先处理,确保故障处理时间短,并对故障的处理效果进行跟踪评估,防止故障反复发生。
3.设备故障处理的过程应规范,不得随意更换备件,需要经过相关人员的审批和记录。
4.设备故障处理的记录应规范完整,并进行定期整理和归档,以供后续参考和分析。
三、设备更新改进考核1.根据设备的使用寿命和技术更新的要求,制定设备更新改进的计划,并按期进行更新改进工作。
2.设备更新改进工作应注重技术先进性和经济合理性,选用性能更好、更节能环保的设备,提高生产效率和产品质量。
3.设备更新改进的过程应有明确的目标和时间节点,并进行跟踪评估,确保更新改进工作按计划进行。
4.设备更新改进的成果应在生产过程中得到验证和应用,确保提升了设备的可靠性和生产水平。
四、设备维修记录考核1.每次设备维修都应详细记录,包括维修的时间、内容、费用等,并由专人进行核对和审查,确保记录的准确性和完整性。
2.设备维修记录应及时进行整理和归档,表明设备的维修历史和维修频次,以及维修的效果和影响等。
设备质量标准规范
设备质量标准规范1. 引言本文档旨在规范设备的质量标准,确保设备的可靠性、安全性和性能满足预期的要求。
2. 适用范围本文档适用于所有公司内部生产和供应的设备,包括但不限于机械设备、电子设备和化工设备。
3. 定义3.1 设备:指由公司生产或供应的包括机械设备、电子设备和化工设备在内的各类设备。
3.2 质量标准:指设备在设计、制造和使用过程中需要满足的特定要求和标准。
3.3 可靠性:指设备在一定时间内保持正常运行的能力。
3.4 安全性:指设备在正常使用过程中不会对人员和环境造成危害的能力。
3.5 性能:指设备实现所需功能的能力。
4. 设备质量要求4.1 设备的可靠性要求4.1.1 设备应具备稳定运行的能力,保证工作效率和生产效益不受影响。
4.1.2 设备应具备抗干扰和抗干扰能力,能够在各种环境条件下正常运行。
4.2 设备的安全性要求4.2.1 设备应符合国家安全标准和法律法规的要求,不得存在危险或潜在危险。
4.2.2 设备应具备安全保护装置和报警系统,能够在异常情况下自动停机或报警。
4.3 设备的性能要求4.3.1 设备应能够满足预期的功能要求,达到设定的工作指标。
4.3.2 设备应具备稳定的工作性能,保证生产过程的连续性和稳定性。
5. 质量控制措施5.1 设备制造过程的质量控制5.1.1 设备生产过程应按照相关标准和规范进行,确保设备的生产质量。
5.1.2 设备生产过程中应建立完善的检测和测试体系,对关键部件和性能进行检测和验证。
5.2 设备验收和检测5.2.1 设备出厂前应进行全面的验收和检测,确保设备符合设定的标准和要求。
5.2.2 设备验收和检测应由专业的人员进行,并记录相应的检测结果和数据。
5.3 设备使用和维护5.3.1 设备在投入使用前应进行必要的培训,操作人员应熟悉设备的使用方法和安全注意事项。
5.3.2 设备使用过程中应定期进行维护和保养,保证设备的正常运行和延长设备寿命。
6. 变更管理6.1 对设备质量标准的变更应进行记录和管理,并及时更新相应的文档和记录。
设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范
设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范这个标准在技术上已被全球公制委员会核准,并由北美公制委员会直接负责。
目前的版本在2001年3月1日被北美地区标准委员会核准通过。
2001年6月将在国际半导体设备和材料协会试行,之后同月公布。
其第一版公布于1986年,上一版公布于1999年6月。
1.目的1.1 这份文献通过提供测试半导体制造设备在制造环境中的三性(可靠性、有效性、可维护性)的标准,为设备的使用者和供应商之间的沟通建立了一个通用基础。
2.范围2.1 这份文献定义了设备的6种基本状态。
它包括了设备的任何时间所有可能的状态。
设备的状态由其功能状况决定,而不管操作者是谁。
在这里所做的对设备可靠性的测试强调的是对正在使用中的设备的突然中断,而不是对设备的所有时间。
2.2 本文献第三节(设备状态)定义了如何对设备时间分类。
第六节(三性测试)定义了测试设备状态的公式。
第七节(不确定测试)另外给出方法用来评估所得数据的统计意义。
2.3 有效的应用这份规范需要设备的工作遵循它的周期及或时间。
自动监测设备状态是标准SEMI E58中的内容,并不在本规范中。
设备使用者与供应商之间清晰有效的沟通将持续提高设备的工作状况。
2.4 在这份规范中的三性的指数可以直接运用于整个设备的非成套工具和子系统水平级。
三性指数可以适用于子系统水平(例如过程模块)的多路径组工具。
2.5 这份标准虽然有提到安全事宜,但目的并不旨在追求这个方面。
它将是这个标准使用者的责任来建立合适的安全和健康条款,以及在使用前决定限制章程的运用。
3.参考标准SEMI E58 —自动化的可靠性、有效性和可维护性的标准注释1:本文列出的所有文献都使用其最新的适应版本。
4.术语4.1 辅助—在一个设备周期中设备工作突然中断时发生,它有以下三种情况:●通过外部干涉使中断的设备周期继续。
(比如通过操作工和使用者的干涉,无论它是人或电脑。
)●除了一些特殊的消耗品,零件不可替换。
设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范
设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范设备可靠性是指设备在规定条件下能够正常运行的能力。
为了测试设备的可靠性,可以采用以下测试规范:1. 使用寿命测试:在规定条件下对设备进行长时间运行,以测试设备的耐久性和稳定性。
2. 环境适应性测试:将设备置于不同的环境条件下进行测试,包括温度、湿度、振动等,以测试设备在不同环境下的稳定性和可靠性。
3. 故障模拟测试:通过模拟设备可能出现的故障情况,对设备的应对能力和恢复能力进行测试。
设备有效性是指设备能够按照预期的要求和标准完成工作的能力。
为了测试设备的有效性,可以采用以下测试规范:1. 功能测试:测试设备各项功能是否按照要求正常运作,包括输入输出、控制功能、传感器检测等。
2. 性能测试:测试设备在不同工作条件下的性能表现,如速度、精度、响应时间等。
3. 负载测试:测试设备在不同负载条件下的性能表现,以测试设备的工作效率和稳定性。
设备可维护性是指设备在需要进行维护时能够快速、方便、低成本地进行维护和修理的能力。
为了测试设备的可维护性,可以采用以下测试规范:1. 维修性测试:测试设备在需要维护时,是否能够方便地进行拆卸和更换零部件。
2. 故障诊断测试:测试设备在出现故障时,是否能够快速、准确地诊断出问题所在。
3. 零部件可替换性测试:测试设备的零部件是否容易获取,并且能够方便地进行更换。
通过以上定义和测试规范,可以有效地评估设备的可靠性、有效性和可维护性,以确保产品的质量和性能,满足客户的需求和期望。
设备可靠性、有效性和可维护性是任何制造业公司产品质量的重要特性,这些特性对于客户的满意度和公司的声誉具有关键性影响。
因此,测试规范的制定和实施对于确保产品质量和性能至关重要。
在本文中,我们将继续探讨设备可靠性、有效性和可维护性的测试规范,以及测试方法的选择和实施。
设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范是由公司内部的质量保障和研发团队共同制定的,并应该基于行业标准和最佳实践。
可靠性、有效性-、可维护性和安全性(RAMS)
可靠性、有效性-、可维护性和安全性(RAMS)1 目的为确保产品在使用寿命周期内的可靠性、有效性、可维护性和安全性(以下简称RAMS),建立执行可靠性分析的典型方法,更好地满足顾客要求,保证顾客满意,特制定本程序。
2 适用范围适用于本集团产品的设计、开发、试验、使用全过程RAMS的策划和控制。
3 定义RAMS:可靠性、有效性、可维护性和安全性。
R——Reliability可靠性:产品在规定的条件下和规定的时间内,完成规定功能的能力。
可靠性的概率度量亦称可靠度。
A——Availability有效性:是指产品在特定条件下能够令人满意地发挥功能的概率。
M——Maintainability可维护性:是指产品在规定的条件下和规定的时间内,按规定的程序和方法进行维修时,保持或恢复到规定状态的能力。
维修性的概率度量亦称维修度。
S——Safety安全性:是指保证产品能够可靠地完成其规定功能,同时保证操作和维护人员的人身安全。
FME(C)A:Failure Mode and Effect(Criticality)Analysis 故障模式和影响(危险)分析。
MTBF平均故障间隔时间:指可修复产品(部件)的连续发生故障的平均时间。
MTTR平均修复时间:指检修员修理和测试机组,使之恢复到正常服务中的平均故障维修时间。
数据库:为解决特定的任务,以一定的组织方式存储在一起的相关的数据的集合。
4 职责4.1 销售公司负责获取顾客RAMS要求并传递至相关部门;组织对顾客进行产品正确使用和维护的培训;负责产品交付后RAMS数据的收集和反馈。
4.2 技术研究院各技术职能部门负责确定RAMS目标,确定对所用元器件、材料、工艺的可靠性要求,进行可靠性分配和预测,负责建立RAMS数据库。
4.3 工程技术部负责确定能保证实现设计可靠性的工艺方法。
4.4 采购部负责将相关资料和外包(外协)配件的RAMS要求传递给供方,并督促供方实现这些要求。
设备的可靠性评估
设备的可靠性评估引言概述:设备的可靠性评估是一项重要的工作,它涉及到设备在特定条件下的正常运行能力和故障发生的概率。
对于各类设备,可靠性评估是确保其安全运行和提高工作效率的关键。
本文将从设备的设计、创造、运行和维护等方面,介绍设备可靠性评估的重要性和相关内容。
一、设备设计方面的可靠性评估1.1 设备设计的合理性设备的设计是确保其可靠性的基础,合理的设计能够减少故障的发生概率。
在设计过程中,应考虑设备的工作环境、工作负荷和安全要求等因素,合理选择材料和结构,确保设备在正常工作条件下能够承受相应的压力和负荷。
1.2 设备的可维护性设备的可维护性是评估设备可靠性的重要指标之一。
合理的设备维护方案能够及时发现和排除潜在故障,提高设备的可靠性。
在设备设计中,应考虑易损件的更换和维修的便捷性,提供相应的维护手册和维修工具,以降低维护成本和维修时间。
1.3 设备的故障模式与效应分析(FMEA)故障模式与效应分析是一种常用的评估设备可靠性的方法。
通过对设备故障模式的分析,可以确定故障发生的原因和影响,从而采取相应的措施来提高设备的可靠性。
在进行FMEA时,应综合考虑设备的结构、功能和工作条件,制定相应的预防和修复措施。
二、设备创造方面的可靠性评估2.1 严格的质量控制体系设备创造过程中的质量控制是确保设备可靠性的关键。
创造商应建立严格的质量控制体系,包括原材料的选择与检测、创造过程的控制和产品的测试与验证等环节,以确保设备的质量符合设计要求。
2.2 创造工艺的优化创造工艺的优化可以提高设备的可靠性。
通过对生产流程的优化和改进,可以降低创造过程中的误差和缺陷,提高产品的一致性和可靠性。
同时,创造商还应加强对生产设备的维护和保养,确保设备的稳定性和可靠性。
2.3 产品测试与验证产品测试与验证是评估设备可靠性的重要环节。
创造商应建立完善的测试和验证体系,对产品进行全面的功能测试和可靠性验证。
通过摹拟设备在实际工作条件下的运行情况,可以评估设备的性能和可靠性,及时发现和解决潜在问题。
机械工程中的机械设备的可靠性和寿命的规范要求
机械工程中的机械设备的可靠性和寿命的规范要求机械设备的可靠性和寿命是机械工程中非常重要的考量指标。
在设计和制造机械设备时,为了确保设备能够长时间并可靠地运行,需要满足一系列的规范要求。
本文将介绍一些常见的机械设备可靠性和寿命的规范要求。
一、可靠性设计要求1. 设备寿命要求设备的寿命是指设备在特定条件下能够正常运行的时间。
对于不同类型的机械设备而言,其寿命要求也不尽相同。
例如,工业机器人的寿命通常要求在10年以上,而一些小型家用电器的寿命要求可能仅为5年左右。
在设计机械设备时,需要根据实际使用需求和市场需求确定合理的寿命要求。
2. 故障率要求故障率是指设备在使用过程中发生故障的概率。
通常情况下,故障率可以用每单位时间内发生故障的设备数量来表示。
为了保证设备的可靠性,故障率要求通常较低。
特别是对于一些对安全性要求较高的机械设备,其故障率要求更为严格。
3. 可维修性要求机械设备在使用过程中难免会发生故障,因此设备的可维修性也是一个重要的规范要求。
可维修性指的是设备故障后能够方便地修复和恢复正常工作的能力。
好的可维修性要求可以减少设备故障对生产和使用的影响,提高设备的可靠性。
二、寿命测试和验证为了确保机械设备的寿命和可靠性符合规范要求,需要进行一系列的测试和验证。
常见的寿命测试包括使用寿命测试、环境适应性测试和可靠性验证测试等。
这些测试可以模拟设备在实际使用中的工作环境和负载条件,检验设备在各种工况下的可靠性和寿命。
1. 使用寿命测试使用寿命测试是通过模拟设备在实际使用条件下的工作,对设备进行长时间稳定运行的测试。
在测试中,需考虑设备的负载、振动、温度等因素,以模拟实际工作环境。
通过使用寿命测试可以评估设备的可靠性和寿命,并对设计和制造过程进行改进。
2. 环境适应性测试环境适应性测试是为了验证设备在不同环境条件下的可靠性和稳定性。
测试会涉及到设备在高温、低温、湿度、腐蚀等不同环境条件下的工作,以评估设备在不同环境下的适应性和可靠性。
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设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范这个标准在技术上已被全球公制委员会核准,并由北美公制委员会直接负责。
目前的版本在2001年3月1日被北美地区标准委员会核准通过。
2001年6月将在国际半导体设备和材料协会试行,之后同月公布。
其第一版公布于1986年,上一版公布于1999年6月。
1.目的1.1 这份文献通过提供测试半导体制造设备在制造环境中的三性(可靠性、有效性、可维护性)的标准,为设备的使用者和供应商之间的沟通建立了一个通用基础。
2.范围2.1 这份文献定义了设备的6种基本状态。
它包括了设备的任何时间所有可能的状态。
设备的状态由其功能状况决定,而不管操作者是谁。
在这里所做的对设备可靠性的测试强调的是对正在使用中的设备的突然中断,而不是对设备的所有时间。
2.2 本文献第三节(设备状态)定义了如何对设备时间分类。
第六节(三性测试)定义了测试设备状态的公式。
第七节(不确定测试)另外给出方法用来评估所得数据的统计意义。
2.3 有效的应用这份规范需要设备的工作遵循它的周期及或时间。
自动监测设备状态是标准SEMI E58中的内容,并不在本规范中。
设备使用者与供应商之间清晰有效的沟通将持续提高设备的工作状况。
2.4 在这份规范中的三性的指数可以直接运用于整个设备的非成套工具和子系统水平级。
三性指数可以适用于子系统水平(例如过程模块)的多路径组工具。
2.5 这份标准虽然有提到安全事宜,但目的并不旨在追求这个方面。
它将是这个标准使用者的责任来建立合适的安全和健康条款,以及在使用前决定限制章程的运用。
3.参考标准SEMI E58 —自动化的可靠性、有效性和可维护性的标准注释1:本文列出的所有文献都使用其最新的适应版本。
4.术语4.1 辅助—在一个设备周期中设备工作突然中断时发生,它有以下三种情况:●通过外部干涉使中断的设备周期继续。
(比如通过操作工和使用者的干涉,无论它是人或电脑。
)●除了一些特殊的消耗品,零件不可替换。
●在设备操作规范方面没有进一步改变。
4.2 成组工具—由机械地连接在一起的集成过程模块组成的制造系统。
(这些模块可能来自于同一或不同供应商)4.2.1 单路径成组工具—只有一条流水线的成组工具。
4.2.2 多路径成组工具—超过一条独立流水线的成组工具。
(比如,多负荷闸、同样型号的多流程单元室)4.3 周期(设备周期)—一个设备系统或子系统的完全操作过程(包括装卸产品),有流程、制造、测试步骤。
在一个单元流程系统中,周期数等于流经的单元数。
在多批系统中,周期数等于批量数。
4.4 停工时间(设备停工时间)—设备不在工作状态或没有执行到它应有水平的时间,不包括任何不在计划安排上的时间。
4.5 故障(设备故障)—在没有外来干涉下发生的意外故障或偏离。
注释2:正确分类设备故障对于方便解决问题和提高设备能力是非常重要的。
4.6 宿主—联系设备的智能系统,作用相当于代表工厂领导下属的制造主任。
(比如,一个非植入的计算机或单元控制器)4.7 中断—任何干预和故障注释3:中断=干预之和+故障之和4.8 维修—保证设备在预定功能状态下工作。
在本文献中,维修的目的是功能不是设备结构;不论是谁来维修,它都包括调整、材料变化、软件开放、修理、预定检测等等。
4.9 制造时间—所有生产产品的时间及相应停留等待时间。
4.10 非计划时间—计划中设备不在用于生产的时间。
4.11 生产时间—总时间减非计划时间。
4.12 操作工—在设备旁通过设备控制面板操作设备的人员。
4.13 产品—可以成为有功效的半导体装置的一个单元,包括功能的工程装置。
4.14 断工—为使设备能继续工作的一段维修时间,包括冲洗、冷却、加热、软件备份、储存、动态数据(包括参数、方法)、断工发生在计划内和计划外的停工时间内。
4.15 复工—在断工维修后,使设备恢复正常功能工作的一段维修时间。
包括冲气、加热、标准化时间、初始化常数、载入软件、重贮数据(例参数、方法)、控制系统再建等等。
但不包括设备及流水线检测时间。
复工也发生在计划内外的停工时间内。
4.16 关机—当设备有计划外状态时,让设备回到安全状态的时间。
它包括为了达到安全状态所做的任何过程。
关机仅出现在计划外时间中。
4.17 规范(设备操作)—文献中所写的在使用者与供应商之间在设备操作的规定条件下的功能所达成的一致条款。
4.18 开始—设备从计划状态到达成预期功能所需的时间。
包括冲气、加热、冷却、标准化时间、初始化常数、载入软件、重贮数据(例参数、方法)、控制系统再建等等,开始包括于计划外时间中。
4.19 辅助工具—不属于生产设备,但是在正常操作中必需的设备。
(比如,密封盖、运载机、探测卡片、电脑控制器)4.20 总时间—一周7天,1天24小时的所有检测时间。
为了正确表达总时间,设备的所有6种基本状态必须正确记录。
4.21 培训(工作外)—在工作外时间对设备操作和维修进行的指导。
它包括于计划外时间。
4.22 培训(线上)—在正常工作时对个人操作和维修进行的指导。
线上培训一般不会打断正常的操作和维修活动,所以它可以不被区别的包括在任何设备状态中(除等待与计划外时间)4.23 单元—任何晶片,模,成套设备或单位零件。
4.24 工作时间—设备处于正常功能状态的时间,包括有效生产的、等待的和策划时间,不包括任何计划外时间。
4.25 使用者—动作于设备的实体,无论是在设备旁的操作者或在远处遥控的自动界面。
从设备的角度出发,操作者和宿主都是使用者。
4.26 校正运行—设备的一次循环(使用产品单元,非产品单元或不成单元的)以用来引导设备进入规范中的预定状态。
5.设备状态5.1 为了清楚地检测设备地表现,本文献定义了所有设备状况和时期必须遵循地6种基本状态。
5.2 设备状态是由功能决定而不是由设备结构决定。
例如任何维护过程都是这样分类,而不论谁是操作者、操作工、技术人员或流程工程师。
5.3 图1是6种设备状态的框架图。
关键的时间块在后文的等式中将会特别用到。
这些基本的设备状态又可以分成许多子状态,以满足生产运转所需的追踪解决。
SEMI E10并没有列出所有的子状态,但是给出了许多例子用以指导。
图1 设备状态框架图5.4 有效状态—设备按预定功能工作的时间。
有效状态包括:●常规生产(包括装卸产品)●为第三方工作●返工●与生产结合的操纵。
可能是或不是产品单元(比如,分批和新运用)。
5.5 等待状态—在这段时间内,设备是在正常功能状态下,基础设施和化学材料都准备好了,但是不在生产。
它不是计划外的。
等待状态包括:●没有操作工(包括休息、午餐和会议)●没有产品(包括由于缺乏辅助设备比如计量工具造成的缺少产品)●没有辅助工具(例如密封盒、芯片传输器、探测卡)●没有从自动系统来的输入信号(例宿主)5.6 工程状态—设备处在正常功能状态下(没有设备和流程问题存在),但是用于工程实验的时间。
包括:●过程工程(过程塑造)●设备过程(设备评估)●软件工程(例限定软件)5.7 计划内停工状态—设备按计划停止正常功能工作的一段时间。
包括:●维修推迟●生产检测●预防性维修●改变化学材料或消耗品●调整●与基础设施相关的停工。
5.7.1 维修推迟—由于设备正等待使用者或供应人员或其他与维修有关的部分(化学材料、消耗品等)而使设备不能正常工作的时间。
维修推迟有可能是因为管理员决定让设备停着推迟维修。
注释4:维修推迟会发生在维修过程的任何时段,它必须从维修时间中被独立出来。
推迟时间包括在离线时间内,但不在修理时间内。
(详见6.3节设备可维修性)5.7.2 生产控制—有计划地打断产品有效生产来评估产品或非产品单元。
按照设备操作的规范来证实设备是否处于规范中的正常功能状态。
它并不包括可以平行于产品生产的检测,也不包括随着预防性维修、调整及修理过程产生的检测。
5.7.3 预防性维修—它由以下的几部分组成:●预防性措施:按计划周期维护过程(包括设备断工、复工),以降低设备运转中故障的可能性。
间断周期可能基于设备时间、设备状态。
●设备检测:运转设备以证实设备的功能状态。
(比如,系统达到基本压力,芯片传输没有异常、气流正常、等离子区燃烧、来源达到特定压力。
)●校正运作:在预防性措施后为保证设备按规定正常运作而建立的单元流程和评估。
注释5:设备供应商有责任提出预防性措施计划以使设备达到预定水平。
使用者如果希望供应商提高设备水平,他们有责任指出与原定计划的偏离之处。
5.7.4 改变化学材料及消耗品—指在补充半导体流程中的原材料时的故意打断。
它包括改变气瓶、酸、目标、来源等等以及任何与改变相关的充、洗、清洁。
但不包括在得到化学材料、消耗品补给之前的延误时间。
5.7.5 调整—它是以下几部分之和:●变动:为了适应在流程、产品、包装结构上的改变而作出的设备变动所需的时间。
(不包括装修、重建、升级)●设备测试:运行设备以证实它的功能。
(比如,系统达到基本压力,芯片传输没有异常、气流正常、等离子区燃烧、来源达到特定压力。
)●校正运行:在改变后为确认设备按规定正常运作而建立的单元流程和评估。
注释6:设备供应商有责任提供设备在预定条件下改变和测试的过程步骤。
使用者如果希望在这些条件下供应商减少改变次数,那么他有责任给出偏离的过程步骤。
5.7.6 与基础设施相关的停工—由于缺乏辅助的基础设施而使设备不能按预定功能运行的一段时间。
相关的基础设施有:●环境(例温度、湿度、震动、微粒度)●房屋的悬挂装置(例动力、冷却水、空气、废气、LN2)●与其他设备或宿主计算机连接的管道●与宿主相连的通信设备5.7.6.1 任何与上述项目相关的停工时间将包括在基础设施的停工时间内。
例如,由于安排了15分钟的动力短缺使需要另外的制冷剂动力,这样让设备再恢复到预定功能状态所耗费的时间就是与基础设施相关的停工时间。
5.8 计划外停工时间—由于一些意外事件使设备不在预定功能状态的时间。
●维修推迟●修理●改变化学材料及消耗品●不合规范的输入●与基础设施相关的停工5.8.1 维修推迟—由于设备正等待使用者或供应人员或其他与维修有关的部分(化学材料、消耗品等)而使设备不能正常工作的时间。
维修推迟有可能是因为管理员决定让设备停着推迟维修。
注释7:维修推迟会发生在维修过程的任何时段,它必须从维修时间中被独立出来。
推迟时间包括在离线时间内,但不在修理时间内。
(详见6.4节设备可维修性)5.8.2 修理时间—包括以下:●诊断:识别设备故障的源由的过程。
●纠错行为:提出设备的故障处并使设备恢复到正常运作的维修过程。
(包括设备断工、复工、重建、重设置、再循环、再启动、回到前一个软件版本等等)●设备测试:运行设备以证实它的功能。
(比如,系统达到基本压力,芯片传输没有异常、气流正常、等离子区燃烧、来源达到特定压力。