低维异质结构与新型Ⅲ-Ⅴ族半导体发光器件的研究

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MOF半导体异质结的构建及其光催化性能研究

MOF半导体异质结的构建及其光催化性能研究

MOF半导体异质结的构建及其光催化性能研究MOF(金属有机框架)是一类由金属离子与有机配体通过化学键持续构成的结晶材料。

由于其特殊的孔道结构和高度可调性,MOF在催化、吸附、气体储存等领域有着广泛的应用前景。

MOF半导体异质结是将MOF材料与传统的半导体材料相结合,形成异质结构。

MOF半导体异质结具有复合材料的优点,结合了MOF的高度可调性和半导体的电子传输性能,从而提高了光催化性能。

因此,研究MOF半导体异质结的构建及其光催化性能对于提高光催化材料的效率至关重要。

构建MOF半导体异质结的方法有多种,包括溶液处理法、原位生长法和后续修饰法等。

其中,溶液处理法是一种基于扩散的构建方法,通过将MOF沉积在半导体表面来形成异质结构。

原位生长法是通过在半导体表面直接合成MOF材料。

后续修饰法是指在半导体表面修饰MOF材料,如通过沉积金属颗粒或有机染料。

光催化性能的研究主要关注两个方面:光吸收和光生电子转移。

MOF半导体异质结的光吸收主要由MOF材料负责,因为MOF材料具有广谱吸收的特点。

而MOF半导体异质结的光生电子转移则由两个组分负责,MOF材料负责电子的产生,半导体材料负责电子的传输。

为了提高MOF半导体异质结的光催化性能,可以采用以下策略:改变MOF材料的组分和结构,调控MOF材料的吸收光谱范围和分子催化活性;改变半导体材料的表面形态和结构,提高光生电子的传输效率;调节异质结界面的能级结构,优化光生电子的转移效率;组装多重异质结构,形成级联效应以提高光催化活性。

最后,MOF半导体异质结的光催化性能研究对于发展高效、可持续的光催化材料具有重要意义。

通过构建合理的异质结构,调控材料的光吸收和电子转移性质,可以提高光催化材料的效率及稳定性。

同时,探索新的构建方法和策略,为MOF半导体异质结的应用拓展提供了新的思路。

超高速化合物半导体器件(2)Ⅲ—Ⅴ族化合物异质双极晶体管

超高速化合物半导体器件(2)Ⅲ—Ⅴ族化合物异质双极晶体管

Ul a hg .p e mp u d S mio d co vc ( t . ih s e d Co o n e c n u t rDe ie 2) r
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Abs r t Fe t r p c g n t s n pp i to fc m p nd emi o ucord ie a e i r uc d b e h l ton t ac : a u e, a ka i g, e ta d a lcai n o o ou s c nd t evc r ntod e as d onhi eecr g
m b lyt n i o.h t ou cinbp l a s t n imw v / 1me e w v tgae i ut MMI ) o i t r s tr ee j n t ioa t n i o a d m c a e m. i t — a ei e rtdcr i i a s r o rr s r 1 r n c ( C.
2 1 . HB T的 结 构
应 用等 方 面 都 走 向 了实 用 化 。 用 同质 结 Ⅲ一 V族 材 而 料 , : a s I P、 N等 制 造 器 件 , 了 提 高 频 率 、 如 G A 、n Ga 为 降 低 噪 声 ,同时 还 要 获得 高 电流 增 益 和低 基 极 电阻 , 这 是 十 分 困难 的 。但 若 采 用 异 质结 结 构 , 则是 解 决 这 一
地 进 行 设 计 。 用 这 一 原 理 可 以考 虑 如 下 的 情 况 :
问题 的 良好 途 径 。 质 结 双 极 晶体 管通 常 又 称 为 H T 异 B
( eeou cinB p lr rn i o ) H trj n t ioa a s tr 。 o T s

光电功能化的低维材料与器件研究

光电功能化的低维材料与器件研究

光电功能化的低维材料与器件研究光电功能化低维材料已成为当前材料科学研究和应用开发的热点领域之一。

低维材料是一类在一个或两个维度上尺寸极小的材料,具有独特的物理和化学特性。

与传统三维材料相比,低维材料的电子、光学、热学和力学性能更加优越,具有更宽的光谱响应范围和更高的效率。

光电功能化的低维材料和器件研究已成为国内外研究的热点和难点,其研究成果也已广泛应用于光电信息存储、光电控制、能源转换和生物医学等领域。

一、低维材料的分类与特性低维材料是在一个或两个维度上尺寸极小的材料,主要包括一维纳米线、二维薄膜和量子点等。

这些材料的特性包括:1. 电子性能:低维材料具有载流子与晶格耦合减弱、表面自由能增大、接触电势变化明显等电子性能特征。

这些特征促进了低维材料在太阳能电池、光电控制器等光电器件上的应用。

2. 光学性能:低维材料具有更宽的光响应范围、更高的量子效率和更小的逸出功。

这些特性对实现高效发光器件、太阳能电池、光电传感器等光电器件具有重要意义。

3. 热学性能:低维材料有更小的热容量和更大的界面效应,可用于制造热电转换器件,实现能源和热能的高效转换。

4. 力学性能:低维材料在弯曲和拉伸等情况下,会出现四面体效应和屈曲现象,其力学性能表现更为复杂。

这些特性在制造柔性电子设备和高强度材料等领域有重要应用。

二、光电功能化低维材料的制备低维材料的制备包括物理法、化学法和生物法等多种方式。

其中物理法包括真空蒸发、物理气相沉积和激光热解法等;化学法包括溶液法、气相沉积法和水热法等;生物法则是利用生物体系中的生物分子来制造低维材料或通过仿生学方法来合成低维材料。

近年来,通过表面修饰等手段,光电功能化低维材料多样性不断增强,使得低维材料的应用范围更为广泛。

例如,将金属氧化物、过渡金属硫化物、碳纳米管等多种材料与量子点、纳米线和薄膜等低维材料相结合,可以获得具有特殊性质和高效性能的光电功能化材料。

三、光电功能化低维材料的应用光电功能化低维材料在光电器件、能源转换和生物医学等领域的应用广泛。

(物理化学专业论文)低维(VIa族化合物)半导体纳米材料的制备及表征

(物理化学专业论文)低维(VIa族化合物)半导体纳米材料的制备及表征

⑧浙江大学博十学位论文第一章绪论纳米是一种长度度量单位,即米的十亿分之一。

纳米材料是指在三维空间中至少有一维处于纳米尺度范围(1一100m)或者由它们作为基本单元构成的材料。

广义地说,纳米材料是泛指含有纳米微粒或纳米结构的材料。

1.1.1纳米材料的诞生及其发展早在】8世纪60年代,随着胶体化学的建立,科学家们就开始了对纳米微粒体系(胶体)的研究。

到20世纪50年代末,著名物理学家,诺贝尔奖获得者理查德·费曼首先提出了纳米技术基本概念的设想。

他在1959年12月美国加州理工学院的美国物理年会上做了一个富有远畿鬈0意黑2=:盏:篙翼盎:见性的报告,并做出了美妙的设想:如果有一天可以按人的意志安排一个个原子,那将会产生怎样的奇迹?理查德·费曼先生被称为“纳米科技的预言人”。

随后,1977年美国麻省理工学院的学者认为上述设想可以从模拟活细胞中生物分子的研究开始,并定义为纳米技术(nanotcchnology)。

1982年Binining和Rohrer研制成功了扫描隧道显微镜(s1M),从而为在纳米尺度上对表面进行改性和排布原子提供了观察工具。

1990年美国IBM公司两位科学家在绝对温度4K的超真空环境中用sTM将Ni(110)表面吸附的xe原子在针尖电场作用下逐一搬迁,⑧浙江大学博士学位论文电子既具有粒子性又具有波动性,因此存在隧道效应。

近年来,人们发现一些宏观物理量,如微颗粒的磁化强度、量子相干器件中的磁通量等亦显示出隧道效应,称之为宏观的量子隧道效应。

量子尺寸效应、宏观量子隧道效应将会是未来微电子、光电子器件的基础,或者它确立了现存微电子器件进一步微型化的极限,当微电子器件进一步微型化时必须要考虑上述的量子效应。

例如,在制造半导体集成电路时,当电路的尺寸接近电子波长时,电子就通过隧道效应而溢出器件,使器件无法正常工作,经典电路的极限尺寸大概在O.25um。

目前研制的量子共振隧穿晶体管就是利用量子效应制成的新一代器件。

III—V族化合物半导体的能带结构

III—V族化合物半导体的能带结构
L能量比布里渊区中心极小值高出0.29eV。
砷化镓价带也具有一个重空穴带 V1,一个轻空穴带V2和由于自旋-轨道 耦合分裂出来的第三个能带V3,重空 穴带极大值也稍许偏离布里渊区中心。 重空穴有效质量为0.45m0,轻空穴 有效质量为0.082m0,第三个能带裂距 为0.34eV。 室温下禁带宽度为1.424eV,0K时 为1.519eV,室温附近禁带宽度随温度 线性变化, Eg(T)= Eg(0)-αT2/(T+β)
3、磷化镓和磷化铟的能带结构
磷化镓和磷化铟也都是具有闪锌矿型结构的III-V族化合物半 导体,它们的价带极大值也位于k=0处。 磷化镓导带极小值不在布里渊区中心,而在<100>方向,电子 有效质量为0.35mo,重空穴和轻空穴有效质量分别为0.86m0和 0.14m0, 室温下禁带宽度为2.26eV,dEg/dT= -5.4x10-4eV/K。 磷化铟导带极小值位于k=0,电子有效质量为0.077m0,重空穴 和轻空穴有效质量分别为0.8m0和0.012m0,室温下禁带宽度为 1.34eV,dEg/dT= -2.9x10-4eV/K。
锑化铟的价带包含三个能带一个重空穴带v20k时重空穴有效质量沿111110100方向分别为044m轻空穴有效质量为00160m重空穴带的极大值偏离布里渊区中心约为布里渊区中心至布里渊区边界距离的03其能值比k0处的能量高104ev由于这两个值很小因而可以认为价带极大值位于k0价带的自旋轨道裂距约为09ev
锑化铟的价带包含三个能带, 一个重空穴带V1, 一个轻空穴带V2 由自旋-轨道耦合所分裂出来的第三个能带V3,
20K时重空穴有效质量沿[111],[110],[100] 方向分别为0.44m0,0.42m0和0.32m0,轻空穴有 效质量为0.0160m0。 重空穴带的极大值偏离布里渊区中心,约为 布里渊区中心至布里渊区边界距离的0.3%,其能 值比k=0处的能量高10-4eV,由于这两个值很小, 因而可以认为价带极大值位于k=0, 价带的自旋-轨道裂距约为0.9eV。

8 iii-v多元化合物半导体

8 iii-v多元化合物半导体

本章介绍一些Ⅲ-Ⅴ族多元化合物、多层异质结 构、超晶格、应变超晶格等的制备及其特性。
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§8-1 异质结与晶格匹配 一、异质结及其分类 异质结是由两种基本物理参数(Eg、功函数、电子亲 和势和介电常数等)不同的半导体单晶材料联结起来 构成的。 按 其 导 电 类 型 , 分 为 同 型 ( NN+ , PP+ ) 和 异 型 (PN)两种。 理想的异质结的交界面应该是突变的,但实际上用一 般的外延生长方法制备的异质结,常常是有一定厚度 的缓变区(过渡区),它会影响异质结的某些特性。
第八章 Ⅲ-Ⅴ族多元化合物半导体材料
Ⅲ-Ⅴ族二元化合物的晶格常数和禁带宽度等都是一定的, 在应用时常受到限制。 如:光电器件的发射波长由材料的禁带宽度限定。 由两种Ⅲ-Ⅴ族化合物合成的三元或四元化合物,除与能 量有关的参数(Eg、)考虑能带弯曲外,其它参数(a、 me*、 mhh*、 mhl * mhs * )基本上用维戈(Vergard)公 式线性插值得到。
8
N-Ga1-xAlxAs
P-GaAs
P-Ga1-xAlxAs h
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
n
I
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(3)异质结对载流子的限制。由于异质结界面存在 △Ec和△Ev ,所以能够在一定程度上限制电子和空 穴从有源区泄出。异质结结构中从N-AlGaAs限制层 注入P-GaAs有源区的电子受到P-P同型异质结造成 的势垒的限制,大大提高了注入电子的利用率。 如果取有源区厚度小于扩散长度,则注入到有源区 势阱中的电子分布是均匀的,这使同样电流密度下 得到的过剩载流子浓度大大增加。 有源区与N区界面处的价带势垒又阻碍空穴的扩散, 阈值电流密度进一步降低,这是双异质结LD实现室 温连续激射的重要前提。

半导体材料学习资料:Ⅲ-Ⅴ族化合物的制备及其特征

半导体材料学习资料:Ⅲ-Ⅴ族化合物的制备及其特征
最近一个时期以来,有些砷化镓器件的需求猛增,一些 领域的发展迅速地扩大了砷化镓市场的需求,又带动了砷化 镓材料和器件的研究与发展,这些领域是:
移动电话 近些年来移动电话飞速发展,年增长率达两三 倍。由于用户的增加和功能的扩大,就必须提高其使用的频 率。在较高的频率下,砷化镓器件与硅器件相比.具有使用 的电压低、功率效率高、噪声低等优点,而且频率愈高,两 种器件在上述性能方面的差距愈大。所以现在移动通信成了 砷化镓微波电路的最大用户。
GaN材料特点
① 宽带隙化合物半导体材料,有很高的禁带宽度(2.3 — 6.2eV),可以覆盖红、黄、绿、蓝、紫和紫外光谱范围 , 是到目前为止其它任何半导体材料都无法达到的
② 高频特性,可以达到300G Hz(硅为10G,砷化镓为80G) ③ 高温特性,在300℃正常工作(非常适用于航天、军事和
用砷化镓材料制作的器件频率响应好、速度快、工作温度 高,能满足集成光电子的需要。它是目前最重要的光电子材料 ,也是继硅材料之后最重要的微电子材料,它适合于制造高频 、高速的器件和电路。 已获应用的砷化镓器件: ①微波二极管,耿氏二极管、变容二极管等; ②微波晶体管:场效应晶体管(FET).高电子迁移率晶体管(HEMT) ,异质结双极型晶体管(HBT)等; ③集成电路:微波单片集成电路(MMIC )、超高速集成电路 (VHSIC)等; ④红外发光二极管:(IR LED); 可见光发光二极管(LED,作衬底 用); 激光二极管(LD);. ⑤光探测器; ⑥高效太阳电池; ⑦霍尔元件等
其它高温环境) ④ 电子漂移饱和速度高、介电常数小、导热性能好 ⑤ 耐酸、耐碱、耐腐蚀(可用于恶劣环境) ⑥ 高压特性(耐冲击,可靠性高) ⑦ 大功率(对通讯设备是非常渴望的)
GaN应用前景

《Ⅱ-Ⅵ族半导体异质结构中的激子及其压力效应》范文

《Ⅱ-Ⅵ族半导体异质结构中的激子及其压力效应》范文

《Ⅱ-Ⅵ族半导体异质结构中的激子及其压力效应》篇一一、引言随着纳米科技的飞速发展,半导体异质结构因其独特的电子和光学性质,在光电子器件、光催化、太阳能电池等领域具有广泛的应用前景。

其中,Ⅱ-Ⅵ族半导体异质结构以其优良的物理和化学性质备受关注。

本文将重点探讨Ⅱ-Ⅵ族半导体异质结构中的激子特性及其在压力作用下的效应。

二、Ⅱ-Ⅵ族半导体异质结构概述Ⅱ-Ⅵ族半导体包括CdS、ZnSe等,它们由第二周期的Ⅱ族元素(如Cd、Zn)和Ⅵ族元素(如S、Se)组成。

这些材料具有直接或间接带隙的能带结构,在光照下可产生光生激子(即电子-空穴对)。

当不同Ⅱ-Ⅵ族半导体材料形成异质结构时,由于能带结构的差异,可以产生丰富的电子和光学现象。

三、激子特性在Ⅱ-Ⅵ族半导体异质结构中,激子是一种重要的物理现象。

当光照射到材料表面时,材料中的电子会从价带跃迁到导带,并在价带中留下一个空穴,从而形成电子-空穴对(即激子)。

激子具有一定的能量和寿命,可以通过重组或其他机制将能量传递给其他粒子或能量转移。

在Ⅱ-Ⅵ族半导体异质结构中,激子的形成和迁移过程受到多种因素的影响,如能带结构、材料界面等。

四、压力效应当对Ⅱ-Ⅵ族半导体异质结构施加压力时,会对其中的激子产生显著的影响。

首先,压力可以改变材料的能带结构,从而影响激子的形成和迁移过程。

其次,压力还可以改变材料中的电子密度和电子迁移率,进一步影响激子的行为。

此外,压力还可以改变材料的光学性质,如吸收光谱、发光光谱等。

因此,研究压力作用下Ⅱ-Ⅵ族半导体异质结构中的激子特性具有重要意义。

五、实验与结果为研究Ⅱ-Ⅵ族半导体异质结构中的激子及其压力效应,我们采用了先进的实验技术,如光谱分析、扫描隧道显微镜等。

通过施加不同的压力,我们观察到激子的行为发生了明显的变化。

在压力作用下,激子的寿命缩短,重组速率加快。

同时,我们也观察到材料的吸收光谱和发光光谱在压力作用下发生了变化。

这些结果为我们提供了深入理解压力对Ⅱ-Ⅵ族半导体异质结构中激子特性的影响。

半导体物理学 第一章__半导体中的电子状态

半导体物理学 第一章__半导体中的电子状态

The End of Preface
第一章 半导体中的电子状态
主要内容:
1.1 半导体的晶格结构和结合性质 1.2半导体中电子状态和能带 1.3半导体中电子运动--有效质量 1.4 本征半导体的导电机构--空穴 1.5 常见半导体的能带结构 (共计八学时)
本章重点:
*重 点 之 一:Ge、Si 和GaAs的晶体结构
晶体结构周期性的函数 uk (x) 的乘积。
分布几率是晶格的周期函数,但对每个原胞的
相应位置,电子的分布几率一样的。 波矢k描述晶体中电子的共有化运动状态。
它是按照晶格的周期 a 调幅的行波。
这在物理上反映了晶体中的电子既有共有化的 倾向,又有受到周期地排列的离子的束缚的特点。
只有在 uk (x) 等于常数时,在周期场中运动的 电子的波函数才完全变为自由电子的波函数。
硅基应变异质结构材料一维量子线零维量子点基于量子尺寸效应量子干涉效应量子隧穿效应以及非线性光学效应等的低维半导体材料是一种人工构造通过能带工程实施的新型半导体材料是新一代量子器件的基宽带隙半导体材料宽带隙半导体材料主要指的是金刚石iii族氮化物碳化硅立方氮化硼以及iivi族硫锡碲化物氧化物zno等及固溶体等特别是sicgan和金刚石薄膜等材料因具有高热导率高电子饱和漂移速度和大临界击穿电压等特点成为研制高频大功率耐高温抗辐射半导体微电子器件和电路的理想材料在通信汽车航空航天石油开采以及国防等方面有着广泛的应用前景
(1)元素半导体晶体
Si、Ge、Se 等元素
(2)化合物半导体及固溶体半导体
SiC
AsSe3、AsTe3、 AsS3、SbS3
Ⅳ-Ⅳ族
Ⅴ-Ⅵ族
化合物 半导体
InP、GaN、 GaAs、InSb、

材料科学中的低维材料器件研究

材料科学中的低维材料器件研究

材料科学中的低维材料器件研究近年来,随着纳米科技和新材料的进步,低维材料器件研究越来越受到科学家们的关注。

低维材料器件是指器件中至少存在一个或多个维度小于宏观维度的材料结构,可以是单层材料、纳米线、薄膜等。

低维材料器件研究的意义在于,这些器件具有独特的电子、光学和机械性质,比传统材料的性能更出色。

例如,在纳米尺度下,材料的光学性质会发生巨大的变化,可以实现光电转换等应用。

此外,低维材料器件还可以在电子器件、传感器、储能器件等领域中得到应用。

一些常见的低维材料器件包括纳米线场效应晶体管、纳米薄膜电池、纳米线LED等。

这些器件的研究需要先进的实验装备和精细的制备技术,因此需要跨学科合作,包括物理学、化学、材料科学等多个领域的专家。

1.纳米线场效应晶体管纳米线场效应晶体管是一种由纳米线构成的晶体管器件,可以对电子进行高效控制。

纳米线场效应晶体管的优点在于具有高运输能力、低噪声等特性,可以应用于微处理器、传感器等领域。

但是,纳米线场效应晶体管的制备技术相对复杂,需要制备出高质量的不同材料的纳米线,并在芯片上进行拼接。

2.纳米薄膜电池纳米薄膜电池是一种基于低维材料的储能器件,其优点在于体积小、容量大、长寿命等。

纳米薄膜电池具备高速充放电和高能量密度的特点,可以为移动设备、电动车等领域提供更持久的电能。

但是,目前纳米薄膜电池的稳定性和可靠性还需要进一步提高。

3.纳米线LED纳米线LED是一种基于低维材料的发光器件,其优点在于结构简单、效率高、尺寸小等。

纳米线LED可以应用于宽色域显示、环境照明、夜视器件等领域。

目前,纳米线LED面临的主要问题是如何提高效率和可靠性,以及如何实现大规模制备。

总之,低维材料器件研究是当前材料科学中的热点之一,其在电子、光学、能源和生物医学等领域中的应用前景十分广阔,需要跨学科合作和多方努力来推动其发展。

低维半导体结构的光电性能研究

低维半导体结构的光电性能研究

低维半导体结构的光电性能研究近年来,低维半导体材料因其独特的光电性能和潜在的应用前景引起了广泛关注。

低维半导体结构包括二维材料、纳米线、量子点等,其具有较高的载流子迁移率、较强的光吸收能力和较短的载流子寿命等特点,在光电器件、太阳能电池、光催化等领域具有巨大的应用潜力。

首先,二维材料是低维半导体结构中的一类重要材料。

石墨烯作为最早被研究并发现的二维材料之一,具有优异的导电性能,因此在电子器件领域有着广泛的应用。

然而,石墨烯的零带隙限制了其在光电器件中的应用。

因此,人们开始探索其他具有较大带隙的二维材料。

例如,二硫化钼(MoS2)是一种带隙为1.8eV的二维材料,具有优秀的光电转换性能。

研究表明,将MoS2与其他半导体材料结合可以进一步提高其光电性能。

通过调节二维材料层数、掺杂和异质结构等方法,可以调控低维半导体结构的光电性能。

其次,纳米线也是低维半导体结构中的一类重要材料。

纳米线具有小尺寸效应和量子尺寸效应,可以调控其载流子输运行为。

研究发现,对于直径较小的纳米线,由于表面条件的影响,载流子的迁移率会受到限制。

因此,人们提出了利用核-壳结构纳米线来改善其光电性能的方法。

例如,将硅纳米线包覆一层硅氧化物或氧化锌壳层,可以有效提高载流子的迁移率和抑制表面态的影响,从而提高纳米线的光电转换效率。

另外,量子点也是低维半导体结构中备受瞩目的材料。

量子点具有禁带宽度可调、量子限制效应和高载流子密度等特点,对于光电转换器件具有广泛的应用前景。

研究人员通过合成不同尺寸、形态和组分的量子点,可以调控其能带结构和光学性质,实现对光电性能的精确调控。

此外,将量子点与其他传统半导体材料结合,形成量子点敏化材料也是一种提高光电转换效率的有效方法。

研究表明,使用量子点敏化太阳能电池和光催化材料可以显著提高其光电转换效率。

总之,低维半导体结构的光电性能研究是当前材料科学领域的热点之一。

通过调控二维材料、纳米线和量子点的结构和性质,可以实现对低维半导体结构的光电性能的精确控制。

特色研究报告:低维电磁功能材料研究进展

特色研究报告:低维电磁功能材料研究进展

特色研究报告:低维电磁功能材料研究进展摘要:电磁功能材料在军事隐身、信息对抗等国防军工以及电磁辐射防护、微波通信等民用技术领域有着广阔的应用前景。

特别是,低维电磁功能材料具有独特的电磁特性,在电磁波吸收与屏蔽、通信与成像、传感与检测等方面受到越来越多的关注。

总结了曹茂盛研究小组在低维电磁功能材料方面取得的重要研究进展,主要包括碳纳米管、石墨烯、碳化硅、氧化锌、过渡金属及其化合物、多铁材料等。

系统论述了低维材料的电磁响应,包括电荷输运、偶极极化、磁共振、磁涡流等。

重点总结了在电磁响应方面提出的重要的模型和公式,包括电子跳跃(EHP)模型、聚集诱导电荷输运(AICT)模型、类电容结构、等效电路模型以及等效串联电路方程和电导网络方程等。

揭示了低维材料电磁响应与电磁屏蔽和吸收之间的重要联系,即电磁能量转换机制,包括极化弛豫和电荷输运协同竞争机制以及界面散射、微电流、微天线辐射和介质弛豫的竞争协同作用等。

最后,深入剖析了该领域的发展进程,提出了该领域面临的重大挑战,并预测了未来的研究方向。

关键词:低维材料;电磁响应;能量转换;电磁特性;电磁屏蔽;微波吸收电磁功能材料支撑着电子科学和信息工程的发展,是信息、通讯、能源、医学、航空航天、军事等各个领域技术研发的重要基础。

例如,超长波(λ=104~105 m)导航系统可用于海上定位和通信;中短波(λ=1~103 m)手机收发器能让我们足不出户便知天下事;太赫兹、红外及X射线探测器和成像装置被广泛应用于医疗检测和军事装备领域。

随着科学技术的发展,高性能电磁功能材料研发将成为今后科学界新的研究热点之一,未来电磁功能材料和器件的创新将给人类带来更多意想不到的惊喜。

低维电磁功能材料的研发推动了全球高新技术领域的进步。

新的物理效应,新的电磁响应机制和电磁性能,新的低维材料以及多元化、微小型化和智能化的新型电磁器件,为电磁波吸收与屏蔽、探测与传感、成像、开关与滤波、光学与光电等领域的发展带来了无限的活力。

半导体材料第8章III--VV族多元化合物半导体

半导体材料第8章III--VV族多元化合物半导体

吉林大学电子科学与工程学院
半导体材料
超晶格 : 由两种(或两种以上)组分(或导电类 型)不同、厚度d极小的薄层材料交替生长在一起 而得到的一种多周期结构材料。
厚度d远大于材料的晶格常数a,但相近与或小于 电子的平均自由程
衬底
这是在原来“自然”晶体晶格的周期性结构上又叠 加了一个很大的“人工”周期的新型人造材料。
吉林大学电子科学与工程学院
半导体材料
c) 电价因素
连续固溶体必要条件:原子价(或离子价)相同 多组元复合取代总价数相等,电中性。 ( 不是充 分条件) ¾ 电负性相近,有利于固溶体的生成 ¾ 电负性差别大,倾向于生成化合物 如果价态不同,则最多只能生成有限固溶体(满 足尺寸条件前提下)
吉林大学电子科学与工程学院
使用四元固溶体可增加一个对其主要性能进行调 整和裁剪的自由度,即可通过两种组元的组分改 变来调整其带隙和晶格常数。
吉林大学电子科学与工程学院
半导体材料
从 图 上 可 知 : 与 InP 晶 格 (0.5869nm) 相 匹 配 的 该固溶体的带隙可在 0.74~1.35eV之间调整
吉林大学电子科学与工程学院
吉林大学电子科学与工程学院
半导体材料
三元固溶体:
Vegard定律
晶格常数
aAB=xaA+(1-x)aB aA和aB分别为互溶材料A和B的晶格常数 带隙宽度
Eg,AB= a+bx+cx2 其中,a,b,c为特定固溶体材料的特征常数
吉林大学电子科学与工程学院
半导体材料
固溶体晶格常数随组分变化
晶格常数 a (nm)
吉林大学电子科学与工程学院
半导体材料
E(k)
3.0

低维半导体材料的生长与性能研究

低维半导体材料的生长与性能研究

低维半导体材料的生长与性能研究随着科技的不断发展和人们对于节能环保理念的日益强烈意识,对于新型半导体材料的研究也变得越来越重要。

低维半导体材料作为其中的一种新型半导体材料,备受关注。

一、低维半导体材料概述低维半导体材料是指一种宽带隙半导体材料,它在磊晶生长过程中的一个或多个尺度被限制在纳米级别。

这种材料呈现出非常特殊的光电性能,主要表现在:具有高载流子流动率、较小的载流子有效质量、超高自由载流子寿命以及较高的量子效率等方面。

由于低维半导体材料具有优异的性能,一些研究机构将其定义为“下一代新型半导体材料”。

二、低维半导体材料的生长低维半导体材料的生长是指将低维半导体材料从气体相、液相或固相转化成晶体的过程。

通常采用的生长方法有气相外延、液相外延、分子束外延以及溅射等方法。

其中气相外延是最常采用的低维半导体材料生长方法之一。

该方法通过控制气相物种与衬底表面反应,使半导体材料在衬底表面上生长而成。

气相外延还有一些衍生的方法,如金属有机气相外延、分子束流外延等。

液相外延是利用熔融合金与触晶棒之间相互扩散的方式,在触晶棒表面上生长低维半导体材料。

该方法相对于气相外延具有比较高的可生长面积和所需的设备成本低等优点。

溅射生长是通过离子轰击的方式,将靶材上的原子或离子释放到衬底表面上生成原子薄膜的生长方法。

此方法也是可生长面积较大、设备成本相对较低的方法,因此在低维晶体材料的生长中也得到广泛应用。

三、低维半导体材料的研究1. 光电性能低维半导体材料的光电性能是指材料对于光的响应及其光电特性,这也是低维半导体材料研究中的重要方面。

对于低维半导体材料而言,其载流子运动受到约束,因此载流子的寿命会变长。

同时,由于低维半导体材料表面积小,表面反应活性很强,因此极易出现表面态。

这些表面态往往会对材料的光电性能产生重要影响。

低维半导体材料的光电性能研究对于进一步了解材料的特性、提升材料的性能以及开发新型光电器件有着重要意义。

Ⅲ-Ⅴ族半导体异质结中二维电子气的磁输运性质的开题报告

Ⅲ-Ⅴ族半导体异质结中二维电子气的磁输运性质的开题报告

Ⅲ-Ⅴ族半导体异质结中二维电子气的磁输运性质的开题报告一、选题背景及意义随着半导体技术的不断发展,对于半导体异质结中二维电子气的研究日益重要。

异质结是由两种不同类型的半导体构成的,不同类型半导体的能量带结构不同,使得在界面处形成二维电子气。

这些材料的特殊性质和优异性能给它们在电子学、光学、磁学、能源和传感器等领域的应用带来了广泛的前景。

在半导体异质结中,存在着束缚的二维电子气。

当这些电子处于一个强磁场中时,就会出现一种称为量子霍尔效应的现象。

这种效应不仅本身拥有很大的学术研究价值,而且它还具有很多应用价值,比如用于建立分子电子学、高速计算机及相关芯片、新型智能传感器等。

因此,本论文将通过分析Ⅲ-Ⅴ族半导体异质结中二维电子气的磁输运性质,为研究材料中局域电子能级的形成和本征、掺杂杂质对材料输运性质的影响提供参考。

二、研究内容和方法目前,研究者们主要利用约化密度矩阵理论、磁场下的电子波函数等方法探究材料中二维电子气的磁输运性质。

本论文将采用该方法,以Ⅲ-Ⅴ族半导体异质结为研究对象,分析在外加垂直于二维电子气方向磁场作用下,二维电子气的输运性质。

通过对磁场下的电子波函数进行求解和分析,研究者们可以得到材料中电子的能级分布情况、能带结构以及电子波函数在磁化方向和垂直方向上的变化规律。

同时,通过计算外加磁场下的量子输运特性,比如霍尔电导、霍尔电阻等,可以探究材料的输运性质和电子的移动规律。

三、拟解决的关键问题本论文将主要解决以下两个问题:1. 在磁场作用下,Ⅲ-Ⅴ族半导体异质结中二维电子气的能级分布和能带结构如何变化?2. 研究Ⅲ-Ⅴ族半导体异质结中二维电子气的霍尔电导、霍尔电阻等量子输运特性,探究材料的输运性质和电子的移动规律。

四、预期结果通过对Ⅲ-Ⅴ族半导体异质结中二维电子气的磁输运性质进行分析,可以得到材料中电子的能级分布情况、能带结构以及电子波函数在磁化方向和垂直方向上的变化规律。

同时,通过计算外加磁场下的量子输运特性,比如霍尔电导、霍尔电阻等,可以探究材料的输运性质和电子的移动规律。

半导体材料课件III-V族化合物半导体的特性 GaAs单晶的生长方法

半导体材料课件III-V族化合物半导体的特性 GaAs单晶的生长方法
光探测器
高效太阳电池
霍尔元件
吉林大学电子科学与工程学院
半导体材料
GaAs在我们日常生活中的一些应用
遥 控 器 是 通 过 GaAs 发 出 的 红 外光把指令传给主机的。
家电上的红色、绿色指示灯是 以 GaAs 等 材 料 为 衬 底 做 成 的 发光二极管。
吉林大学电子科学与工程学院
CD, DVD,BD光盘是用以 GaAs为衬底制成的GaAlAs激 光二极管进行读出的。
吉林大学电子科学与工程学院
半导体材料
非凝聚体系p-T-x相图各投影图的含义
GaAs体系 p-T-x相图
¾G a - A s 的 T - x 图 , 反 映 体 系sGaAs+l+g三相平衡时的 温度与xAs组成的关系。
质很不相同,把这种不对称性叫做极性
吉林大学电子科学与工程学院
半导体材料
极性(闪锌矿是非中心对称的)
[111]

[111]

表面A

ⅤⅤ ⅢⅢ

[1 1 1]


表面B
[1 1 1]
闪锌矿结构在[110]面上的投影 显示在[111]方向和[1 1 1] 方向的差别
吉林大学电子科学与工程学院
半导体材料
从垂直[111]方向看,GaAs是一系列由Ga原子和As 原子组成的双原子层,因此晶体在对称晶面上的性 质不同。如[111]和[111]是不同的。 III族:A原子,对应的{111}面称为A面 V族:B原子,对应的{111}面称为B面 ¾ A—B组成的双原子层称为电偶极层 ¾ A边和B边化学键,有效电荷不同,电学和化学性
直接3.4eV 间接2.26eV 直接 1.43eV 直接 0.73eV

新型半导体异质结的制备及其应用

新型半导体异质结的制备及其应用

新型半导体异质结的制备及其应用新型半导体材料的异质结构是当今材料科学研究的重点之一。

异质结是由不同性质的材料层之间形成的,其内在物理性质具有优异的独特性态。

异质结材料结合不同的带隙和质量密度,具有优异的电子、光电子性质及机械性能,被广泛应用于电子学、光电子学和能源等领域。

设想一下,如果能够在材料的微观层面上制备出精密的异质结结构,这将会怎样促进半导体产业的发展呢?答案是,很多物理学家和材料学家已通过实验以及理论推导,通过各种制备方法制备出了优异的半导体异质结。

一、半导体异质结的定义及制备方法半导体异质结是两个或多个不同的半导体材料之间的交界面,它们在微观结构上形成区别显著的界面,在这些界面中,电子在各自的费米能级顶部和价带底部被拘禁。

由此,产生了众多的新型材料,这些异质结在光电子学、电子学、量子计算以及信息工程技术中有广泛应用。

半导体异质结可以通过以下几种方法制备:1.化学气相沉积(CVD):基于在高温下化学反应形成的气体来制备异质结,可以制备多种异质结,如Si / SiGe;GaAs / AlGaAs和InGaN / InGaN等。

2.熔融法:通过熔化温度不同的两种半导体材料,然后冷却晶体,形成异质结。

例如,在Si基片上,通过VPE方法采用MOCVD或MBE生长材料,可以形成Si / Si1-xGex。

3.直接外延法:通过不同通道的流化态材料在基片上的直接生长来制备异质结。

这是最广泛应用的异质结制备方法。

生长的材料可以是金属有机化学气相沉积(MOCVD)或分子束外延法(MBE)等方法。

4.氢化前体转化方法(HyPrCAT):是一种变革型异质结制备方法,通过氢气与半导体前体发生氢化反应,形成异质结材料。

它基于羟基化学,与化学气相沉积相比,处理易于控制。

5.原位跨层原子运移方法(SAM):是一种近年来开发的变革型异质结制备方法,它采用前面的焦耳电显微镜观察到的单原子层光介质与介质的关系采用原位跨层原子运移的方法制备。

三五族化合物半导体

三五族化合物半导体
三五族化合物半导体
三五族化合物半导体
砷化镓气相外延 ➢ 砷化镓气相外延又可分为氯化物法、砷烷—镓源
法、金属有机化合物(MOCVD)法和改进了的MOCVD 法-光激励外延法等。 ➢ MOCVD工艺主要通过金属有机化合物在热分解瞬间 实现与有关元素的化合、结晶并形成薄膜。 ➢ 改进的MOCVD法-光激励外延法,利用水银灯进行 照射,使金属有机化合物发生光激励反应。已被 用来制作异质结及超晶格等新型元件。
半导体材料
三五族化合物半导体
外延生长
外延是在单晶上生长一层同质或异质的薄膜层。
三五族化合物半导体
薄膜制备技术
• 1.物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)
• 2.化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)
• 3.氧化法(高压氧化法) • 4.电镀法 • 5.涂敷、沉淀法
三五族化合物半导体
CVD法的基本原理和过程 化学气相沉积是利用气态物质在一固体材料表面上进行化学反应,生成固态
沉积物的过程。CVD在本质上是一种材料的合成过程,其主要步骤有: (1)反应剂被携带气体进入反应器后,在基体材料表面附近形成边界后,然后 在主气流中的反应剂越过边界扩散型材料表面。 (2)反应剂被吸附在基体材料表面,并进行化学反应。 (3)化学反应生成的固态物质,即所需要的沉积物,在基体材料表面成核,生 长成薄膜。 (4)反应后的气相产物离开基体材料表面,扩散回边界层,并随输运气体排出 反应室。
宜用CLVPE生长AlGaAs固溶体外延材料
三五族化合物半导体
❖ CLVPE生长优点:设备简单,可以沉积出高纯 外延材料
❖ 缺点:由于GaCl是在源区由化学反应生成 的,其分压重现性较差❖ HVPE三五族化合物导体HVPE生长GaAs

LED结构生长原理以及MOCVD外延系统的介绍

LED结构生长原理以及MOCVD外延系统的介绍

LED结构生长原理以及MOCVD外延系统的介绍2012-2-22 10:02:33摘要:MOCVD外延技术是国内目前刚起步的技术,本文主要介绍外延的基本原理以及目前世界上主要外延生产系统的设计原理及基本构造。

第一章外延在光电产业角色近十几年来为了开发蓝色高亮度发光二极管,世界各地相关研究的人员无不全力投入。

而商业化的产品如蓝光及绿光发光二级管LED及激光二级管LD的应用无不说明了Ⅲ-Ⅴ族元素所蕴藏的潜能,表1-1为目前商品化LED之材料及其外延技术,红色及绿色发光二极管之外延技术大多为液相外延成长法为主,而黄色、橙色发光二极管目前仍以气相外延成长法成长磷砷化镓GaAsP材料为主。

MOCVD机台是众多机台中最常被使用来制造LED之机台。

而LED或是LD亮度及特性的好坏主要是在于其发光层品质及材料的好坏,发光层主要的组成不外乎是单层的InGaN/GaN量子井SingleQuantumWell或是多层的量子井MultipleQuantumWell,而尽管制造LED的技术一直在进步但其发光层MQW的品质并没有成正比成长,其原是发光层中铟Indium的高挥发性和氨NH3的热裂解效率低是MOCVD机台所难于克服的难题,氨气NH3与铟Indium的裂解须要很高的裂解温度和极佳的方向性才能顺利的沉积在InGaN的表面。

但要如何来设计适当的MOCVD机台为一首要的问题而解决此问题须要考虑下列因素:) u9 S- o4 T4 d/ [4 M1要能克服GaN成长所须的高温2要能避免MOGas金属有机蒸发源与NH3在预热区就先进行反应3进料流速与薄膜长成厚度均。

一般来说GaN的成长须要很高的温度来打断NH3之N-H的键解,另外一方面由动力学仿真也得知NH3和MOGas会进行反应产生没有挥发性的副产物。

了解这些问题之后要设计适当的MOCVD外延机台的最主要前题是要先了解GaN的成长机构,且又能降低生产成本为一重要发展趋势。

异质结构和低维结构之间的关系

异质结构和低维结构之间的关系

异质结构和低维结构之间的关系好,今天我们来聊聊“异质结构”和“低维结构”这两位高深莫测的“科学朋友”。

说实话,它们的名字听上去都挺吓人的,好像会让你误以为它们是外星人,或者是啥儿复杂的数学公式。

别担心,咱们慢慢来,轻松点,别让这些词搞得你晕头转向。

首先啊,异质结构其实就是指两个不同性质的材料或者物质,彼此“贴”在一起形成的一个新的结构。

比方说,有时候我们会把不同的半导体材料搭配在一起,这样它们就能发挥各自的特长,互补优缺点。

这就像咱们生活中的搭配一样,巧妙的搭配能让两个人的优势发挥到极致。

你想啊,如果你和朋友合伙开店,你负责营销,他负责技术,你们俩的优点结合起来,合作得更好,生意自然也就蒸蒸日上。

这种搭配的方式,就是异质结构。

它们彼此“接触”但又不完全融合,像是“相爱相杀”的情侣,表面看似和谐,实则各自独立。

说到这里,或许你会想,这和低维结构到底有什么关系呢?简单来说,低维结构就是我们说的“低维度”的物质结构,通常指的是那些维度非常小的材料,比如薄薄的二维材料或者是一维的纳米线。

这些材料一旦被做得特别薄,它们就会表现出一些特殊的性质,能做的事远远超过我们平常想象的东西。

比如说,大家可能听说过“石墨烯”,它就属于二维材料中的一种,超薄,但超强。

你想象一下,如果你能让两种完全不同性质的材料像异质结构那样“结合”在一起,再加上低维的特性,那这“组合拳”就厉害了,简直可以打破很多传统材料的局限性。

为什么这么说呢?因为低维结构本身就有着非常“独特”的性质,比如它们的电子特性、光学特性和力学特性都和传统材料大不相同。

用个通俗点的比喻吧,这就像你用一张A4纸做飞机,平时你做个普通纸飞机,它飞得很一般对吧?但如果你能把这张纸“卷起来”,变成一个“管子”,然后再加上一些别的材料配合,那飞机的飞行效果就会大大提升。

低维结构和异质结构的结合,能够激发出更多奇妙的效果,比单纯的材料要强大得多。

这俩东西结合起来的好处是什么呢?比如,在电子器件方面,传统的电子器件可能存在一些“瓶颈”,就是做得越小,材料的性能就可能下降。

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低维异质结构与新型Ⅲ-Ⅴ族半导体发光器件的研究
半导体低维异质结构早已成为构筑高性能半导体发光器件的基石,该领域的前沿创新研究经久不衰地持续了几十年,但研究热点已
从早期的二维的量子阱、超晶格转变至一维的量子线(或更广义的纳米线)和零维的量子点。

特别是,基于自组织量子点的新型半导体发光器件因电注入工作容易、具备某些特有的优异性能譬如高温度稳定性并且具有重要的应用前景而尤为受到关注。

然而,目前绝大多数量子点发光器件譬如量子点激光器依赖分子束外延(MBE)生长,金属有机
化学气相沉积(MOCVD)生长量子点激光器的进展则大幅滞后且与MBE 生长存在显著差距,仅有少数几个国外研究组掌握MOCVD生长量子点激光器的核心技术,鉴于MOCVD所拥有的半导体器件产业化优势,在
国内深入系统开展量子点激光器的MOCVD生长研究具有十分重要的
意义。

除激光器外,基于半导体低维异质结构的发光器件中另外一种重要的类型是超辐射发光二极管(超辐射管),当前基于半导体低维异质结构的超辐射管作为光纤陀螺等系统的光源对于系统性能的提高
起着不可替代的作用,开展超辐射管的研究对光纤陀螺等实际应用具有重要价值。

此外,半导体低维异质结构除了前述的几种整数维度外,近年来本实验室提出了能级弥散这一新颖的概念,继而发展出分数维度电子态系理论,即半导体异质结构中不仅仅存在前述的三维、二维、一维、零维等整数维度,还存在着介于这些整数维度之间的分数维度,譬如介于二维与三维之间、介于一维和二维之间等等。

分数维度理论的提出者还发现,这一理论有望引入超辐射管中并充分发挥其优势—
—分数维度半导体异质结构较整数维度异质结构会显著提升超辐射
管的性能,并且此发现已经得到初步的实验证实,这样就亟需运用分
数维度电子态系理论指导超辐射管的设计与性能优化。

基于上述这一科学认知,为验证分数维度电子态系理论在超辐射管中的优越性,进
而运用该理论指导超辐射管的设计与优化,我们首先需要进行相应的典型整数维度超辐射管的制备,掌握超辐射管的制备工艺等,从而为
进一步研制分数维度超辐射管打下基础。

本论文以半导体低维异质结构为出发点,依托科技部国际合作项目以及国家自然科学基金项目,
在分数维度电子态系理论方面取得了新的进展,在实验方面重点围绕Ⅲ-Ⅴ族量子阱和量子点展开,进行了二维的量子阱、零维的量子点等整数维度下激光器及超辐射管的研究工作,这既为MOCVD生长量子点器件积累了技术经验,也为后续进行分数维度(譬如从二维到三维、从零维到三维等)超辐射管或其他相关器件的研究奠定了基础。

本论文已开展的研究工作以及主要的结果如下:1.研究了在应用不同线型(指数线型和洛伦兹线型)的弥态允率密度函数的情形下电子态密度
曲线的变化。

针对指数线型和洛伦兹线型两种弥散线型对电子态密度进行了计算分析,对于不同的弥散宽度值绘制了电子态密度曲线,并
进一步阐述了实际情况中可能的复合弥散线型,为基于能级弥散的分数维度理论的进一步发展提供了支持。

2.制备了基于典型量子阱的激光器与超辐射管,包括1.3μm波段InP基量子阱以及1.1μm波段GaAs基InGaAs量子阱,取得了一些重要的实验结果,为进一步制备性能更加优异的介于二维到三维间的分数维度超辐射管奠定了基础。

(1)
采用InGaAsP啁啾量子阱作为有源区,进行了激光器和超辐射管的制备。

脊宽10μm、腔长2mm的激光器阈值电流密度为0.8kA/cm2,同样脊宽与长度采用弯曲波导的超辐射管在350mA时功率为5.9mW,光谱半宽为27nm。

(2)采用A1GaInAs量子阱作为有源区,进行了激光器和超辐射管的制备。

脊宽10μm、腔长2mm的激光器阈值电流密度为460A/cm2,同样脊宽与长度采用弯曲波导的超辐射管功率达到30mW 以上,光谱半宽在10nm左右。

(3)利用MOCVD进行了 InGaAs多量子阱器件结构的生长,然后制备了相应的发光器件,发光波长位于1.1μm处。

脊宽10μm、腔长2mm的激光器阈值电流密度为450A/cm2。

在超辐射器件制备中,我们比较了不同波导形状(弯曲、倾斜等)对于超辐射的影响,脊宽10μm、长度2mm的采用倾斜基础上弯曲波导的超辐射管功率达到20mW以上,光谱半宽在10nm左右。

3.制备了基于典型量子点的激光器与超辐射管,在器件性能优化方面进行了深入的探索并取得了重要的进展,为进一步制备性能更加优异的介于零维到三维间的分数维度超辐射管提供了技术支撑。

此外还在硅衬底上生长了高质量的多层量子点,为后续利用MOCVD生长硅衬底上的分数维度器件打下了一定的基础。

(1)MOCVD生长并制备了 GaAs基InAs量子点激光器。

首先利用MOCVD开展InAs量子点的生长条件优化,比较了单层/多层、InGaAs底层/盖层、Ⅴ/Ⅲ等对于量子点的影响,利用优化后的条件生长出了光致发光波长接近1.3μm的多层量子点,量子点密度达到4X 1010/cm2。

之后利用此多层量子点作为有源区进行了激光器结构的生长并制备了量子点激光器,在分别采用无偏角及2°偏
角的衬底上均实现了量子点激光器的室温连续激射,激光器的脊宽均
为10μm,腔长均为2mm。

由于器件工作在激发态,波长明显短于1.3
μm。

无偏角衬底上的激光器阈值电流密度为700A/cm2,激射波长位
于1.19μm处;2°偏角衬底上的阈值电流密度为950A/cm2,激光器波长位于1.16μm。

(2)基于MBE工艺,制备了两种不同外延结构的
InAs/GaAs量子点激光器和超辐射管,其中基于第一种外延结构制备
的激光器激射波长位于1.3μm处,阈值电流密度低至117A/cm2;采用弯曲波导的超辐射管在室温脉冲条件下工作,发光波长位于1.3μm 处,光谱宽度在20nm以上,功率达到10mW以上。

基于第二种外延结构制备的激光器激射波长位于1.27μm,阈值电流密度低至118A/cm2;
采用直波导镀膜的超辐射管在室温连续电流下工作,发光波长位于
1.27μm,光谱宽度在10nm左右,功率在3mW以上。

(3)生长了 Si衬
底上InAs/GaAs多层量子点。

利用MOCVD设备在获得高质量Si基GaAs 外延层的基础上,对Si上多层量子点的生长进行了优化实验。

将GaAs/Si“三步法”异变外延生长技术与GaAs基多层量子点生长技术相结合,生长出了发光波长位于1.3μm波段的Si基InAs/GaAs多层
量子点,通过原子力显微镜测试发现生长出的量子点形貌很好,密度
较高,可达5 × 1010/cm2,通过光致发光谱测试发现其发光性能较好。

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